直讀光譜儀維護作業(yè)指導書

直讀光譜儀維護作業(yè)指導書直讀光譜儀維護作業(yè)指導書上海騰中機電有限公司2008年度直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第1頁。

直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第1頁。主題：4460擦透鏡編號：ZD4460-002工具：高純度酒精、脫脂棉、洗耳球LEVEL：3觸發(fā)條件：當各元素強度降低，且客戶要求時清理透鏡，清理時客戶應有人員在場。步驟：關閉光閘拔下透鏡加熱電纜插頭拔出透鏡觀察是否有劃痕，如發(fā)現(xiàn)應先向客戶指出取兩塊脫脂棉蘸上酒精分別放在透鏡兩側(cè)，溶解污物約10分鐘；用脫脂棉輕輕擦拭透鏡表面，力度要輕，注意指甲不要觸及到透鏡；用洗耳球吹透鏡，防止透鏡上帶有脫脂棉纖維；對光源仔細觀察透鏡上是否有附著物；擦拭完畢將透鏡插入槽內(nèi)約一半；接上透鏡加熱線纜，加熱10分鐘；完全插入透鏡；打開光閘；開始做標準化；完畢。直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第2頁。

主題：激發(fā)臺清灰直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第2頁。編號：ZD4460－001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件：激發(fā)臺內(nèi)部清灰在每月應進行一次，主要包括CCS母板，CCS電源板，CCS邏輯板和激發(fā)板的清灰。 注：當OE出現(xiàn)BITBUS報警，也可能是激發(fā)臺內(nèi)灰塵大引起。步驟： 步驟如下，在操作時，特別應注意線纜插頭的拔插，不能損壞插頭。進入OE初始化菜單，打印儀器狀態(tài)。關閉OE軟件；關閉負高壓和電子箱電源；打開儀器左側(cè)面板，在關閉負高壓和電子箱電源關閉20S后拔下CCS電源插頭；拆下激發(fā)臺DOOR，和側(cè)板；擰開激發(fā)臺罩固定螺絲，輕輕拆下激發(fā)臺罩；帶靜電環(huán)或觸摸機器外殼發(fā)掉身體靜電；拔下OF光纜；分別拆下CCS電源和邏輯板，用洗耳球或壓縮空氣清灰；用同樣方法清理CCS母板和臺罩內(nèi)各部分灰塵；裝好CCS電源板和邏輯板；拆下激發(fā)板外殼風扇，先拔下風扇電源拆下時注意不要損壞風扇接地線，風扇清灰；拔下激發(fā)板與母板連接的線纜插頭XE1，擰下激發(fā)板底部4個螺絲，拆下激發(fā)板；用同樣的方法清灰；安裝激發(fā)板，注意電極底部插頭，插入激發(fā)板高壓插座，擰上螺絲；插上OF電纜到CCS邏輯板和XE1到母板；插上CCS電源插頭，給上負高壓和電子柜電源；打開OE軟件；激發(fā)廢樣看，激發(fā)是否正常；如不正常，檢查XE1和OF。以及激發(fā)板安裝位置。正常后，退出OE，關閉負高壓和電子柜電源，拔下CCS電源；安裝風扇；安裝激發(fā)臺罩，安裝時兩人進行，一人負責安裝，一人負責觀察是否壓到激發(fā)臺內(nèi)部線纜。；安裝激發(fā)臺DOOR和側(cè)板；重復16；重復17，18；正常后完畢。直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第3頁。

