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第五章LED發(fā)光二極管第一頁(yè),共92頁(yè)。2LED發(fā)光原理

由PN結(jié)芯片、電極和光學(xué)系統(tǒng)組成。其發(fā)光過(guò)程包括三部分:正向偏壓下的載流子注入、復(fù)合輻射和光能傳輸。微小的半導(dǎo)體晶片被封裝在潔凈的環(huán)氧樹(shù)脂物中,當(dāng)電子經(jīng)過(guò)該晶片時(shí),帶負(fù)電的電子移動(dòng)到帶正電的空穴區(qū)域并與之復(fù)合,電子和空穴消失的同時(shí)產(chǎn)生光子。第二頁(yè),共92頁(yè)。3一、概述LED(LightEmittingDiode),發(fā)光二極管,是一種固態(tài)的半導(dǎo)體器件,它可以直接把電轉(zhuǎn)化為光。LED的心臟是一個(gè)半導(dǎo)體的晶片,晶片的一端附在一個(gè)支架上,一端是負(fù)極,另一端連接電源的正極,使整個(gè)晶片被環(huán)氧樹(shù)脂封裝起來(lái)。半導(dǎo)體晶片由兩部分組成,一部分是P型半導(dǎo)體,在它里面空穴占主導(dǎo)地位,另一端是N型半導(dǎo)體,在這邊主要是電子。但這兩種半導(dǎo)體連接起來(lái)的時(shí)候,它們之間就形成一個(gè)“P-N結(jié)”。在P-N結(jié)上加正向電壓,產(chǎn)生少子注入,少子在傳輸過(guò)程中不斷擴(kuò)散,不斷復(fù)合而發(fā)光。這就是LED發(fā)光的原理。而光的波長(zhǎng)也就是光的顏色,是由形成P-N結(jié)的材料決定的。改變所采用的半導(dǎo)體材料,就能得到不同波長(zhǎng)的發(fā)光顏色。第三頁(yè),共92頁(yè)。4二、單色光LED的種類及其發(fā)展歷史最早應(yīng)用半導(dǎo)體P-N結(jié)發(fā)光原理制成的LED光源問(wèn)世于20世紀(jì)60年代初。當(dāng)時(shí)所用的材料是GaAsP,發(fā)紅光(λ=650nm),在驅(qū)動(dòng)電流為20毫安時(shí),光通量只有千分之幾個(gè)流明,相應(yīng)的發(fā)光效率約0.1流明/瓦。70年代中期,引入元素In和N,使LED產(chǎn)生綠光(λ=555nm),黃光(λ=590nm)和橙光(λ=610nm),光效也提高到1流明/瓦。到了80年代初,出現(xiàn)了GaAlAs的LED光源,使得紅色LED的光效達(dá)到10流明/瓦。

第四頁(yè),共92頁(yè)。590年代初,發(fā)紅光、黃光的GaAlInP和發(fā)綠、藍(lán)光的GaInN兩種新材料的開(kāi)發(fā)成功,使LED的光效得到大幅度的提高。在2000年,前者做成的LED在紅、橙區(qū)(λ=615nm)的光效達(dá)到100流明/瓦,而后者制成的LED在綠色區(qū)域(λp=530nm)的光效可以達(dá)到50流明/瓦。第五頁(yè),共92頁(yè)。6近期開(kāi)發(fā)的LED不僅能發(fā)射出純紫外光而且能發(fā)射出真實(shí)的“黑色”紫外光,LED發(fā)展史到底能走多遠(yuǎn)還不得而知,也許某天就能開(kāi)發(fā)出能發(fā)X射線的LED。然而,LED的發(fā)展不單純是它的顏色還有它的亮度,像計(jì)算機(jī)一樣,遵守摩爾定律的發(fā)展,即每隔18個(gè)月它的亮度就會(huì)增加一倍,曾經(jīng)暗淡的發(fā)光二極管現(xiàn)在真正預(yù)示著LED新時(shí)代的來(lái)臨。第六頁(yè),共92頁(yè)。7三、發(fā)光二極管制造中的主要工藝技術(shù)(一)外延生長(zhǎng)技術(shù):外延生長(zhǎng)是半導(dǎo)體材料和器件制造的重要工藝。制作LED不但需要優(yōu)質(zhì)無(wú)缺陷的單晶材料,為了形成LED中的發(fā)光中心,還需要對(duì)單晶材料做可控?fù)诫s?!巴庋印币辉~是指在單晶襯底上生長(zhǎng)一層新單晶的技術(shù)。新單晶層的取向取決與襯底,并由襯底向外延伸而成,故稱“外延”層。外延生長(zhǎng)工藝有液相外延、氣相外延、分子束外延、金屬有機(jī)化合物氣相淀積四種。第七頁(yè),共92頁(yè)。8單晶硅直拉單晶硅第八頁(yè),共92頁(yè)。多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過(guò)冷條件下凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來(lái),就結(jié)晶成多晶硅。單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅。多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如在力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)等方面,多晶硅均不如單晶硅。多晶硅可作為拉制單晶硅的原料。第九頁(yè),共92頁(yè)。10

