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文檔簡介
國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”2023年項目指南為推動我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,提升我國集成電路制造裝備、工藝及材料技術(shù)的自主創(chuàng)新能力,充分調(diào)動國內(nèi)力量為重大專項的有效實施發(fā)揮作用,國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”根據(jù)實施方案和“十一五”實施計劃,安排一批項目在全國公開發(fā)布,通過競爭擇優(yōu)方式選擇優(yōu)勢單位承擔(dān)項目。項目申請范圍根據(jù)附件1列出的項目指南說明,進(jìn)行項目申請,編制《項目申報書》。項目申報與組織方式由專項實施管理辦公室組織,通過教育部、工業(yè)與信息化部、中國科學(xué)院、國資委和各?。ㄊ校┛莆◤d、局)向所轄企業(yè)、直屬高校、科研院所發(fā)布指南,組織所轄單位編制項目申報材料,由各主管部門匯總后統(tǒng)一報送專項實施管理辦公室。專項實施管理辦公室對各部門(地方)申報項目進(jìn)行匯總后,由專項總體組組織專家進(jìn)行申請材料初審,篩選符合專項要求的優(yōu)勢單位提交專項辦公室,由專項辦公室組織評審委員會進(jìn)行正式評審,擇優(yōu)委托主承擔(dān)單位,在專項總體組指導(dǎo)下組織產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)盟承擔(dān)項目。項目申報單位基本要求在中國境內(nèi)注冊的中資控股企業(yè),注冊資本為申請國撥經(jīng)費的10%以上。具備獨立法人資格的科研院所和高校。同一單位本次主承擔(dān)項目原則上不超過2項。同一個人負(fù)責(zé)項目不能超過1項,參與項目不能超過2項。配套資金要求所有產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目需由地方政府或行業(yè)主管部門提供不少于中央財政經(jīng)費的配套資金。報送要求每個項目報送《項目申報書》紙質(zhì)材料一式20份(具體要求見附件3)及電子版(光盤)1份,以及其它材料(見附件2)。斥聯(lián)系糟方式鍵聯(lián)系免人:尤張國割銘經(jīng)、高稻華東管、王料泓新聯(lián)系王糾:發(fā)01繡0-酒51波53意00歐51脆,強(qiáng)51刺53番00辣52賀,睛64去36落93狼98歡電子乓郵件云:芳zg濱m@巾se照ve宵ns唯ta妥r.寨co職m.釋cn磁通訊僚地址域:壇北京易市海狡淀區(qū)菜知春那路2某7號而(大儲運(yùn)村攏)量強(qiáng)子芯串座集蹲成電域路設(shè)令計園癥40不3室晌郵認(rèn)譯編休:民10象00加83淚截止侄時間火20票08蛙年采10海月么6尋日蠶17右:0盯0前族送達(dá)洪專項跌實施恭管理拐辦公姿室。件附件吸1股20叉09貧年到項目敞指南忠說明冒集成反電路頭裝備遞項目嬌任務(wù)保:喇65封nm暗P飼VD艦設(shè)備晶研發(fā)雖與應(yīng)蔑用獵項目返編號暮:鈔20閱09燦ZX岔02瞞00宰1荷項目呈類別數(shù):嶼產(chǎn)品匯開發(fā)怖與產(chǎn)貌業(yè)化突項目而目標(biāo)土:棗研究絞開發(fā)咳面向輕65竄nm鞏極大貢規(guī)模釋集成敏電路危生產(chǎn)塘線償?shù)腜堤VD店設(shè)備鐮,取心得核溉心盲自主浙知識峰產(chǎn)權(quán)拒,滿舞足6惠5納鑰米主訴流工歌藝的歇相關(guān)菊參數(shù)騾要求蘿,壯性能瞎指標(biāo)凱達(dá)到陽同類宴產(chǎn)品舍國際啟先進(jìn)剛水平象,料并通依過追65祖納米環(huán)的大惰生產(chǎn)盼線的澆考核粗與用末戶認(rèn)閥證,沫具備順產(chǎn)業(yè)?;鼙A皨D市場才競爭騾力,董在倒65振nm喜集成套電路攔大生位產(chǎn)企骨業(yè)取夢得5軍臺以局上應(yīng)夸用尺。東項目多承擔(dān)噸單位網(wǎng)要求獨:亞主承指擔(dān)單濁位要冊求是畜獨立食法人穿的集舌成電炸路裝倍備企虹業(yè)或執(zhí)企業(yè)業(yè)性質(zhì)必的研削究所扶,組桐織產(chǎn)殼學(xué)研大用聯(lián)羨盟聯(lián)占合承驚擔(dān)項胃目??佳邪l(fā)醒團(tuán)隊下應(yīng)有冬穩(wěn)定羞的隊姐伍并役有國肥際前醫(yī)沿技武術(shù)研取發(fā)能爆力,揪需要憂具備候知識總創(chuàng)新到能力色,具秘備礙產(chǎn)業(yè)供化能恭力和梨經(jīng)驗拍。津執(zhí)行發(fā)期限意:查20粒09抹-2括01卸2哲年越項目婚任務(wù)論:別65催nm尿互連目鍍銅水設(shè)備妖研發(fā)態(tài)與應(yīng)歐用息項目比編號栗:跨20咐09原ZX閃02條00章2澡項目衰類別膽:公產(chǎn)品蛋開發(fā)桑與產(chǎn)班業(yè)化情項目回目標(biāo)越:也研究裝開發(fā)千面向澆65甲nm損極大逆規(guī)模羞集成蠅電楚路則生產(chǎn)亭線幅的筑鍍銅較設(shè)備茅,取合得核離心的腸自主笛知識努產(chǎn)權(quán)乳,滿舅足灰65筋納米井主流練工藝福的相浸關(guān)參頂數(shù)要仆求,望性能鵝指標(biāo)選達(dá)到殼同類拔產(chǎn)品挑國際煉先進(jìn)兵水平索,冤通過薪65怎納米榆的大雷生產(chǎn)賴線考蹤核及魂用戶脹認(rèn)證局,喪具備油產(chǎn)業(yè)鐘化能黎力及何市場連競爭吐力,荒在允65述nm價集成陣電路借大生怪產(chǎn)企彩業(yè)取豐得5命臺以績上應(yīng)諸用。舊項目鉗承擔(dān)匯單位煤要求雜:厚主承每擔(dān)單逝位要辨求是箏獨立簽法人誕的集鴉成電碑路裝備備企加業(yè)或著企業(yè)剛性質(zhì)條的研施究所班,組恨織產(chǎn)制學(xué)研辦用聯(lián)朽盟聯(lián)閑合承寨擔(dān)項塘目。迫研發(fā)夕團(tuán)隊盲應(yīng)有齊穩(wěn)定根的隊窮伍并著有國瀉際前盤沿技司術(shù)研呼發(fā)能值力,規(guī)需要醋具備讀知識禮創(chuàng)新贊能力減,具欠備一歉定的詳產(chǎn)業(yè)咱化能閱力和也經(jīng)驗釣。爆執(zhí)行耕期限寧:皺20傾09湯-2份01勤2年也項目特任務(wù)建:遠(yuǎn)65廁nm晴快速脹熱退揚(yáng)火粒設(shè)備榜研發(fā)啊與應(yīng)塔用貴項目曬編號喘:屯20桂09災(zāi)ZX全02猴00釋3鳴項目距類別歪:婚產(chǎn)品踢開發(fā)蘇與產(chǎn)民業(yè)化疊項目際目標(biāo)鄭:騰研究遼開發(fā)沃面向獻(xiàn)65友nm胖/講30瓜0m乞m赴集成父電路些生產(chǎn)樓線的眼快速胡熱退順火設(shè)軍備,圖取得娘核心壽的自企主知磚識產(chǎn)密權(quán),因滿足易65灰納米秩主流冰工藝膽的相勢關(guān)參些數(shù)要掃求,飄性能宇指標(biāo)蚊達(dá)到敗同類能產(chǎn)品兵國際駝先進(jìn)球水平請,澡通過稻65侄納米潤的大庭生產(chǎn)德線的際考核暈與用貝戶認(rèn)新證,蹲具備切產(chǎn)業(yè)我化能翅力及種市場胃競爭篇力,動在厘65忙nm鼓集成滅電路潮大生箏產(chǎn)企雪業(yè)取督得闊3乞臺以戶上應(yīng)洞用另。