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文檔簡介

現(xiàn)有陶瓷基板制造技術(shù)1、氧化鋁基板(1)Al2O3陶瓷的基本性質(zhì)●優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度良好導(dǎo)熱特性,適用于高溫環(huán)境;●具有耐抗侵蝕和磨耗性●高電氣絕緣特性良好表面特性,提供優(yōu)異平面度與平坦度;抗震效果佳●低曲翹度;高溫環(huán)境下穩(wěn)定性佳●可加工成各種復(fù)雜形狀(2)Al2O3晶體結(jié)構(gòu)具有多種同質(zhì)異晶體α(三方)、β(六方)、y(四方)、η(等軸)、p(晶系未定)、X(六方)、K(六方)、δ(四方)、θ(單斜)Al2O3等10多種變體;主要有以(三方)、β(六方)、Y(四方)相α-AL2O3為高溫穩(wěn)定相,工業(yè)上使用最多。a-Al2O3Al3+與O2之間為強(qiáng)固的離子鍵;O2陰離子近似于密排六方排列;A3陽離子占據(jù)了2/3的八面體空隙位置,即每個(gè)AF位于6個(gè)O2構(gòu)成的八面體的中心;α-Al2O3結(jié)構(gòu)的填充極為密實(shí),其物理性能,化學(xué)性能穩(wěn)定,具有密度高、機(jī)械強(qiáng)度大等特性。(3)A2O3陶瓷的分類及性能99瓷:~99%095瓷:~95%90瓷:~90%按含量來分高鋁瓷:>859剛玉瓷:>990白色按顏色來分紫色黑色Tablel-lPropertiesofAl2O3substrateAl2O3含量〔w%)93~9697~995體積密度(g/cm3.6~3.703.65-3.75380~3.95抗彎強(qiáng)度MPa250~320330~395線膨脹系數(shù)(25-800℃)103673~7577~788.0~8.1熱導(dǎo)率(w(m◆k))13~2418~2629~32絕緣強(qiáng)度(KVm體積電阻率(25℃)/2cm)介電常數(shù)E(IMHz)9.098介電損耗(MHz)/104用途厚膜用基板厚膜用基板薄膜用基板(4)Al2O3陶瓷原料生產(chǎn)Buyer法Naohaq鋁酸蘇成核劑鋁礬土打溶液→水鋁礦AL2O3.3H,O過濾、煅燒、脫水a(chǎn)-Al2O31100-1200%C(5)Al2O3陶瓷基板制作方法(a)Al2O3陶瓷成型助燒劑厚膜用:Al2O3SO2MgO、CaO,提高金屬化層的浸潤性;薄膜用:0.2w%MgO,得到密度高、表面平滑基板,MgO抑制燒成時(shí)A2O顆粒長大(Cr2O3抑制MgO表面蒸發(fā))●粘結(jié)劑PVB(聚乙烯醇聚丁醛樹脂)分散劑DBP(鄰苯二甲

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