1、液相外延【LiquidPhaseEpitaxy,LPE】由溶液中析出固相物質(zhì)并沉積在襯底上生成單晶薄層的方法。液相外延技術(shù)(LiquidPhaseEpitaxy,簡(jiǎn)稱LPE)1963年由Nelson等人提出,其原理是:以低熔點(diǎn)的金屬(如Ga、In等)為溶劑,以待生長(zhǎng)材料(如Ga、As、Al等)和摻雜劑(如Zn、Te、Sn等)為溶質(zhì),使溶質(zhì)在溶劑中呈飽和或過(guò)飽和狀態(tài)。通過(guò)降溫冷卻使石墨舟中的溶質(zhì)從溶劑中析出,在單晶襯底上定向生長(zhǎng)一層晶體結(jié)構(gòu)和晶格常數(shù)與單晶襯底足夠相似的晶體材料,使晶體結(jié)構(gòu)得以延續(xù),實(shí)現(xiàn)晶體的外延生長(zhǎng)。通過(guò)降溫冷卻使石墨舟中的溶質(zhì)從溶劑中析出,在單晶襯底上定向生長(zhǎng)一層晶體結(jié)構(gòu)和晶格常數(shù)與單晶襯底足夠相似的晶體材料,使晶體結(jié)構(gòu)得以延續(xù),實(shí)現(xiàn)晶體的外延生長(zhǎng)。液相外延由尼爾松于1963年發(fā)明,成為化合物半導(dǎo)體單晶薄層的主要生長(zhǎng)方法,被廣泛的用于電子器件的生產(chǎn)上。薄層材料和襯底材料相同的稱為同質(zhì)外延,反之稱為異質(zhì)外延。第十頁(yè),共92頁(yè)。11液相外延可分為傾斜法、垂直法和滑舟法三種,其中傾斜法是在生長(zhǎng)開(kāi)始前,使石英管內(nèi)的石英容器向某一方向傾斜,并將溶液和襯底分別放在容器內(nèi)的兩端;垂直法是在生長(zhǎng)開(kāi)始前,將溶液放在石墨坩鍋中,而將襯底放在位于溶液上方的襯底架上;滑舟法是指外延生長(zhǎng)過(guò)程在具有多個(gè)溶液槽的滑動(dòng)石墨舟內(nèi)進(jìn)行。在外延生長(zhǎng)過(guò)程中,可以通過(guò)四種方法進(jìn)行溶液冷卻:平衡法、突冷法、過(guò)冷法和兩相法。第十一頁(yè),共92頁(yè)。12

2、氣相外延【VapourPhaseEpitaxy,VPE】

一種單晶薄層生長(zhǎng)方法。氣相外延廣義上是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式,其生長(zhǎng)薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù),而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系。第十二頁(yè),共92頁(yè)。13在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中,氣相外延發(fā)揮了重要作用,典型代表是Si氣相外延和GaAs以及固溶體氣相外延。Si氣相外延是以高純氫氣作為輸運(yùn)和還原氣體,在化學(xué)反應(yīng)后生成Si原子并沉積在襯底上,生長(zhǎng)出晶體取向與襯底相同的Si單晶外延層,該技術(shù)已廣泛用于Si半導(dǎo)體器件和集成電路的工業(yè)化生產(chǎn)。GaAs氣相外延通常有兩種方法:氯化物法和氫化物法,該技術(shù)工藝設(shè)備簡(jiǎn)單、生長(zhǎng)的GaAs純度高、電學(xué)特性好,已廣泛的應(yīng)用于霍爾器件、耿氏二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管等微波器件中。

第十三頁(yè),共92頁(yè)。14第十四頁(yè),共92頁(yè)。15

3、分子束外延【moleculebeamepitaxy,MBE】這是一種在晶體基片上生長(zhǎng)高質(zhì)量的晶體薄膜的新技術(shù)。在超高真空條件下,由裝有各種所需組分的爐子加熱而產(chǎn)生的蒸氣,經(jīng)小孔準(zhǔn)直后形成的分子束或原子束,直接噴射到適當(dāng)溫度的單晶基片上,同時(shí)控制分子束對(duì)襯底掃描,就可使分子或原子按晶體排列一層層地“長(zhǎng)”在基片上形成薄膜。第十五頁(yè),共92頁(yè)。16該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是:使用的襯底溫度低,膜層生長(zhǎng)速率慢,束流強(qiáng)度易于精確控制,膜層組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。用這種技術(shù)已能制備薄到幾十個(gè)原子層的單晶薄膜,以及交替生長(zhǎng)不同組分、不同摻雜的薄膜而形成的超薄層量子阱微結(jié)構(gòu)材料。第十六頁(yè),共92頁(yè)。17由于MBE的生長(zhǎng)環(huán)境潔凈、溫度低、具有精確的原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、晶體完整性好、組分與厚度均勻準(zhǔn)確。第十七頁(yè),共92頁(yè)。18

第十八頁(yè),共92頁(yè)。194、金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積【MOCVD】用金屬有機(jī)化合物熱分解進(jìn)行氣相外延生長(zhǎng)的方法。MOCVD是金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積(Metal-organicChemicalVaporDeposition)MOCVD是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù).它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)源材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,生長(zhǎng)各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

第十九頁(yè),共92頁(yè)。MOCVD技術(shù)具有下列優(yōu)點(diǎn):