段項目讓承擔(dān)寧單位霞要求怪:責(zé)主承碧擔(dān)單且位要晃求是垃獨立煎法人墻的集亦成電正路裝扔備企下業(yè)或相企業(yè)筐性質(zhì)修的研俱究所膽,并傷組織童產(chǎn)學(xué)基研聯(lián)承盟聯(lián)首合承起擔(dān)項部目。俯執(zhí)行銜期限越:譽(yù)20超09起-2剖01蒙2年議項目最任務(wù)稿:很90癢-這65獅nm番勻津膠顯安影貝設(shè)備已研發(fā)友與應(yīng)慰用封項目奴編號我:麻20善09雀ZX北02瓣00媽4反項目僚類別邀:料產(chǎn)品扇開發(fā)偏與產(chǎn)株業(yè)化肆項目些目標(biāo)炮:苗研究厲開發(fā)慈90護(hù)-時65濤nm愁極大蹄規(guī)模挪集成憂電路肯制造目用勻昆膠顯君影設(shè)虎備腎,取些得核洲心的新自主僻知識換產(chǎn)權(quán)戴,滿汗足磨90革-粉65泛納米牢主流廚工藝發(fā)的相拐關(guān)參滔數(shù)要軟求,筍性能妥指標(biāo)衣達(dá)到兩同類桂產(chǎn)品謙國際腥先進(jìn)姜水平環(huán),駛通過夏大生攤產(chǎn)線圖考核贏和用漂戶認(rèn)媽證菜,撿具備城產(chǎn)業(yè)寇化能輔力及蟲市場曉競爭崗力,存在鋪65四nm室集成泳電路沉大生罩產(chǎn)企錯業(yè)取進(jìn)得掙3奮臺以麗上應(yīng)娃用。叮項目芹承擔(dān)炕單位座要求淚:筐主承袖擔(dān)單巨位要既求是岔獨立作法人額的集童成電矮路裝杠備企雞業(yè)或耀企業(yè)繪性質(zhì)望的研按究所沫,并蛾組織榴產(chǎn)學(xué)礦研用濤聯(lián)盟碧聯(lián)合塞承擔(dān)要項目寺。挪執(zhí)行腥期限定:仍20租09今-2涉01召2年義項目翼任務(wù)辣:涂6拘5n兩m清于洗及愁化學(xué)眨處理伙設(shè)備廣開發(fā)烤與產(chǎn)趙業(yè)化侵項目白編號暑:仗20張09號ZX岔02巖00呆5萄項目最類別宏:遇產(chǎn)品基開發(fā)漏與產(chǎn)義業(yè)化比項目欄目標(biāo)除:鬧研究貍開發(fā)名65掘nm墊極大帥規(guī)模縣集成泰電路批生產(chǎn)衫線清暮洗及很化學(xué)隸處理猜系列茫設(shè)備省,屯取得話自主彎創(chuàng)新機(jī)突破騾,滿卻足鏡65夫納米什主流藍(lán)工藝耽的相濤關(guān)參仍數(shù)要盛求,僑性能冠指標(biāo)紀(jì)達(dá)到逐同類能產(chǎn)品冒國際右先進(jìn)餓水平慢,暢通過句大生幸產(chǎn)線粗考核爛與用散戶認(rèn)快證,零具備功產(chǎn)業(yè)兩化能點力及懶市場史競爭挽力,扇在蟲65北nm它集成男電路頂大生肺產(chǎn)企貫業(yè)取畫得5騰臺以霉上應(yīng)增用。隙項目虎承擔(dān)怖單位俘要求淚:虹主承鈔擔(dān)單踩位要脆求是雪獨立創(chuàng)法人趟的集井成電哨路裝哨備企親業(yè)或窗企業(yè)糊性質(zhì)爸的研餃究所娃,并謊組織吩產(chǎn)學(xué)久研用卸聯(lián)盟格聯(lián)合陜承擔(dān)忘項目躍。反執(zhí)行惜期限崖:咬20冤09忽-2魯01奇2年特項目埋任務(wù)另:賺集成麗電路飲生產(chǎn)閉全自戚動概光學(xué)任測量告設(shè)備潑研發(fā)步與應(yīng)碗用繁項目慶編號撤:量20驚09炊ZX婚02命00胡6靈項目翼類別黃:遠(yuǎn)產(chǎn)品嫌開發(fā)煤與產(chǎn)慮業(yè)化床項目伯目標(biāo)少:側(cè)開發(fā)肺90舌-6寧5n蔥m集玻成電抄路生付產(chǎn)線縮用全榮自動砍光學(xué)威測量濫設(shè)備騙,滿床足膜服厚、澡線寬押、圖冒形形狼貌等貍工藝議測量鴿要求今,取涉得自山主創(chuàng)悔新突竭破,紐滿足射90滲-枯65之納米材主流皮工藝蛾的相籃關(guān)參講數(shù)要川求,潤性能財指標(biāo)昌達(dá)到筒同類別產(chǎn)品勒國際句先進(jìn)震水平靠,目通過璃生產(chǎn)個線考季核與康用戶飯認(rèn)證返,具鉤備產(chǎn)身業(yè)化西能力初及市硬場競他爭力背,在掙集成隱電路野生產(chǎn)先線獲怠得5搏臺以剩上應(yīng)典用。坊項目偷承擔(dān)扭單位驗要求啟:覆主承院擔(dān)單英位要伴求是眠獨立速法人遠(yuǎn)的企基業(yè)決、科倍研院悉所和野高校首,并旁組織拾產(chǎn)學(xué)撒研用局聯(lián)盟嚇聯(lián)合柴承擔(dān)腫項目健。導(dǎo)執(zhí)行佳期限慮:痕20枕09騰-2誘01芬2年殊項目凱任務(wù)還:算CD御-S衛(wèi)EM瞞工藝退檢測百技術(shù)紫與設(shè)較備研救究汽項目距編號輛:民20惠09素ZX糧02仙00利7塑項目袋類別旦:孤產(chǎn)品版開發(fā)略與產(chǎn)坡業(yè)化肌項目拘目標(biāo)底:抽突破揭超精辛密快冬速掃肚描、廁高速麗圖像余采集族與處世理技扛術(shù),豆完成覽檢測躍線寬視達(dá)到舅90和-6靜5n請m的糧CD躬-S險EM攔樣機(jī)澇研制列,熟取得場自主墓創(chuàng)新垮突破物,肌通過洋生產(chǎn)欣線考犁核與殘用戶晶認(rèn)證稱,具鞭備產(chǎn)藏業(yè)化吩能力亞及市薪場競興爭力慘。射項目旬承擔(dān)臟單位立要求定:師主承呆擔(dān)單隆位要質(zhì)求是臉獨立倦法人北的企核業(yè)、杜科研輪院所高和高陜校曠,并獲組織召產(chǎn)學(xué)層研聯(lián)饒盟聯(lián)妥合承墨擔(dān)項圣目。埋執(zhí)行芽期限杏:怒20和09毛-2檢01棒2年隨項目與任務(wù)遭:閃射頻部與暗數(shù)流模昌混合泊信號謹(jǐn)集成傾電路泥測試掌系統(tǒng)適開發(fā)門項目禍編號充:肉20絡(luò)09備ZX姥02貴00訪8暗項目憲類別誠:度產(chǎn)品腹開發(fā)甩與產(chǎn)抬業(yè)化餡項目啄目標(biāo)孔:糕面向蔑大規(guī)秋模集刪成電富路產(chǎn)蜓品,姻開發(fā)扯射頻夢、皂數(shù)模技混合磁信號指集成返電路撇測試請系統(tǒng)態(tài)設(shè)備噴,滿聾足大裁規(guī)模露測試奴生產(chǎn)滴線的遙需求門,聞取得電自主落創(chuàng)新商突破兔,龍性能展指標(biāo)仿達(dá)到箏國際給同類鬼產(chǎn)品云先進(jìn)倚水平我,通逆過大柱測試室線考鈔核與傻用戶非認(rèn)證眨,訊具備壇產(chǎn)業(yè)閑化能叢力及害市場老競爭炒力督。府項目粗承擔(dān)排單位序要求報:閣主承檢擔(dān)單鵝位要欄求是縣獨立委法人補(bǔ)的集夏成電呼路裝猶備企柿業(yè)闊、科培研院室所和偵高校聰,并樹組織柱產(chǎn)學(xué)樣研用機(jī)聯(lián)盟追聯(lián)合昌承擔(dān)含項目倉。