關(guān)于集成電路制造工藝介紹

集成電路制造工藝原理課程總體介紹：課程性質(zhì)及開(kāi)課時(shí)間：本課程為電子科學(xué)與技術(shù)專(zhuān)業(yè)（微電子技術(shù)方向和光電子技術(shù)方向）的專(zhuān)業(yè)選修課。本課程是半導(dǎo)體集成電路、晶體管原理與設(shè)計(jì)和光集成電路等課程的前修課程。本課程開(kāi)課時(shí)間暫定在第五學(xué)期。參考教材：《半導(dǎo)體器件工藝原理》國(guó)防工業(yè)出版社華中工學(xué)院、西北電訊工程學(xué)院合編《半導(dǎo)體器件工藝原理》（上、下冊(cè)）國(guó)防工業(yè)出版社成都電訊工程學(xué)院編著《半導(dǎo)體器件工藝原理》上海科技出版社《半導(dǎo)體器件制造工藝》上?？萍汲霭嫔纭都呻娐分圃旒夹g(shù)-原理與實(shí)踐》電子工業(yè)出版社淘《超橋大規(guī)帝模集昨成電叼路技腐術(shù)基謠礎(chǔ)》牙隔電子營(yíng)工業(yè)棒出版評(píng)社菊《超麥大規(guī)曲模集康成電支路工蝴藝原燦理-遮硅和狼砷化百鎵》麻顯懷百劉皺惠創(chuàng)撥禍討那龜階梨甩僚蛙氣馬歇搖青劈駕種徑電忽子工窄業(yè)出或版社叔目前濤實(shí)際標(biāo)教學(xué)比學(xué)時(shí)赴數(shù)：哨課內(nèi)阿課時(shí)銀54遞學(xué)時(shí)敵教學(xué)獲內(nèi)容會(huì)簡(jiǎn)介潮：本進(jìn)課程祖主要巨介紹到了以礦硅外訊延平傭面工突藝為這基礎(chǔ)藏的，共與微瘋電子槳技術(shù)咐相關(guān)詢(xún)的器貼件（竊硅器押件）駐、集戒成電貝路（慎硅集編成電覺(jué)路）艱的制諸造工歡藝原繩理和江技術(shù)福；介蘆紹了務(wù)與光朽電子壟技術(shù)恢相關(guān)隊(duì)的器要件（窄發(fā)光顧器件覆和激黃光器需件）誘、集體成電玉路（賤光集收成電康路）妨的制塊造工老藝原窩理，描主要初介紹青了最深典型圓的化怎合物丸半導(dǎo)漆體砷主化鎵櫻材料厚以及痛與光里器件字和光萬(wàn)集成焰電路令制造領(lǐng)相關(guān)患的工袖藝原任理和邊技術(shù)律。聞教學(xué)計(jì)課時(shí)洞安排澆：(冠按5牛4學(xué)折時(shí))立課程就介紹照及緒某論幸距攝片正梅陳狹葉拍乎俘旅艦里醒鉛崇齊效蹄絲迎壘嘩籌旅2學(xué)沿時(shí)頭第一么章默襯技底材掛料及爪襯底飼制備原垂鉆綁每友辟計(jì)桿去晝落涌準(zhǔn)熱啊6厚學(xué)時(shí)鋼第二遙章周外曾延工憶藝痕或園咱智襪廢故緞帳竊您霞繁被稈嚇氧齒琴叛紫頑野城傍8學(xué)增時(shí)箱第三豪章省氧丑化工芹藝威囑個(gè)忘啦壘共囑韻拘淚啊雪否性兼繡師剃持皇謠喪愉據(jù)盼7學(xué)礎(chǔ)時(shí)舍第四卵章采摻所雜工善藝沫搭切詠裹科勝烤過(guò)疲小去份穗利蜘泳慘爽舍吊尾那葛涌12偷學(xué)時(shí)探第五貓章罪光譜刻工蜜藝油舊笨柿邪困棚醫(yī)荒培僚看燃永責(zé)廢閱斜君珠肥裝有祖紡楊3學(xué)狂時(shí)今樓友貴現(xiàn)第六于章拔制糧版工姓藝混識(shí)確皆弦釋魄哥藥遙絮評(píng)巷漿符麥異嫩伸陸劍要逮僚籠違3學(xué)隊(duì)時(shí)嘉爹蹤警衫第七息章拼話(huà)隔離訂工藝尊摸甩云伶拿熱雅肥狹析棕奴轟酒末眾藍(lán)紹市南靜挨秧無(wú)爐3學(xué)插時(shí)偷夢(mèng)術(shù)驚更第八螺章排表放面鈍歸化工悉藝跡魔劣當(dāng)司演牲細(xì)峰臭艘物銹平帥算幅齒杠刃誓物5學(xué)四時(shí)菌筋調(diào)港漏第九湯章編表丘面內(nèi)趨電極咬與互隔連為籮許窩喇們磚父豐撒林脾卻結(jié)和慮遵票3學(xué)戲時(shí)衛(wèi)倒旁川盈第十脖章線器泳件組幼裝氧紹兩絮子腔僅曲簽驅(qū)筍理修六短抽愁彼扣溫座蜘綿烘加下2學(xué)招時(shí)撥課程篩教案豪:蜜課程廣介紹辯及序喉論婆咽紹似紙披涉蘿屈瘡環(huán)抬潑徹蹈追烤冤森差拘膽虎貝囑伙箱娛鏈（易2級(jí)學(xué)時(shí)鄙）習(xí)內(nèi)容掠：右課程簽介紹刺：讓1濱堪損教學(xué)星內(nèi)容暈賞肆戀夫1邊.1腐與微掏電子壘技術(shù)蠢相關(guān)卷的器袍件、友集成對(duì)電路爆的制喪造工握藝原歡理甚株音宿粘搏1.枕2彼與瓶光電咳子技箱術(shù)相脖關(guān)的揭器件客、集親成電績(jī)路的鑒制造禿故燃育甲繭1.拔3眾參薪考教娃材坦教學(xué)謹(jǐn)課時(shí)寇安排抗學(xué)習(xí)吧要求顛序論掩：校課程師內(nèi)容新：少半導(dǎo)秤體技大術(shù)概悅況潑1豪.1焦嚇半導(dǎo)玉體器汽件制乳造技逢術(shù)駱1.扣1.理1詢(xún)半間導(dǎo)體息器件罩制造甲的工捆藝設(shè)剃計(jì)拌1.耽1.違2省工藝現(xiàn)制造彼1.藍(lán)1.趨3雜幼工藝樸分析掠1.奪1.忠4退裂質(zhì)量魔控制傘1.液2側(cè)畫(huà)勢(shì)半導(dǎo)席體器游件制松造的掌關(guān)鍵功問(wèn)題腔1.貞2.職1冊(cè)砍工藝研改革映和新基工藝丑的應(yīng)臥用洪1.椅2.灑2互石環(huán)境風(fēng)條件醒改革慧和工伍藝條尺件優(yōu)方化級(jí)1.霧2.團(tuán)3理領(lǐng)注重棵情報(bào)簽和產(chǎn)虎品結(jié)慮構(gòu)的鐘及時(shí)姿調(diào)整榨1.乳2.且4召惹工業(yè)蝶化生莫產(chǎn)楚典型狗硅外高延平勺面器逢件管紋芯制扮造工蒙藝流菊程及活討論顫2.川1委堵熱常老規(guī)儀np起n街外延疼平面僵管管裕芯制驅(qū)造工嗚藝流校程色2.際2剝仙嚷典型發(fā)p著n薯隔離幕集成會(huì)電路好管芯界制造登工藝暴流程巖2.繪3糧叢樓兩狗工藝吩流程雨的討膝論臥2.傭3.螺1穿蹤有擔(dān)關(guān)說(shuō)債明土2.塊3.貫2澆椒兩暢工藝志流程肆的區(qū)頂別及塌原因恒課程杯重點(diǎn)艇：介風(fēng)紹了衫與電渡子科謎學(xué)與皮技術(shù)造中的齡兩個(gè)杰專(zhuān)業(yè)侄方向缺（微透電子辰技術(shù)葡方向觀和光估電子亮技術(shù)怕方向鍬）相撓關(guān)的貢制造珠業(yè)，稈指明錫該制逆造業(yè)探是社兵會(huì)的木基礎(chǔ)膠工業(yè)憶、是癥現(xiàn)代勸化的翅基礎(chǔ)壞工業(yè)逝，是歉國(guó)家工遠(yuǎn)景夕規(guī)劃臣中置丈于首成位發(fā)引展的倒工業(yè)踩。介叨紹了尺與微沸電子我技術(shù)糠方向善相關(guān)乏的分聯(lián)離器肝件（芝硅器誤件底）、霞集成該電路隔（硅簽集成絲電路惜）的貌制造踏工藝若原理梅的內(nèi)屑容，烘指明少微電諷子技四術(shù)從艷某種安意義那上是捕指大綿規(guī)模箱集成國(guó)電路局和超僑大規(guī)捉模集依成電揉路的絨制造丸技術(shù)遵。由屠于集低成電蓬路的缺制造權(quán)技術(shù)付是由挽分離拖器件奸的制啄造技御術(shù)發(fā)獲展起奉來(lái)的股，則織從制繳造工貍藝上斑看，服兩種孔工藝漸流程廳中絕昏大多淚數(shù)制小造工對(duì)藝是勉相通刷的，壽但集攏成電枯路制慚造技濃術(shù)中旅包含由了分寧離器逢件制襪造所蹤沒(méi)有昨的特徒殊工端藝?？咏榻B囑了與爺光電潛子技盼術(shù)方程向相跌關(guān)的蔥分離械器件桿、集紗成電既路的秤制造寒工藝制原理秒的內(nèi)迎容。嘆指明泰這些婦器件利（發(fā)該光器襪件和臂激光退器件棕）和防集成杠電路綢（光攔集成爆電路救）多鈴是由暢化合碑物半敢導(dǎo)體濾為基序礎(chǔ)材歡料的滅，最息常用磚和最旋典型托的是粗砷化嘆鎵材參料，棄本課析程簡(jiǎn)廟單介翼紹了醉砷化旬鎵材村料及究其制失造器笨件時(shí)節(jié)相關(guān)聽(tīng)的工娘藝技簡(jiǎn)術(shù)與隸原理呈。在駛課程賢介紹勿中，席指出化了集考成電常路制像造工返藝原仁理的旋內(nèi)容織是隨誦著半胞導(dǎo)體金器件予制造跌工藝要技術(shù)叼發(fā)展涂而發(fā)與展的蛋、是輪隨著淡電子園行業(yè)盲對(duì)半繁導(dǎo)體欄器件確性能誘不斷吳提高等的要戶(hù)求（凡小型噸化、盾微型喂化、簽集成遙化、知以及糠高頻鄭特性惜、功張率特磁性、貴放大菌特性北的提多高）鵲而不遇斷充歌實(shí)的戚。綜蟻觀其崗發(fā)展繼歷程塘，由緣四十帝年代敲末的卸合金菠工藝懷原理己到五棗十年涌代初璃的合來(lái)金擴(kuò)桃散工賀藝原酸理，斃又由征于硅棵平面在工藝兵的出珍現(xiàn)而馳發(fā)展慮為硅塔平面茂工藝貴原理年、繼舊而發(fā)絞展為桃硅外省延平摩面工吩藝原曾理，辦硅外售延平罵面工妥藝是豈集成執(zhí)電路悔制造汗的基膽礎(chǔ)工亭藝；里在制夫造分姥離器撥件和歉集成咐電路追時(shí)，眾為提指高器侵件和獅集成榜電路捎的可寸靠性好、穩(wěn)效定性傲，引增入了媽若干編有實(shí)多效的先保護(hù)傭器件軌表面稠的工搖藝，瞎則加錫入了震表面挨鈍化頸工藝播原理老的內(nèi)兆容；揭在制洪造集糾成電懂路時(shí)廳，為琴實(shí)現(xiàn)經(jīng)集成拳電路寺中各狡元器劈件間縮的電挽性隔玻離，帆引入頭了隔輔離墻話(huà)的制有造，胳則又培加入義了隔娃離工懇藝原診理的篇內(nèi)容擴(kuò)。因漆此，筋集成班電路義工藝咽原理蒸=硅吃外延挎平面叔工藝淹原理亮+表垂面鈍林化工雖藝原蒸理+會(huì)隔離答工藝鵝原理充，而傍大規(guī)目模至傍甚大提規(guī)模光集成握電路姐的制繳造工規(guī)藝，扶只不鑼過(guò)是蒸在摻骨雜技變術(shù)、冬光刻蔽技術(shù)食（制沒(méi)版技幸術(shù)）朝、電耳極制店造技亭術(shù)方潛面進(jìn)睬行了屬技術(shù)設(shè)改進(jìn)給而已稱(chēng)。遣介紹鏈了半皇導(dǎo)體旨技術(shù)眉概況釘，指攻出半錫導(dǎo)體糊技術(shù)零是由夫工藝班設(shè)計(jì)敲、工逢藝制要造、棚工藝爺分析督和質(zhì)勢(shì)量控旋制四肌部分銀構(gòu)成內(nèi)。工布藝設(shè)瞇計(jì)包理含工蛾藝參酷數(shù)設(shè)溪計(jì)、眾工藝吸流程紙?jiān)O(shè)計(jì)牛和工歲藝條確件設(shè)艇計(jì)三錦部分申內(nèi)容喬，其勝設(shè)計(jì)罷過(guò)程陳是：誼由器父件的膚電學(xué)型參數(shù)拖（分瓦離器伐件電蠅學(xué)參廣數(shù)和僚集成涂電路賀功能谷參數(shù)袖）參拿照工乳藝水告平進(jìn)啄行結(jié)維構(gòu)參艇數(shù)的燈設(shè)計(jì)病；然聚后進(jìn)淚行理寸論驗(yàn)帳算（扇結(jié)構(gòu)候參數(shù)蛇能否闖達(dá)到踐器件膨的電評(píng)學(xué)參持?jǐn)?shù)的彼要求容）；相驗(yàn)算墨合格脹，依資據(jù)工粘藝原叨理和銹原有書(shū)工藝悠數(shù)據(jù)仆進(jìn)行炒工藝故設(shè)計(jì)政。工夏藝制皂造包瞞含工貼藝程濾序?qū)嵙苁?、欠工藝距設(shè)備褲、工底藝改距革三陷部分濾內(nèi)容勺。工御藝分糠析包例含原慮始材剝料分寺析、扔外延器片質(zhì)庭量分宴析、吵各工停序片魄子參掘數(shù)分倦析和吩工藝閘條件稻分析喪等四疫部分悠內(nèi)容寸，工確藝分肯析的觸目的永是為俗了工猛藝改織進(jìn)。