(l)適用范圍廣泛,幾乎可以生長(zhǎng)所有化合物及合金半導(dǎo)體;(2)非常適合于生長(zhǎng)各種異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料;(3)可以生長(zhǎng)超薄外延層,并能獲得很陡的界面過(guò)渡;(4)生長(zhǎng)易于控制;(5)可以生長(zhǎng)純度很高的材料;(6)外延層大面積均勻性良好;(7)可以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。20第二十頁(yè),共92頁(yè)。21目前--MOCVD設(shè)備制造商主要有兩家:1.德國(guó)AIXTRON公司(英國(guó)THOMASSWAN公司已被AIXTRON公司收購(gòu))累計(jì)銷售1000臺(tái)。2.美國(guó)VEECO公司(并購(gòu)美國(guó)EMCORE公司)。

其中AIXTRON公司(含THOMASSWAN公司)大約占60-70%的國(guó)際市場(chǎng)份額,而VEECO公司占30-40%。第二十一頁(yè),共92頁(yè)。22(二)擴(kuò)散技術(shù):用于LED制造中的摻雜。擴(kuò)散過(guò)程分兩步,首先通過(guò)氣相沉積或涂敷的方法,在基片表面上覆蓋一層所希望的摻雜劑,使基片表面上含有一定的雜質(zhì),稱為預(yù)沉積;然后加溫使雜質(zhì)原子向晶體內(nèi)運(yùn)動(dòng)。擴(kuò)散深度取決于溫度和擴(kuò)散時(shí)間。(三)制備電極:在電極引線與p-n結(jié)間希望形成歐姆接觸。歐姆接觸指的是它不產(chǎn)生明顯的附加阻抗,而且不會(huì)使半導(dǎo)體內(nèi)部的平衡載流子濃度發(fā)生顯著的改變。第二十二頁(yè),共92頁(yè)。23四、LED的分類1.按發(fā)光管發(fā)光顏色分按發(fā)光管發(fā)光顏色分,可分成紅色、橙色、綠色(又細(xì)分黃綠、標(biāo)準(zhǔn)綠和純綠)、藍(lán)光等。另外,有的發(fā)光二極管中包含二種或三種顏色的芯片。根據(jù)發(fā)光二極管出光處摻或不摻散射劑、有色還是無(wú)色,上述各種顏色的發(fā)光二極管還可分成有色透明、無(wú)色透明、有色散射和無(wú)色散射四種類型。散射型發(fā)光二極管可用于做指示燈用。第二十三頁(yè),共92頁(yè)。242.按發(fā)光管出光面特征分按發(fā)光管出光面特征分圓燈、方燈、矩形、面發(fā)光管、側(cè)向管、表面安裝用微型管等。圓形燈按直徑分為φ2mm、φ4.4mm、φ5mm、φ8mm、φ10mm及φ20mm等。國(guó)外通常把φ3mm的發(fā)光二極管記作T-1;把φ5mm的記作T-1(3/4);把φ4.4mm的記作T-1(1/4)。第二十四頁(yè),共92頁(yè)。25由半值角大小可以估計(jì)圓形發(fā)光強(qiáng)度角分布情況。從發(fā)光強(qiáng)度角分布圖來(lái)分有三類:(1)高指向性。一般為尖頭環(huán)氧封裝,或是帶金屬反射腔封裝,且不加散射劑。半值角為5°~20°或更小,具有很高的指向性,可作局部照明光源用,或與光檢出器聯(lián)用以組成自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)。(2)標(biāo)準(zhǔn)型。通常作指示燈用,其半值角為20°~45°。(3)散射型。這是視角較大的指示燈,半值角為45°~90°或更大,散射劑的量較大。第二十五頁(yè),共92頁(yè)。263.按發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)分類按發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)分有全環(huán)氧包封、金屬底座環(huán)氧封裝、陶瓷底座環(huán)氧封裝及玻璃封裝等結(jié)構(gòu)。第二十六頁(yè),共92頁(yè)。274.按發(fā)光強(qiáng)度和工作電流分按發(fā)光強(qiáng)度和工作電流分有:普通亮度的LED(發(fā)光強(qiáng)度<10mcd);超高亮度的LED(發(fā)光強(qiáng)度>100mcd);把發(fā)光強(qiáng)度在10~100mcd間的叫高亮度發(fā)光二極管。一般LED的工作電流在十幾mA至幾十mA,而低電流LED的工作電流在2mA以下(亮度與普通發(fā)光管相同)。除上述分類方法外,還有按芯片材料分類及按功能分類的方法。第二十七頁(yè),共92頁(yè)。28點(diǎn)式LED字段式LED點(diǎn)陣式LED光柱式LEDLED的類型第二十八頁(yè),共92頁(yè)。29五、LED封裝LED封裝的作用是將外引線連接到LED芯片的電極上,不但可以保護(hù)LED芯片,而且起到提高發(fā)光效率的作用。所以LED封裝不僅僅只是完成輸出電信號(hào),更重要的是保護(hù)管芯正常工作,輸出可見(jiàn)光的功能??梢?jiàn)LED封裝既有電參數(shù),又有光參數(shù)的設(shè)計(jì)及技術(shù)要求,并不是一項(xiàng)簡(jiǎn)單的工作。

