真空泵常見問題

真空泵常見問題第一頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三擴散泵

影響擴散泵性能的因素

1.擴散泵油蒸氣的反流擴散泵油蒸氣的反流可歸結(jié)為五種原因：*泵壁表面油膜和油滴的蒸發(fā)（如圖1所示）*噴嘴噴出的高速油蒸氣流碰到泵壁后的反射（如圖2所示）*一級噴口表面的油膜及油滴的蒸發(fā)（如圖3所示）*噴口邊緣高速油蒸氣流的散射（如圖4所示*室溫下油沿泵壁的表面遷移（爬移)(如圖5所示)

第二頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三反流示意圖

第三頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三2.氣體分子的反擴散

在擴散泵中，低真空端的氣體分子總會進(jìn)入高真空端，特別是某些質(zhì)量較輕的氣體，如氫.氦等反擴散比較大，其中氫的反擴散最大，可達(dá)10-3mg/h，氮的反擴散較小，約為10-7mg/h.第四頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三3.擴散泵油的裂化分解擴散泵油分兩種：礦物油，此種油穩(wěn)定性及耐氧化能力都較差，在室溫下的飽和蒸氣壓力10-5pa~10-7pa.另一種是硅油，熱穩(wěn)定性及抗氧化性都較好，室溫下的飽和蒸氣壓力10-6pa~10-8pa.第五頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三在金屬油擴散泵的鍋爐中，由于高溫.金屬催化作用以及油爆發(fā)式沸騰，是高分子的有裂化成低分子的碳?xì)浠衔锛拜p的氣體(H2.CH4.C2H6等)。這些裂化后的氫和碳?xì)浠衔锏恼羝麎汉芨?，限制了擴散泵的極限真空。此外，機械泵油反流到擴散泵中，也產(chǎn)生分裂物，使擴散泵的真空受到影響。第六頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三4.真空泵的清潔度清洗不干凈的真空泵，污染物會留在泵中并重復(fù)循環(huán)，影響泵極限真空。第七頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三提高油擴散泵極限真空的方法1.擴散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)改進(jìn)擴散泵的結(jié)構(gòu)，如加分流裝置;合理的分配鍋爐的加熱功率，增大鍋爐中心區(qū)；改進(jìn)噴嘴角設(shè)計；在一級導(dǎo)流管中加裝加熱器進(jìn)行氣象加熱，以增加蒸汽流速度減少真氣流的散射。上述措施也可減少油的裂化，反流，提高擴散泵的極限真空。第八頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三減少油蒸氣的反流1.加擋油帽在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通?？墒狗从土拷档桶雮€到兩個數(shù)量級。

2.障板使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種擋板，可使反油量大大降低。。第九頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三3.冷阱使用液態(tài)冷阱捕集反流蒸氣。液態(tài)冷阱不能把油真氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進(jìn)入被抽容器中，其途徑有；

1.兩個油分子之間的碰撞；

2.油分子和氣體分子的多次碰撞；

3.沒被捕集的油分子反彈到高真空的區(qū)域中；

4.室溫下油從泵壁表面遷移。擴散泵系統(tǒng)采用液態(tài)冷阱后可獲得10-8pa~10-9pa

的極限真空第十頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

4.吸附阱擴散泵進(jìn)氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附反流的油蒸氣后，可以獲得10-8~10-9

真空度。這種阱有如下缺點：

1.吸附劑易粉末化；

2.吸附劑要在活化；

3.需經(jīng)常更換吸附劑，操作不便。

5.鈦升華阱第十一頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

擴散泵與真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，即可以消除有機物真氣對系統(tǒng)的污染，又能降低CO.CO2

和H2

第十二頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三閥門擴散泵的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內(nèi)有兩個最大峰值，泵運轉(zhuǎn)時可利用閥門的關(guān)閉避開這兩個最大返油區(qū)。第十三頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三減少氣體的反擴散反擴散過去的氣體的分壓Pf和擴散泵前級排氣口處該氣體的分壓Pj成正比，即Pf=rPj。降低前級壓力Pj和壓縮比r可以降低Pj。第十四頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三擴散泵的前級再串接一臺擴散泵可以降低前級氣體分壓Pj。采用多級泵（目前多采用四級泵代替原來的三級泵），則可以降低壓縮比r，使返擴散減少。第十五頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三五.用擴散泵獲得高真空的方法1.選用性能好的擴散泵油2.采用合理的烘烤技術(shù)3增加冷阱裝置，防止泵油返流和遷移4.減少被抽氣體的反擴散第十六頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三擴散泵結(jié)構(gòu)示意圖第十七頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第十八頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第十九頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第二十頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三滑閥泵及原理其示意圖第二十一頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第二十二頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三滑閥泵故障現(xiàn)象及排除方法故障現(xiàn)象

產(chǎn)生原因

排除方法

真空度不高1.油被污染2.密封裝置漏氣3.油管接頭漏氣4.排氣閥片損壞5.排氣閥彈簧斷裂6.個封面漏氣7.泵內(nèi)零件有幢擊.卡緊.變形8.油路阻塞9.吸入氣體溫度過高10.泵油量不足11.油路組件的小油封漏氣1.打開氣鎮(zhèn)閥運轉(zhuǎn)1~2小時可恢復(fù)泵的極限壓力或調(diào)換所有新油2.修理或更換密封裝置3.旋緊螺母4.換新閥片5.換新彈簧6.旋緊螺釘7.修理油閥.導(dǎo)軌.清洗所有零件8.清洗濾油器濾網(wǎng)及油路9.冷卻至常溫10.加油11.修理或更換小郵箱內(nèi)橡皮版第二十三頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