忍執(zhí)行北期限梁:遵20打09寨-2西01元2年責(zé)項目慘任務(wù)要:藍(lán)先進(jìn)列封裝泊設(shè)備培項目垃編號百:干20金09薄ZX雷02屑00拐9狀項目渣類別捆:勵產(chǎn)品免開發(fā)厚與產(chǎn)掘業(yè)化仆項目怠目標(biāo)零:鳳面向恭高密菊度封戲裝生偽產(chǎn)線飛需求輪,研遇究開花發(fā)高喝精度磨倒裝哭芯片恰鍵合需機(jī)、澡先進(jìn)收封裝淋光刻絞機(jī)、堵涂膠壯顯影逆機(jī)、師濺射葉臺、鑄凸點諒刻蝕出機(jī)、吵硅片可清洗舊機(jī)等昏高端據(jù)封裝剪設(shè)備題,技沉術(shù)參協(xié)數(shù)和啞工藝俊性能勉滿足梯封裝哨規(guī)模別化生墊產(chǎn)線戚要求住,產(chǎn)著品通局過大紗生產(chǎn)昌線工魂藝驗僑證和重產(chǎn)品略考核椅,性狠能指休標(biāo)達(dá)問到同方類產(chǎn)異品國崇際先蓄進(jìn)水候平,晌具備吳產(chǎn)業(yè)穩(wěn)化能刊力和悠市場譽(yù)競爭嫂力??隧椖裤暢袚?dān)這單位仰要求毀:綿主承虎擔(dān)單悼位要扶求是適獨立妖法人搭的企百業(yè)或顆企業(yè)卡性質(zhì)榨的研賀究所閉,組辣織貍產(chǎn)學(xué)陽研用必聯(lián)盟落聯(lián)合詞承擔(dān)寧項目豐。疼執(zhí)行倒期限悔:代20皇09奶-2皆01撞2年猶項目罪任務(wù)剝:倘成套反封裝薯設(shè)備棗與材稅料戲生產(chǎn)濫示范疾線工突程床項目馳編號刑:窗20嘆09脹ZX奏02車01樂0偽項目聽類別遣:尺產(chǎn)品衛(wèi)開發(fā)嫩與產(chǎn)存業(yè)化什項目纖目標(biāo)著:借面向博先進(jìn)紐封裝廣生產(chǎn)捐線開對設(shè)擱備與妥材料謹(jǐn)?shù)脑叫枨蟾M由大田型封上裝生鹿產(chǎn)企析業(yè)建織立成猴套糊設(shè)備燦與材登料生墳產(chǎn)參示范賴線,跪集成局高倍悔顯微季鏡、煤磨片架前貼條膜機(jī)氧、減告薄機(jī)污、接離觸式托測厚棟儀、遙自動治揭膜燒機(jī)、虜CO淚2氣擺泡發(fā)屆生器顛、W游af仰er洲M末ou吧nt夜、劃辨片機(jī)遞、自柱動晶跨園清每洗機(jī)腹、導(dǎo)喜電膠灘攪拌霞機(jī)、懇裝片場機(jī)、通無氧嬸化烘安箱、洲等離坐子清圍洗機(jī)憲、鍵蛛合機(jī)哥、金童絲拉鋪力儀倚、自渠動塑盒封壓界機(jī)拖/漿模具蔥、X溝-R取ay段檢測捐、責(zé)潔凈砌固烤曲爐施、細(xì)自動閉磨膠嗽機(jī)介、悠激光扮打印余機(jī)匆、壓自動范切筋淹機(jī)鉆、笑自動巷成型碑機(jī)繞、猾高速嶄自動括電鍍喇線糕、雞鍍層項測厚筑儀答、倦切割纖前貼漆膜機(jī)護(hù)、鍋切割仔機(jī)辣、當(dāng)投影鋸儀檢、沿UV鳴照射怖機(jī)恨、吵裝管憐機(jī)欲、互條帶榨測試而編帶薦機(jī)鬧、選測試坐分選袋機(jī)所、油測試廢主機(jī)快、法包裝芝機(jī)夏等設(shè)忘備查組成估生產(chǎn)殘示范域線番。翅組織些封裝錘材料劍供應(yīng)奇商死研究概開發(fā)背綠色謀環(huán)保霞型環(huán)盲氧封牙裝料茄及液架體環(huán)印氧封百裝材連料、匆高可盒靠封興料、奸底填顫料、舍導(dǎo)電校漿料激及導(dǎo)采電膠諷、高嬌密度霜及異畫型引懸線框患架、肚低成擱本銅枯鍵合是絲、坊超細(xì)朽低弧化高強(qiáng)懶度鍵逐合絲刑、脫管模劑甲、藍(lán)伐膜、恩無鉛家焊料眉與焊樓球、脫聚酰脊亞胺桌光敏脂樹脂浙及厚逃膜光從刻膠臘、熱汁管理槳(T肢I(xiàn)M寺)材查料、索基板掩材料扒等產(chǎn)壘品,槳在警生產(chǎn)訓(xùn)示范鎮(zhèn)線蒸上進(jìn)跟行認(rèn)械證和尚應(yīng)用割示范野。沫示范友所集晨成趴的毛設(shè)備憶與研萌發(fā)的度材料校技術(shù)償參數(shù)紛和性殲?zāi)軡M垮足封濾裝規(guī)依模化禾生產(chǎn)傻線縮要求體,通爐過用磁戶考豪核和襲合格捐供應(yīng)俯商認(rèn)狀證固,具紗備產(chǎn)剪業(yè)化診能力騰及市酸場競舍爭力麻。前項目剝承擔(dān)雹單位早要求還:阿主承倒擔(dān)單塊位要崇求是危獨立鈴法人師的良大型勒封裝贈生產(chǎn)掌企業(yè)倚,育在專嗓項樹總體墾組番指導(dǎo)汽下,猾組織泳招標(biāo)戶,陽組織惑產(chǎn)學(xué)忽研用翠聯(lián)盟紀(jì)聯(lián)合鑄承擔(dān)鍋項目殘。笨執(zhí)行火期限璃:鵲20病09色-2克01潮1綢年,織20賤10闊年底乳前雀完成翅設(shè)備梯和材撕料率示范榮線考桌核榮。想項目用任務(wù)評:笑國產(chǎn)暴30役0m堡m痰硅殺材料會成套杠加工瓦設(shè)備孫示范扇線工危程老項目奉編號璃:蹈20膚09匆ZX弱02宴01孤1沙項目鴨類別芝:肥產(chǎn)品我開發(fā)撤與產(chǎn)粘業(yè)化首項目突目標(biāo)擦:齒面向噴90放-6烏5登nm蜂極大烈規(guī)模肥集成隱電路洪用硅賭單晶稈及拋罵光片暈制備酸技術(shù)屋需求瞇,研圍究開花發(fā)單井晶爐真、線幫截斷辦機(jī)、藏多線堡切割洽機(jī)、檔倒角軟機(jī)、僅磨片剖機(jī)、借拋光練機(jī)治(C羊MP蓮)飛、清只洗機(jī)撤(包團(tuán)括C饑DS息)、質(zhì)全自王動檢舍測分螞選裝蠅置原等關(guān)懼鍵設(shè)碼備,亦技術(shù)躺參數(shù)盞和工囑藝性瞎能滿合足硅饅片規(guī)篩?;a(chǎn)霸要求瓣,凝性能赤指標(biāo)堪達(dá)到蔥同類誓產(chǎn)品閑國際災(zāi)先進(jìn)布水平虎,住在脫30調(diào)0毫筑米州硅片籃企業(yè)懼建立垂成套暖示范戰(zhàn)線,傅通過剃用戶絞考核素和合短格供肅應(yīng)商炸認(rèn)證梨,具懸備產(chǎn)每業(yè)化敲能力序及市稅場競債爭力靠。睜項目逮承擔(dān)浮單位鋸要求叫:爹主承仍擔(dān)單虛位要膨求是冬獨立活法人助的企溪業(yè)或暖企業(yè)蚊性質(zhì)噴的研桃究所拖,并秋組織討產(chǎn)學(xué)心研用全聯(lián)盟攀聯(lián)合匠承擔(dān)者項目橫。評執(zhí)行爽期限蝦:桌20兄09皂-2樣01堪1培年弦關(guān)鍵經(jīng)部件鍛與怪核心采技術(shù)忘項目版任務(wù)梯:賴潔凈鋒與直撞驅(qū)型與真空翼機(jī)械原手及各硅片扶傳輸綱系統(tǒng)伴研制畫項目佳編號磚:勵20雖09掛ZX酬02濫01俗2賊項目名類別鞏:陰產(chǎn)品俗開發(fā)認(rèn)與產(chǎn)嫌業(yè)化簽項目諸目標(biāo)折:宣面向詳國內(nèi)戒大規(guī)址模集哀成電壩路制垮造整貢機(jī)裝估備對綱20錘0-介30鏡0m久m劑硅片霧輸送慈自動調(diào)化部岡件的偏需求慕,掌搖握真聲空機(jī)捏械手骨、大燈氣機(jī)蔑械手沖和E貨FE吐M的辭工程確設(shè)計卸和批州量制斧造技逢術(shù),綢形成眨面向誠刻蝕猜機(jī)、糠CV桂D、售PV丈D、羨CM聞P和漁鍍銅撞等整刺機(jī)設(shè)糞備配碗套的變EF陷EM先系列單化產(chǎn)蠅品,方研制薪出性探能穩(wěn)辣定可縮靠的參硅片跌輸送雕設(shè)備武,嶄性能盞指標(biāo)偏達(dá)到蝶同類望產(chǎn)品聾國際替先進(jìn)幻水平累,暗并實攏現(xiàn)產(chǎn)蔥品化畝應(yīng)用客及產(chǎn)各業(yè)動化蓬。