界質(zhì)量倉(cāng)控制微包含咸分離尸器件竿和集掀成電潮路的政失效幟機(jī)理掌研究稿、可綱靠性坐分析清和工溉藝參紫數(shù)控填制自屋動(dòng)化掛三部飯分內(nèi)歇容。逮在介統(tǒng)紹、詠討論藝、分表析的陪基礎(chǔ)刺上，升指明日了半蔽導(dǎo)體尤器件灶制造惠中要炎注意叫的幾急個(gè)關(guān)棒鍵問(wèn)否題。辦介紹姜了以迎典型符硅外灘延平錯(cuò)面工淹藝為押基礎(chǔ)磚的常菊規(guī)裹np當(dāng)n憐外延?jì)鹌矫娴诠芄苌硇局苹脑旃ぬ闼嚵魈愠毯屠湫桶Wp渠n秋隔離符集成目電路梯管芯窗制造方工藝索流程紀(jì)，并炸分析斜了兩嚼種工德藝的階共同覆處和軌不同進(jìn)處。尋課臺(tái)程難狂點(diǎn)：夠半導(dǎo)貼體器寬件制們?cè)斓闹牍に噳ㄔO(shè)計(jì)跪所涉櫻及的民三部膚分內(nèi)趨容中瘋工藝工參數(shù)趣設(shè)計(jì)逝所包僚含的咐具體位內(nèi)容堵；工踏藝流滔程設(shè)叼計(jì)包握含的桃具體圖內(nèi)容固；工緒藝條疼件設(shè)哭計(jì)包答含的責(zé)具體印內(nèi)內(nèi)詳容。攤工藝詢(xún)制造帳涉及麥的具驅(qū)體內(nèi)無(wú)容，繩工藝摩線流冠程與袖各工四序操臘作流累程的清區(qū)別旗。半狡導(dǎo)體眨器件喪制造槐的工憂(yōu)藝分濃析所機(jī)涉及嗎的四著部分碰內(nèi)容放，進(jìn)禽行原縱始材褲料分段析、惹外延盼片質(zhì)礎(chǔ)量分芳析、混各工錘序片嘆子參育數(shù)分聾析、共工藝慰條件科分析匹的意李義何急在；荒如何款對(duì)應(yīng)妄器件丙的不咱合格處性能原參數(shù)硬，通控過(guò)上燭述四蚊項(xiàng)分改析進(jìn)或行工鉆藝改千進(jìn)，嶼從而湊得到要合格損性能濫參數(shù)晃。半飲導(dǎo)體冒器件鍬制造山的質(zhì)警量控鹽制須敲做哪澇些工贊作，江為什猛么說(shuō)帶通過(guò)且質(zhì)量映控制淚，器薄件生幣產(chǎn)廠陸家可古提高桑經(jīng)濟(jì)石效益碎、可堂提高諒自身微產(chǎn)品葉的競(jìng)薯爭(zhēng)能腦力、葛可提撐高產(chǎn)描品的績(jī)信譽(yù)教度。套什么僚是工旬藝改丟革和皮新工棕藝的殺應(yīng)用岔？什獻(xiàn)么是姥環(huán)境虎條件免改革軍和工該藝條耽件優(yōu)?；抗転槭怖^么要此注重林情報(bào)桃和及設(shè)時(shí)調(diào)歡整產(chǎn)益品結(jié)且構(gòu)？考什么敬是工著業(yè)化媽大生怨產(chǎn)？剃這些恢問(wèn)題工為什站么會(huì)侮成為火半導(dǎo)兇體器源件制偏造中挑的關(guān)炎鍵問(wèn)低題？返為什節(jié)么說(shuō)非半導(dǎo)情體器凡件制幕造有唯冗長(zhǎng)湖的工宋藝流界程？拋十幾綿步的幸分離白器件糕制造均工藝火流程渡與二克十幾埋步的灑集成朽電路徒制造雀工藝鄉(xiāng)流程戲有什應(yīng)么區(qū)沉別？是集成扮電路偉制造鳴比分冊(cè)離器嘉件制燦造多關(guān)出了碑隔離在制作踩和埋億層制紙作，毫各自資有哪舌幾步堅(jiān)工藝夫構(gòu)成裙？各敬起到賣(mài)什么庭作用母？睬雹基美本概誘念：擺1啞半導(dǎo)絹體器應(yīng)件-增由半嬸導(dǎo)體叮材料個(gè)制成旁的分獲離器驢件和還半導(dǎo)礦體集乳成電名路。灣2半籠導(dǎo)體貼分離富器件脆-各昌種晶沒(méi)體三鍬極管迎；各綁種晶擾體二維極管浙；各匙種晶鮮體可披控硅溜。召3爪半導(dǎo)頓體集兆成電之路-塊以半扎導(dǎo)體玩（硅扔）單魯晶為箭基片永，以孝外延循平面值工藝礙為基走礎(chǔ)工房藝，我將構(gòu)短成電徑路的塵各元什器件輕制作碎于同驅(qū)一基剃片上厲，布炸線連壯接構(gòu)倒成的搜功能堂電路尺。掌4智晶體逐三極愉管的義電學(xué)處參數(shù)倡-指航放大壞倍數(shù)立、結(jié)思的擊冠穿電在壓、跡管子漁的工意作電礦壓、旨工作勤頻率跌、工欲作功兩率、雀噪聲蹄系數(shù)護(hù)等。幅5晶老體三扁極管揭的結(jié)旗構(gòu)參努數(shù)-赤包括址所用跨材料烤、電嬸性區(qū)功各層缸結(jié)構(gòu)產(chǎn)參數(shù)除、器溫件芯休片尺尤寸、耀外延鑒層結(jié)票構(gòu)參良數(shù)和妨工藝公片厚抄度等必。退6硅瓶平面肢工藝汁-指音由熱盟氧化陽(yáng)工藝勿、光碎刻工鵝藝和桐擴(kuò)散借工藝擋為基醬礎(chǔ)工命藝構(gòu)受成的鳥(niǎo)近平撕面加默工工穿藝。遷7硅怎外延并平面侵工藝墊-外旬延工鐘藝+套硅平征面工篇藝構(gòu)圖成的枕器件除制造達(dá)工藝牙。殲基本覺(jué)要求蛙：要釋求學(xué)追生了賀解本孤課程饒的性驗(yàn)質(zhì)，粱知道臺(tái)學(xué)好蹦集成惡電路液制造妥工藝絡(luò)原理嬌對(duì)學(xué)甜習(xí)專(zhuān)末業(yè)課兵的重趨要性旱。掌蜜握半屢導(dǎo)體逃器件僵制造湊技術(shù)臨中所嚷涉及譯的四蔑部分拆內(nèi)容液。了孤解工年藝設(shè)紋計(jì)所繞涉及動(dòng)的三句部分者內(nèi)容積中工下藝參冷數(shù)設(shè)浪計(jì)所公包含份的具耀體內(nèi)外容；務(wù)工藝雙流程刷設(shè)計(jì)復(fù)包含扣的具怪體內(nèi)舊容；狗工藝攝條件呼設(shè)計(jì)譜包含眠的具遣體內(nèi)毛內(nèi)容度。了囑解工綁藝制自造涉丟及的恥具體謠內(nèi)容牧，知徒道工雕藝線遠(yuǎn)流程汗與各弱工序?qū)也僮髁袅鞒糖绲膮^(qū)紀(jì)別是某什么絞。了特解半膽導(dǎo)體彎器件私制造冒的工骨藝分滔析所大涉及嚼的四理個(gè)分關(guān)析內(nèi)處容，妖知道盆進(jìn)行弟原始緩材料摘分析薦、外財(cái)延片犧質(zhì)量絨分析略、各鉆工序壺片子描參數(shù)額分析鐵、工青藝條電件分脅析的澆指導(dǎo)冠意義片；能福夠?qū)δw應(yīng)器勢(shì)件的知不合睡格性?xún)|能參誠(chéng)數(shù)，斑通過(guò)成上述除四項(xiàng)贈(zèng)分析戲進(jìn)行悅工藝齊改進(jìn)掌，從螺而得僚到合夫格性幸能參悼數(shù)。缸知道背半導(dǎo)爆體器焰件制鍵造的權(quán)質(zhì)量咳控制譽(yù)須做讀哪些師工作既，能流清楚肺知道蛋通過(guò)炭質(zhì)量遲控制刪，器散件生旗產(chǎn)廠散家可才提高包經(jīng)濟(jì)太效益晨、可項(xiàng)提高樹(shù)自身鵝產(chǎn)品榮的競(jìng)獄爭(zhēng)能辯力、塊可提滴高產(chǎn)湯品的鮮信譽(yù)跌度的昏原因接。知慮道什光么是鋒工藝棕改革該和新賴(lài)工藝似的應(yīng)秀用？學(xué)什么賓是環(huán)臨境條逢件改妖革和遵工藝剛條件稿優(yōu)化饒？為捧什么沒(méi)要注勤重情捷報(bào)和駕及時(shí)廳調(diào)整熔產(chǎn)品鄰結(jié)構(gòu)抱？什爛么是勁工業(yè)銷(xiāo)化大節(jié)生產(chǎn)公？清芹楚這矛些問(wèn)錢(qián)題為盯什么鼻會(huì)成煎為半快導(dǎo)體掉器件肥制造簽中的肺關(guān)鍵雷問(wèn)題骨？了婆解半銜導(dǎo)體滋器件狹制造灑有冗混長(zhǎng)的兵工藝衡流程支，分逃離器災(zāi)件制愉造工丙藝至瞇少有卡十幾汁步的帳工藝勻流程剖，集悶成電吸路制折造工味藝至師少有蝦二十掉幾步野的制搜造工悟藝流環(huán)程。凱知道贈(zèng)集成谷電路外制造站比分態(tài)離器姐件制森造多典出了挪隔離旺制作異和埋拾層制是作兩情大部偷分，造知道哭制作雙隔離臥區(qū)的雀目的聽(tīng)何在詠？制達(dá)作埋桃層區(qū)周的目去的何皂在？災(zāi)清楚遙隔離訪制作敵有哪各幾步省工藝膨構(gòu)成仇？知壘道隔掉離氧勁化、夾隔離拾光刻瞎和隔尾離擴(kuò)寸散工該藝各麻自達(dá)賄到什刷目的河；清搜楚埋捆層制濾作有受哪幾焰步工棉藝構(gòu)賣(mài)成？也知道饞埋層葵氧化鞋、埋咳層光睡刻和旋埋層悅擴(kuò)散茶工藝揉各自膊達(dá)到勻什目糧的。末緒論揚(yáng)作業(yè)蓮：思跌考題誰(shuí)：2酒個(gè)順第參一章而徹襯底翅材料圣及襯工底制鄭備父掀樹(shù)色斤咳俱廣馳密謝沾斤籍艷采私果兩升梨羽流止(6圖學(xué)時(shí)臟)吉§午1.紐1傳薯捆襯底安半導(dǎo)樣體材荷料敘蠶逐蔽銳焰貸喘兵扛即術(shù)畝疲宇聚松誦徑3學(xué)病時(shí)串課程翼內(nèi)容款：鑒1雞妙傳常蚊用半照導(dǎo)體彈材料購(gòu)及其器特點(diǎn)字烏榨蜘盞弱娘忍爺譽(yù)縣降或跳融巡辯腔宏房初廳法信匠怨鏈常白用半局導(dǎo)體老材料玩1.秧1.偵1姜元素獸半導(dǎo)局體材貸料代1.策1.碰2注化合摘物半扁導(dǎo)體極材料旺檔硅壇材料域的特?fù)?dān)點(diǎn)欠1.征2.增1活價(jià)格鳳低、拐純度溉高猾1.侍2.亦2晴制凱成的筐器件嫩能工阿作在戰(zhàn)較高撈溫度祥下殘1.謠2.懲3剪電跳阻率掛選擇穿范圍凈寬潛1.族2.做4嘉其安特有贏的硅壩外延礦平面廊工藝抱同砷掌化鎵越材料墊的特農(nóng)點(diǎn)摧1.叉3.追1柴載劈流子盯的低斑場(chǎng)遷漁移率撒高耽1.黎3.蔑2仁筐禁帶搖寬度撐更大備1.床3.耽3茶啦能帶旅結(jié)構(gòu)響更接黃近躍杠遷型籃2再秒孝吼硅屯、砷罷化鎵減的晶蚊體結(jié)夜構(gòu)及滅單晶把硅體處2.茅1仇阿拘硅的杜晶體霧結(jié)構(gòu)暖及特耽點(diǎn)俊2.紙1.占1址硅的秩金剛千石型舒晶胞絹結(jié)構(gòu)腔2.雨1.交2誠(chéng)讓硅原帝子沿漁〈1緞11貼〉向行的排種列規(guī)倚律爸2.澤2積傲涉砷暈化鎵糞的晶居體結(jié)艇構(gòu)及繪特點(diǎn)首2.跡2.繁1股帳砷化誘鎵的良閃鋅騾礦型洲晶胞因結(jié)構(gòu)掃2.辟2.掃2頃朽砷化獵鎵的怎〈1僻11蠢〉向晌六棱情柱晶您胞票2.伯2.絡(luò)3么慶砷化放鎵的搞〈1津11勉〉向襲特點(diǎn)宵2.始3偶含階硅嬌、砷宮化鎵胳晶體態(tài)的制更備方們法據(jù)2.嗽3.司1礙刷硅單墳晶體筐的制頭備方筒法塌2.菌3.逮2紹溉砷化元鎵晶趴體的泛制備近方法圖2.涌4開(kāi)希踏單默晶硅運(yùn)體貴2.淺4.歸1鮮名單晶聰硅體茅呈圓海柱狀捆2.疲4.滾2紙贈(zèng)單晶席硅體悉上具法有生籌長(zhǎng)晶砌棱食3遺禮敞頂硅襯隱底材賭料的駐選擇喜3.鼓1舌號(hào)誘硅襯睜底材蕩料的脈結(jié)構(gòu)學(xué)參數(shù)錦3.污1.彈1梁價(jià)結(jié)晶澆質(zhì)量訂3.巨1.歷2橡結(jié)生長(zhǎng)蠢晶向逗3.營(yíng)1.抹3龍煌缺陷蜂密度糧3.請(qǐng)2刷僑窩硅襯宣底材蘋(píng)料的鉗物理鼓參數(shù)棒3.起2.抵1槍嬸電阻云率頸3.弊2.足2箏騰少數(shù)粗載流蔥子壽紀(jì)命脹3.往2.乘3洲繭雜質(zhì)提（載且流子竄）補(bǔ)維償度聞3.莖3使抽臂硅封襯底足材料尾的電種性參搏數(shù)式3.陶4條樹(shù)眼其秘它要蛙注意蹄的問(wèn)瞧題維3.襲4.栽1隙腐電阻棗率不蛾均勻孟性問(wèn)莖題塔3.派4.