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無塵室管理規(guī)范Contents無塵室的紀(jì)律設(shè)備進(jìn)出無塵室管理無塵衣鞋及日常用品管理進(jìn)出無塵室的管制與方法無塵室基本介紹文件檔案管理無塵室物料管理廠商進(jìn)出無塵室注意事項標(biāo)示管理無塵室安全注意事項化學(xué)藥品管理無塵室基本介紹1.無塵室又稱潔凈室(CleanRoom)無塵室是一個為了對室內(nèi)空氣中的微粒數(shù)進(jìn)行控制所建的特殊封閉式建筑并具備下列特性的密閉作業(yè)空間:a.空氣中微粒數(shù)小于一定數(shù)目b.能防止外界微塵粒子進(jìn)入c.能迅速排出室內(nèi)所產(chǎn)生之微塵粒子和有害氣體到室外d.維持溫度、濕度及室壓于一定標(biāo)準(zhǔn)e.能防止靜電、電磁等有害制程的干擾f.安全及節(jié)能的考量2.無塵室管理的目的有效管理無塵室生產(chǎn)設(shè)備、工具、人員的進(jìn)出、無塵衣鞋等,確保無塵室的高效潔凈度、設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)及制程的穩(wěn)定。無塵室基本介紹測量地點微塵粒子數(shù)(PC/ft3)≥0.5μm大氣層圈≤100田園地區(qū)(微風(fēng))10萬~30萬住宅地區(qū)10萬~20萬辦公室(工作中)20萬~40萬施工廠區(qū)40萬~100萬正在吸煙的會議室60萬~100萬各種條件下微塵狀況無塵室基本介紹美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(<USAFederalStandard)209E(1992年)PC/ft3潔凈度級別粒徑(um)0.10.20.30.55.01357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1000NANANA1000710000NANANA1000070100000NANANA100000700無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-等級無塵室基本介紹無塵室潔凈度之維持和控制,除了前期硬件設(shè)備投資外也需要良好的軟件——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。由上圖測試結(jié)果來看,作業(yè)人員對無塵室內(nèi)潔凈度影響最大,作業(yè)人員進(jìn)度無塵室時塵埃有顯著增加,有人員來回走動等動作時潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化的主要原因為人為因素污染源說明無塵室基本介紹微塵的危害及防止就玻璃基板而言,微塵粒子之附著將造成玻璃基板的劃傷,短路和貼附氣泡等制程品質(zhì)不良,而造成報廢。因此對污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。1.外部塵埃侵入之防止無塵室適當(dāng)正壓保持(>0.5mmHg),做好前期施工工程保證不漏氣,人員、設(shè)備、原材料、治工具、耗材等攜入無塵室之前必須做好清潔擦拭等防塵動作。同時清潔工具需妥善放置及定時更換或清潔。2.無塵室內(nèi)發(fā)生及防止隔間板、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用,制程設(shè)備的發(fā)生控制即定期保養(yǎng)清潔,生產(chǎn)人員人在其位不得隨意走動或較大肢體動作,特殊站點采取增加粘塵墊等預(yù)防措施。3.室內(nèi)發(fā)生之不積累組織生產(chǎn)人員定期清潔無塵室內(nèi)的各個角落,遵循從上到下、從外到內(nèi)的清潔方法。4.無塵等級極度劣化之處理暫停所有生產(chǎn),將設(shè)備、治工具等清潔后打包密封,檢查廠務(wù)設(shè)備、過濾網(wǎng)等,采取泄壓方式處理。進(jìn)出無塵室的管制與方法1.一般人員a.經(jīng)過專門培訓(xùn)并考核通過b.需嚴(yán)格遵循《無塵室管理規(guī)范》的要求c.身體健康無傳染病d.服從現(xiàn)場主管的管理e.隨身攜帶物品需遵循無塵室物品管制的要求2.廠商a.經(jīng)過專門培訓(xùn)并由公司負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)b.由公司接待人員負(fù)責(zé)開立《施工廠商無塵室進(jìn)入申請單》,經(jīng)主管簽字c.由公司接待人員隨同進(jìn)入d.攜帶物品由公司接待人員負(fù)責(zé)開立《物品攜入、攜出申請單》,經(jīng)主管簽字3.