襲項目竟承擔(dān)件單位舅要求損:障主承拾擔(dān)單違位要供求是束獨立廉法人撿的企情業(yè)或營企業(yè)妥性質(zhì)誰的研概究所朝,并每組織內(nèi)產(chǎn)學(xué)繞研用互聯(lián)盟血聯(lián)合胡承擔(dān)銜項目勉。帆執(zhí)行認(rèn)期限副:青20賠09幟-2猶01調(diào)2年趨項目帝任務(wù)?。赫T用于飼超炮凈徐環(huán)境川的硅宗片傳衡輸機(jī)材械手怪研發(fā)名與應(yīng)優(yōu)用游項目旗編號磨:墳20山09兆ZX燈02武01疾3贊項目廉類別綠:騰產(chǎn)品范開發(fā)姐與產(chǎn)啟業(yè)化易項目屢目標(biāo)過:翼針對舌我國楚IC掩裝備賣的用腹戶需梯求,棉掌握扯超潔斯凈環(huán)妄境下渡的辰20亦0-衡30鎮(zhèn)0m壺m謠硅片院傳輸獵機(jī)器曠人的差工程瓶設(shè)計賠與批寺量制述造技志術(shù),創(chuàng)研制滋性能黃穩(wěn)定曲可靠倒的硅氏片傳餓輸機(jī)滔械手亦,珠性能租指標(biāo)香達(dá)到反同類冶產(chǎn)品奏國際掌先進(jìn)變水平寸,思并實鬧現(xiàn)產(chǎn)翅品化客應(yīng)用技及產(chǎn)慰業(yè)化既。冒項目鳳承擔(dān)趴單位佳要求玻:批主承府擔(dān)單得位要婦求獨賊立法中人的煩企業(yè)牲或企除業(yè)性字質(zhì)的岔研究滲所,如并組典織產(chǎn)書學(xué)研制聯(lián)盟版聯(lián)合僑承擔(dān)應(yīng)項目炊。愁執(zhí)行圣期限濁:怎20察09持-2爆01英2年轎項目騾任務(wù)廳:澡干泵胃與多系列程真空罷閥門橋產(chǎn)品詞開發(fā)撓與產(chǎn)盡業(yè)化狼項目癢編號含:瞞20秀09益ZX營02刻01早4撲項目中類別滿:抵產(chǎn)品賭開發(fā)互與產(chǎn)弊業(yè)化貿(mào)項目易目標(biāo)固:更研究碧開發(fā)貼極大汁規(guī)模胃集成疤電路弄裝備博用干船泵及勇系列必真空散閥門野,伶性能秋指標(biāo)沿達(dá)到島同類崗產(chǎn)品斧國際身先進(jìn)渾水平授,紫通過改整機(jī)豪用戶苦的考棟核與澆采購奔認(rèn)證南,具章備產(chǎn)坑業(yè)化撇能力頓及市開場競商爭力形,獲識得5祥00平臺/竟套以私上的體應(yīng)用磁。善項目搏承擔(dān)熄單位垃要求哲:館主承齊擔(dān)單奴位要而求是微獨立績法人助的真遺空設(shè)開備制學(xué)造企菊業(yè)或哄企業(yè)您性質(zhì)損的研芝究所款,組閃織產(chǎn)栽學(xué)研碑用聯(lián)龜盟聯(lián)據(jù)合承牽擔(dān)項糧目。銳執(zhí)行暢期限雹:殿20慶09革-2錦01箏2年就項目痕任務(wù)勿:帆磁浮參分子礦泵系娛列產(chǎn)死品開享發(fā)與殼產(chǎn)業(yè)售化符項目刻編號扭:覽20冒09袍ZX控02叮01雙5蕉項目角類別笨:膊產(chǎn)品趟開發(fā)加與產(chǎn)廊業(yè)化網(wǎng)項目毅目標(biāo)胸:琴研究袋開發(fā)必極大粉規(guī)模鐵集成碌電路下裝備丈用行磁浮食分子木泵系關(guān)列產(chǎn)飽品,券性能隸指標(biāo)耐達(dá)到言同類鉆產(chǎn)品布國際唐先進(jìn)覽水平捷,躍通過贈整機(jī)壩用戶機(jī)的考梁核與悲采購訊認(rèn)證夏,叛具備惡產(chǎn)業(yè)慚化揭能力柿及市慘場競圖爭力豐,歸獲得批超過引2釋00盞臺憲的擴(kuò)應(yīng)用曠。歌項目糟承擔(dān)碎單位振要求姿:罪主承廈擔(dān)單漢位要承求是刃獨立賀法人泰的專依業(yè)生引產(chǎn)真其空設(shè)滔備的渠企業(yè)省或企劃業(yè)性誠質(zhì)的腎研究籌所,溫并組嗎織友產(chǎn)學(xué)循研用姜聯(lián)盟蜘聯(lián)合懲承擔(dān)味項目哥。跳執(zhí)行促期限羞:弊20鄉(xiāng)09裳-2陶01富2年振項目致任務(wù)卷:財集成啦電路脅裝備麥20滾0-列30象0m樣m酒SM序IF弱系統(tǒng)跳研發(fā)舌與應(yīng)埋用糊項目謙編號棄:樹20尿09瓶ZX奪02籠01疑6糞項目利類別禽:帶產(chǎn)品搶開發(fā)渠與產(chǎn)貿(mào)業(yè)化眨項目舞目標(biāo)逮:里研究臭開發(fā)輝極大榜規(guī)??萍山唠娐肺谎b備逼20塊0-模30鞭0m甚m美SM綁IF橡系統(tǒng)且產(chǎn)品接,狹取得遍核心劃自主奉知識童產(chǎn)權(quán)轎,夢通過猶整機(jī)桿用戶帖的考膊核與燥采購巷認(rèn)證拉,龜具備根產(chǎn)業(yè)技化晃能力悅及市祥場競受爭力剛,媽獲得荒超過光5態(tài)00捧套泥的應(yīng)賠用充。濱項目味承擔(dān)章單位姐要求袖:買主承芽擔(dān)單泡位要應(yīng)求是成獨立接法人化的集距成電逗路裝桶備企涼業(yè)或固企業(yè)驢性質(zhì)普的研亭究所叫,并籠組織灑產(chǎn)學(xué)橫研用鴉聯(lián)盟拌聯(lián)合湖承擔(dān)三項目醬。噸執(zhí)行培期限債:稈20址09勇-2橋01薄2年紅項目拋任務(wù)摸:撿集成蔬電路踩生產(chǎn)晚線糞自動飲化調(diào)榨度控都制軟儀件技航術(shù)害項目脂編號摟:哪20諷09廈ZX古02羽01慕7豪項目召類別策:沖關(guān)鍵扯技術(shù)升研究管項目訂目標(biāo)余:樓面向駱極大漁規(guī)模禁集成憲電路思制造慘大生漠產(chǎn)線圣的自悉動化冬及高腿產(chǎn)率等、高劇成品棚率需屋求,認(rèn)開展孕生產(chǎn)片過程苦監(jiān)控江、設(shè)騾備異采常預(yù)針測、福優(yōu)化宇調(diào)度頑、成蝶品率吧控制渣等技獻(xiàn)術(shù)的戒研究童,開校發(fā)相肆關(guān)大掀生產(chǎn)握線自符動化研系統(tǒng)粒軟件呼產(chǎn)品鳳與解熟決方借案,誓建立在客戶沖支持限服務(wù)鐘體系爸,心并在票2-夸3家矮(前摸工序籠、封噸裝)疫大生耽產(chǎn)線大得到墳驗證遼與應(yīng)橫用叮,建雨立長及期合扎作與糟服務(wù)處關(guān)系角。巡項目虜承擔(dān)做單位達(dá)要求永:歉主承擱擔(dān)單衣位要漠求是聲獨立寬法人妻的企盛業(yè)或車企業(yè)賴性質(zhì)開研究楊所,悄并組芹織產(chǎn)穗學(xué)研幕用聯(lián)炮盟聯(lián)協(xié)合承扭擔(dān)項滋目。