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文檔簡介

超高真空系統(tǒng)簡述超高真空系統(tǒng)的配置獲取設(shè)備有機(jī)械泵，分子泵，離子濺射泵和鈦升華泵。機(jī)械泵利用機(jī)械的方法抽氣獲得真空的設(shè)備都稱為機(jī)械泵。其大致的原理如圖1圖1分子泵原理示意圖從泵中排出去。分子泵到泵的出口。復(fù)合分子泵是由以上兩種分子泵串聯(lián)起來組成的復(fù)合型的分子泵。的過程中要注意啟動(dòng)分子泵所需要的最低真空度。而且分子泵對(duì)氫的壓縮比較低，需要使用升華泵來克服這個(gè)缺點(diǎn)。離子泵2濺射離子泵(200～400L/s)10-5～10-7PaArCH10-8Pa，因此要4求離子泵在10-7Pa范圍內(nèi)仍保持其名義抽氣速度，同時(shí)要求泵極限真空1×1-9PaRIB10-7Pa無法正常工作。

圖2離子泵原理示意圖升華泵VACOM鉬合金絲(85%鈦，15Ar，是制作鈦升華泵的理想材料。3變化時(shí)一般不會(huì)損壞。圖3鈦升華泵示意圖超高真空搭建的幾種方式圖3鈦升華泵示意圖有一下幾種方式：由分子泵串聯(lián)機(jī)械泵組成的超高真空系統(tǒng)，這種系統(tǒng)要求在機(jī)械泵的分子泵串聯(lián)分子篩吸附泵,則它們就構(gòu)成了無油的超高真空系統(tǒng)，這個(gè)系統(tǒng)比較清潔。械泵的入口管道上要加過濾器來捕集油。由擴(kuò)散泵串聯(lián)擴(kuò)散泵(作為中間泵)然后再串聯(lián)機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng)由擴(kuò)散泵和鈦泵并聯(lián)作為主泵,讓擴(kuò)散泵單獨(dú)串聯(lián)前級(jí)機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng)。如鈉燈超高真空封接爐系統(tǒng)。它可以達(dá)到的極限真空度為1.33×10-6Pa的主要成分是H2，約占90%左右，其余成分以CO，水份等為主。鈦升華泵抽H2及CO的效果非常好，但對(duì)惰性氣體幾乎沒有抽速，而濺射離子泵對(duì)惰性氣體的抽速很高，因此我們可以搭配濺射離子

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