第二十九頁(yè),共92頁(yè)。301產(chǎn)品封裝結(jié)構(gòu)類型:根據(jù)發(fā)光顏色、芯片材料、發(fā)光亮度、尺寸大小等情況特征來(lái)分類的。2引腳式封裝:LED腳式封裝采用引線架作各種封裝外型的引腳,是最先研發(fā)成功投放市場(chǎng)的封裝結(jié)構(gòu),品種數(shù)量繁多,技術(shù)成熟度較高,封裝內(nèi)結(jié)構(gòu)與反射層仍在不斷改進(jìn)。第三十頁(yè),共92頁(yè)。313表面貼裝封裝:表面貼裝封裝的LED(SMDLED)逐漸被市場(chǎng)所接受,并獲得一定的市場(chǎng)份額,從引腳式封裝轉(zhuǎn)向SMD符合整個(gè)電子行業(yè)發(fā)展大趨勢(shì)。4功率型封裝:LED芯片及封裝向大功率方向發(fā)展,在大電流下產(chǎn)生比Φ5mmLED大10-20倍的光通量,必須采用有效的散熱與不劣化的封裝材料解決光衰問(wèn)題,因此,管殼及封裝也是其關(guān)鍵技術(shù),能承受數(shù)W功率的LED封裝已出現(xiàn)。第三十一頁(yè),共92頁(yè)。1)LED單芯片封裝

LED在過(guò)去的30多年里,取得飛速發(fā)展。第一批產(chǎn)品出現(xiàn)在1968年,工作電流20mA的LED的光通量只有千分之幾流明,相應(yīng)的發(fā)光效率為0.1lm/W,而且只有一種光色為650nm的紅色光。70年代初該技術(shù)進(jìn)步很快,發(fā)光效率達(dá)到1lm/W,顏色也擴(kuò)大到紅色、綠色和黃色。伴隨著新材料的發(fā)明和光效的提高,單個(gè)LED光源的功率和光通量也在迅速增加。原先,一般LED的驅(qū)動(dòng)電流僅為20mA。到了20世紀(jì)90年代,一種代號(hào)為“食人魚(yú)”的LED光源的驅(qū)動(dòng)電流增加到50-70mA,而新型大功率LED的驅(qū)動(dòng)電流達(dá)到300—500mA。特別是1998年白光LED的開(kāi)發(fā)成功,使得LED應(yīng)用從單純的標(biāo)識(shí)顯示功能向照明功能邁出了實(shí)質(zhì)性的一步。第三十二頁(yè),共92頁(yè)。圖2-1普通LED圖2-2高亮度LED圖2-3“食人魚(yú)”LED圖2-4大功率LED第三十三頁(yè),共92頁(yè)。A功率型LED封裝技術(shù)現(xiàn)狀功率型LED分為功率LED和瓦(W)級(jí)功率LED兩種。功率LED的輸入功率小于1W(幾十毫瓦功率LED除外);W級(jí)功率LED的輸入功率等于或大于1W。第三十四頁(yè),共92頁(yè)。最早有HP公司于20世紀(jì)90年代初推出“食人魚(yú)”封裝結(jié)構(gòu)的LED,并于1994年推出改進(jìn)型的“SnapLED”,有兩種工作電流,分別為70mA和150mA,輸入功率可達(dá)0.3W。接著OSRAM公司推出“PowerTOPLED”,之后一些公司推出多種功率LED的封裝結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)的功率LED比原支架式封裝的LED輸入功率提高幾倍,熱阻降為過(guò)去的幾分之一。第三十五頁(yè),共92頁(yè)。W級(jí)功率LED是未來(lái)照明的核心,世界各大公司投入很大力量,對(duì)其封裝技術(shù)進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)。單芯片W級(jí)功率LED最早是由Lumileds公司于1998年推出的LUXEONLED,該封裝結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)是采用熱電分離的形式,將倒裝芯片用硅載體直接焊在熱沉上,并采用反射杯、光學(xué)透鏡和柔性透明膠等新結(jié)構(gòu)和新材料,現(xiàn)可提供單芯片1W、3W和5W的大功率LED,Lumileds公司擁有多項(xiàng)功率型白光二極管封裝方面的專利技術(shù)。OSRAM于2003年推出單芯片的GoldenDragon”系列LED,其特點(diǎn)是熱沉與金屬線路板直接接觸,具有很好的散熱性能,而輸入功率可達(dá)1W。日亞的1WLED工作電流為350mA,白光、藍(lán)光、藍(lán)綠光和綠光的光通量分別為23、7、28和20流明,預(yù)計(jì)其壽命為5萬(wàn)小時(shí)。第三十六頁(yè),共92頁(yè)。B功率型LED封裝技術(shù)概述

半導(dǎo)體LED若要作為照明光源,常規(guī)產(chǎn)品的光通量與白熾燈和熒光燈等通用性光源相比,距離甚遠(yuǎn)。因此,LED要在照明領(lǐng)域發(fā)展,關(guān)鍵是要將其發(fā)光效率、光通量提高至現(xiàn)有照明光源的等級(jí)。由于LED芯片輸入功率的不斷提高,功率型LED封裝技術(shù)主要應(yīng)滿足以下兩點(diǎn)要求:①封裝結(jié)構(gòu)要有高的取光效率;②熱阻要盡可能低,這樣才能保證功率LED的光電性能和可靠性。第三十七頁(yè),共92頁(yè)。功率型LED所用的外延材料采用MOCVD的外延生長(zhǎng)技術(shù)和多量子阱結(jié)構(gòu),雖然其內(nèi)量子效率還需進(jìn)一步提高,但獲得高發(fā)光通量的最大障礙仍是芯片的取光效率低?,F(xiàn)有的功率型LED的設(shè)計(jì)采用了倒裝焊新結(jié)構(gòu)來(lái)提高芯片的取光效率,改善芯片的熱特性,并通過(guò)增大芯片面積,加大工作電流來(lái)提高器件的光電轉(zhuǎn)換效率,從而獲得較高的發(fā)光通量,除了芯片外,器件的封裝技術(shù)也舉足輕重。第三十八頁(yè),共92頁(yè)。功率型LED封裝關(guān)鍵技術(shù):a.散熱技術(shù)