肚2羨咳重金使屬雜瓶質(zhì)和灶氧、亞碳含薄量問(wèn)賄題南各傻課程茶重點(diǎn)行:躺本節(jié)者主要歇介紹葛了半服導(dǎo)體殺器件罷（半仙導(dǎo)體謀分離森器件終和半返導(dǎo)體齒集成漠電路辭）制蔑造中端常用跑的半離導(dǎo)體電材料消。在歸硅、集鍺元綁素半桶導(dǎo)體垮材料音中，旺普遍軋應(yīng)用賣(mài)的是損硅半討導(dǎo)體蜓材料喊；在帖銻化飲銦、雨磷化宇鎵、興磷化泉銦、碰砷化侄鎵等鋤化合決物半寇導(dǎo)體餓材料中中，王最常弊應(yīng)用模的是景砷化梁鎵半攀導(dǎo)體崗材料躺。分幸別介慮紹了折硅半顏導(dǎo)體恐材料諒和砷盼化鎵砌半導(dǎo)繪體材躺料各燈自的濫特點(diǎn)肢，相愿應(yīng)的鋪應(yīng)用曾場(chǎng)合毫。討誤論了戀硅半林導(dǎo)體筍材料淺和砷學(xué)化鎵欺半導(dǎo)請(qǐng)?bào)w材衛(wèi)料的講晶體裝結(jié)構(gòu)惱，從譽(yù)中可濃知，宋雖然雪硅晶羊體具閑有金申剛石負(fù)型晶顆胞結(jié)鹿構(gòu)，夸而砷羽化鎵糟晶體擾具有斃閃鋅逆礦型詞晶胞鳳結(jié)構(gòu)壞，但梁從晶藥胞的輛構(gòu)成弟和某弟些性震質(zhì)有吊相似缺的地驗(yàn)方，狐但像應(yīng)注驢意其鑄性質(zhì)陪上的榮根本擱區(qū)別絨。由銀硅原收子沿掛〈1壓11險(xiǎn)〉向汽的排經(jīng)列規(guī)港律可酸知，溝在一綢個(gè)硅之晶體瓜的六全棱柱除晶胞取中有爆七個(gè)皇相互鐮平行桑的{匆11丈1}滿(mǎn)面；倦而七怪個(gè)面餓構(gòu)成要的六國(guó)個(gè)面匪間有斗兩種看面間宿距，芽其中基一個(gè)梅體現(xiàn)編面間命距大麥的特串點(diǎn)，挪另一征個(gè)體斧現(xiàn)面憂(yōu)間距肆小的堤特點(diǎn)專(zhuān)；每紋一個(gè)肆{1呆11錯(cuò)}晶幕面具自有相弄同的露原子吵面密沿度；公原子街平面喪間是喘靠共庸價(jià)鍵等連接址的，違而六邁個(gè)面澆間有毛兩種淺面間習(xí)共價(jià)喇鍵密撫度，搬在三襪個(gè)面如間每桑個(gè)原奮子均性為三趟鍵連政接-密體現(xiàn)春面間導(dǎo)價(jià)鍵企密度植大的身特點(diǎn)胳，在弟另三近個(gè)面令間每梨?zhèn)€原料子均原為單幻鍵連慕接-烘體現(xiàn)訂面間脖價(jià)鍵匙密度踐小的扶特點(diǎn)葛。從梁結(jié)構(gòu)乏中可性知，案面間圾價(jià)鍵暑密度適小的近面間賣(mài)同時(shí)執(zhí)面間夢(mèng)距大澤，而單面間符價(jià)鍵受密度雷大的蜜面間境同時(shí)漂面間清距小傅，由年此引正入兩扶個(gè)結(jié)暖論：凝面間樹(shù)價(jià)鍵萄密度譜小而掘同時(shí)洲面間資距大塌的面?zhèn)ラg，網(wǎng)極易恭被分牛割，斜稱(chēng)為冰硅晶匪體的犬解理叮面；郵面間辜價(jià)鍵攤密度殘大同幣時(shí)面憑間距畫(huà)小的嚼面間寶，面連間作項(xiàng)用力末極強(qiáng)辣，則濫被看拿作是草不可脹分割尾的雙帖層原疤子面壟，即辱當(dāng)一慎個(gè)面孩看待蛾。砷挑化鎵白晶體船中原礙子沿暢〈1網(wǎng)11質(zhì)〉向鍋的排驚列規(guī)六律與萍硅晶賓體的伶相似應(yīng)，只釋不過(guò)擾砷面沈和鎵況面交挎替排設(shè)列（減四個(gè)晌砷面里夾著忌三個(gè)譽(yù)鎵面申或四其個(gè)鎵撒面夾灣著三港個(gè)砷尾面）顯而已庭。還脖討論頂了硅收晶體險(xiǎn)和砷沙化鎵營(yíng)晶體捧的制逢備，遇硅單染晶體早通常膊采用果直拉背法或胳懸浮驅(qū)區(qū)熔味法進(jìn)齊行生腰長(zhǎng)；迫砷化術(shù)鎵晶圓體通越常采懷用梯系度凝肉固生丹長(zhǎng)法湖或液久封式啊直拉沙法制收備。臭本節(jié)子還對(duì)猜半導(dǎo)璃體器協(xié)件制盞造最鴉常用兆的單堡晶硅身體進(jìn)構(gòu)行了牧討論洗，可耽知單計(jì)晶硅壓體呈份圓柱踢狀，持但在式單晶修硅體樂(lè)上存染在與枯單晶材生長(zhǎng)擇晶向扛相關(guān)窯的生想長(zhǎng)晶順棱；煎因?yàn)榻撑c硅慎原子繡沿生勝長(zhǎng)晶泥向排曉列有紫關(guān)，皂沿不晴同晶譯向生服長(zhǎng)的哄單晶賊硅體雙上晶蠢棱數(shù)傾目不府同，殿晶棱摘對(duì)稱(chēng)苦程度障也不率同。宅最后照討論再了硅妹單晶其的質(zhì)虛量參店數(shù)（岸硅襯堪底材怠料的完選擇雹），刻這對(duì)知了解則硅單贈(zèng)晶材稼料的父性能適并進(jìn)想而在慶器件純的生侄產(chǎn)中芽正確篇的選棕?fù)窆枥币r底斜材料嘩是至瘋關(guān)重該要的確。店勾課分程難膀點(diǎn)：笑硅單駱晶的侍晶體終結(jié)構(gòu)級(jí)及結(jié)勒構(gòu)分示析；平砷化些鎵晶摟體的琴晶體訊結(jié)構(gòu)遷及結(jié)求構(gòu)分積析。碎硅單胖晶的也兩種客制備曲工藝堡及其攜工藝碑分析采、工抄藝過(guò)歌程討您論；俗砷化膀鎵晶揮體的養(yǎng)兩種霸制備努工藝奧及其刮工藝支分析誕、工連藝過(guò)取程討敢論。刻硅單抹晶體軋的外雖部特艙征，慣導(dǎo)致胳硅單貼晶體孕外部段特征掀與硅酸單晶烏體內(nèi)賢部結(jié)慚構(gòu)（鞠原子逗排列輩規(guī)律陵）的活對(duì)應(yīng)掙關(guān)系厚分析狗討論限。硅針單晶周體的蒸結(jié)構(gòu)棕參數(shù)停要求脫；物羅理參設(shè)數(shù)要熄求和較電性?xún)€參數(shù)蠶要求富。搭透基素本概豆念：句惕1更元陽(yáng)素半請(qǐng)導(dǎo)體頁(yè)材料性-完除全由猛一種紡元素拒構(gòu)成針的，儉具有投半導(dǎo)秩體性呈質(zhì)的渾材料圈。延帝2埋化合挺物半戰(zhàn)導(dǎo)體籍材料遲-由刪兩種臭或兩選種以鳥(niǎo)上的鼠元素殲構(gòu)成阻的，及具有棋半導(dǎo)鏟體性巨質(zhì)的幫材料攜。桿禍3霸面間庸共價(jià)劉鍵密崖度-劃在相畜鄰原牌子面緩間任役取一罵平行嗎平面奧，單雀位面觸積的貴共價(jià)鵝鍵露哲頭數(shù)西。拴麻4奧少子翅壽命百-少膨數(shù)載娛流子吩壽命倦，它蛋反映遷了少論數(shù)載旦流子御保持院其電途性的這時(shí)間艘長(zhǎng)短夏，記鏟為艙τ抗。它襪與單寶晶體吼中的查缺陷黃和重停金屬丟雜質(zhì)秤的多糖少有納關(guān)。勢(shì)崇5今補(bǔ)償塞度-臂載流殼子補(bǔ)先償度升（雜能質(zhì)補(bǔ)劉償度閉），除記為線M。名由于六半導(dǎo)頭體中塊的雜父質(zhì)全箏部電癢離，盞則其園反映觀了半敢導(dǎo)體浪材料箭中反豈型雜緣質(zhì)的宋多少牌。祖繩基喂本要住求：屆了解改用于妙半導(dǎo)傻體器朱件制訪造的咱半導(dǎo)眠體材含料的駁類(lèi)型乖，了栽解元新素半弄導(dǎo)體著材料畫(huà)的類(lèi)等型及繪構(gòu)成字，了躁解化派合物壟半導(dǎo)擁體材名料的競(jìng)類(lèi)型尊及構(gòu)批成。泄知道盈半導(dǎo)扇體器薄件制彼造中載最常億用的指硅半叉導(dǎo)體默材料豆的特安點(diǎn)，決知道彼半導(dǎo)橫體光溝學(xué)器向件制播造中殖最常炸用的拳砷化峰鎵半革導(dǎo)體孤材料度的特師點(diǎn)。侍清楚狂硅半碌導(dǎo)體拖晶體辛和砷圾化鎵碼半導(dǎo)憑體晶禁體的晝晶體賀結(jié)構(gòu)星，以現(xiàn)及它易們的刷結(jié)構(gòu)摸特點(diǎn)奇；知雄道它還們?cè)跉w結(jié)構(gòu)苗上的物相似鎖處和走不同旅處；標(biāo)知道塔由硅名半導(dǎo)速體晶妥體結(jié)讓構(gòu)分坊析引挖入的檢兩個(gè)鼻結(jié)論終，并譯清楚嶺它們堪對(duì)半冒導(dǎo)體含器件怨制造滲的指彈導(dǎo)意侵義。短了解炒硅半怒導(dǎo)體匙單晶楊體是愚如何盈制備兼的，膝清楚慌其不即同的瞇制備行工藝教；知分道砷緊化鎵租半導(dǎo)催體晶特體是勁如何巴制備判的，償及其摔了解亞各種四制備搶工藝妻。清簡(jiǎn)楚知斤道硅眾半導(dǎo)課體單狡晶體舍的外抬部特追征，販知道逼這些畏外部蛾特征怪與晶這體內(nèi)館部結(jié)怪構(gòu)之窩間的驕密切貧聯(lián)系真。知奶道如鳴何進(jìn)驢行硅排襯底宗材料妥的選鋸擇，死知道群在硅弊單晶矩的質(zhì)患量參慣數(shù)中薯結(jié)構(gòu)鼻參數(shù)梯包括別哪一至些、徹物理陡參數(shù)希包括伐哪一墨些、鍛電性趕參數(shù)五是指換什么譜；對(duì)錄高要徐求和渴高性?xún)A能的遇集成慰電路拔制造篩，還粗應(yīng)注肅意哪銳些材散料的豪質(zhì)量斃參數(shù)窄。錄§異1握.2舉揮文尸硅姑單晶盡的定狂向蠟井零謊桑馬蜘踩府賓凡干發(fā)否應(yīng)衰居胸翼采宗察遍裁團(tuán)戚織防觸2學(xué)績(jī)時(shí)羊坡課背程內(nèi)斃容：辭1慘蛛吃定向燈的方開(kāi)法誼耐差觀鳥(niǎo)難享擴(kuò)旋露陰懷朱1堡.1魯摟根據(jù)世晶體設(shè)生長(zhǎng)怪的各耽向異釀性定砌向蓋湯季秘統(tǒng)忙當(dāng)飛御譽(yù)狗井治飯旗嶺碌較巷份啟蘿板坑1嚴(yán).2停冶根據(jù)哈晶體用解理碧的各疼向異摧性定長(zhǎng)向紗兼萄車(chē)名岸近狠基再頸祖銜墾渠閃冒娘1域.3咳鼠根據(jù)敞晶體馬腐蝕冷的各循向異懸性定閃向垮喪旨韻也做籠迅1縣.4亦摘光圖痕定向魄1.努5塔x筒光衍叔射定京向嫌徐宜濃姑派吐秩2弱峽倘光銹圖定鋒向的性方法孤與原慣理絲馬尤裝瞧降暑犁餡償盜俯毒2杯.1害抱顯示沃晶面斤解理誘坑倡地位半糟躁王排到狀蜻蓬補(bǔ)2欲.2信泳晶面廢解理璃坑的疊結(jié)構(gòu)棒與分集布賭孤遣勾公悶吃咬2共.3斧級(jí)光向促與晶韻向搭船電2.場(chǎng)4鎖燥光圖清定向銀儀眠謊藏爸券限情舒2刑.5犁賴(lài)光圖設(shè)定向弦3.流春坊光圖社定向奧器件艘生產(chǎn)爆中的著應(yīng)用派3.違1認(rèn)霧定向絮切割挪帖邊維爸3.彼2衣溜定向剃劃片慕及定意位面跳的制固造剛沖課似程重滔點(diǎn)：扣本節(jié)冬介紹賊了常何規(guī)集霉成電陽(yáng)路制背造中妻硅單飲晶體鈴定向遭。粗降略的紐可根申據(jù)晶井體生襯長(zhǎng)的件各向極異性倒定向獲、根盟據(jù)晶燭體解落理的稱(chēng)各向勉異性蠟定向撓、根某據(jù)晶康體腐汪蝕的危各向返異性梯定向爽；較艙精確稈的可奏進(jìn)行依光圖歡定向筋；更蛇精確摩的可雷進(jìn)行陜x爹光衍裂射定賢向。蒸本節(jié)躲主要疫介紹俗了常拘規(guī)集擋成電禁路制眠造中液最常背用的仆光圖衰定向乒，根么據(jù)光莊圖定奉向的早三個(gè)中必備襖條件攻，進(jìn)袖行了嫩顯示璃晶面漆解理寬坑的勇討論予；晶挺面解啞理坑夜的結(jié)困構(gòu)與潤(rùn)分布吐的討目論；榮平行航光照月射晶艱面解弄理坑稀后，境得到購(gòu)的反盞射光療象與例晶體水晶向頸關(guān)系跪的討肉論；城討論皂了常陪見(jiàn)的忘光圖辣定向駐儀；武并對(duì)餅光圖撈定向膀的設(shè)剃備要釘求和斯光圖艘定向玩步驟梁進(jìn)行憐了討展論。榨最后微，討其論了密光圖泡定向累在常痛規(guī)集回成電務(wù)路制私造中承兩種敘常見(jiàn)辱的應(yīng)生用，責(zé)定向扮切割持是在唱一定壤生長(zhǎng)古晶向傲的硅嚼單晶賣(mài)棒上瞎切出喉所需愉晶面模的硅疲單晶刊片；耐而定魯位面睜的制蜂造是途為了絮適應(yīng)農(nóng)器件和生產(chǎn)置中的餐定向剝劃片虎，指惕出定線向劃涌片可豎以獲季得大堤量完拼整的痰管芯愧，定艱位面夾為定荒向劃窮片提譯供了款劃片叮的參聾考平皺面。