皮執(zhí)行迎期限磁:目20御09胞-2僅01粉1失年宰項目親任務(wù)羽:盡符合敬國際偏標(biāo)準(zhǔn)少集束乎型I矩C裝挎?zhèn)渲T控制猾系統(tǒng)稅開發(fā)亂平臺視研發(fā)湖與應(yīng)床用煮項目拘編號葡:劍20襲09牌ZX刑02秋01掀8撕項目蜜類別性:歲關(guān)鍵關(guān)技術(shù)刺研究圈項目向目標(biāo)俘:拜研制懷開發(fā)眠符合瘡SE祖MI利標(biāo)準(zhǔn)仰和相礦關(guān)自腰動化厘標(biāo)準(zhǔn)慨的集樹束型錦IC為裝備吊自動隙化系祖統(tǒng)開現(xiàn)發(fā)平馬臺,籠為半憑導(dǎo)體芒裝備農(nóng)制造熟商提丘供開則放、業(yè)模塊快化的品自動咬化什軟件裹產(chǎn)品離與招系統(tǒng)恥解決訴方案喬,陜建立廟客戶乓支持蹈服務(wù)竄體系草,紗通過炭3-揀4家徒用戶拳的驗諒證并免取得撞應(yīng)用牧,建旁立長鏈期合蠻作與扔服務(wù)樣關(guān)系禍。艇項目亞承擔(dān)列單位逐要求壺:他主承次擔(dān)單挑位要養(yǎng)求是帆獨立驅(qū)法人罪的企目業(yè)或成企業(yè)免性質(zhì)殘研究勢所,臺并跡組織勞產(chǎn)學(xué)是研用栽聯(lián)盟爬聯(lián)合輩承擔(dān)砍項目坡。辮執(zhí)行雞期限晝:歇20脊09灘-2制01振1賊年邁項目宋任務(wù)疲:牽半導(dǎo)幼體設(shè)腹備工跪藝腔素室多壟場耦拍合分蘇析與泳優(yōu)化罰設(shè)計趨通用計平臺叮研究婆項目別編號涂:鑒20悼09俱ZX鞠02訂01膝9破項目接類別批:則關(guān)鍵寬技術(shù)感研究液項目丈目標(biāo)水:仗面向搭極大宗規(guī)模打集成贈電路吊制造外裝備暈中普往遍采拜用的遲核心礙工藝緣反應(yīng)速腔室摸的開塵發(fā)與喬創(chuàng)新擱設(shè)計之需求帶,研卡究工獵藝腔悉室中爪流場子、熱飼場、謙電磁瘡場、嫂等離內(nèi)子體井等多算場強(qiáng)隆耦合氣仿真竄分析側(cè)技術(shù)泛,開傘發(fā)工燦藝腔置室的有優(yōu)化眾設(shè)計趕平臺語,形旋成實彎用化券的軟扶件工還具,掘提供泰完整儲的技屑術(shù)解綿決方軋案和鮮成果畢產(chǎn)業(yè)匙化轉(zhuǎn)豆移方伯案,不在3桿-4揪家設(shè)鞋備和日生產(chǎn)氣線用命戶得崗到驗踐證與儀實際糞應(yīng)用停。詳項目足承擔(dān)漲單位灑要求般:腿主承興擔(dān)單崗位要音求是嚇獨立之法人狠的高酬校、排研究瓜所和寒企業(yè)奧,并械組織侮產(chǎn)學(xué)乞研用圖聯(lián)盟偷聯(lián)合割承擔(dān)炸項目喊。妥執(zhí)行掙期限仁:唐20囑09頌-2橫01衫1桶年勝項目恢任務(wù)誼:賄IC制裝備裕整機(jī)護(hù)建模在與仿忌真設(shè)拿計平贈臺奶項目嫂編號溉:呆20肚09烏ZX厘02冶02寶0調(diào)項目靈類別套:睡關(guān)鍵役技術(shù)寺研究敬項目烏目標(biāo)蟻:啄面向乎極大胃規(guī)模姻集成在電路留制造就裝備甚復(fù)雜粱系統(tǒng)禁整機(jī)廟設(shè)計曲和產(chǎn)略品開煩發(fā)的漿需求針,研良究多塌領(lǐng)域密建模沫與仿立真技根術(shù)、侵多學(xué)鎖科協(xié)搖同設(shè)姐計技請術(shù),算開發(fā)掏集成交電路南裝備枕整機(jī)毯建模舉與仿焦真設(shè)崗計平娃臺,溫形成患實用謊化的累軟件吃工具莖,許提供賠完整犁的技明術(shù)解源決方暴案和學(xué)成果萬產(chǎn)業(yè)望化轉(zhuǎn)幼移方蒸案,習(xí)并在叛3-歐4家車典型服集成裕電路朋制造渾裝備柴的設(shè)兩計與方產(chǎn)品如開發(fā)蓄中取巧得實誦際應(yīng)辱用。處項目豆承擔(dān)凍單位套要求熊:請主承曾擔(dān)單企位要值求是尿獨立覺法人搖的高于校、阻研究今所和深企業(yè)著,并嚼組織藍(lán)產(chǎn)學(xué)膊研用豆聯(lián)盟歷聯(lián)合獵承擔(dān)然項目悶。器執(zhí)行賢期限射:罪20泡09?。?遲01補(bǔ)1巨年喬項目旬任務(wù)凈:泛封裝敬設(shè)備怖關(guān)鍵賄部件閣與核鴉心技趕術(shù)益項目津編號畏:冰20之09凍ZX逢02閥02炊1課項目怠類別槳:約關(guān)鍵膀技術(shù)秋研究退與蘿部件渡產(chǎn)品股開發(fā)校項目洞目標(biāo)綠:扁研究壩開發(fā)柱高速逆空氣鄭靜壓頂電主牧軸、看超高鐵加速登精密震運(yùn)動金系統(tǒng)繪與控鴉制寇技術(shù)奮、廳高速悲機(jī)器大視覺摸技術(shù)港等先首進(jìn)封筒裝設(shè)粉備關(guān)縫鍵部誦件和林核心深技術(shù)舌,提河高整簡機(jī)性霜能與挖競爭美力,頃取得餅核心龜知識債產(chǎn)權(quán)鋤。部旺件產(chǎn)宴品性姐能指龜標(biāo)達(dá)完到同丸類產(chǎn)轎品國葵際先耐進(jìn)水閘平,察通過翼用戶錢考核捎驗證辨,具沈備產(chǎn)觸業(yè)化貓能力獵及市早場競形爭力難。核友心技遭術(shù)研嗓發(fā)應(yīng)劃與整膝機(jī)單默位緊雨密結(jié)膏合,年提供汽完整飛的技凈術(shù)解撿決方湖案和扣成果詢產(chǎn)業(yè)扁化轉(zhuǎn)貨移方文案,敢獲得及產(chǎn)業(yè)聯(lián)化應(yīng)右用。弟應(yīng)用木臺數(shù)櫻超過屆20碎0臺冷。概項目例承擔(dān)哥單位梢要求撥:松關(guān)鍵冬技術(shù)壘項目赴主承術(shù)擔(dān)單衫位要抽求是甘獨立懶法人曬的企湯業(yè)、所科研吊院所廣和高往校;諸部件跌產(chǎn)品午開發(fā)切項目巧承擔(dān)僻單位罪要求維是獨穩(wěn)立法翅人的尸企業(yè)非或企短業(yè)性頓質(zhì)研淋究所畏。圖組織培產(chǎn)學(xué)村研用臣聯(lián)盟浩聯(lián)合惑承擔(dān)桃項目售。讀執(zhí)行茫期限洞:漂20肢09薪-2絨01新2年殃成套蛙工藝吃項目騾任務(wù)裹:卸0.迷25緒-0跪.1亦8微妖米通叫用B母CD島產(chǎn)品托工藝惠開發(fā)堆與產(chǎn)險業(yè)化喜項目辣編號諸:指20佳09高ZX突02案02垂2含項目攏類別團(tuán):浴產(chǎn)品趙工藝?yán)m(xù)開發(fā)片與產(chǎn)街業(yè)化澇項目擔(dān)目標(biāo)于:惜完成單0.尊25合-0內(nèi).1激8飽微米抵通用愉BC疑D選(4賀0V巧以下高)兵工藝?yán)ㄩ_發(fā)貓與設(shè)差計服榆務(wù)平抱臺占,南取得些自主肆知識習(xí)產(chǎn)權(quán)訓(xùn),具甩備向偽其它老生產(chǎn)殖線技似術(shù)轉(zhuǎn)暫移和趙代工仁量產(chǎn)本能力牧,為汁5-段10注種自脅主設(shè)吳計的拋相關(guān)魯產(chǎn)品珍提供浪產(chǎn)品朋制造感服務(wù)搏。井項目緣承擔(dān)丙單位加要求揪:遺主承橫擔(dān)單求位是君獨立簽法人嘴的集貫成電永路芯寬片制堪造企簽業(yè)或姜企業(yè)酷性質(zhì)塵的研和究所兄,并賠組織物產(chǎn)學(xué)蛋研用蛋聯(lián)盟寧聯(lián)合迅承擔(dān)暢項目卸。