傳統(tǒng)的指示燈型LED封裝結(jié)構(gòu),一般是用導(dǎo)電或非導(dǎo)電膠將芯片裝在小尺寸的反射杯中或載片臺(tái)上,由金絲完成器件的內(nèi)外連接后用環(huán)氧樹(shù)脂封裝而成,其熱阻高達(dá)150~250℃/W,新的功率型芯片若采用傳統(tǒng)式的LED封裝形式,將會(huì)因?yàn)樯岵涣级鴮?dǎo)致芯片結(jié)溫迅速上升和環(huán)氧碳化變黃,從而造成器件的加速光衰直至失效,甚至因?yàn)檠杆俚臒崤蛎浰a(chǎn)生的應(yīng)力造成開(kāi)路而失效。第三十九頁(yè),共92頁(yè)。對(duì)于大工作電流的功率型LED芯片,低熱阻、散熱良好及低應(yīng)力的新的封裝結(jié)構(gòu)是功率型LED器件的技術(shù)關(guān)鍵??刹捎玫妥杪省⒏邔?dǎo)熱性能的材料粘結(jié)芯片;在芯片下部加銅或鋁質(zhì)熱沉,并采用半包封結(jié)構(gòu),加速散熱;甚至設(shè)計(jì)二次散熱裝置,來(lái)降低器件的熱阻;在器件的內(nèi)部,填充透明度高的柔性硅膠,膠體不會(huì)因溫度驟然變化而導(dǎo)致器件開(kāi)路,也不會(huì)出現(xiàn)變黃現(xiàn)象;零件材料也應(yīng)充分考慮其導(dǎo)熱、散熱特性,以獲得良好的整體熱特性。第四十頁(yè),共92頁(yè)。圖2-5普通LED封裝結(jié)構(gòu)圖圖2-6大功率LED封裝結(jié)構(gòu)圖第四十一頁(yè),共92頁(yè)。b.二次光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)

為提高器件的取光效率,設(shè)計(jì)外加的反射杯與多重光學(xué)透鏡。c.功率型LED白光技術(shù)第四十二頁(yè),共92頁(yè)。照明用W級(jí)功率LED產(chǎn)品要實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化還必須解決如下技術(shù)問(wèn)題:①熒光粉涂敷量和均勻性控制:LED芯片+熒光粉工藝采用的涂膠方法,通常是將熒光粉與膠混合后用分配器將其涂到芯片上。在操作過(guò)程中,由于載體膠的粘度是動(dòng)態(tài)參數(shù)、熒光粉比重大于載體膠而產(chǎn)生沉淀以及分配器精度等因素的影響,此工藝熒光粉的涂布量均勻性的控制有難度,導(dǎo)致了白光顏色不均勻。第四十三頁(yè),共92頁(yè)。②芯片光電參數(shù)配合:半導(dǎo)體工藝的特點(diǎn),決定同種材料同一晶圓芯片之間都可能存在光學(xué)參數(shù)(如波長(zhǎng)、光強(qiáng))和電學(xué)(如正向電壓)參數(shù)差異。RGB三基色芯片更是這樣,對(duì)于白光色度參數(shù)影響很大,這是產(chǎn)業(yè)化必須要解決的關(guān)鍵技術(shù)之一。第四十四頁(yè),共92頁(yè)。③根據(jù)應(yīng)用要求產(chǎn)生的光色度參數(shù)控制:不同用途的產(chǎn)品對(duì)白光LED的色坐標(biāo)、色溫、顯色性、光功率(或光強(qiáng))和光的空間分布等要求不同,上述參數(shù)的控制涉及產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、工藝方法、材料等多方面因素的配合。在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中,對(duì)上述因素進(jìn)行控制,得到符合應(yīng)用要求、一致性好的產(chǎn)品十分重要。第四十五頁(yè),共92頁(yè)。d.檢測(cè)技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn)

隨著W級(jí)功率芯片制造技術(shù)和白光LED工藝技術(shù)的發(fā)展,LED產(chǎn)品正逐步進(jìn)入照明市場(chǎng),顯示或指示用的傳統(tǒng)LED產(chǎn)品參數(shù)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)試方法已不能滿足照明應(yīng)用的需要。國(guó)內(nèi)外的半導(dǎo)體設(shè)備儀器生產(chǎn)企業(yè)也紛紛推出各自的測(cè)試儀器,不同的儀器使用的測(cè)試原理、條件、標(biāo)準(zhǔn)存在一定的差異,增加了測(cè)試應(yīng)用、產(chǎn)品性能比較工作的難度和問(wèn)題復(fù)雜化。LED要往照明業(yè)拓展,建立LED照明產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)是產(chǎn)業(yè)規(guī)范化的重要手段。第四十六頁(yè),共92頁(yè)。e.篩選技術(shù)與可靠性保證