淡按課禿程難趟點(diǎn)：走為什貫么可傻根據(jù)籍晶體么生長(zhǎng)嚷的各逗向異峰性、突晶體小解理號(hào)的各凈向異瓶性、吸晶體逆腐蝕備的各貞向異訪性進(jìn)寬行定粗向，岡與晶校體結(jié)艇構(gòu)的趴關(guān)系膏如何懲。在伴光圖吹定向藏中，肺顯示裁晶面及解理械坑采繳用了纖電化擱學(xué)腐匆蝕，圍腐蝕爹前為奪什么販要進(jìn)耀行金濫剛砂糾研磨建？在炭電化扣學(xué)腐兩蝕液剪中，重晶格秧畸變瘡區(qū)和柳晶格橫完整鮮區(qū)各話(huà)具有形不同擦的性縣質(zhì)，效進(jìn)行百了什震么不暈同的擋化學(xué)鞏反應(yīng)盾，其鋸反應(yīng)越機(jī)理念是什肝么。鼠當(dāng)在謊低指鏟數(shù)晶式面的菌晶片膛上制與備晶友面解威理坑沖時(shí)，欄獲得底的是纖以平索行該闊低指糧數(shù)晶餃面的恐面為惕底、逗以{仍11戴1}三面為畫(huà)側(cè)面告圍成戶(hù)的平箱底錐?？?，團(tuán)此類(lèi)錦結(jié)構(gòu)宵的形晉成機(jī)留理及趣與晶號(hào)體結(jié)赴構(gòu)的學(xué)關(guān)系醒。光逆圖定描向中千光象嗚與晶懂向之里間的辯一一股對(duì)應(yīng)勺關(guān)系耕?？嫁D(zhuǎn)慮定肝位面肢劃片客時(shí)就轉(zhuǎn)能減也少管貢芯的額碎裂陣的理朽論依他據(jù)。均粉亡冷線該垮棉址顛牲基脈本概芬念：腫速1竭光銹圖定役向-賓用平所行光褲照射搭單晶貌體上初的晶杰面解計(jì)理坑園，根睜據(jù)反匯射光駝象判昨定、徐調(diào)正稿晶向環(huán)的方初法?；勖季峙\2炸晶面殘解理營(yíng)坑-閣以低咽指數(shù)壞晶面孫圍成沫的、片與晶芳面（淹晶向救）有章一定秘對(duì)應(yīng)訂關(guān)系輩的晶某面腐蹲蝕坑罪。其進(jìn)側(cè)面艇為解安理面瞧。位邁睡熊靜昌債秋啦羨機(jī)念糖庭稻鐵優(yōu)安3羊晶格廉畸變耽區(qū)-帝指晶德格有畜損傷芳的或唯不完死整的隔區(qū)域廁，該色區(qū)域見(jiàn)存在鋸較大摔的晶挖格內(nèi)拒應(yīng)力哪，內(nèi)丘能大佳。喜鍛4臉晶格獄完整秧區(qū)-庫(kù)指晶澡格結(jié)巖構(gòu)完晨整或原完美何的區(qū)腔域，煮該區(qū)弟域晶喂格內(nèi)辜應(yīng)力克低，編內(nèi)能點(diǎn)小。摩丸5碗反遮射光址象-仍用平松行光準(zhǔn)照射峽晶面鄙解理德坑抬，晶釘面解久理坑孝某組早平面沸對(duì)光干的反撲射而宵得到疤的光捕圖（筍光象狐）餡。鏟橡換近篇厭飾姨丘6善定向浴切割桃-光逃圖定滅向+岸垂直婚切割室。撓懇7第定災(zāi)向劃戰(zhàn)片-碌按規(guī)糕定沿補(bǔ)解理仍向進(jìn)丙行劃勒片形的方所法。兼疑基迎本要蓮求：妖了解禾硅單撒晶體焦定向怠的目繳的、癢可采做用的館方法無(wú)、定垃向原隱理。豎知道觸幾種妻粗略護(hù)定向仗方法酒的理凱論依甜據(jù)，糠較精缸確定市向方慶法間休的比年較。是清楚略光圖勸定向脖的方刃法和逝原理伶，能嗎通過(guò)喚合適照方法記得到搜晶面桐解理訊坑、賢能通簽過(guò)一地定手麻段得徹到反價(jià)射光慧象、示能由捷反射殊光象謠與晶袖體晶敘向的濟(jì)關(guān)系夠分析靜判定躺晶向憶、當(dāng)翅晶向此有偏斥離時(shí)四能通喚過(guò)調(diào)塘整光逮圖調(diào)辱正晶愿向。寶知道踢光圖尤定向傲是如腐何在揀半導(dǎo)輸體器聽(tīng)件制償造中盲得到未應(yīng)用杏的，婆知道證光圖艷定向量在定扇向切株割中揉所起向的作決用、耗知道結(jié)光圖塞定向穩(wěn)如何眼參與滾定位磨面的哭制作唉和定閣位面踐是如促何在靜定向殲劃片翁中起界到作何用的姐。持§泳1并.3廣材喪硅襯較底制鋼備工蹄藝簡(jiǎn)碼介瓣爆吹侵驗(yàn)崖總鼠捷裹漸疲糧高貍生下紫破餐澆1學(xué)矛時(shí)萌顛課大程內(nèi)駝容：狐1醫(yī)禍硅驗(yàn)單晶尾的切版割灰1.途1殲令工番藝作樂(lè)用攜朗陣匯蠢興考酒1捧.2裁溜切轎割原繞理丑漠唉亡婆三泥竹陣1累.3管紛切好割設(shè)罰備茶倘瑞虜窯袍胖栗茫負(fù)1買(mǎi).4潮串切罩割方音法斧1.們5罵孫切偵割要鬼求爽1.魄5.痰1松硅畜片厚援度袍1.藝5.溪2關(guān)硅沫片兩獻(xiàn)面平限行度咸1.蒼5.攜3式硅被片厚護(hù)度公公差浸瘡扯葵夢(mèng)鵲哲勇1活.6贊想行注意域事項(xiàng)附四涼鉆爐公紡聯(lián)2肝拐霞關(guān)研我磨工港藝腦全栽擴(kuò)佳咐鳴葵賊2雪.1胳帳事研磨亂的作灣用翁柳絲刮授蝴洽厭響2糊.2抄貝乖研磨斧的方劈法徒幕2.勞2.肝1豎單觸面研乖磨芽2.鮮2.廳2役雙睬面研叛磨宵仗烏角卻紹刷吐2麥.3蟲(chóng)聰拿研磨脾要求顯處雞枕鼓溪輕覆擁2鐘.4苗撕評(píng)影響鎖研磨執(zhí)的因虜素悔2.秋4.辮1寧棗磨料臺(tái)的影犯響尖2.云4.夢(mèng)2塊貴磨盤(pán)筐壓力校的影敘響宏倉(cāng)伐焰豈率黨叮3燕正單食栽?huà)佉鹿夤ひ曀嚦Y皆咱墳值營(yíng)舟饑3趟.1疑記板拋拉光的憤作用雷礦聽(tīng)逃伯嚇屯檢蜓3喜.2陷響隙拋緞光的君要求輝強(qiáng)棚等券目是基止3據(jù).3刮腫鈴親拋光津的方歐法裝懶3.攝3.趣1怎機(jī)械秧拋光卸工藝附3.胸3.見(jiàn)1外.1值方班法及紡原理碰3.脾3.緣1挎.2誼優(yōu)僻缺點(diǎn)造3.刷3.售1墓.3黎適掉用范龜圍汗3.撇3.螺2物顧化久學(xué)拋伍光工箏藝謝3.矩3.阿2弓.1益原浸理蓋3.非3.獅2慎.2薄方少法挨3.嚴(yán)3.比2習(xí).3世優(yōu)缺爸點(diǎn)喜3.密3.逆2仰.4饒適用撒范圍償3.氏3.豬3元嬌化丟學(xué)機(jī)全械拋盯光工聞藝元3.茄3.誤3孟.1無(wú)方雞法及刑原理淡3.蒼3.掀3委.2輪化學(xué)心機(jī)械崖拋光辰種類(lèi)樸3.無(wú)3.劑3仇.3暫拋販光過(guò)雕程分邪析劑功課崇程重鳳點(diǎn)：妹本節(jié)孕簡(jiǎn)單鐮介紹凝了襯站底制蜓備中黑切片律、磨經(jīng)片和映拋光藥三個(gè)瓦工藝屯的基檔本情副況。樹(shù)關(guān)于妹硅單佩晶體梳的切逮割，譯討論朋了該槳工藝購(gòu)的四悠個(gè)作擔(dān)用：椒即決穗定了贊所切愿出的斥硅單猛晶片糖的晶謹(jǐn)向、破晶片收厚度多、晶叔片平海行度滑和晶窄片翹宏度；饑討論略了切襪割原辯理：夢(mèng)實(shí)際攪上是罪利用險(xiǎn)了刀盈片上看的金踐剛砂菊刀刃踏對(duì)硅叉單晶驢棒進(jìn)殺行脆苦性磨補(bǔ)削，高由于殃切割噴刀片染的高羊速旋扣轉(zhuǎn)和亡緩慢彩進(jìn)刀暢，而挨使硅亡單晶繳棒變感成了重一片挪一片告的硅沾單晶撐片；洗介紹月了兩稱(chēng)種切話(huà)割設(shè)南備，裁一種藥是多言用于攝硅單警晶片膠的切聰割的期內(nèi)圓忙切割茅機(jī)，瘡另一取種是司用于祖定位盆面切潤(rùn)割的如外圓歷切割純機(jī)；諷最后林還給拉出了么硅單塔晶體濤的切接割的索要求遵和注失意事國(guó)項(xiàng)。諸關(guān)于筒硅單膝晶片熱的研棗磨，仍討論慨了該拖工藝化的四中個(gè)作屋用：境即去杰除切壤片造狼成的嚇刀痕頁(yè)、調(diào)遍節(jié)硅憑單晶岡片的愈厚度鏟、提姓高硅念單晶屯片的邊平行保度和圣改善旬硅單貝晶片襪的平侮整度掘；討類(lèi)論了若硅單剛晶片星研磨曠的方肥法，錦根據(jù)蘿設(shè)備付的不剪同分商為硅恐單晶釣片的垮單面獅研磨錘和硅臘單晶得片的財(cái)雙面鴉研磨聯(lián)，其錦研磨顫?rùn)C(jī)理膛是相城同的番；討貓論了舞影響爛硅單瀉晶片椒研磨援的因亞素，療研磨董質(zhì)量食主要蝕取決潮于磨塘料的印質(zhì)量裕和磨稀盤(pán)壓煮力的躍大小京。關(guān)猾于硅塌單晶屬片的刷拋光瓶，討桂論了奧該工型藝的拿作用糊，主附要是憤去除扇磨片拴造成閃的與咳磨料悉粒度侵相當(dāng)蒸的損薦傷層西，以單獲得投高潔灶凈的瘦、無(wú)首損傷泄的、室平整菌光滑叢的硅淹單晶池片的港鏡面腦表面愁；討賺論了扯拋光遞工藝互的三腸種拋極光方譽(yù)法，炮即機(jī)儉械拋玉光、城化學(xué)仇拋光憑和化凈學(xué)機(jī)逼械拋歉光方怒法。墨機(jī)械覺(jué)拋光木是采唱用更葛細(xì)的巴磨料布在蓋繡有拋塌光布六的磨棗盤(pán)上偉進(jìn)行輕細(xì)磨牧，由況于其啄工藝儲(chǔ)過(guò)程俘中無(wú)腸化學(xué)賓反應(yīng)引，則御該工燥藝適乒用于遼化合籍物半碼導(dǎo)體山晶片馳的表伸面拋顧光；瓦化學(xué)吹拋光撫是利嬌用化司學(xué)腐述蝕的匙方法承對(duì)晶峽片表紋面進(jìn)仙行拋儀光，塊它對(duì)允待研站磨片順平整沾度要挪求較男高，漿化學(xué)鐮拋光懲可分池為液塔相拋餃光和浙氣相凱拋光性?xún)煞N歡拋光客方式膚，由提于該慧拋光狀工藝單拋光景速度德快、斯效率領(lǐng)高，暴則該故工藝種更適們用于登高硬魯度襯枝底表站面的音拋光姜（如她藍(lán)寶催石、飽尖晶蹄石等約）；睛化學(xué)春機(jī)械月拋光爭(zhēng)是硅若單晶溉片拋良光的休常用遭工藝撿，該件工藝慕綜合降了礙機(jī)械框拋光舟、化戚學(xué)拋啟光兩窗種方抖法的寒各自概的優(yōu)利點(diǎn)，束從方譜法上屬看，鑰是采涌用了鹽機(jī)械吉拋光動(dòng)設(shè)備祖而加推入了侍化學(xué)劣拋光擦劑，艘化機(jī)案拋光世的種撈類(lèi)可冰分為證酸性易拋光妻液拋央光和塔堿性衣拋光過(guò)液拋交光兩句種，頂酸性巾拋光演液拋悟光有熱鉻離尸子拋詳光和門(mén)銅離愉子拋刻光兩沫種方省式，茶堿性系拋光蜻液拋園光為掩二氧錢(qián)化硅爆拋光騎、也位分為豐膠體局二氧辜化硅罩拋光宜和懸置浮二預(yù)氧化串硅拋辜光兩園種方醬式。敬悲課程琴難點(diǎn)亦：硅衫單晶笑切割況的方戶(hù)法與嶺原理窄；硅煌單晶獨(dú)切割偏的要鬧求和竹注意搜事項(xiàng)流。硅套單晶銷(xiāo)片研辭磨的暫方法膨和原脆理；爪硅單噸晶片稻單面瘋研磨使方式率和雙預(yù)面研懶磨方羊式的是區(qū)別罰；注倚意磨飲料質(zhì)撞量和愚磨盤(pán)川壓力儉是如移何影蠅響研畝磨質(zhì)夾量的辟。硅翻單晶鏟片的龍三種尾拋光低方法貨各自燥的拋騰光原挽理與準(zhǔn)拋光禁工藝深；三寇種拋姨光方鼻法各閥自的爽應(yīng)用山特點(diǎn)略和應(yīng)頭用范豈圍。在基本即概念勉：令排1紐晶拖片的弟平行稿度-綠指某折晶片吉的厚沖度不搶均勻宗的菠狀況道。困2影晶片格的厚犯度公蔥差疲-晶奸片與溉晶片冷之間扔厚度憲的差譽(yù)別。扶3晶濤片的濕單面富研磨肢控-晶屆片的尖單面脹研磨駱指將懇晶片索用石鎮(zhèn)蠟粘工在壓嗽塊上挖，在蠅磨盤(pán)末上加網(wǎng)壓對(duì)水空面琴進(jìn)行懂研磨粥的方花法。議4恨晶片燃的雙益面研隱磨吵–殺指將員晶片陽(yáng)置于暑行星委托片痰中，魄在上住、下尊磨盤(pán)頓中加烏壓進(jìn)種行雙包面研弱磨的真方法繼。悅5桶機(jī)朵械拋幸光-廟采用艱極細(xì)德的磨雖料、故在蓋叼有細(xì)隱密拋導(dǎo)光布飼的拋油光盤(pán)振上對(duì)煌襯底娛表面座進(jìn)行別細(xì)磨脊的工后藝過(guò)菊程。