年執(zhí)行吵期限版:中20壞09萬-2卡01懸0鞋年賢項目終任務(wù)支:環(huán)65究nm傘單產(chǎn)品回工藝棟與設(shè)冒備產(chǎn)材料點考核粥驗證據(jù)及忙應(yīng)用雞示范跟平臺匠項目森編號度:培20羞09莖ZX夜02河02告3波項目飾類別緣:紐產(chǎn)品境開發(fā)巧與產(chǎn)朗業(yè)化俊項目拌目標(biāo)疾:偉面向富通訊膠、移劣動多趴媒體改、數(shù)猶字消困費等宇重大午SO距C產(chǎn)責(zé)品駛需求陽,好研究桐開發(fā)蘆適用著于低抗功耗外和灑通用杏產(chǎn)品醒的數(shù)晃字與攤數(shù)模縣混合棋、大卡容量化靜態(tài)聚隨機(jī)臺存儲憤器(勒SR戀AM頂)白與非封揮發(fā)倦存儲狠器、庸射頻律(預(yù)RF絹)眼等犬65反nm垃產(chǎn)品成工藝壘,建陜立完本善的胡客戶臥設(shè)計已服務(wù)角平臺虹,敲取得世自主替知識辮產(chǎn)權(quán)午,具散備向鍛其它礙生產(chǎn)清線技庸術(shù)轉(zhuǎn)呼移和屠代工杯量產(chǎn)婚能力個,為層3-光5種給自主邊設(shè)計鑄的大崖規(guī)模福SO誼C產(chǎn)健品提村供制儲造服填務(wù)摩。建朝立藍(lán)設(shè)備埋與材風(fēng)料的狐考核燙驗證緣與應(yīng)挪用示裳范平浪臺,訴為倒國產(chǎn)嘩裝備肥和材犧料副提供袖驗證勇服務(wù)踩。慰項目甜承擔(dān)趁單位雖要求賭:賞主承欲擔(dān)單且位要過求是側(cè)獨立羽法人掃的集腹成電攜路制備造企禽業(yè)或蝕企業(yè)泄性質(zhì)嚇的研挑究所湊,并限組織湯產(chǎn)學(xué)申研用昆聯(lián)盟響聯(lián)合念承擔(dān)偉項目杰。做執(zhí)行防期限右:肯20敏09煮-2醬01北0有年廈項目碑任務(wù)半:渠4附5n這m朽成套齒工藝窗開發(fā)何項目侄編號橡:珍20屯09聰ZX期02惕02海4顯項目玩類別照:球成套夏工藝練開發(fā)破項目筑目標(biāo)規(guī):頁研究倉開發(fā)絹適用徑于低蕩功耗篩和量通用擁產(chǎn)品學(xué)的數(shù)你字與獨數(shù)模如混合闖、大剪容量滔存儲革器罰等4美5n懸m標(biāo)校準(zhǔn)工情藝欺,建動立完組善的充客戶燥設(shè)計材服務(wù)瑞平臺貨,野取得脾自主浴知識牛產(chǎn)權(quán)熟,具氣備向鐵其它站生產(chǎn)仔線技碼術(shù)轉(zhuǎn)懲移和柄代工介量產(chǎn)并能力那,為篇自主皮設(shè)計菊的大熔規(guī)模萌SO燃C產(chǎn)攪品提緞供產(chǎn)呀品制緣造服閑務(wù)旨。浪為國押產(chǎn)化是裝備遇、材戀料等吼提供牧驗證曬服務(wù)棟。濃項目衫承擔(dān)計單位方要求完:給主承光擔(dān)單慌位要椅求是訴獨立距法人農(nóng)的集錢成電儲路研邊發(fā)企督業(yè)和識制造泊企業(yè)滅,并灑組織膏產(chǎn)學(xué)虛研用瞇聯(lián)盟慨聯(lián)合峰承擔(dān)扔項目藝。房執(zhí)行儉期限皮:裁20駛09涼-2丙01窯1喝年廳項目巾任務(wù)湯:磨先進(jìn)希封裝咽工藝見開發(fā)予及產(chǎn)謙業(yè)化贈項目洗編號慌:畫20罰09摟ZX戀02聾02鍬5血項目汽類別椒:眉工藝惹開發(fā)厚及產(chǎn)揮業(yè)化功項目垃目標(biāo)號:中研究屯開發(fā)凱球柵姜陣列異封裝狀BG截A、菜芯片比尺寸斗封裝閉CS艦P、超多芯團(tuán)片封趟裝M斧CP狗、圓袍片級劫封裝午WL協(xié)P、括倒裝逗芯片馬封裝阻FC賴、封僅裝內(nèi)宅封裝僵PI經(jīng)P、霜高容勉量閃刮存集憶成封既裝、間高可林靠局特種熟專用僵封裝狂等先勉進(jìn)封匯裝的傭成套匪工藝消,美突破種封裝仗工藝間、測沫試評杜估與壺可靠營性等死關(guān)鍵株技術(shù)武,爽建立饞完善華的步產(chǎn)品關(guān)服務(wù)媽平臺奪,取現(xiàn)得自懼主知狀識產(chǎn)窮權(quán),離具備內(nèi)量產(chǎn)襪能力遇和向煌其它賭生產(chǎn)餡線技妥術(shù)轉(zhuǎn)太移的灘能力悠,協(xié)開展不多目悶標(biāo)封偵裝(自MP趕P)張服務(wù)伸,料為轉(zhuǎn)5宅-押10于種自外主設(shè)樓計產(chǎn)越品提寸供封葛裝服西務(wù)。畝項目龜承擔(dān)單單位裹要求披:漸主承沃擔(dān)單炒位是松獨立飄法人靜的集層成電竟路封求裝生往產(chǎn)企寬業(yè),陵并組誦織轉(zhuǎn)產(chǎn)學(xué)害研用薦聯(lián)盟濾聯(lián)合拐承擔(dān)劈項目圍。伍執(zhí)行銅期限月:泡20勇09潤-2蔥01調(diào)1年搭。舉項目桑任務(wù)紐:侍高密金度多戀層封言裝基必板制梳造工兇藝開雙發(fā)與肅產(chǎn)業(yè)詳化玩項目粘編號荷:量20貍09械ZX潑02笑02煎6對項目觸類別栽:翼封裝掀技術(shù)臭開發(fā)氏及產(chǎn)匪業(yè)化貝項目謀目標(biāo)佛:指完成默高密墻度灶系統(tǒng)橡級嬸多層勸封裝夢基板感、柔遣性封槳裝基煮板任等昏成套占制造啞工藝財?shù)拈_燒發(fā),沫突破均基板查設(shè)計夫、元仙件埋渾入琴、制分造工奴藝、債測試鍬評估炎等關(guān)親鍵技芝術(shù),女取得稿自主竹知識懶產(chǎn)權(quán)寺,徹建立斷產(chǎn)品躍服務(wù)糾平臺么,具弦備量廣產(chǎn)能搏力和寫向其襯它生厭產(chǎn)線財技術(shù)葬轉(zhuǎn)移想的能縣力,伙開展援多目劫標(biāo)封鴨裝(蝴MP巨P)屋服務(wù)菠,皆為劉5晚-快10腰種自鋼主設(shè)蜂計產(chǎn)耽品提施供封苦裝服吧務(wù)??隧椖亢愠袚?dān)旁單位種要求呀:蜓主承替擔(dān)單群位是粉獨立么法人他的集際成電煤路封姨裝企單業(yè),嗽并組表織賣產(chǎn)學(xué)佳研用馬聯(lián)盟準(zhǔn)聯(lián)合摸承擔(dān)柳項目得。耐執(zhí)行設(shè)期限熱:發(fā)20拿09思-2用01腎1年嬌。瞎項目揀任務(wù)始:殖極大季規(guī)模城集成倍電路暑生產(chǎn)籮測試稈技術(shù)捧項目節(jié)編號身:猶20幕09柄ZX伙02畢02厚7射項目需類別且:憲成套勝工藝砍開發(fā)癥項目吸目標(biāo)翁:珠研究怨開發(fā)匙極大忠規(guī)模魔集成暖電路隙大生蠻產(chǎn)測踏試(夠包括煎中測介與成帖測)弄技術(shù)束,取數(shù)得自忽主知仗識產(chǎn)平權(quán),據(jù)并通爭過大牌規(guī)模及測試享線考耐核驗藝證,抓為5后-1腐0種終自主呢設(shè)計猴的鍋相關(guān)勒產(chǎn)品槐提供言測試袍服務(wù)叮。揀項目寫承擔(dān)畏單位逢要求貌:維主承坡?lián)鷨谓灰笫遣濯毩ⅫS法人洞的企強(qiáng)業(yè)或忽企業(yè)知性質(zhì)蘿研究茫所,弟并組罷織產(chǎn)還學(xué)研斗用聯(lián)菠盟聯(lián)閥合承猛擔(dān)項敬目。珍執(zhí)行惱期限祝:吧20修09蘿-2它01廳1碼年家關(guān)鍵縱材料耍項目區(qū)任務(wù)枯:欄20徹0m飲m乘外延垮片產(chǎn)圾品開肉發(fā)與宮產(chǎn)業(yè)例化告項目同編號累:肺20局09靜ZX盼02遮0冤28暴項目顧類別侮:擾產(chǎn)品崖開發(fā)憑與產(chǎn)宜業(yè)化梯項目估目標(biāo)口:念研究內(nèi)開發(fā)尾滿足命0.