掃描電子顯微鏡

2023-07招標(biāo)設(shè)備清單紅序號(hào)音設(shè)備亭名稱(chēng)速數(shù)量專(zhuān)技術(shù)均參數(shù)吵備注交1褲掃描也電子性顯微岔鏡題1蚊見(jiàn)附租件尖進(jìn)口摘2研透射媽電子讓顯微搶鏡刮1灣見(jiàn)附王件活進(jìn)口飲3梯冷凍翠超薄尤切片廳機(jī)幻1絕見(jiàn)附加件刑進(jìn)口附件：1、掃描電子顯微鏡（進(jìn)口）場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要用于材料表面的微觀形貌的高分辨觀察，可配備X射線能譜儀等附件，可同時(shí)進(jìn)行微區(qū)的成分分析，應(yīng)具有配備X射線能譜儀系統(tǒng)等的相應(yīng)安裝接口。技術(shù)參數(shù)1、分辨率：二次電子圖像：1.0nm(15kV),1.4nm(1kV)背散射電子像：3.0nm(15kV)2、加速電壓:0.1-30KV連續(xù)可調(diào)3、束流范圍：1pA～2nA連續(xù)可調(diào)4、放大倍率25X–1,000,000X；5、真空度：電子槍室高真空10-7Pa樣品室真空10-4Pa6、泵系統(tǒng)：磁懸浮分子泵、離子泵和機(jī)械泵7、電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍?zhuān)焊叻€(wěn)定性場(chǎng)發(fā)射電子源，能自動(dòng)合軸調(diào)整聚光鏡：電磁透鏡會(huì)聚系統(tǒng)，束流強(qiáng)度可連續(xù)可調(diào)；光闌角度控制透鏡控制束斑尺寸物鏡光闌：X/Y方向精細(xì)可調(diào)對(duì)中鹿電烤圖像賺位巧移士：鉛±5銹μm羊，璃可通緒過(guò)控蜘制電泳子束令移動(dòng)季實(shí)現(xiàn)棍8、獻(xiàn)樣品蝦室和街樣品鞋臺(tái)筍樣品緊臺(tái)：鉤5軸滑馬達(dá)謝驅(qū)動(dòng)獎(jiǎng)全對(duì)雞中樣根品臺(tái)請(qǐng),搭示意胞圖在糠監(jiān)視電器上掙顯示沸樣品辭臺(tái)尺臣寸睜可裝音直徑償不小勤于簽15暗0m健m尖的樣砍品僻行程被：哨X各＝伸70旅mm校,徑Y(jié)=鞋5虹0m膊m域,屯Z=清1.銜5聚-西25燥mm套傾斜慧坡-逐5羊°驅(qū)-皆+急7握0°迫旋轉(zhuǎn)鍬打36下0°綿樣品餅更換成：調(diào)快速鍋氣鎖帽更換市樣品掌(變直徑藥最大陶15果0m徐m蓬)持9、喊附件店接口拍：樣撞品室排提供熊包括委二次國(guó)電子粘探測(cè)鼓器、臺(tái)背散推射電般子探桿測(cè)器水。稼10疤、捏探測(cè)院器及樓成像桑系統(tǒng)調(diào)高位爺和低跑位野二次燕電子想探測(cè)愚器進(jìn)：悠二次樣電子沈像翼背散潑射電針子探待測(cè)器座：本純聰成抽份毅像甜和宋形貌普像平成像時(shí)模式翠：同桃時(shí)得鑄到二臣次電凱子像阿、背凈散射厲電子膽像只二次匯電子怎和背庫(kù)散射狠電子早混合諸信號(hào)貧圖像跟，且糖其相縫對(duì)含膝量連升續(xù)可嫩調(diào)距11子、竭掃描哈電鏡暮計(jì)算暢機(jī)系是統(tǒng)鼻操作搜系統(tǒng)攻W哥in彩do桃ws蹲?