旱6化厘學(xué)拋食光-愈利用趕化學(xué)剝腐蝕諒的方污法對(duì)叮襯底成表面庭進(jìn)行各去損撒傷層套處理軍的過(guò)惹程。害7掙化學(xué)服機(jī)械瓦拋光波-采牧用機(jī)浮械拋吧光設(shè)抬備、判加入掘化學(xué)最拋光遼劑對(duì)內(nèi)襯底爭(zhēng)表面俘損傷疤層進(jìn)萍行處豪理的弊過(guò)程怪。位丸基測(cè)本要靈求：蓬熟知聞半導(dǎo)盯體集仰成電列路制王造對(duì)候襯底推片的寸要求譯，了碑解襯蝦底制索備工小藝是稼如何慣一步各步達(dá)款到以讀上要秤求的術(shù)。清孕楚知因道晶兩片切鈴割工知藝的避方法縮與原添理，接了解霜晶片兵切割錢(qián)工藝哪過(guò)程攜，知躍道晶昆片切棚割的獄工藝狂要求損和注挨意事退項(xiàng)。托清楚攤知道汁晶片參研磨出的工新藝方淚法和機(jī)工藝員原理肝，熟畢悉兩森種研移磨方蘇法，慮知道撤研磨燒工藝災(zāi)達(dá)到那的目傭的和險(xiǎn)要求詢(xún)，能船分析惡影響也研磨幼質(zhì)量搞的各優(yōu)種因際素。之清楚竭知道寇晶片塌拋光糞的各往種工濕藝方賀法和已工藝凍原理軌，能大根據(jù)殲不同法的待燃拋光宇襯底皇的實(shí)融際狀耗況選餃擇合失適的類(lèi)拋光弄方式拌，合細(xì)適的彼拋光信方法蘿。俯第一復(fù)章襯書(shū)底材芝料及蔬襯底諸制備趙作業(yè)煎登液啊乘淡思鉗考題稼3題食+習(xí)紹題3餐題夕聯(lián)第癥二章眉：魚(yú)怕外悔延工沖藝原振理勢(shì)圍避姜蛾夕生館鬼消歸援我般顫墊克篇?jiǎng)菘椎魮?jù)（8忽學(xué)時(shí)樸）籮§互2.陷1和縣緞明外延痰技術(shù)割概述退扇鍵加嶺蟲(chóng)嚇侍慰康哀罪園瞞鋸康齊斬航勿港向途峰嬸逝俯1沫.5卷學(xué)時(shí)銀膚課咱程內(nèi)薪容：兔1默俱瘦外延萍分類(lèi)筍黎銜料技映但1巨.1仆化吉由外劇延材蟲(chóng)料的柿名稱(chēng)期不同赴分類(lèi)城得股類(lèi)技繼私1到.2日疊拔由嗽外延遠(yuǎn)層材敗料與端襯底侮材料含相同喬否分蹦類(lèi)銹1.兩2.抖1械同仗質(zhì)外愈延垃1.移2.勇2怪枕異質(zhì)觀外延增倉(cāng)虎棍萄叨綠1就.3濃蠶占由標(biāo)器件趴作在叔外延葛層上盛還是匆襯底弦上分嬸類(lèi)譯1.類(lèi)3.可1棄鍬正外臘延恩1.販3.暑2木毫負(fù)外菜延（切反外瘦延）圣帆柏碎除抵幟1余.4摧色駐膨由外延延生鍛長(zhǎng)狀島態(tài)分檔類(lèi)腹1.鈴4.釣1蹈液相衫外延謠1.單4.趕2腎虹氣相閘外延聲1.雜4.煮3烏銜分子棉束外拔延挽鍵昨組嘴滲遭1悟.5截裁秘偵由外徐延生越長(zhǎng)機(jī)稅構(gòu)分衣類(lèi)崇1.敢5.姐1毛直接武外延換1.翅5.捏2喇間接闖外延眉2紡客芒外延勤技術(shù)配簡(jiǎn)介斬2.構(gòu)1畝競(jìng)徑定義獸2.凝1.游1慣秧外延掌技術(shù)貫2.物1.燕2致罷外延結(jié)層嚼2.貿(mào)2宗碼亡外泊延新戒技術(shù)慕2.藝2.景1日迅低溫弓外延雁2.殊2.陣2賊邊變溫棚外延難2.孟2.姿3芬扁分步階外延警2.毅2.麗4城分子減束外需延拆3這過(guò)德形集成靈電路夸制造酷中常居見(jiàn)的坑外延罷工藝頌3.尋1裳腳筋硅外嬸延工先藝糖3.遙1.傘1閉典工型外泊延裝霉置片3.芬1.葡2賀硅外朝延可竿進(jìn)行祥的化速學(xué)反催應(yīng)胸3.辮2忍雕碎砷選化鎵賠外延設(shè)工藝鞋3.特2.續(xù)1龍護(hù)氣相榨外延悅工藝居3.翼2.綁2忘等液相恒外延蠢工藝終歉課番程重并點(diǎn)：蹲本節(jié)栗介紹暑了什魂么是紐外延肥？外搖延技爬術(shù)解粗決了副哪些堆器件襪制造落中的琴難題獄。介摔紹了距外延口技術(shù)疲的分焦類(lèi)，違由外音延材池料的腫不同館可分源為硅稠外延盈、砷鴨化鎵禿外延為等等餃；由誼外延淚層與趕襯底皂材料妨相同慢否可韻分為講同質(zhì)駁外延件和異捎質(zhì)外晶延；及由在耳外延棗層上遠(yuǎn)還是絕在襯駝底上作制造鈔器件草可分秒為正礎(chǔ)外延泰和負(fù)填外延饑（反輩外延進(jìn)）；恭由外后延的恨生長(zhǎng)紡環(huán)境秋狀態(tài)夢(mèng)可分紫為考液醒相外龍延、轟氣相糊外延秋和分仙子束紛外延喝；由叨外延仁過(guò)程鐘中的閥生長(zhǎng)訓(xùn)機(jī)構(gòu)砌可分盤(pán)為直邁接外撈延和說(shuō)間接違外延磚。對(duì)煉外延客技術(shù)杰做了海簡(jiǎn)單疊的介脅紹，辛給出倍了外稿延技涌術(shù)和游外延促層的燭定義革；介弱紹了弟低溫捐外延童、變岡溫外家延、暴分步扛外延議和分軍子束密外延聾幾種桌較新蓄的外廚延技信術(shù)。慰對(duì)在取集成設(shè)電路政制造鹽中常粉見(jiàn)的咐外延弊工藝晶做了煉概述惕。對(duì)役硅外裳延工迅藝，杠介紹盯了其殼典型眼外延勢(shì)裝置獅，包唐括了恒臥式遣外延炒反應(yīng)譽(yù)器裝包置、字立式副外延都反應(yīng)睜器裝歌置和比桶式舅外延錦反應(yīng)摸器裝扒置；粘以氫睡氣還舌原四躁氯化晶硅的址典型制臥式境外延玉反應(yīng)墓器裝墳置為君例進(jìn)微行了擇設(shè)備炎介紹餅，該觸設(shè)備陪包含采了氣釋體控劑制裝腐置（玩氣體欲純化旁裝置喬、硅夸化物仿源〈赴純硅篩化物地源和貞含雜種硅化寺物源趕〉、拿控制投管道赤及裝米置等專(zhuān)）、詠高（飯射）析頻加扮熱裝然置（濕高〈搏射〉唱頻感碗應(yīng)信咐號(hào)爐強(qiáng)、丸可通專(zhuān)冷卻歐水的湯銅感縱應(yīng)線侮圈、憑靠產(chǎn)扯生渦糖流加否熱的脫石墨興基座刻）、占測(cè)溫兇裝置壓及石添英管毛構(gòu)成免的反歇應(yīng)器望；對(duì)培硅外沾延可合進(jìn)行桃的化里學(xué)反等應(yīng)進(jìn)饑行了蒜討論灰，包侄括氫腥氣還胳原法批中的戲四氯忙化硅艙氫氣槐還原鈴法、滿(mǎn)三氯用氫硅瞎氫氣齡還原線法炸以及蓬熱分荷解法巨中的算二氯蘿氫硅糠熱分史解法隱、硅糟烷熱隊(duì)分解批法。壞對(duì)砷薯化鎵勻外延釀工藝廢，主臨要介企紹了魂三類(lèi)冤外延私方法倉(cāng)中常辯見(jiàn)的訓(xùn)氣相顛外延禽工藝毫和液托相外巨延工概藝，景在氣濾相外倒延工劃藝中高，討仿論了壇鹵化載物外不延工穗藝和仍氫化因物外驗(yàn)延工訪藝；納在液任相外挪延工斃藝中貓，介膊紹了鎮(zhèn)液相宿外延插應(yīng)注勿意的調(diào)幾個(gè)段問(wèn)題淹、介呈紹了便液相做外延衡生長(zhǎng)耳系統(tǒng)障（水課平生帳長(zhǎng)系閥統(tǒng)和使垂直誕生長(zhǎng)益系統(tǒng)燭），坡由于駕水平蜻生長(zhǎng)健系統(tǒng)悠較為穩(wěn)常用客，所斜以重到點(diǎn)介點(diǎn)紹了覺(jué)各種崖水平困液相漆生長(zhǎng)濁系統(tǒng)丹。嬸課程樸難點(diǎn)霜：外殼延的崗定義冤、外占延技剪術(shù)的電定義畜、外促延層修的定洞義。大在外俱延分索類(lèi)中必，按相外延打材料神不同園分類(lèi)葛時(shí)所災(zāi)包含商的種費(fèi)類(lèi)及月其定燃義；羨按器關(guān)件制律作的惠層次城不同更分類(lèi)益時(shí)所院包含職的種佛類(lèi)及叢其定歡義；獎(jiǎng)按外朵延外饑延層創(chuàng)與襯勻底材懇料相點(diǎn)同或溝不同悄分類(lèi)守時(shí)所漁包含鏡的種短類(lèi)及逮其定爪義；謙按外驢延生牌長(zhǎng)環(huán)嗚境狀抹態(tài)不藥同分州類(lèi)時(shí)串所包遍含的帳種類(lèi)梢及其爺定義顏；按御外延容生長(zhǎng)短機(jī)構(gòu)直不同央分類(lèi)返時(shí)所舒包含辱的種仗類(lèi)及仙其定司義。穗外延碌技術(shù)待解決舟了半帥導(dǎo)體廳集成彈電路罵制造犧中哪羽些難鴉題？貢是如順何解監(jiān)決的劉。對(duì)點(diǎn)于半杰導(dǎo)體繩集成字電路傭制造傷中?；谝?jiàn)的松外延悲技術(shù)猴，關(guān)坐于硅援外延麻技術(shù)憂(yōu)的典制型生呀長(zhǎng)裝紡置、總裝置環(huán)中的登主要段組成鍬部分閣、外凡延中互區(qū)別蝕兩類(lèi)搞方式善（氫陳氣還租原方鑰式、北熱分寧解方集式）賀可進(jìn)宇行的滋化學(xué)卷反應(yīng)倘；關(guān)承于砷溉化鎵嶺外延始技術(shù)黃的兩丘種外孔延類(lèi)龜型、槍氣相項(xiàng)外延逃工藝葉中的晨?jī)煞N損外延堂方法壤（鹵五化物迷外延緊工藝原、氫罩化物核外延段工藝輔）各抗自的將工藝昌過(guò)程道和化丈學(xué)反愛(ài)應(yīng)狀銷(xiāo)況、寇液相飾外延材工藝像中應(yīng)眉注意選的問(wèn)橫題和風(fēng)幾種鉛實(shí)際徐外延享系統(tǒng)趙的外垃延原萬(wàn)理。渣下責(zé)基本短概念收：盆1孝外延茶-在毀一定職條件毀下，泰通過(guò)莫一定證方法招獲得伸所需支原子席，并經(jīng)使這懼些原族子有分規(guī)則刃地排血列在驚襯底披上；晶在排紡列時(shí)寇控制趙有關(guān)隸工藝師條件蜜，使竟排列皮的結(jié)退果形甘成具絹有一霜定導(dǎo)漁電類(lèi)巷型、艙一定搬電阻飽率、隨一定腐厚度遭。晶殲格完桑美的咐新單給晶層是的過(guò)無(wú)程。式2勿硅外錯(cuò)延-偵生長(zhǎng)丙硅外只延層扶的外隊(duì)延生純長(zhǎng)過(guò)醫(yī)程。非3砷縱化鎵盛外延催-生銳長(zhǎng)砷憑化鎵套外延問(wèn)層的辱外延擋生長(zhǎng)販過(guò)程鉆。鋒4寧同質(zhì)趙外延們-生沉長(zhǎng)的瓜外延尾層材架料與痕襯底亂材料依結(jié)構(gòu)乒相同懲的外抖延生智長(zhǎng)過(guò)澇程。庭5耗異質(zhì)舊外延玩-生良長(zhǎng)的爸外延糟層材瑞料與箱襯底涉材料嫌結(jié)構(gòu)根不同姥的外貨延生襪長(zhǎng)過(guò)僵程。勢(shì)6抖正外屬延-蠶在（鋼外延粘/襯侮底）先結(jié)構(gòu)免上制勁造器絞件時(shí)責(zé)器件艙制造嚷在外慕延層伴上的穗前期吹外延燙生長(zhǎng)舅過(guò)程孫。龜7貌負(fù)外征延（驚反外聾延）街-在鼓（外棚延/纖襯底他）結(jié)哲構(gòu)上盜制造虹器件該時(shí)器稼件制警造在全襯底潮上的作前期乒外延渠生長(zhǎng)綢過(guò)程屠。請(qǐng)8液下相外婆延-啟襯底脫片的乎待生境長(zhǎng)面圾浸入垮外延那生長(zhǎng)雨的液杏體環(huán)深境中銷(xiāo)生長(zhǎng)剖外延矩層的桶外延黃生長(zhǎng)奮過(guò)程奔。近9氣憑相外寸延-淺在含仔有外緒延生睬長(zhǎng)所葉需原消子的徑化合飼物的曠氣相陵環(huán)境遷中，些通過(guò)預(yù)一定狂方法趕獲取稅外延育生長(zhǎng)選所需童原子撒，使削其按嚇規(guī)定深要求皺排列暴而生補(bǔ)成外勸延層桶的外鹽延生兄長(zhǎng)過(guò)意程。絞10鹽分鴉子束粘外延浮-在睬高真田空中抄，外泡延生規(guī)長(zhǎng)所慶需原慨子（抖無(wú)中勝間化酒學(xué)反本應(yīng)過(guò)天程）休由源棄直接怨轉(zhuǎn)移狼到待敵生長(zhǎng)串表面鑒上，生按規(guī)露定要旬求排探列生盡成外衰延層翻的外攪延生但長(zhǎng)過(guò)貨程。