主題：真空泵換真空油直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第3頁。編號：ZD4460－003工具：螺絲刀、六棱扳手、真空泵油、吸塵器、紗布、酒精觸發(fā)條件：步驟：打印機器狀態(tài)；關OE軟件；關電子柜電源，關負高壓，關真空泵電源，關水泵電源；除去機柜上雜物；開機柜頂蓋；緩慢放掉真空后，擰緊真空閥；扣上機體上蓋；拔掉真空泵電源線；用吸塵器清除干凈機柜后殼內(nèi)灰塵，擦干凈真空泵；擦干凈油管及線纜；用扳手擰開真空泵與真空抽氣管之間的壓扣；清潔真空抽氣管的端口；拿下真空泵放在合適位置，清潔真空泵上的灰塵和污垢；用紗布和酒精清潔抽真空的氣口；拿下真空泵上的小端蓋，露出注油口；擰開頂部兩個注油口；用容器在出油口接好，緩慢擰開排油口，將泵內(nèi)原有的真空油排除；向出油口方向傾斜真空泵將油全部排除；擰上出油口；將燒杯內(nèi)倒入少量真空油，倒入注油口中，輕輕搖動真空泵，洗出污物；打開出油口排出清洗用的真空油；擰上排油口；用燒杯向真空泵注油，油位到達油位指示窗口最上面兩道橫線的中間部位；擰上注油口螺絲；安裝好小端蓋；將真空泵在機柜內(nèi)擺好位置；裝好真空抽氣管，用扳手擰住，防止漏氣；插上真空泵電源線，檢查確認無誤；送主電源開關，送水泵開關，送真空泵開關、送負高壓、送電子柜電源；開OE軟件，監(jiān)測真空狀態(tài)真空正常后，打點正常，工作完畢。直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第4頁。

主題：更換膜泵V3膜泵換膜片直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第4頁。編號：ZD4460－001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、吸塵器、鑷子、專用工具、紗布觸發(fā)條件：真空上不去膜泵異響年度維護一、主機拆膜泵步驟：進OE軟件，打印當前機器狀態(tài)；關閉儀器后面泵電源開關；拿掉光譜儀頂蓋上的雜物；用六棱扳手擰開光譜儀頂蓋的緊固螺栓，向后掀起頂蓋；用螺絲刀緩緩擰松真空放氣閥螺絲，待聽到細微的放氣聲，停止旋動，切忌不可一下完全擰松，防止光室受到?jīng)_擊；待真空室壓力完全到大氣壓后，旋緊放氣螺栓，至未放氣前狀態(tài)；扣上光譜儀頂蓋；用吸塵器清理儀器后面的灰塵，紗布把后面的線纜盡量清理干凈；拔下膜泵上的電源線；用平口螺絲刀或六棱扳手擰松膜泵與真空塑料管的鐵箍螺絲，使膜泵能夠取下；用塑料蓋或紗布堵住塑料管防止灰塵進入，用紗布時注意不要落下布纖維；二、安裝膜泵步驟：檢查真空塑料管接口，注意有無雜物，如塑料管口有較大變形，可用電工刀適當切下一截，用偏口嗑絲鉗剪斷螺旋的鋼絲；注意應保證真空塑料管仍有符合規(guī)定的長度；將塑料管套上膜泵抽氣管，保證重疊部分的長度；套上密封鐵箍并旋緊；放置好膜泵的位置，平穩(wěn)不能壓在線纜上；插上膜泵電源；檢查無誤后，打開膜泵開關，打開儀器泵電源開關；聽膜泵的運轉(zhuǎn)聲音，應為正常的突突聲，無異常雜音，有時剛送電膜泵會有異常聲音，通長在20S內(nèi)正常，如異常，應立即關閉儀器泵電源；OE軟件讀狀態(tài)，監(jiān)測真空情況，正常情況下在20分鐘左右，真空度達到30以下；三、更換膜片LEVEL：3觸發(fā)條件：舊膜泵膜片損壞后，如有膜片備件，應及時更換膜片，恢復膜泵正常功能； 工作應2人進行，一人操作，一人配合和提醒，不可兩人同時上手。步驟：將膜泵外面擦拭干凈，抽氣口堵上原廠的防塵塑料帽，在桌子上放置平穩(wěn)；直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第5頁。用活扳手擰下膜泵頂部壓蓋上的氣管螺栓，通常為很色的，與底部連接；直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第5頁。用六棱扳手對角擰開膜泵方形壓蓋，小心取下，注意橡膠氣門可能粘在壓蓋上，不要弄丟；觀察并紀錄橡膠氣門的位置和方向，不能上錯；用記號筆標記2個膜片壓蓋的位置，防止在安裝的時候弄反，取下壓蓋放好；用吸塵器除去黑色粉末狀污物，并用紗布和酒精擦拭干凈；用標記筆記下膜片夾緊裝置的位置；用專用工具擰下一個膜片，擰松后要小心，防止下面的薄金屬墊片掉入膜泵腔內(nèi)；注意觀察安裝關系，放置號擰下的膜片、夾緊裝置和墊片；可觀察膜片損壞程度；用吸塵器清理膜泵腔內(nèi)的粉塵，用紗布和酒精擦拭干凈腔口；用紗布和酒精擦拭干凈取下的膜片夾持裝置，夾上一個新膜片；放置好金屬墊片，不要滑入膜泵腔內(nèi)；用專用工具夾持好膜片夾持裝置（將膜片向外側(cè)即工具側(cè)翹起，工具夾住膜片下部的六方形；對準螺絲擰入，力度以擰緊為止；重復6－12換好另一個膜片；將膜片的壓蓋按標記放到膜片上；把新的氣門按正確的方向放在膜片壓蓋上；把方形頂蓋輕輕放置在膜片壓蓋上，注意不能把氣門碰錯位；用手帶上6個緊固螺絲，按對角方向，遞進擰緊螺絲；擰上氣管氣路螺絲，膜泵一側(cè)的膜片更換完畢；將膜泵反轉(zhuǎn)，底部朝上，重復2－20步驟，另一面2個膜片更換完畢；將換下的舊膜片4個，橡膠氣門4個以及專用工具交與客戶；換好后，在220V下，可開機試驗，聽聲音如正常，條件允許可上機試驗，不允許的話，入庫待有機會上機試驗；如不正常，分析工作過程，重復上面的過程，切忌心急；如不正常，也有可能膜泵其他地方也有損壞，不要再動，等高水平工程師指導。直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第6頁。