換X錢(qián)P綁Pr映of奪es撫si較on路al坐顯示配器式嬸19仗英寸片L果CD千12立、自愈動(dòng)離擱子濺腿射儀投（評(píng)進(jìn)口惡）嚴(yán)1蟻套劍工作裁壓力謀：好拴于擊20知Pa劫客濺射驢電流催：慎10險(xiǎn),2管0,歲30丘,4葛0m擔(dān)A飽濺射盟靶：工白金臺(tái)樣品缺臺(tái)：絲直徑慈64爭(zhēng)mm晃真空哪室：野12緞0m岸m袋(咬直徑漢)x帽10犁0m枕m衣(姥高澡)城13桐、配妥件母拉伸俘臺(tái)一事套港其它蛇需要弓的附插件、斬備件嫌、特沾殊工驗(yàn)具和能消耗眉品搶提供援二年坡以上枯備品串備件擇，拴提供父?jìng)溆猛魣?chǎng)發(fā)玉射電凝子槍攔一支賊2、券透射隊(duì)電子賄顯微毛鏡宮（進(jìn)渴口）窩本系禮統(tǒng)主厲要用走于材畝料的威高分兵辨形欠貌觀童察和乒微區(qū)吩的晶鴨體結(jié)瓦構(gòu)、簡(jiǎn)成分握分析仗，系互統(tǒng)由釣電子細(xì)光學(xué)擱系統(tǒng)跨、高妨壓系艷統(tǒng)、選真空倚系統(tǒng)賀等部廊分組智成腦1、援電子犯槍?zhuān)涸戳鹋莼|刮(L沉aB遲6)乖燈達(dá)絲眉2、賀分辨捐率粱：國(guó)點(diǎn)掛分辨胞率：增0.談19瞎nm財(cái)；桶線分說(shuō)辨率險(xiǎn)：賣(mài)0殘.維14僻nm率3、面加速相電壓誕:炒2床00刪kV稼4、獲物鏡摔電流眼穩(wěn)定啄度：岸1京pp汪m/潮mi伶n確(p暗ea描k案to占p協(xié)ea炎k)型5、矛物鏡腫焦距縮：疑1.頌9m解m蒼球差種系數(shù)腔：轉(zhuǎn)0.摸5m噴m宜色差吸系數(shù)喚：士1.妙1m語(yǔ)m郵最小件聚焦最步長(zhǎng)島：1辱.0倡nm技6、勝最小本束斑點(diǎn)尺寸忌TE政M模副式：咐20疏nm緞以下部ED裕S模佳式/黎納米倆束電賀子衍汁射(呼NB丘D)斷模式粒/會(huì)趨聚束僻電子前衍射童(C碗BD萌)模污式：顯0.尼5n捏m以叉下商放大槐倍率快：淘MA魂G模誕式：抬脫x螞2,異00谷0擠-銜x膊1,蘇50娘0,秒00參0汪；時(shí)LO惑W量MA砍G?；适剑捍鐇株50蛾-盟x歪6,舍00減0幅SA促M(fèi)瞞AG薄模式俗：五x8猾,0間00稅紡–夕x獵80慨0,依00樹(shù)0節(jié)；洲7、僑樣品廟更換煩：氣牙鎖方役式，錫自動(dòng)犧2段鮮抽氣每樣品減防污柱染液扁氮冷癢阱：溪標(biāo)準(zhǔn)綿樣品唇臺(tái)重碧復(fù)精植度：笛優(yōu)于引2晌μ壇m呈8、倦ED持S分糾析幾遭何條案件趁固體況角：善0.忌13虧s示tr肅.野以上桌（泡30匠mm裳2債活區(qū)糞面積攪檢測(cè)盆器梳）運(yùn)取出摔角：頃25抓°絮以上或醬（符30勵(lì)mm聚2漠活區(qū)筒面積盞檢測(cè)陡器賢），飼9、富真空有系統(tǒng)揉：琴高真豈空泵膚：腐（電溝子槍縫和樣袋品室評(píng)）離虎子泵下，喉15老0程l裕/s移，一靠個(gè)壞（觀紫察室員和照軍相室泛）擴(kuò)惡散泵盤(pán)，召4濟(jì)2逐0遇l姑/s為，一傻個(gè)駱低真韻空泵么：挑機(jī)械粘泵，獅10勾0拔l奏/m研in雷，一懷個(gè)帆真空孫度：港優(yōu)于聚2×鳳10鞠-5籍熊Pa蜓10僅、眼圖像您觀察者窗結(jié)大熒謀光屏造：灣直徑蘆16動(dòng)0晌mm弦以上然小熒長(zhǎng)光屏始：由標(biāo)準(zhǔn)財(cái)雙眼冬目鏡功：標(biāo)保準(zhǔn)六10固、版X炮射線族能譜孕分析套儀巨(E濱DS寶)（缺進(jìn)口因）區(qū)該設(shè)騎備作之為分霸析電癥子顯楚微鏡烤的主各要附榆件之沾一，跪通過(guò)幕測(cè)量諷在電榜子束輛的照別射下歪產(chǎn)生襲的X命射線賤的能焰量來(lái)揭確定此材料憂的成民份，負(fù)特別數(shù)適于犯測(cè)量斑重元宗素的劫成份撕，對(duì)振輕元蓬素也土可進(jìn)至行定鄭性分氧析。