辣11蟻直忠接外揮延-片整個(gè)協(xié)外延帝層生休長(zhǎng)中陵無(wú)中懶間化諸學(xué)反罵應(yīng)過(guò)準(zhǔn)程的熱外延手生長(zhǎng)畢過(guò)程圣。墾12姜間接螺外延配-外肺延所獲需的縣原子例由含哀其基月元的繡化合炎物經(jīng)轟化學(xué)奇反應(yīng)尾得到罷，然辯后淀芽積、難加接斃形成詢(xún)外延丟層的屠外延銜生長(zhǎng)膏過(guò)程爸。蹦13蕩外母延層剩-由撥原始排襯底辦表面皇起始泳，沿濫其結(jié)趙晶軸您向（稿垂直鎖于襯嫂底表派面的易方向售）平飼行向盤(pán)外延越伸所牧生成州的新浪單晶掩層。杜14康外延碼技術(shù)躁-生賢長(zhǎng)外束延層瞧的技裹術(shù)。露基本辮要求訴：了閃解外樓延技困術(shù)解品決了添半導(dǎo)災(zāi)體分配離器旋件和忘集成突電路好制造您中存勤在的世哪些仁難題第？為腰什么味說(shuō)外倍延技階術(shù)解賀決了芳器件嘩參數(shù)泳對(duì)材添料要沉求的駱矛盾云、是淹什么酷矛盾蒜、如遞何解遼決的堡？為雷什么者說(shuō)引外延南技術(shù)柴提供鄭了集匠成電請(qǐng)路隔冰離的田一種嫁方法載、什農(nóng)么方挖法？太為什切么說(shuō)璃外延甘技術(shù)遞為發(fā)饑光器邊件、燕光學(xué)汗器件妨的異旗質(zhì)結(jié)或形成夢(mèng)提供盒了途券徑？柿要求艙知道必外延憂(yōu)技術(shù)風(fēng)是如獎(jiǎng)何分扒類(lèi)的慚、各蛛種分屈類(lèi)中龜?shù)耐忪`延是剝?nèi)绾渭槎x祥的？笛要求驗(yàn)?zāi)艽蟠嘀铝怂浇廨^滲新的蟲(chóng)外延質(zhì)技術(shù)哈。要隱求清券楚的碰知道貧在集服成電鍋路制亂造中王常用弱的硅紹外延林工藝貨的典懼型外徒延裝吵置和循外延晨過(guò)程期中的亦所有溝可能眉的化注學(xué)反侵應(yīng)；燃要求昆清楚哲的知召道在軍集成詠電路垂制造伍中常盜用于渡砷化佩鎵外湊延工恒藝中齡的液墳相外褲延的鼻注意禾事項(xiàng)默及液堵相外喝延反涉應(yīng)系嬌統(tǒng)、時(shí)氣相羨外延霧的兩糟種外徐延工障藝及鑼其外找延過(guò)鵲程中怎的所慢有化望學(xué)反圓應(yīng)。值§份2.你2祖鄰貫上高青四氯薦化硅忽氫氣鎮(zhèn)還原跑法外棄延原臥理艷盯朝熔讓增晃順裝慎愁才沈4.鞭5壇學(xué)時(shí)遠(yuǎn)課程但內(nèi)容耳：膠§茅2.蜜2.常1醬四氯題化硅米的氫見(jiàn)氣還姓原法滿(mǎn)外延當(dāng)生長(zhǎng)倍過(guò)程框1嫁模泉貿(mào)化學(xué)酒原理昆四數(shù)氯化屋硅的桌氫氣槍還原陸機(jī)理柜1.艷1.明1筆為吸撈熱反忘應(yīng)誓1.襪1.冊(cè)2優(yōu)脫伴有隙有害釋副反避應(yīng)敢1.森1.僑3改版整個(gè)深反應(yīng)保過(guò)程丈分兩秘步進(jìn)園行可1.敵2顆禽岡反告應(yīng)步壟驟分反析狡1.蝴2.知1擇四氯桌化硅捕質(zhì)量戰(zhàn)轉(zhuǎn)移蟲(chóng)到生穿長(zhǎng)層困表面冬1.范2.職2槍四氯顫化硅吩在生炎長(zhǎng)層尚表面賺被吸椅附穩(wěn)1.霸2.撤3叮搶在生紐長(zhǎng)層藍(lán)表面棕上四嫁氯化火硅與聞氫氣帽反應(yīng)從1.聯(lián)2.塔4執(zhí)緞副產(chǎn)失物的對(duì)排除樂(lè)1.離2.炒5鵲破硅原雄子在學(xué)生長(zhǎng)彼層表眾面的油加接汪2司判患堆否{1卸11欲}面谷硅外怨延生栗長(zhǎng)的而結(jié)晶救學(xué)原但理亞2.姻1徹鋒蒜晶核獄的形勺成訓(xùn)2.屆1.膜1鍛結(jié)晶競(jìng)學(xué)核給化理蒼論舒2.老1.弱2枯管共價(jià)責(zé)鍵理伴論戀2.圾2街恩板結(jié)晶酬體的嗚形成灰2.屯2.潛1叫死晶核丹沿六廊個(gè)[況11沫0]叢向和隊(duì)六個(gè)鞏[1杯12瓜]向總擴(kuò)展砌2.螺2.敵2釘敢（1蠟11報(bào)）面倚上的謙結(jié)晶桐體是朗六棱牲形的堂2.其2.霧3喂勁（1皆11襲）面種上的組六棱掙形結(jié)級(jí)晶體姿是非料對(duì)稱(chēng)婚的侄2.邊3暫先索生擔(dān)長(zhǎng)面跳的平晉坦擴(kuò)鞠展瓶§胳2.左2.獄2叮松圓外延沿系統(tǒng)劍及外器延生叉長(zhǎng)速屑率菜外延強(qiáng)系統(tǒng)批的形貍態(tài)慕1.彎1犁楚關(guān)外延誰(shuí)系統(tǒng)蘋(píng)的流星體形涂態(tài)陵1.溫1.扎1旗罪流體刺的連連續(xù)性兄1.鍛1.省2州嫂流體刪的粘閱滯性垂1.尚2心爽喊流體憂(yōu)的兩卻種流協(xié)動(dòng)形令態(tài)守1.擠2.柱1繼遮流體爹的紊巨流態(tài)相1.身2.兆2礎(chǔ)欄流體附的層鵝流態(tài)餐簡(jiǎn)蒜傲榜捉囑濃1.醫(yī)3魚(yú)夠抗流體家形態(tài)販判據(jù)昂及外干延系踏統(tǒng)中勵(lì)的流鈔體流曲形陰1.址3.竹1白平板驅(qū)雷諾緩數(shù)糞1.模3.莖2凡罩流體毛流形只判定和1.土3.瓣3戶(hù)外清延系絨統(tǒng)中幅的流旦體形陷態(tài)忘2癢旅肥辰蘇外靜延系坊統(tǒng)中沈的附纖面層泄概念幅2.清1由夜慌速鐵度附憂(yōu)面層榆2.沾1.啞1店扶實(shí)際落外延幸系統(tǒng)島近似思2.薯1.腰2喂布速度明附面揭層定嗓義鴨2.知1.適3喝搏速度懷附面蹦層的碑厚度鼠表達(dá)濱式露2.趴2沾呈巧質(zhì)覺(jué)量附餓面層答2.筒2.智1異辱質(zhì)量能附面停層定針義機(jī)2.擔(dān)2.狗2豪趕質(zhì)量巨附面鴉的厚些度表從達(dá)式溝3叛詳怨懼攻外延胞生長(zhǎng)旗速率布3.錫1帖脊喊外碑延生富長(zhǎng)模暑型的褲建立莊3.鳳2舊啦躲外補(bǔ)延生企長(zhǎng)速誘率熔3.坊2.盯1課遇外延威生長(zhǎng)莖速率鬼的表里達(dá)式嘴3.之2.腎2張回兩種尾極限粗條件聽(tīng)下的伸外延滿(mǎn)生長(zhǎng)妨速率蘆4連元護(hù)念便影響嶼外延漢生長(zhǎng)梨速率困的諸增因素今4.裝1論釀鄰與捉溫度自的關(guān)線系吐4.零1.鍋1腔倦化學(xué)砍反應(yīng)茂速率蓄常數(shù)閱與溫黨度的芒關(guān)系間4.尾1.紋2嚴(yán)廈氣相爆質(zhì)量嚴(yán)轉(zhuǎn)移舊系數(shù)刊與溫賢度的根關(guān)系金4.削1.預(yù)3甩背實(shí)際占外延救溫度陰的選叉擇唐4.受2朋陳佩與催反應(yīng)忍劑濃昨度的囑關(guān)系嘆4.知3跨消蜂與賢氣體壺流量劇的關(guān)逆系仿4.擠4恭裙?jié)O與餃襯底篇片位西置量刪的關(guān)廁系鈴5鍛虛色兇出改善汗外延鋼生長(zhǎng)柜前后吃不均送勻的壤工藝針措施主5.媽1反押襪適野當(dāng)增脆大混棵合氣逗體的爐流量塊5.蒜2晶爪給使稿基座爆相對(duì)吩氣流階傾斜直一小乞角度守課枝程重程點(diǎn)：夏本節(jié)折以四怖氯化懇硅的掘氫氣瓦還原娛法外派延生潤(rùn)長(zhǎng)作捐為重盈點(diǎn)，窯討論抖了在陵{1炮11莫}面論上進(jìn)曲行硅塌外延博的所縱有化飄學(xué)反溉應(yīng)機(jī)慕理和沃結(jié)晶幫生長(zhǎng)屬原理東。根倍據(jù)分現(xiàn)析可爽知：說(shuō)整個(gè)扯外延鈔過(guò)程莫實(shí)際谷上是碎外延購(gòu)生長(zhǎng)眾的化胡學(xué)反傭應(yīng)過(guò)招程與客外延攪生長(zhǎng)異的結(jié)甜晶過(guò)罰程的施連續(xù)緞地、質(zhì)不斷則地、皇重復(fù)商進(jìn)行退的綜譯合過(guò)肌程。罰本節(jié)應(yīng)討論水了外蒜延生鋼長(zhǎng)的歉化學(xué)蒸反應(yīng)如原理頃。由寄化學(xué)鴉反應(yīng)啄方程導(dǎo)式分往析可蹤知：廁四氯兼化硅夏的氫擔(dān)氣還鉛原反鞏應(yīng)是頂一個(gè)那吸熱抵反應(yīng)證，只范有當(dāng)丸外延咱生長(zhǎng)將溫度分大于遲一千域度時(shí)尋，才欺有明益顯的腔化學(xué)累反應(yīng)牌速率從，才莫不影旗響外祥延生樂(lè)長(zhǎng)的兔進(jìn)行午；四敬氯化攜硅的蒸氫氣幕還原祥反應(yīng)說(shuō)伴有手若干克副反適應(yīng)，撐這些厭副反頭應(yīng)是漁指反娛應(yīng)劑測(cè)四氯哀化硅遇和反碎應(yīng)副拴產(chǎn)物劣氯化律氫對(duì)貼生長(zhǎng)勻?qū)樱ú揭r底堡）的及腐蝕盡反應(yīng)脆，副墾反應(yīng)市的存本在和胡加強(qiáng)君顯然甘會(huì)影潛響和礙嚴(yán)重總影響庫(kù)外延爸生長(zhǎng)矩速率拴，本汗節(jié)介堵紹了裝這些鼠影響涼、并您對(duì)保么正外娛延向機(jī)正方午向進(jìn)族行提費(fèi)出了基調(diào)控討措施梁；由停對(duì)化昏學(xué)反軌應(yīng)模欠式分毛析可咱知：宗外延旬生長(zhǎng)摟的化叉學(xué)反漁應(yīng)過(guò)牽程是控由兩形步完瓶成的溫，其唉基于蹲化學(xué)港反應(yīng)造的分李子碰援撞理胳論。影本節(jié)予對(duì)化李學(xué)反尼應(yīng)的艘反應(yīng)卵步驟謠進(jìn)行啞了分爪析，洽它包潤(rùn)含了布反應(yīng)各劑四加氯化蹈硅由峽氣相言向生喇長(zhǎng)層蔽表面黨的質(zhì)亭量轉(zhuǎn)慮移、葵反應(yīng)呀劑四棕氯化叢硅在紛生長(zhǎng)惡層表扎面被麻吸附資、在炕生長(zhǎng)最層表耕面反別應(yīng)劑見(jiàn)四氯閣化硅隆與還拒原劑四氫氣使反應(yīng)洲、反礦應(yīng)生郵成的遮副產(chǎn)翻物的著排出吐和反污應(yīng)生習(xí)成的班高能別、游脊離態(tài)頑硅原尋子的形淀積犯、加彈接等霧若干慶過(guò)程詠，而攻高能久、游朋離態(tài)棋硅原栗子的扒如何摔淀積估、加旨接是盾外延遍生長(zhǎng)月的結(jié)眉晶學(xué)后原理崖。本鏈節(jié)介嗓紹了寸外延浮生長(zhǎng)免的結(jié)劇晶學(xué)踐過(guò)程中和結(jié)寺晶學(xué)屆原理蹦，其楚結(jié)晶界學(xué)過(guò)狹程是運(yùn)由化太學(xué)反晃應(yīng)獲傭得的疼高能恒、游男離態(tài)嗎硅原耳子歉→烘淀積凡于襯牌底表戴面上火→接在表娘面上胳移動(dòng)駕希望展按襯袋底晶雞格加棍接覽→持首先露形成謊若干兵分立洋的（縫具有姜原子笨〈雙鍬層原滅子面乓-不怠可分煉割〉斜厚度妄的）頓晶核爸→閣隨其江它硅硬原子地在晶唯核上劇加接險(xiǎn)、晶窮核擴(kuò)漲大蘋(píng)→度形成壺若干卷分立桃（非垂對(duì)稱(chēng)桃六棱權(quán)形的藏）結(jié)御晶體百→胳隨其弱它硅紐原子盒在結(jié)擱晶體偏上加卸接、渾結(jié)晶壟體擴(kuò)礦大口→吃若干巾分立石的結(jié)際晶體娘連成稈一片眠→弦形成懲一層像（具催有原戒子厚坑度的聽(tīng)）新鉤單晶拳層耕→械再在塞新單睡晶層猛形成其若干哨分立標(biāo)的（裝具有禁原子乓厚度鴿的）匠晶核適→撓再晶產(chǎn)核擴(kuò)感大險(xiǎn)→…趁→巧形成公一定嗎厚度勸的外缸延新虧單晶笛層；帆基于盜上述叫外延侮生長(zhǎng)爭(zhēng)的結(jié)錘晶學(xué)順過(guò)程搞本節(jié)糕就為衡什么前首先遠(yuǎn)形成結(jié)晶核暮、形石成的扣晶核茶為什竟么是藍(lán)分立晌的、至形成慰晶核艦的理醒論、躍如何底由晶西核形霜成侵結(jié)晶扁體、屑結(jié)晶組體申形成完受到呆的結(jié)能晶學(xué)熱上的庫(kù)限制黨、為子什么攔在{飲11研1}打面上丟的捐結(jié)晶鞋體是漠非對(duì)勾稱(chēng)六晝棱形營(yíng)的等痕等需結(jié)晶號(hào)學(xué)問(wèn)口題和變?cè)頋蛇M(jìn)行容了討葛論。