主題：更換分子泵分子泵注油直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第6頁。編號：ZD4460－001工具：觸發(fā)條件：直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第7頁。

主題：描跡和標準化直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第7頁。編號：ZD4460－001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件：直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第8頁。

主題：布置光譜氬氣氣路直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第8頁。編號：觸發(fā)條件：光譜加凈化器氣路重新布置工具：扳手、紗布步驟：氬氣凈化器上電，檢查正常；面對凈化器后面，左邊為出氣端，右邊為進氣端，中間為反清洗時的廢氣端；布置凈化器與氬氣瓶連接銅管，并在連接處分別圈出圓形緩沖環(huán)；布置凈化器出氣端與光譜儀進氣端銅管，在凈化器出氣端留出緩沖環(huán)；銅管與氣嘴的連接要仔細，可加一些密封帶，保證不漏氣；測試密封螺母和氣嘴是否能順利和氣瓶、凈化器、儀器連接；擰緊銅管與氣瓶的密封螺絲，必要時可以加密封帶；打開氣瓶二次壓，用氬氣吹出管路的灰塵約半分鐘，關閉二次壓；插入氣瓶出氣銅管嘴到凈化器的進氣，同時在凈化器出氣口插入單個氣嘴，打開二次壓，開凈化器電源，吹洗半分鐘后，關閉二次壓；拔出氣嘴，接好凈化器出氣銅管，吹洗半分鐘；關二次壓；連接儀器與銅管的密封螺絲，緩緩開二次壓至0.25-0.3Mpa；用紗布醮肥皂水檢查銅管，以及各連接處是否漏氣；調(diào)整儀器激發(fā)電極位置；激發(fā)廢樣，觀察激發(fā)點形狀和顏色；正常情況下，激發(fā)10－15個點后，激發(fā)點應該正常，可以帶控樣或標準化；如不正常，懷疑氣路污染或凈化器不正常；注意：凈化器電源應與儀器電源共地直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第9頁。

主題：換廢氣過濾油直讀光譜儀維護作業(yè)指導書全文共11頁，當前為第9頁。工具：真空油、紗布，記號筆觸發(fā)條件：三月維護步驟：從過濾器拔下廢氣排放管，并檢查是否完好，應沒有漏氣或明顯的死褶，如發(fā)現(xiàn)應更換，更換時需拆開激發(fā)臺罩，參考ZD4460-001；用雙手逆時針擰開儲油器藍色塑料密封螺母，一人擰，一人扶住儲油器，防止落下傾倒后，污染儀器；拔出濾芯，用