究13幻-0范.2撓5息μ巴m掩生產(chǎn)票需求哲的冊20膊0m滋m書外延浙片產(chǎn)夜品,貿(mào)通過喜大生爪產(chǎn)線雄考核忽與玉用戶犯認(rèn)證沫,融具備染產(chǎn)業(yè)效化助能力倘及市啊場競效爭力然,拖在衛(wèi)主流賽集成嘉電路政制造舟企業(yè)踢獲得法1偽.5臉萬片朱/月圍、穩(wěn)雨定供五貨1蛋2個珍月以繪上的責(zé)應(yīng)用楚,簽料訂長撫期合昌同攏。拆鼓勵買使用待國產(chǎn)侮襯底郊拋光友片,護(hù)比例泡不少肆于5懲0%垮。唐項目叢承擔(dān)已單位關(guān)要求漆:群主承未擔(dān)單夠位要忽求是產(chǎn)獨立蜂法人作的集從成電涂路材污料企岸業(yè),侄并組柜織代產(chǎn)學(xué)吃研用漆聯(lián)盟文聯(lián)合護(hù)承擔(dān)遇項目拔。爽執(zhí)行釘期限綢:害20謀09儀-2掩01鏈0棗年我項目低任務(wù)教:態(tài)20鈴0m限m延拋光跪片秩產(chǎn)業(yè)徹化技直術(shù)腎項目譜編號浪:閱20扛09俊ZX比02衛(wèi)0驗29雨項目頓類別澤:樸產(chǎn)品辜研發(fā)百與產(chǎn)隱業(yè)化珠項目摟目標(biāo)粥:哀研究榴開發(fā)辯8英房寸沈硅單誰晶浮晶體推生長口、拋那光片駝制備牲、冊分析院檢測丈等丹量產(chǎn)申技術(shù)朽,臉生產(chǎn)沾線保具有暈連續(xù)票穩(wěn)定脈運(yùn)行卵的能勞力捕,通肚過國巷內(nèi)主懷流廳8英戀寸舟集成訂電路阻生產(chǎn)四企業(yè)過的合娃格供遙應(yīng)商寧評估談?wù)J證床,產(chǎn)港品通結(jié)過用打戶考饑核評婦估,兄各項耗技術(shù)砍指標(biāo)罰達(dá)到峽0.奸25慢-0溜.1循3寸微米永集成燕電路劉要求摟,垃在主箱流集愉成電謀路制儉造企原業(yè)獲診得4癥萬片栽/月餃、穩(wěn)蠶定供積貨1管2個妻月以育上的居應(yīng)用虛,簽倘訂長園期合沿同。笑項目塔承擔(dān)忘單位焰要求好:娘主承蝶擔(dān)單慘位要田求是且獨立盼法人騎的半迫導(dǎo)體位硅材落料制蘇備企蒸業(yè),賀并組裝織產(chǎn)慰學(xué)研將聯(lián)盟良聯(lián)合義承擔(dān)異項目柏。華執(zhí)行皺期限酒:叼20棋09煉-2塘01賽1滔年慧項目前任務(wù)完:狗90慎-6聯(lián)5n直m集路成電讀路關(guān)芒鍵拋牛光材崖料研見究與籌產(chǎn)業(yè)談化郵項目摘編號途:敗20處09傻ZX款02濕03溪0嚇項目旦類別太:慰產(chǎn)品友開發(fā)透與產(chǎn)繡業(yè)化帳項目筆目標(biāo)倉:誠研究用開發(fā)嶺90然-6協(xié)5納育米集丑成電筆路化與學(xué)機(jī)故械拋貪光用沾拋光亞液制化備技失術(shù),尺開發(fā)烏年產(chǎn)研萬噸藍(lán)級規(guī)易模奏生東產(chǎn)技騎術(shù),期產(chǎn)品膠通過針用戶緩考核夢且犯通過隸2家瓦以上殖集成薪電路斤大喊生產(chǎn)洽企業(yè)琴的合押格供撤應(yīng)商愛認(rèn)證截,怕實現(xiàn)氧批量塊穩(wěn)定槐供貨逃,在促國內(nèi)抵化學(xué)久機(jī)械尊拋光梨用拋侍光液幣的市索場占白有率抄超過胳30芝%。咱項目房承擔(dān)耽單位淺要求泰:模主承逮擔(dān)單拼位要啦求是妥獨立貼法人堤的拋姥光液雕材料活企業(yè)研,并生組織照產(chǎn)學(xué)園研用顯聯(lián)盟責(zé)聯(lián)合毫承擔(dān)宏項目述。清執(zhí)行脹期限悟:被20波09鋪-2執(zhí)01革0準(zhǔn)年削項目覆任務(wù)識:洪濺射錦靶材匪與電裁鍍液抱產(chǎn)業(yè)嬸化技鞏術(shù)開圓發(fā)壓項目賓編號烘:涌20勇09閱ZX膠02待03座1云項目繼類別嗚:盟產(chǎn)品嬸開發(fā)絮與產(chǎn)風(fēng)業(yè)化誰項目踩目標(biāo)軍:習(xí)研究娘開發(fā)乒超高閥純大反尺寸蝦靶材防與電異鍍液肯制備挎成套蛙關(guān)鍵叔技術(shù)魚,完鉤成鋁埋及刪鋁畜合金莫、純鈦躬、蠢鉭淺、動銅等析靶材嗓與電聯(lián)鍍液嗽產(chǎn)品釋開發(fā)旅,靶紀(jì)材滿祖足9淺0n魄m-危65率集成衛(wèi)電路外前道顯工藝嘴與封飯裝要氏求,冶電鍍皆液滿萄足6從5頓-4陣5候nm咸集成績電路客銅互叢連布工藝簽要求嶺,蛋產(chǎn)品萄通過亂生產(chǎn)耀線考刃核,密且男通過虹集成傍電路在大屢生產(chǎn)撒企業(yè)根合格議供應(yīng)止商少認(rèn)證興,陷具備斧量產(chǎn)胞能力帖和市仿場競稀爭力礎(chǔ),可跨實現(xiàn)最批量難穩(wěn)定本生產(chǎn)托。鼓項目它承擔(dān)圓單位挨要求植:吹主承拾擔(dān)單魯位要善求是變獨立顏法人孤的生閑產(chǎn)企幻業(yè),捉并組唱織笛產(chǎn)學(xué)該研用副聯(lián)盟疾聯(lián)合臺承擔(dān)述項目說。銹執(zhí)行肢期限拾:齊20國09湊-2拴01息0按年仙項目戀任務(wù)慰:雅超凈瘦高純傳試劑妖產(chǎn)品互開發(fā)離和產(chǎn)襪業(yè)化桿項目英編號營:遞20狡09擱ZX境02沒03碗2冤項目哪類別趙:幻產(chǎn)品爬開發(fā)泡與產(chǎn)超業(yè)化慌項目匆目標(biāo)瞞:修研究暴開發(fā)諒20潔0-蠟30夏0m衣m輛集成煮電路慚生產(chǎn)顯線占用引超凈慕高純掀試劑副(有錢機(jī)/者無機(jī)偽)頁產(chǎn)品遭成套纖技術(shù)說與春系列致產(chǎn)品純,售完成朗原材創(chuàng)料、沈包裝米容器亡品質(zhì)毒提升秤與供蓋應(yīng)體結(jié)系建卵設(shè)棄,通渾過酸生產(chǎn)鋼線舒考核辱與用恐戶汽認(rèn)證盲,傾具備批產(chǎn)業(yè)疏化窄能力叮及市豪場競緣爭力派,素能勵對2餅-3凳家大筐生產(chǎn)欄企業(yè)狹長期誰穩(wěn)定閥供貨岸,招支撐頸國內(nèi)昨市場難綜合朽占有剃率超呼過掘2針0%尸。過項目哪承擔(dān)點單位亭要求奏:惱主承鳴擔(dān)單姥位要猾求是跨獨立挽法人娛的企抄業(yè)或禍企業(yè)賢性質(zhì)慎的研肺究所友,并緣組織喉產(chǎn)學(xué)綱研用秒聯(lián)盟閉聯(lián)合牲承擔(dān)敞項目婆。損執(zhí)行幸期限牛:躺20啦09套-2搭01打0膚年游項目蠻任務(wù)景:肺高純您電子射氣體島與液滲態(tài)源錄產(chǎn)品泉開發(fā)壽與產(chǎn)策業(yè)化紡項目譯編號章:閘20陵09旦ZX瓜02搖03距3兄項目竟類別賺:羅產(chǎn)品票開發(fā)夫與產(chǎn)飲業(yè)化州項目擁目標(biāo)彼:育研究尸開發(fā)依20粉0-蜘30波0m前m呀集成世電路仆生產(chǎn)肯線吐用慮高純舍電子遞工藝較氣體岔與眼低k船介質(zhì)顫等巧有機(jī)淚液狡態(tài)源勤產(chǎn)品啦,通間過生恒產(chǎn)線濃考核腔與用巴戶賭認(rèn)證關(guān),恒具備傭產(chǎn)業(yè)歷化遲能力統(tǒng)及市止場競怨?fàn)幜α?,違能繡對2良-3漲家大懇生產(chǎn)協(xié)企業(yè)移長期榜穩(wěn)定叨供貨鏈,炊支持偵國內(nèi)稈市場蒙綜合涼占有姓率超現(xiàn)過漏2理0%玻。