握本節(jié)煌還對(duì)禽厭外延括系統(tǒng)斤及外掩延生森長(zhǎng)速脈率進(jìn)篩行了揚(yáng)介紹展和討曲論。削關(guān)于蔥外延推生長(zhǎng)吃系統(tǒng)凱，對(duì)見(jiàn)典型席的臥貼式外創(chuàng)延生匹長(zhǎng)反智應(yīng)器槳系統(tǒng)繁進(jìn)行笛了形奴態(tài)討榆論，蛙指出丑外延喂生長(zhǎng)吵反應(yīng)承系統(tǒng)節(jié)是一噴個(gè)流億體系刷統(tǒng)、裝介紹閃了流暫體的辦兩個(gè)寺性質(zhì)膜、給獻(xiàn)出了米流體排的兩薦種流止動(dòng)形趣態(tài)、鋤流體荒形態(tài)批判據(jù)撇和判歡定、謠以及械對(duì)實(shí)港際外怒延系肝統(tǒng)中曲的流是體形裕態(tài)進(jìn)胸行了添討論蹈，在搞本部童分討裳論中筑涉及胸了部瞞分流牌體力吩學(xué)的誤內(nèi)容基。為尸了更盒好的涼討論安外延體生長(zhǎng)禁速率桃，本野節(jié)還參給出喂了附確面層漢的概財(cái)念，翼由于缺流體疾的粘欣滯性旁而導(dǎo)虜致外槍延基情座上匠方的浩流體俊流速僑存在察變速紡的區(qū)傾域，酒由此兩引入釘了速工度附己面層枯的概灣念，陸同時(shí)省給出瘦了速摔度附促面層毯的厚夏度表斑達(dá)式府；由看于速杠度附揭面層極的存細(xì)在，辛導(dǎo)致講外延術(shù)基座別上方絕的極吐小區(qū)編域內(nèi)太存在奶反應(yīng)擴(kuò)劑濃雜度的鳴變化京，由訴此引尋入了收質(zhì)量床附面析層的無(wú)概念聲，同片時(shí)給愿出了栽質(zhì)量犁附面罷層的濫厚度痰表達(dá)鞠式。描在外筆延生儉長(zhǎng)速加率的陵討論廣中，聰建立線了外茶延生這長(zhǎng)模些型、蟻由模辦型討奔論得兔到了侵外延頌生長(zhǎng)汁速率唱的表炭達(dá)式慚、對(duì)占外延穴生長(zhǎng)餡速率鍵的表障達(dá)式拾進(jìn)行蘇了極倦限分閥析；洞討論聚了影徒響外璃延生供長(zhǎng)速俊率的拿溫度蛛因素砍、反頭應(yīng)劑棒濃度凳因素迎、混貪合氣扒體流殿量因西素、罰以及回在外字延生辰長(zhǎng)系成統(tǒng)中筒，襯亮底片韻位置文量的式變化共外延摔生長(zhǎng)死速率矛的影猛響；側(cè)為了腳改善讀外延視生長(zhǎng)念前后軍不均羨勻的室現(xiàn)象菊，本感節(jié)給盯出了養(yǎng)兩個(gè)工工藝閱措施權(quán)。罰課理程難雙點(diǎn)：煩首先洗要對(duì)萌外延禿生長(zhǎng)刑過(guò)程喚有一勸個(gè)整津體的牌概念女。在住{1執(zhí)11杏}面臂上進(jìn)煌行四虜氯化從硅的蹄氫氣不還原拿外延挎生長(zhǎng)這的化師學(xué)反他應(yīng)原禽理，浮其反旁應(yīng)過(guò)嚴(yán)程、風(fēng)反應(yīng)暈中的咽狀態(tài)戴、反傍應(yīng)中俘的步謹(jǐn)驟、旁化學(xué)鏟反應(yīng)珍的正外反應(yīng)鍵和副斥反應(yīng)泰（包維含逆眾反應(yīng)拋）。倚四氯墳化硅棒的氫黨氣還駁原外衰延生凡長(zhǎng)的臨結(jié)晶修學(xué)原駱理，院其外莊延生炕長(zhǎng)的萍結(jié)晶折過(guò)程貼、結(jié)舌晶學(xué)蘭的成恭核理湯論（咱結(jié)晶粒學(xué)理榮論和裁共價(jià)貸鍵理容論）域、晶藏核擴(kuò)便展理地論、土結(jié)晶濕體的坦形成段、結(jié)將晶體睛擴(kuò)展過(guò)理論受、以年及外決延層誰(shuí)的厚殃度長(zhǎng)結(jié)成和霉平坦桑擴(kuò)展畢理論佩。實(shí)幼際臥史式外爬延反扮應(yīng)系盞統(tǒng)的斃分析卸，為籠流體存系統(tǒng)他、具摧有流澡體的厚兩個(gè)傅特性球、流精體的引兩種獎(jiǎng)流動(dòng)蘇形態(tài)攏、流蔥體流稍形的遲判據(jù)感和判例定、誼實(shí)際爭(zhēng)外延難系統(tǒng)階的流歇體流祖形。掀外延思生長(zhǎng)耳系統(tǒng)修中兩諸個(gè)附織面層問(wèn)的定庭義、示表達(dá)準(zhǔn)式及飯對(duì)外幸延生旬長(zhǎng)的爆指導(dǎo)逮意義臘。外昌延模奔型的諸建立紹、理儉解和詠分析俱；外鬼延模笑型對(duì)滲推導(dǎo)稀外延鬧生長(zhǎng)叨速率寬的指揚(yáng)導(dǎo)意翼義；要應(yīng)用近外延嫌生長(zhǎng)旋速率汽簡(jiǎn)化旨表達(dá)元式的晃極限選條件已分析破；影熔響外辛延生限長(zhǎng)速氏率的絹各種摟因素屠討論渡及分喘析。伸基本止概念爛：全貿(mào)1棉外厚延生偏長(zhǎng)過(guò)梅程-希外延摔化學(xué)混反應(yīng)鳴過(guò)程兔與外鞏延結(jié)搖晶過(guò)殘程的掃連續(xù)咱、不犬?dāng)?、亞重?fù)最進(jìn)行班的全成過(guò)程稈。怖枝2糟歧化夸特性披-指祥一種摸物質(zhì)煉在同他一個(gè)丸反應(yīng)挑中既室起氧播化劑征的作貍用又鐵起還券原劑蠶作用濟(jì)的性仁質(zhì)。正綠3繳歧暑化反康應(yīng)-雁符合取歧化感特性爆的化婆學(xué)反頓應(yīng)。驗(yàn)環(huán)4庭表面液吸附騙-指詢(xún)固體欲表面芳對(duì)氣車(chē)相物犯質(zhì)的觀吸引婆、固串定。鋪臟5烤流跑體的套粘滯莊性-筍當(dāng)流迅體饒陷流固捉體表勸面時(shí)鈔，由抹于分終子（北原子被）間峽的作振用力瀉（吸鳥(niǎo)引力脊），禍?zhǔn)乖鑱?lái)等奇速流綢進(jìn)的征流體葛在固僵體表桐面上塑方出儲(chǔ)現(xiàn)非左等速輔流進(jìn)恨的的窮現(xiàn)象捏，稱(chēng)鳥(niǎo)為粘薦滯現(xiàn)啞象；核流體垂的這曉種性允質(zhì)稱(chēng)攻為粘妥滯性征。復(fù)織6膝流體塞的連壯續(xù)性妥-指箭流體妖是由遙無(wú)數(shù)蠅連續(xù)筆運(yùn)動(dòng)尿的微洲團(tuán)構(gòu)怒成，華在自醉然界晃無(wú)間海斷點(diǎn)前的性看質(zhì)。律灑7潮流體敢的紊捏流態(tài)同-指蕉流體梅中連桶續(xù)運(yùn)德動(dòng)的棕微團(tuán)鴨運(yùn)動(dòng)妻處于服雜亂志無(wú)章噸的狀久態(tài)，址也稱(chēng)護(hù)湍流幕態(tài)。歉戒8攪流體豬的層旺流態(tài)部-指紐流體坐中連撒續(xù)運(yùn)夸動(dòng)的壩微團(tuán)溫運(yùn)動(dòng)職有序干，形轉(zhuǎn)成彼材此互牧不干排擾的成流線睛（流衛(wèi)層）數(shù)的狀親態(tài)?？矿H9貓速度喘附面秘層-加由于體流體嗓的粘大滯作繞用，嘩而使臣外延冊(cè)平板曬基座蠢上方偉流體搬流速耗分布睡受到雨干擾馳的區(qū)僵域。嘴由于魄該區(qū)駐域中旗的流詢(xún)體流梳速滯箏慢于國(guó)層外那，也芽稱(chēng)為浙滯流餃層。姿房1槍0質(zhì)違量附值面層盟-外雄延平插板基劈座上雙方、激速度價(jià)附面沃層內(nèi)閘，反宿應(yīng)劑晉濃度酒（質(zhì)宜量）夕有較鋼大變摧化的抗區(qū)域侵。那豬1奔1反女應(yīng)劑轟的氣蓋相質(zhì)謝量轉(zhuǎn)卡移系黎數(shù)-考單位常時(shí)間寸內(nèi)，宴由氣收相到腦達(dá)單拖位面努積表毒面的歉反應(yīng)虎劑粒槳子數(shù)混。雅右1押2楚自摻遣雜效車(chē)應(yīng)甜——毯指在緞外延固過(guò)程磨中，俗氣氛仗對(duì)襯博底表駛面的島腐蝕址而使雖主氣害流中搏雜質(zhì)行濃度襲起變叫化，臭從而半造成加前、鼻后硅魯片的賣(mài)摻雜沒(méi)濃度牌不同開(kāi)的現(xiàn)盲象。殊巾基休本要睛求：糊熟知練外延深生長(zhǎng)針過(guò)程煌的定被義，搏知道紡?fù)庋有渖L(zhǎng)犬過(guò)程汪是由挺外延梢化學(xué)任反應(yīng)杰過(guò)程覽與外消延結(jié)激晶過(guò)歇程的撓連續(xù)罷、不是斷、賀重復(fù)噸進(jìn)行姨構(gòu)成越的。驚知道界在{茶11穿1}總面上價(jià)進(jìn)行溝四氯鐵化硅驚的氫壇氣還呀原外垃延生溫長(zhǎng)的窯化學(xué)困反應(yīng)籮原理儲(chǔ)，其紫反應(yīng)言過(guò)程攏、反園應(yīng)中憂(yōu)的狀合態(tài)、乒反應(yīng)刮中的托步驟兆、化掙學(xué)反螞應(yīng)的悠正反剖應(yīng)和翻副反恥應(yīng)（減包含詳逆反立應(yīng)）還；知罰道化懲學(xué)反駱應(yīng)的績(jī)副反慢應(yīng)（帶包含逃逆反爹應(yīng)）開(kāi)對(duì)外漢延生僅長(zhǎng)的舅不利兄影響講，以陰及是來(lái)如何有影響侮的；朵清楚恭為什萌么該歷外延斬生長(zhǎng)斜的化月學(xué)反說(shuō)應(yīng)不戲能一敏步進(jìn)鄙行，妻而兩滴步進(jìn)喇行的匠可能及性更勺大；臂清楚將最可巷能的渠第二歪步反梁應(yīng)是絮歧化郊反應(yīng)省，歧觸化反科應(yīng)是犬如何需定義咐的；碑清楚鍛的知展道外折延生麗長(zhǎng)的吩化學(xué)竿反應(yīng)稍步驟帥，知壇道每授一步誓的具釘體內(nèi)映容；誕清楚撿副產(chǎn)旗物不金能及奴時(shí)排民出系柔統(tǒng)對(duì)它外延引帶來(lái)創(chuàng)得弊脅端。傲知道寨四氯差化硅伐的氫喘氣還但原外村延生皮長(zhǎng)的薪結(jié)晶轉(zhuǎn)學(xué)原搭理，餃了解湊其外獎(jiǎng)延生圾長(zhǎng)的扣結(jié)晶退過(guò)程倦，是胞如何慕由化緣學(xué)反耕應(yīng)得確到的顆高能胳、游械離態(tài)窯硅原作子通中過(guò)加蘋(píng)接而址形成菌一層汗外延鞋層完宿美表侄面的債，而咐一定襲厚度偶的外眠延層綿是如集何獲位得的刺；知馳道結(jié)胳晶學(xué)匠的成例核理蟲(chóng)論，愈從結(jié)拐晶學(xué)慚理論昌是如杰何根捕據(jù)原環(huán)子團(tuán)至半徑瘋來(lái)決泉定成雕核條焰件的路、從裂共價(jià)乘鍵理訓(xùn)論又您是如巖何表澇明單倆原子余直接持加接譜和雙兵原子免同時(shí)宇加接在不能蘭形成幻穩(wěn)定帆晶核異的，減而形他成穩(wěn)截定晶扣核至然少需跑要三殿個(gè)或紙三個(gè)爐以上督的原矮子同跑時(shí)加站接；籃清楚鑒晶核橡擴(kuò)展橫理論圖，知炎道為味什么饞在晶碰核上耍單原引子直凡接加曲接和墾雙原住子同燭時(shí)加餐接均米能形云成穩(wěn)揀定的光加接影，而常使晶善核得粘到擴(kuò)籃展；狠知道軋結(jié)晶興體的庭形成箭、結(jié)垃晶體薦擴(kuò)展失理論鎖，清派楚為愧什么討由于沃原子嘆在晶皆核上喪加接掘、沿噴六個(gè)粒[1蒸10帽]向紙和六燃個(gè)[俗11蠅2]湖向擴(kuò)進(jìn)展的串結(jié)果獵是形椒成六法棱結(jié)雄晶體心，而浩且該怎六棱禽結(jié)晶后體還嬌是非傭?qū)ΨQ(chēng)跌的；睡知道聰外延蓬層的呆平坦嶼擴(kuò)展塑理論也和厚材度長(zhǎng)頑成理愚論，著即知訊道為俱什么遇不會(huì)胳在沒(méi)才長(zhǎng)平滿(mǎn)的外旺延層龍表面扭上形鞏成新頂?shù)木绾耍壑谰赐庋铀肷L(zhǎng)寸結(jié)晶阻過(guò)程坦重復(fù)中不斷找進(jìn)行姑即可謹(jǐn)獲得呼所要悄求厚駐度的環(huán)外延罩層。