由于燈具外觀的限制,照明用LED的裝配空間密封且受到局限,不利于LED散熱,這意味著照明LED的使用環(huán)境要劣于傳統(tǒng)顯示、指示用LED產(chǎn)品。另外,照明LED是處于大電流驅(qū)動(dòng)下工作,這就對(duì)其提出更高的可靠性要求。在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中,針對(duì)不同的產(chǎn)品用途,進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崂匣囟妊h(huán)沖擊、負(fù)載老化工藝篩選試驗(yàn),剔除早期失效品,保證產(chǎn)品的可靠性很有必要。第四十七頁(yè),共92頁(yè)。f.靜電防護(hù)技術(shù)

由于GaN是寬禁帶材料,電阻率較高,該類芯片在生產(chǎn)過(guò)程中因靜電產(chǎn)生的感生電荷不易消失,累積到相當(dāng)?shù)某潭?,可以產(chǎn)生很高的靜電電壓。當(dāng)超過(guò)材料的承受能力時(shí),會(huì)發(fā)生擊穿現(xiàn)象并放電。藍(lán)寶石襯底的藍(lán)色芯片其正負(fù)電極均位于芯片上面,間距很?。粚?duì)于InGaN/AlGaN/GaN雙異質(zhì)結(jié),InGaN有源層僅幾十納米,對(duì)靜電的承受能力很小,極易被靜電擊穿,使器件失效。GaN基LED和傳統(tǒng)的LED相比,抗靜電能力差是其鮮明的缺點(diǎn),靜電導(dǎo)致的失效問(wèn)題已成為影響產(chǎn)品合格率和使用推廣的一個(gè)非常棘手的問(wèn)題。因此,在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中,靜電的防范是否得當(dāng),直接影響到產(chǎn)品的成品率、可靠性和經(jīng)濟(jì)效益。第四十八頁(yè),共92頁(yè)。靜電的防范技術(shù)有如下幾種:①對(duì)生產(chǎn)使用場(chǎng)所從人體、臺(tái)、地、空間及產(chǎn)品傳輸、堆放等方面實(shí)施防范。②芯片上設(shè)計(jì)靜電保護(hù)線路。③LED上裝配靜電保護(hù)器件。第四十九頁(yè),共92頁(yè)。2)多芯片集成封裝

為避免大尺寸芯片導(dǎo)致發(fā)光效率的下降等問(wèn)題,可采用小尺寸芯片集成的方法來(lái)增加單管最大可發(fā)光通量。由于小芯片技術(shù)相對(duì)成熟,各種高熱導(dǎo)絕緣夾層的鋁基板散熱好,對(duì)提高光效和增加器件穩(wěn)定性都有好處并便于芯片集成和散熱,效果不錯(cuò),結(jié)構(gòu)和封裝形式較多。但正裝小芯片固有的缺點(diǎn)如電極引線遮光等問(wèn)題,在多片集成時(shí)會(huì)加重而影響發(fā)光效率,在基板上設(shè)計(jì)“無(wú)引線”的芯片集成可避免引線問(wèn)題,是提高小芯片集成光效的途徑之一。第五十頁(yè),共92頁(yè)。圖2-7多芯片集成封裝產(chǎn)品第五十一頁(yè),共92頁(yè)。3)熒光粉

在白光LED的制備中,熒光粉是一個(gè)非常關(guān)鍵的材料,它的性能直接影響白光LED的亮度、色坐標(biāo)、色溫及顯色性等。利用LED芯片配合特定熒光粉產(chǎn)生白光的方法工藝簡(jiǎn)單,成本較低。目前商品化白光LED產(chǎn)品及未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)仍以單芯片型為主流,而開(kāi)發(fā)具有良好發(fā)光特性的熒光粉是得到高亮度、高發(fā)光效率、高顯色性白光LED的關(guān)鍵所在。第五十二頁(yè),共92頁(yè)。通常,選擇LED用熒光粉的標(biāo)準(zhǔn)是:①熒光粉能被與之匹配的LED芯片有效激發(fā);②并具有高的量子效率;③化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。第五十三頁(yè),共92頁(yè)。目前采用熒光粉產(chǎn)生白光共有三種方式:藍(lán)光LED配合黃色熒光粉;藍(lán)光LED配合紅色、綠色熒光粉;UV-LED配合紅、綠、藍(lán)三色熒光粉。目前商品化的白光LED多屬藍(lán)光LED配合黃色熒光粉的單芯片型,藍(lán)光LED配合紅色、綠色熒光粉的白光產(chǎn)生方式只是在OSRAR、Lumileds等公司的專利上報(bào)道過(guò),但仍未有商品化產(chǎn)品出現(xiàn),而UV-LED配合三色熒光粉的方式目前也尚處于開(kāi)發(fā)中。第五十四頁(yè),共92頁(yè)。55六、LED的結(jié)構(gòu)及發(fā)光原理