運轉(zhuǎn)故障

1.電機負(fù)載過大或保險絲燒斷2.缺乏潤滑油3.外物夾住4.振動很大5.油杯噴油1.找出負(fù)荷過大或燒斷原因，調(diào)換保險絲。2.暢通油路，拆洗泵內(nèi)零件，加真空油3.清除外面雜物4.加固地基底座5.油封反向，按結(jié)構(gòu)圖從新安裝油封第二十四頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

運行事故1.軸承發(fā)熱2.排氣閥和油管發(fā)熱1.稍松皮帶或檢查油路是否阻塞，冷卻水是否足夠，泵的軸承潤滑子是否適合2.增加冷卻水量

泵運轉(zhuǎn)有異常噪聲1.異物落入泵內(nèi)2.泵零件松動或損壞1.拆開檢查并清除2.檢查調(diào)整或更換零件第二十五頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三旋片泵及原理其示意圖第二十六頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第二十七頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三故障及其排除方法

.極限壓力與極限全壓力不好的原因判斷和消除方法1.新泵.泵口檢測，全壓力不好，旋去加油賽，無明顯漏氣聲，可能是因存放日久和不當(dāng)，有水氣等進(jìn)入泵內(nèi)，可密閉泵口開氣鎮(zhèn)閥2--4小時，應(yīng)有所回升，或更換新油，可更顯著。第二十八頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三2.無漏氣聲，開氣鎮(zhèn)閥及換油無效，應(yīng)檢查閥座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：2X-4C泵在閥坐側(cè)面，2X-8,15泵在短閥片處月牙槽內(nèi)，2X-30A，70A在短閥片附近的閥座平面上。第二十九頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三3.帶系統(tǒng)后抽不好，有明顯漏氣，接頭.管道或容器有漏氣，應(yīng)擦找和消除。4.泵未經(jīng)拆卸清洗，突然出現(xiàn)碰撞聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷或有無異物進(jìn)入泵內(nèi)。泵溫是否太高，旋片緊，活動不暢。第三十頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三5.泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性氣體和泵油裂解變質(zhì)以及橡膠老化所致，可用換油.換橡膠件方法逐一試驗。第三十一頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三6.泵拆洗裝配后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當(dāng).順壞，應(yīng)調(diào)整或更換。7.排氣閥片老化變形.順壞或螺釘松脫，會出現(xiàn)異樣排氣和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應(yīng)調(diào)整重裝。8.因泵溫太高而使真空度，特別是全壓強降低時，應(yīng)加強冷卻。第三十二頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三9.以上措施無效，無漏氣聲，可能是使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉(zhuǎn)子變形，精度降低，甚至轉(zhuǎn)子.旋片等零件損壞，應(yīng)拆開檢查，修正或調(diào)換新零件。10.儀表失真，規(guī)管污染，引起誤判，應(yīng)校準(zhǔn)比較，清洗或換新。第三十三頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

噴油.漏油及其消除方法：噴油可因油位過高，油盒.擋油板松脫，裝配不當(dāng)所致，可逐一檢查。漏油可因油封彈簧脫落.磨損.放油螺塞和墊片損壞，側(cè)蓋墊片沒墊好，氣鎮(zhèn)閥停泵后忘關(guān)等引起，可檢查調(diào)整或調(diào)換。第三十四頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三羅茨泵及其原理示意圖第三十五頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三第三十六頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三羅茨泵與滑閥泵旋片泵組合第三十七頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

故障現(xiàn)象

可能原因

排除方法

真空度不高1.管路.系統(tǒng)漏氣。2.泵部分漏氣3.前幾真空漏氣4.潤滑油太臟或牌號不符1.管路.系統(tǒng)檢漏2.泵漏油3.修或換前級泵4.換潤滑油

抽速不足1.管道通導(dǎo)能力下降2.前級抽速不足1.換大管道2.換前級泵第三十八頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三擴散泵內(nèi)部水冷及外形圖第三十九頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三擴散泵及水冷示意圖第四十頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三運轉(zhuǎn)

1.啟動1.1接通冷卻水，確認(rèn)冷卻水的流量是否達(dá)到規(guī)定要求。1.2啟動前級泵，當(dāng)擴散泵泵口壓力<=10Pa后，才能啟動擴散泵加熱電源。1.3泵加熱40~80分鐘后，就進(jìn)入正常工作狀態(tài)。第四十一頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三

2.停止2.1先關(guān)閉高真空閥門，然后切斷擴散泵電源，前級泵繼續(xù)工作。2.2當(dāng)爐體內(nèi)部溫度降到

<=60·的時候（用手可以接觸的狀態(tài)），可以停止前級真空泵。第四十二頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三注意事項

1.像爐體內(nèi)放氣時，必須在泵油溫度<=60·時進(jìn)行。油溫度過高，會造成泵油氧化，導(dǎo)致泵性能下降。放氣時請從高真空端放氣，避免損壞泵芯。如果不能從高真空端放氣時，請保證小流量的緩慢放氣。。第四十三頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三2.擴散泵在正常運行中遇意外停電.停水時，請按下面步驟處理：

2.1切斷電源

2.2立刻關(guān)閉高真空閥門和前級真空閥

2.3將電爐從泵底卸下，并移開。（注意安全，小心燙手！?。。?/p>

2.4像泵底不淋水。注意：（水蒸氣燙人！）第四十四頁，共四十八頁，編輯于2023年，星期三3.在停止作業(yè)后，擴散泵短期內(nèi)不使用時，請將泵水冷管道中的水排出管道以外，同時用壓縮空氣將殘余水分吹干，防止水冷管道腐蝕。

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