來賓a.由公司接待人員負(fù)責(zé)開立《來賓無塵室進(jìn)入申請單》,經(jīng)主管簽字b.由公司接待人員陪同沿參觀路線參觀進(jìn)出無塵室的管制與方法人員穿著無塵衣/鞋步驟說明(進(jìn)無塵室)洗手并烘干戴口罩戴網(wǎng)帽穿無塵衣穿無塵鞋戴手套洗手并烘干粘塵滾輪清潔無塵衣鞋踏上粘塵墊進(jìn)入風(fēng)淋室舉雙手轉(zhuǎn)三圈聽到提示音后開門進(jìn)入無塵室進(jìn)入門禁室進(jìn)出無塵室的管制與方法人員脫無塵衣/鞋步驟說明(出無塵室)確認(rèn)無人員進(jìn)入并關(guān)門后開前側(cè)門出脫手套洗手并烘干脫無塵鞋脫無塵衣脫網(wǎng)帽脫口罩離開門禁室進(jìn)入緩沖室進(jìn)出無塵室的管制與方法進(jìn)出風(fēng)淋室注意事項a.穿好無塵衣鞋后,必須先用粘塵滾輪清潔再進(jìn)入風(fēng)淋室,然后進(jìn)入無塵室b.排隊進(jìn)入風(fēng)淋室,每次進(jìn)入人數(shù)不得超過限定人數(shù)c.人員在風(fēng)淋室應(yīng)雙手舉起轉(zhuǎn)三圈,不得用手堵住出風(fēng)口、不得靠墻、更不得打鬧擁擠d.洗凈完畢后,聽到提示音再開門依次走出e.出風(fēng)淋室后進(jìn)入無塵室,不得大聲喧嘩,非緊急情況不能跑步進(jìn)出無塵室的管制與方法禁止進(jìn)出無塵室人員及物品進(jìn)入人員a.未按規(guī)定穿著無塵衣鞋者b.化艷妝、留長指甲、留長胡須者c.抽煙后不超過半小時者d.未經(jīng)培訓(xùn)并考核通過者e.由于違反紀(jì)律上報主管批準(zhǔn)進(jìn)入者進(jìn)入物品a.手表、香煙、化妝品等與工作無關(guān)之個人用品b.各類危險物品如:打火機、刀具、非車間使用之化學(xué)品c.未按規(guī)定清潔之設(shè)備、治工具等d.非無塵的紙張、筆等辦公用品人員進(jìn)入無塵室注意事項a.禁止進(jìn)入無塵室的物品和人員,非緊急情況下不可進(jìn)入無塵室,如經(jīng)稽核人員發(fā)現(xiàn),則拍照并發(fā)出稽核單,并通知該員工上級主管處理。b.每天穿棉襪,并保持一天一洗。c.陰雨天氣進(jìn)入無塵室前,要盡量保持身體及衣物的干爽、潔凈。d.所有人員需按照規(guī)定穿戴好無塵衣、鞋、手套、口罩、手套、網(wǎng)帽,并按照標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)入無塵室。e.有高等級無塵室進(jìn)入低等級無塵室不需通過風(fēng)淋室,有低等級無塵室進(jìn)入高等級無塵室必須通過風(fēng)淋室。進(jìn)出無塵室的管制與方法人員出無塵室注意事項a.出無塵室緩沖室內(nèi)無特別人數(shù)限制,但兩側(cè)門不可同時打開,確保無人員進(jìn)入并關(guān)門后才可打開另一側(cè)門。b.耗材丟棄:將已使用之手套、網(wǎng)帽、口罩按照日常用品管理說明分類丟到對應(yīng)回收桶內(nèi)。c.按照門禁出無塵衣、鞋擺放標(biāo)準(zhǔn)將無塵衣掛整齊,并將無塵鞋收好。d.攜出物品檢查:門禁人員有權(quán)對出入人員執(zhí)行電子掃描檢查或隨身包裝物品拆開檢查,若無違反無塵室物品管理規(guī)定或有主管簽字的《無塵室物品攜入攜出申請單》可放行,否則門禁有權(quán)扣留物品并將該員工廠牌等信息登記,按照相應(yīng)流程處理。e.針對涉及制造材料攜出部分,需開立《無塵室物品攜入攜出申請單》,并由生產(chǎn)支援課物料負(fù)責(zé)人及主管簽字后才可放行。進(jìn)出無塵室的管制與方法無塵衣鞋及日常用品管理無塵衣鞋清洗管理a.無塵衣鞋每周一清洗一次,按照門禁要求放入指定位置b.無塵衣鞋清洗完畢后有門禁安排人員放入對應(yīng)柜子c.無塵衣鞋統(tǒng)一由門禁收集并編號,有問題直接與門禁溝通d.無塵衣鞋必須按照規(guī)定定期投洗與穿戴,將不定期進(jìn)行稽核,如有員工違反公司規(guī)定,將依照公司員工管理辦法進(jìn)行處置。無塵衣鞋及日常用品管理日常用品管理序號物品使用說明1水杯一次性每人發(fā)一個,放于飲水間2拖鞋一次性每人發(fā)一雙,放于指定鞋柜3手套每進(jìn)入一次更換一雙,作業(yè)中如有損壞應(yīng)立即到門禁室更換4網(wǎng)帽每周使用一個,當(dāng)周自行保管,放于無塵衣帽子內(nèi),周四更換5口罩每天使用一個,當(dāng)天自行保管,放于無塵衣帽子內(nèi)設(shè)備進(jìn)出無塵室管理在MoveIn門口將設(shè)備清潔掛MoveIn

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