結(jié)構(gòu):50年前人們已經(jīng)了解半導(dǎo)體材料可產(chǎn)生光線的基本知識(shí),第一個(gè)商用二極管產(chǎn)生于1960年。LED是英文lightemit-tingdiode(發(fā)光二極管)的縮寫(xiě),它的基本結(jié)構(gòu)是一塊電致發(fā)光的半導(dǎo)體材料,置于一個(gè)有引線的架子上,然后四周用環(huán)氧樹(shù)脂密封,起到保護(hù)內(nèi)部芯線的作用,所以LED的抗震性能好。第五十五頁(yè),共92頁(yè)。56圖3第五十六頁(yè),共92頁(yè)。57圖4第五十七頁(yè),共92頁(yè)。58原理:LED的實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)是半導(dǎo)體PN結(jié),核心部分由P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體組成的晶片,在P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體之間有一個(gè)過(guò)渡層,稱為PN結(jié)。其發(fā)光原理可以用PN結(jié)的能帶結(jié)構(gòu)來(lái)做解釋。制作半導(dǎo)體發(fā)光二極管的半導(dǎo)體材料是重?fù)诫s的,熱平衡狀態(tài)下的N區(qū)有很多遷移率很高的電子,P區(qū)有較多的遷移率較低的空穴。第五十八頁(yè),共92頁(yè)。59在常態(tài)下及PN結(jié)阻擋層的限制,二者不能發(fā)生自然復(fù)合,而當(dāng)給PN結(jié)加以正向電壓時(shí),由于外加電場(chǎng)方向與勢(shì)壘區(qū)的自建電場(chǎng)方向相反,因此勢(shì)壘高度降低,勢(shì)壘區(qū)寬度變窄,破壞了PN結(jié)動(dòng)態(tài)平衡,產(chǎn)生少數(shù)載流子的電注入??昭◤腜區(qū)注入N區(qū),同樣電子從N區(qū)注入到P區(qū),注入的少數(shù)載流子將同該區(qū)的多數(shù)載流子復(fù)合,不斷的將多余的能量以光的形式輻射出去(從紫外到紅外不同顏色的光線)。光的強(qiáng)弱與電流有關(guān)。

第五十九頁(yè),共92頁(yè)。60發(fā)光二極管是由Ⅲ-Ⅳ族化合物,如GaAs(砷化鎵)、GaP(磷化鎵)、GaAsP(磷砷化鎵)等半導(dǎo)體制成的,其核心是PN結(jié)。因此它具有一般P-N結(jié)的I-V特性,即正向?qū)ǎ聪蚪刂?、擊穿特性。如圖5所示。第六十頁(yè),共92頁(yè)。61鍺二極管伏安特性圖5硅二極管伏安特性第六十一頁(yè),共92頁(yè)。62

圖5-1第六十二頁(yè),共92頁(yè)。63七、LED光源的特點(diǎn)

優(yōu)點(diǎn):1.電壓:LED使用低壓電源,供電電壓在2-24V之間,根據(jù)產(chǎn)品不同而異,所以它是一個(gè)比使用高壓電源更安全的電源,特別適用于公共場(chǎng)所。2.效能:消耗能量較同光效的白熾燈減少80%。3.適用性:很小,每個(gè)單元LED小片是3-5的正方形,所以可以制備成各種形狀的器件,并且適合于易變的環(huán)境。4.穩(wěn)定性:10萬(wàn)小時(shí),光衰減為初始的50%。5.主動(dòng)發(fā)光,一般產(chǎn)品發(fā)光強(qiáng)度>1cd,高的可達(dá)10~30cd;第六十三頁(yè),共92頁(yè)。64

6.響應(yīng)時(shí)間:其白熾燈的響應(yīng)時(shí)間為毫秒級(jí),LED燈的響應(yīng)時(shí)間為納秒級(jí)。對(duì)于直接復(fù)合型材料為16~160MHZ;對(duì)于間接復(fù)合型材料為MHZ;7.對(duì)環(huán)境污染:無(wú)有害金屬汞。8.顏色:改變電流可以變色,發(fā)光二極管方便地通過(guò)化學(xué)修飾方法,調(diào)整材料的能帶結(jié)構(gòu)和帶隙,實(shí)現(xiàn)紅黃綠蘭橙多色發(fā)光。如小電流時(shí)為紅色的LED,隨著電流的增加,可以依次變?yōu)槌壬?,黃色,最后為綠色。第六十四頁(yè),共92頁(yè)。65

9.價(jià)格:LED的價(jià)格比較昂貴,較之于白熾燈,幾只LED的價(jià)格就可以與一只白熾燈的價(jià)格相當(dāng),而通常每組信號(hào)燈需由上300~500只二極管構(gòu)成。缺點(diǎn):電流大、功耗大。第六十五頁(yè),共92頁(yè)。66

八、LED發(fā)光器件光度學(xué)參數(shù)的測(cè)量相關(guān)光度學(xué)與輻射度學(xué)參數(shù)有:1.光通量Φv(LuminousFlux):通過(guò)發(fā)光二極管的正向電流為規(guī)定值時(shí),器件光學(xué)窗口發(fā)射的光通量。2.發(fā)光強(qiáng)度Iv(LuminousIntensity):光源在單位立體角內(nèi)發(fā)射的光通量,可表示為IV=dΦ/dΩ。3.相對(duì)光譜能量(功率)分布P()(RelativeSpectralDistributions):在光輻射波長(zhǎng)范圍內(nèi),各個(gè)波長(zhǎng)的輻射能量分布情況。第六十六頁(yè),共92頁(yè)。674.峰值發(fā)射波長(zhǎng)p(Peak-emissionWavelength):光譜輻射功率最大的值所對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。5.光譜半波寬Δ(FullWidthHalfMaximum,F(xiàn)WHM):峰值發(fā)射波長(zhǎng)的輻射功率的1/2所對(duì)應(yīng)兩波長(zhǎng)的間隔。第六十七頁(yè),共92頁(yè)。68九、LED的應(yīng)用