恥項目贏承擔(dān)繩單位渣要求飽:朗主承兼擔(dān)單濤位要潛求是綠獨立銹法人鞋的企走業(yè)或敵研究毀所,蟲并組筑織弦產(chǎn)學(xué)細(xì)研用往聯(lián)盟墾聯(lián)合糕承擔(dān)奔項目趕。接執(zhí)行山期限便:嘩20以09忠-2共01勺2年您項目似任務(wù)工:市高可秩靠陶舞瓷管匠殼產(chǎn)恒品開劇發(fā)油項目錦編號對:歪20驢09戀ZX闖02糧03津4味項目鋒類別虎:膀產(chǎn)品籠開發(fā)寇與產(chǎn)凱業(yè)化丹項目揭目標(biāo)蛇:陳研究噸開發(fā)壽高可國靠瓜集成悼電路絕封裝壇用載陶瓷招管殼污系列獸產(chǎn)品劈,亂達(dá)到厭同類龍產(chǎn)品慶國際縣先進(jìn)諸水平救,騾通過鎖生產(chǎn)碑線考初核及陵用戶促認(rèn)證瓶,具退備果產(chǎn)業(yè)愧化弱能力波及市穿場競舞爭力蜂,支燒持市蘋場占凱有率厲超過別20恢%炒。意項目霞承擔(dān)光單位妥要求歐:報主承蜓擔(dān)單題位要息求是亭獨立每法人污的企闊業(yè)或索企業(yè)竄性質(zhì)柱的研墾究所蜜,并戶組織私產(chǎn)學(xué)赤研用寫聯(lián)盟答聯(lián)合六承擔(dān)爪項目挺。稱執(zhí)行鼻期限更:侵20候09丘-2抹01法2年王前瞻百性研蛛究聰項目眾任務(wù)皂:華32偏nm寇井新型貧存儲過器關(guān)峽鍵工密藝解吸決方攏案童項目靜編號欺:匆20猴09潮ZX密02堵03豬5兇項目拍類別毅:慢前瞻程性研壇究誼項目虹目標(biāo)統(tǒng):度開展煉32灰nm獵新型浩存儲院器工紀(jì)藝研爛究,鏟新結(jié)矛構(gòu)閃豆存存守儲器銳形成煉IP蹄和關(guān)示鍵工華藝解扁決方嫩案,熔開發(fā)卸出原遼型產(chǎn)易品;匙PC雁RA墨M、咽RR舒AM腰等新邁型存吊儲器此取得麻關(guān)鍵近技術(shù)忽突破足。取黎得自甩主知現(xiàn)識產(chǎn)她權(quán),星開發(fā)奸出可兩向生文產(chǎn)線區(qū)轉(zhuǎn)移醒的關(guān)摘鍵工扭藝。闊項目盞承擔(dān)巴單位妨要求鼻:債主承鳴擔(dān)單限位要車求是福獨立客法人柄的科想研院猶所和塑高校遮,在插專項體總體津組指唯導(dǎo)下掃,依梢托企垃業(yè)組米織產(chǎn)霉學(xué)研清用聯(lián)把盟聯(lián)練合承就擔(dān)項輝目。悼執(zhí)行留期限林:寄20狂09柱-2穩(wěn)01顧2年遇項目錦任務(wù)啟:祥45街-3速2n錄m以撇下大裝備鼓關(guān)鍵惠技術(shù)節(jié)項目鬧編號繩:替20辣09寫ZX浮02秀03殲7礙項目隨類別場:烤前瞻筒性鐵研究殃項目低目標(biāo)斜:之面向懶45雄-3響2n止m供以下溉集成竟電路臣裝備玩的需詠求慌,賢開展玉裝備綁關(guān)鍵拉技術(shù)呼與敘創(chuàng)新葵技術(shù)文研究竄,宵包括店圖形寧形成所轉(zhuǎn)移輔、薄諸膜、太刻蝕蟻、摻姥雜、膛平坦礎(chǔ)化、證退火駕、清樓洗、塊互連充等悅關(guān)鍵炸技術(shù)絡(luò)與創(chuàng)先新插技術(shù)京,很探索挨可能廊的實器現(xiàn)3陰2n概m以驅(qū)下集逗成電岡路芯引片制怒造的朱關(guān)鍵蜂工藝壽模塊薯、裝貞備、絞材料瘦的成燥套解盆決方美案,儲取得演自主捏知識撥產(chǎn)權(quán)低和核刷心技皺術(shù)突聰破,宣為愉“鈴十二攀五恨”蚊研發(fā)北集成施電路身整機(jī)緊裝備女提供霞關(guān)鍵且技術(shù)棉支撐剃。究項目講承擔(dān)獸單位刷要求澇:克主承柄擔(dān)單卡位要喝求是讀獨立搖法人靈的研元究院辜所、主高校膊或企癢業(yè),記并組??椛挟a(chǎn)學(xué)卵研用活聯(lián)盟憤聯(lián)合善承擔(dān)中項目世。珍執(zhí)行環(huán)期限雅:糾20料09治-2青01煌2課年夏項目鹿任務(wù)鍋:底三維級及系傻統(tǒng)級咳封裝旦(S煉iP假)技段術(shù)研攔究誠項目兩編號鋪:兼20批09拔ZX瘦02羊03勺8標(biāo)項目賊類別盯:粉前瞻嘆性研造究符項目漏目標(biāo)乘:縮面向差國際擦前沿碗及我槽國下體一代匪封裝肥技術(shù)垃發(fā)展賣需求浩,開哨展惹系統(tǒng)粒級封增裝(舉Si軍P/則So株P(guān))劈、三新維集湖成封遞裝、察ME憑MS損與C運(yùn)MO屆S電掃路集孟成封蹲裝等駁核心盆技術(shù)貓研究區(qū),哄突破泛三維軋系統(tǒng)泡級封犁裝的習(xí)設(shè)計帥、制藏造和覽測試駐及產(chǎn)用業(yè)鏈舍整合移技術(shù)涌,輛取得藥自主端知識不產(chǎn)權(quán)挖,形棗成系顛統(tǒng)級躁封裝狂解決翠方案呼,相醒關(guān)技根術(shù)在殃封裝駁企業(yè)筐進(jìn)行嘆應(yīng)用桶示范休。攜項目盜承擔(dān)饑單位酒要求漲:福主承醉擔(dān)單泛位要美求是深獨立辭法人每的高再校、月研究羊所、年企業(yè)奧,并適組織偷產(chǎn)學(xué)鋤研用很聯(lián)盟求聯(lián)合熱承擔(dān)匹項目寨。巨執(zhí)行閑期限像:耳20踏09盆-2躬01槽2年約項目雜任務(wù)閥:傷45錦-3慰2n豆m以甜下關(guān)僵鍵材價料技壇術(shù)研碰究日項目悄編號燙:霸20辰09避ZX菠02朽03瘡9姥項目爬類別竄:膜前瞻沒性辦研究阻項目嫁目標(biāo)普:般面向諒45惑-3捷2n林m以老下極材大規(guī)蜻模集鍋成電壤路的艦需求桿,開芒展高償k、差低k膊、應(yīng)禽變硅析等關(guān)洪鍵材貌料技機(jī)術(shù)研竿究,無并進(jìn)懶行工烏程化稍開發(fā)棵和示銜范應(yīng)兇用,位為下飛階段滔產(chǎn)業(yè)皂化開菠發(fā)奠染定基拒礎(chǔ)并。賓項目矩承擔(dān)圾單位枯要求開:飲主承止擔(dān)單素位要傅求是基獨立釘法人猛的研僅究院綱所、于高校伐或企耗業(yè),夕并組通織圓產(chǎn)學(xué)宇研用蕩聯(lián)盟伯聯(lián)合益承擔(dān)賴項目皇。灣執(zhí)行芽期限井:靈20雹09賢-2孫01稈2趴年綿附件助2擦:鞋《項艙目漂申報役書》位編寫忘要求蝶:閥文件泡編寫思:以歷中文暖編寫伴,要智求語糖言精濁煉,槽數(shù)據(jù)宋真實筐、可杜靠。以文件例規(guī)格朗:一視律用燈A4緞紙,體仿宋鳴四號拒字打午印并幸裝訂泊成冊翁,一晝式3孤份,薪同時擱附上進(jìn)電子由版(磨光盤蓄)。械項目悟建議思書按兩統(tǒng)一銅格式悲編寫喜。攝《項籌目焰申報猾書》戀應(yīng)有燦主承答擔(dān)單集位法首定代嫩表人狡(或華委托異授權(quá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