塌知道嚷外延戶(hù)生長(zhǎng)蘋(píng)的動(dòng)起力學(xué)越原理薦，即米由此董進(jìn)行以外延蹤系統(tǒng)鵝分析勤和外往延模壁型的后建立優(yōu)、分潔析，斧從而名得到地外延寸生長(zhǎng)韻速率石表達(dá)耕式。成關(guān)于唐外延宅系統(tǒng)良分析郊，知蒜道為哥什么筑實(shí)際敢外延麻生長(zhǎng)心系統(tǒng)周是一冶個(gè)流填體系誕統(tǒng)，竄流體譽(yù)具有鞭的粘煌滯性欣和連鋸續(xù)性危的具搏體含借義及陰對(duì)外蛋延過(guò)獎(jiǎng)程的王指導(dǎo)芝意義座；知索道流憶體可掙能存秩在的屈兩種江流動(dòng)宋形態(tài)禾，清揭楚哪囑一種杯流動(dòng)萍形態(tài)車(chē)是外村延工曉藝所凱希望榜的，乏而實(shí)炒際外張延系騎統(tǒng)中唇的流蕉動(dòng)形瘋態(tài)是慶怎樣絡(luò)的；蠻關(guān)于品外延斧系統(tǒng)會(huì)中的傅附面蠟層概逃念，逼知道膛為什燙么要密引入奸速度濫附面釋層概尖念，扇速度框附面嫂層是慈如何允定義痕的，描速度犯附面荷層的舞厚度直表達(dá)凳式；戀知道屈為什院么要銅引入婦質(zhì)量筑附面抱層概億念，駝質(zhì)量密附面虎層是鍋如何村定義密的，斑為什摔么說(shuō)副是質(zhì)慧量附裕面層徑是由妻于速精度附州面層當(dāng)?shù)拇嬲诙汲霈F(xiàn)臂的，簡(jiǎn)質(zhì)量滋附面蔽層的奪厚度瘋表達(dá)徒式，喬為什作么說(shuō)眉是質(zhì)置量附味面層爽厚度化是速這度附企面層歸厚度瑞的函領(lǐng)數(shù)。獅關(guān)于債外延鳳模型候的建亮立、么分析符和外指延生踏長(zhǎng)速鳥(niǎo)率，新能夠贈(zèng)根據(jù)織實(shí)際功外延漠生長(zhǎng)攜系統(tǒng)罷建立劉可用貿(mào)的外峰延生帥長(zhǎng)模拔型，緩其中鏈有可貧分析組的外患延層賓次關(guān)泛系，松能夠擠通過(guò)糞分析傷討論挽得到獵外延傾生長(zhǎng)強(qiáng)速率怎表達(dá)弓式；妹清楚斷在什監(jiān)么極蜜限條與件下巧可采歉用不縱同的擊簡(jiǎn)化鳴外延其生長(zhǎng)倚速率笑表達(dá)靜式；么知道忌影響步外延更生長(zhǎng)煤速率民的各洞種工項(xiàng)藝因柏素，仍以及滿(mǎn)它們漢是如稻何對(duì)截外延添生長(zhǎng)在速率但造成關(guān)影響殼的；暑對(duì)外錄延生倚長(zhǎng)的舍前后壘不均兄勻性常，能段夠采僻取適嶼當(dāng)工動(dòng)藝措苦施克豆服之費(fèi)。健§兼2.斑3蠻服碰閑麻外延待輔助揚(yáng)工藝侮遲雷只徒劃跪信照屬境辱鄙聯(lián)劇魂嗓鋤者轟豆匹綿虹恰萌眼1然學(xué)時(shí)悲利課程捧內(nèi)容折：燕1惡分硬氯化兇氫拋燥光工坦藝迫拋光柔目的斥氯化壓氫拋紐光工囑藝潔1.研2.氧1南氯化撲氫拋珠光方聰法屬1.厘2.夕2差氯速化氫褲拋光尼步驟嗎1.怠3累俱血腐蝕檢反應(yīng)潛和腐報(bào)蝕速夕率頑1.總3.償1舒腐初蝕反恐應(yīng)遣1.初3.庸2額有關(guān)握腐蝕芒速率扮1.鉗4舟獲防討論沿1.直4.墨1竟腐桐蝕速聯(lián)率與聞氯化單氫氣畏體分域壓有悉關(guān)添1.硬4.優(yōu)2缸腐定蝕速忽率與乳溫度貿(mào)關(guān)系吸不明位顯犬1.廉4.撐3禾在喘一定閱溫度筐下，顏應(yīng)用全氯化言氫氣姥體分篩壓有笛最大竊值限工制楊1.振4.激4勵(lì)有瘡關(guān)其斗它拋淡光工叮藝骨2摧殼艇外延狡摻雜袋工藝死2.銜1映奧山摻雜白工藝森原理名2.錢(qián)1.掘1團(tuán)外延揭摻雜宜是與俗外延潛同時(shí)逗進(jìn)行頸的離2.經(jīng)1.談2綱摻雜昆動(dòng)力傾學(xué)原媽理亂2.火2毫忌籍外延納層中終的摻緒雜濃屋度盼2.鄰3暑險(xiǎn)匹摻雜品方法叉2.另3.伍1者液腰相摻肌雜板2.民3.祖2居氣擾相摻艇雜棉禍課月程重媽點(diǎn)：貧本節(jié)逮介紹望了外畏延輔槍助工疲藝，世包括緒外延鮮生長(zhǎng)牽前的賓對(duì)襯側(cè)底表健面常養(yǎng)用的蚊氯化縮氫拋抽光工態(tài)藝和動(dòng)為了精保證拉外延樹(shù)層所銜要求暖的電灑性能獎(jiǎng)而進(jìn)饅行的小外延緊摻雜散工藝積。關(guān)剃于氯膨化氫魂拋光蚊工藝劫，主升要介跳紹了衛(wèi)對(duì)襯冶底表胸面進(jìn)宮行拋歸光處戒理的疫必要護(hù)性以正及拋態(tài)光達(dá)輸?shù)降难b目的塔；重郊點(diǎn)討汪論了廳工藝六，其瞧中涉澡及了葬氯化虜氫拋具光的裳方法爽和氯忌化氫川拋光陪的工充藝步桌驟；職對(duì)氯輸化氫盼拋光揪的腐叨蝕反淋應(yīng)和淺腐蝕篇速率欣進(jìn)行挖了較瞇詳細(xì)澇的分辭析；齡最后摸，對(duì)懸氯化滔氫拋?zhàn)毓獾奈指g圈速率撿與各恨種因是素的票關(guān)系鵝進(jìn)行篇了討績(jī)論；探還強(qiáng)套調(diào)指磁出氯叛化氫摔拋光肌工藝寫(xiě)是一熔種氣陰相化撿學(xué)拋脖光，除除了教氯化嚷氫氣哨氛外逐，其柱它如堵溴哥化氫責(zé)、碘孕化氫鉛、三宏氯乙抖烯、派六氟哥化硫腎及晨溴氣般等也去可以倉(cāng)作為保拋光疼氣氛姐-這炒就形泰成了燕其它殿拋光膚工藝殲。關(guān)如于霜外延歪摻雜躁工藝執(zhí)，首抽先介暗紹了未半導(dǎo)療體集似成電覺(jué)路制淡造對(duì)驅(qū)外延暈層的宇電性仙要求乓；介腰紹了組外延靈摻雜泥原理妨；重蠟點(diǎn)討寬論了捉外延騙層中睬的摻結(jié)雜濃書(shū)度，鑼討論隆中，露首先限建立數(shù)了摻榜雜模阿型，聾根據(jù)甚對(duì)模奴型的膛分析舅，得綢到了久與反誦應(yīng)劑夠氣體倍分壓斬和摻狡雜劑穗氣體耍分壓拼有關(guān)猜的摻群雜濃筐度表夸達(dá)式臺(tái)；介懷紹了傷液相擠摻雜豆和氣汪相摻騎雜兩童種摻懷雜方甜法，岔并指垂出了漲它們奴各自沖的控架制摻唉雜手倡段。話(huà)丸課確程難逗點(diǎn)：期氯化棉氫拋苗光工插藝中鼻，通想過(guò)拋勢(shì)光是筆如何張可以胳達(dá)到臘高潔咸凈的盜、無(wú)跨損傷挑的、恩新鮮妻的待叢生長(zhǎng)暑表面心的；粱氯化旨?xì)鋻亗?cè)光步告驟中謝各步堪的工掠藝控酒制條明件；忠化學(xué)傘氣相找拋光涂的溫牧度控忠制特壽點(diǎn)；獅拋光蹲腐蝕葬速率罰表達(dá)誦式用窩外延驗(yàn)生長(zhǎng)指速率嚴(yán)表達(dá)挨式表繭達(dá)時(shí)拾，式酷中各槍因子姐的含配義發(fā)報(bào)生了擋什么踏變化匠；腐鞭蝕速裕率在替低蝕懸率和轉(zhuǎn)高蝕睡率時(shí)棟的極辯限分滅析及文在中升等蝕忙率時(shí)抽的表羅達(dá)式賽分析斯；實(shí)推際工馬藝中儉，氯墓化氫純氣體圖分壓匆的選鉛擇。削在外止延摻養(yǎng)雜工筒藝中或，注圍意役菠其摻怒雜原球理與振一般草的合博金摻威雜和很擴(kuò)散公摻雜盛有不蹈同處稍，雜攔質(zhì)是池在外蜻延過(guò)虹程中挺加入則到外趨延層灣晶格怎點(diǎn)陣奪上的狠；由筒于摻給雜與良外延活同時(shí)舟進(jìn)行摸，則愿摻雜乓動(dòng)力糊學(xué)原簡(jiǎn)理與征外延劫動(dòng)力尼學(xué)原景理極銷(xiāo)其相斥似，穿只不庭過(guò)雜獨(dú)質(zhì)在高加入侍到外執(zhí)延層管晶格魚(yú)點(diǎn)陣劣上后病，有毀一個(gè)挑離化薪的事勁實(shí)；壓外延畜摻雜磁模型袖的建貴立和佩分析客，注紡意單辯位時(shí)己間內(nèi)推，由左于摻永雜而旋導(dǎo)致笛的摻苦雜劑繪粒子凱流密催度的圾消耗軋既與顏外延匠層中訂的摻劉雜濃宏度有熄關(guān)、慌又與疏外延同生長(zhǎng)雷速率喚有關(guān)蘆；有業(yè)關(guān)液徐相摻令雜和賀氣相展摻雜華兩種營(yíng)摻雜赤方法傾的對(duì)賤比、拳各自蘿對(duì)摻屋雜濃怪度工樓藝控蒼制等糟。綠館基弓本要制求：查了解麥由拋迫光工弟藝和奉外延餓摻雜足工藝淚構(gòu)成算的外湯延輔張助工斧藝。逮對(duì)氯叼化氫顛拋光驕工藝五，要望求清疑楚的識(shí)知道崗采用灣拋光掩工藝蠶的目南的；神氯化盈氫拋扔光工唯藝的絮工藝引方法順，掌碰握氯側(cè)化氫爪拋光愉的工六藝步干驟，束知道勾氯化構(gòu)氫拋群光工獸藝與傅外延擦工藝持是在互一個(gè)加反應(yīng)穿系統(tǒng)枝中、齡并且艇氯化嚴(yán)氫拋鍵光工粒藝與泉外延兇生長(zhǎng)艱工藝沙可連墾續(xù)不培間斷橋進(jìn)行驢；了誰(shuí)解氯大化氫汽拋光循是化硬學(xué)氣陰相拋彎光，糧掌握塑其腐繞蝕反延應(yīng)控交制條警件；松應(yīng)知脫道氯耀化氫斷拋光用工藝吳中的消化學(xué)元反應(yīng)獎(jiǎng)實(shí)際書(shū)上是棵外延職生長(zhǎng)仰反應(yīng)時(shí)的逆具反應(yīng)增，因煤此，量拋光擾腐蝕亭速率源表達(dá)旦式可語(yǔ)用外燃延生衣長(zhǎng)速芒率表國(guó)達(dá)式導(dǎo)描述昂，但朋應(yīng)清矮楚同亡一個(gè)鹽式子慎表達(dá)渠的意鬧思是往完全關(guān)不同奔的；煌了解立在低壞蝕率梁和高墾蝕率谷時(shí)的虧極限暮條件姨下，嶄拋光針腐蝕判速率拴與氯旬化氫懼氣體慈分壓申的不機(jī)同關(guān)佩系；舞應(yīng)掌持握實(shí)此際氯謀化氫束拋光身工藝造的氯鳳化氫勒氣體舊分壓遇的選打擇。觀對(duì)于閉外延來(lái)?yè)诫s膚工藝坐，應(yīng)喇知道件半導(dǎo)陶體集暢成電它路制素造對(duì)順外延蕉層的殊電性浙要求重，即擊具有伯準(zhǔn)確燃的導(dǎo)宣電類(lèi)殘型、晉具有釣精確桐的電間阻率刮；知川道如疊何選抖擇外艦延摻讓雜的罵摻雜勾劑；宵清楚絮外延端摻雜漫原理否，從及動(dòng)力蜂學(xué)原臭理能頓分析踩摻雜牢與外無(wú)延的承相同鞏處和里不同雜處；渣能建預(yù)立起遇外延絨摻雜緞模型腳，并風(fēng)對(duì)該糾模型亦進(jìn)行息正確床的分娘析討植論，含從而玩得到廢外延配摻雜蜻濃度石表達(dá)惰式；禽能清披楚的剪知道尺液相覺(jué)摻雜昏和氣設(shè)相摻貍雜兩咳種摻繩雜方嫌法各兼自的推特點(diǎn)萌，當(dāng)怎使用滴它們須摻雜術(shù)時(shí)，蹄各自廊對(duì)摻掠雜濃隆度的返工藝辨控制去。辛§簡(jiǎn)2.迫4冒守眾村蠟外延艇層質(zhì)陸量參顆數(shù)及督檢測(cè)盡簡(jiǎn)介罰倒囑碑適贈(zèng)倆考仆浩嫌頁(yè)衫繳貼賀映0.徐5元學(xué)時(shí)歉工課程器內(nèi)容防：密1叉文辭凈外延肝層質(zhì)總量參修數(shù)篩