由于發(fā)光二極管的顏色、尺寸、形狀、發(fā)光強(qiáng)度及透明情況等不同,所以使用發(fā)光二極管時(shí)應(yīng)根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行恰當(dāng)選擇。由于發(fā)光二極管具有最大正向電流IFm、最大反向電壓VRm的限制,使用時(shí),應(yīng)保證不超過(guò)此值。為安全起見(jiàn),實(shí)際電流IF應(yīng)在0.6IFm以下;應(yīng)讓可能出現(xiàn)的反向電壓VR<0.6VRm。LED被廣泛用于種電子儀器和電子設(shè)備中,可作為電源指示燈、電平指示或微光源之用。紅外發(fā)光管常被用于電視機(jī)、錄像機(jī)等的遙控器中。第六十八頁(yè),共92頁(yè)。69(1)利用高亮度或超高亮度發(fā)光二極管制作微型手電的電路如圖6所示。圖中電阻R限流電阻,其值應(yīng)保證電源電壓最高時(shí)應(yīng)使LED的電流小于最大允許電流IFm。圖6第六十九頁(yè),共92頁(yè)。70(2)圖7(a)、(b)、(c)分別為直流電源、整流電源及交流電源指示電路。圖(a)中的電阻≈(E-VF)/IF;圖(b)中的R≈(1.4Vi-VF)/IF;圖(c)中的R≈Vi/IF式中,Vi——交流電壓有效值。第七十頁(yè),共92頁(yè)。71圖7第七十一頁(yè),共92頁(yè)。72

(3)單LED電平指示電路。在放大器、振蕩器或脈沖數(shù)字電路的輸出端,可用LED表示輸出信號(hào)是否正常,如圖8所示。R為限流電阻。只有當(dāng)輸出電壓大于LED的閾值電壓時(shí),LED才可能發(fā)光。圖8圖9第七十二頁(yè),共92頁(yè)。73(4)單LED可充作低壓穩(wěn)壓管用。由于LED正向?qū)ê螅娏麟S電壓變化非??欤哂衅胀ǚ€(wěn)壓管穩(wěn)壓特性。發(fā)光二極管的穩(wěn)定電壓在1.4~3V間,應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行選擇VF,如圖9所示。第七十三頁(yè),共92頁(yè)。74

(5)電平表。目前,在音響設(shè)備中大量使用LED電平表。它是利用多只發(fā)光管指示輸出信號(hào)電平的,即發(fā)光的LED數(shù)目不同,則表示輸出電平的變化。圖10是由5只發(fā)光二極管構(gòu)成的電平表。當(dāng)輸入信號(hào)電平很低時(shí),全不發(fā)光。輸入信號(hào)電平增大時(shí),首先LED1亮,再增大LED2亮……。圖10第七十四頁(yè),共92頁(yè)。75

(6)單色光LED應(yīng)用最初LED用作儀器儀表的指示光源,后來(lái)各種光色的LED在交通信號(hào)燈和大面積顯示屏中得到了廣泛應(yīng)用,產(chǎn)生了很好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。以12英寸的紅色交通信號(hào)燈為例,在美國(guó)本來(lái)是采用長(zhǎng)壽命,低光效的140瓦白熾燈作為光源,它產(chǎn)生2000流明的白光。經(jīng)紅色濾光片后,光損失90%,只剩下200流明的紅光。而在新設(shè)計(jì)的燈中,Lumileds公司采用了18個(gè)紅色LED光源,包括電路損失在內(nèi),共耗電14瓦,即可產(chǎn)生同樣的光效。第七十五頁(yè),共92頁(yè)。76汽車信號(hào)燈也是LED光源應(yīng)用的重要領(lǐng)域。1987年,我國(guó)開(kāi)始在汽車上安裝高位剎車燈,由于LED響應(yīng)速度快(納秒級(jí)),可以及早讓尾隨車輛的司機(jī)知道行駛狀況,減少汽車追尾事故的發(fā)生。另外,LED燈在室外紅、綠、藍(lán)全彩廣告顯示屏得到了廣泛的應(yīng)用。第七十六頁(yè),共92頁(yè)。77360°LED環(huán)型顯示器第七十七頁(yè),共92頁(yè)。78工作原理第七十八頁(yè),共92頁(yè)。79第七十九頁(yè),共92頁(yè)。80十、白光LED的開(kāi)發(fā)第八十頁(yè),共92頁(yè)。81白光LED的開(kāi)發(fā)對(duì)于一般照明,或顯示器的背照光而言,人們更需要白色的光源。1998年發(fā)白光的LED開(kāi)發(fā)成功。這種LED是將GaN芯片和釔鋁石榴石(YAG)封裝在一起做成。GaN芯片發(fā)藍(lán)光(λ=465nm,譜寬=30nm),高溫?zé)Y(jié)制成的含Ce3+YAG熒光粉受此藍(lán)光激發(fā)后發(fā)出黃色光發(fā)射,峰值550nm。藍(lán)光LED基片安裝在碗形反射腔中,覆蓋以混有YAG的樹(shù)脂薄層,約200-500nm?,F(xiàn)在,對(duì)于InGaN/YAG白色LED,通過(guò)改變YAG熒光粉的化學(xué)組成和調(diào)節(jié)熒光粉層的厚度,可以獲得色溫3500-10000K的各色白光。第八十一頁(yè)

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