獅是材狐料科草學(xué)研痰究中漿不可視缺乏仿的研捕究手遙段之競(jìng)一笛探測(cè)淡器：暴S顧i(踩Li陸)半輝導(dǎo)體祖探測(cè)減器個(gè)能量膝分辨勸率：賴(lài)優(yōu)于畝13愚8e柏V奧有效去檢測(cè)患面積祥：另30持mm嗎2吃以剩上爬元素飯分析出范圍洋：少B薦5唇-U除92底液氮配罐容慢量：務(wù)9剪升寸探測(cè)鄭器制胃冷方傘式：淡液涌氮冷很卻擊應(yīng)用譜軟件拆：酬定性魂分析蠻、定摸量分排析、奶彩色魔面分權(quán)析等很11寸、C沫CD咳相機(jī)斜技術(shù)渡要求日CC遺D心相機(jī)泳是用伸來(lái)對(duì)蛇電子決衍射趁斑點(diǎn)蝦及高娃分辨黃像進(jìn)擊行實(shí)純時(shí)數(shù)安字化暮的設(shè)菊備，怎并有部進(jìn)行性圖像詢(xún)處理藝的功箱能，鞏因此煌要求監(jiān)含有妻先進(jìn)衣的軟銅件織分辨涌率歲：照4K杠x法2斗.識(shí)7查K盯像素涂以上務(wù)境(S感IS頭)瑞每個(gè)掌像素悄尺寸前：歇18廳μm胳x偵戒18性μm僚應(yīng)用拘軟件竄：湯嘆圖像削采集灑、處商理軟姜件包草耦合溉方式竊：信光姨纖耦需合柱安裝悅部位釘：廉底裝查式內(nèi)3、烏冷凍補(bǔ)超薄滲切片永機(jī)（撥進(jìn)口驗(yàn)）則獨(dú)立貝的彩色色觸椅摸屏愛(ài)控制陣單元旬，操枝作簡(jiǎn)蠢便。角控制糖器捕支持劉熱插濃拔。扇可控境制切蛾片機(jī)竟和冷護(hù)凍室眉。魚(yú)彩色扮觸摸糊屏可猴以控算制切待片機(jī)機(jī)和冷吵凍室刑，控弄制方恐式更延方便裁，簡(jiǎn)妹潔肺﹡斧重力輸切片版動(dòng)力它系統(tǒng)共，無(wú)去震動(dòng)政，切汽片精去度高洪，帶播有自躍動(dòng)保評(píng)護(hù)裝金置，轟不會(huì)礦損壞趨刀片陡和刀怕架。賞﹡境切片告厚度儀：兇半薄返切片怠厚度霞：截0.牛5杠μm善～季5μ洪m潔增量飼,南連續(xù)于可調(diào)鏡，正超薄敲切片燭厚度劣：跳1敲nm軋～棵1μ形m阻，增交量買(mǎi),吵連續(xù)促可調(diào)果切片視速度肥：切術(shù)片速欺度均≤慮0.劃05氣-速-頃10似0m浩m燭/s煙馬達(dá)揀驅(qū)動(dòng)坐刀臺(tái)后：衛(wèi)馬達(dá)諒驅(qū)動(dòng)己刀臺(tái)緣步進(jìn)枕:凝10濤mm耳的N他-S僑移動(dòng)貍種燒任六剛瘦忽果碎馬消達(dá)驅(qū)稍動(dòng)刀怖臺(tái)步冶進(jìn):搞克25健mm竄的E尤-W亮移動(dòng)字切片目記數(shù)缸器和售進(jìn)樣拖累加妄器，吸切片避速度戀和厚嫩度數(shù)損值設(shè)飯定的挎記憶愿系統(tǒng)各≥問(wèn)5碼全方輕位體接視顯攪微鏡哀，觀搞察角債度可概面向榜操作撞者傾艦斜，棵中心顯位置棄可移箱動(dòng)。厲非常絕方便伍操作某者觀竭察。弦有冷煩凍功鬼能，閃溫度活范圍申 章-1夫5o少C～祝-1讀85牢oC知；烘揭干溫五度：航11遞0浪o拼C觸，能抗夠完綁全除饅濕，怎切片崇機(jī)不幼會(huì)生稿銹。塌-1滾5度戀的工祖作溫削度，窄可以參溫暖烤聚合摔物切浸片。妻鬧訊弟液氮欺地上辟放置匙，波疼紋管吊連接零，震碑動(dòng)小篇、噪蓮音低寬。冷襯凍室拾連接角在切基片機(jī)而主機(jī)冶機(jī)架辮上，氧可以株減小罪外來(lái)母震動(dòng)置。冷曉?xún)鍪野?/p>