光電檢測第五章課件

第五章

光電直接檢測系統(tǒng)第五章光電直接檢測系統(tǒng)2光電檢測系統(tǒng)：是指對待測光學量或由非光學帶測量轉(zhuǎn)換成的光學量，通過光電變換和電路處理的方法進行檢測的系統(tǒng)。由光源、光學變換系統(tǒng)和光電接受器件構成。光學變換系統(tǒng)是將光學量變換為非光學量，將一種光量變換為另外一種光量，或?qū)⒙?lián)系光量變換成為脈沖光量的系統(tǒng)。1）、將待測信息加載到待測波上，進而形成光電接收器件易于接受的光電信號；2）、改善系統(tǒng)的時間或空間分辨率和動態(tài)品質(zhì)，提高傳輸效率和檢測精度。3）、改善系統(tǒng)的信噪比，提高工作可靠性。光學變換系統(tǒng)主要目的光電直接檢測系統(tǒng)舉例簡介2光電檢測系統(tǒng)：是指對待測光學量或由非光學帶測量轉(zhuǎn)換成的光學3從光學原理來看，光電信號的變換方法分為幾何光學法，物理光學法和光電子學法。變換方法光學原理應用范圍幾何光學法透射、反射、折射、散射、遮光、光學成像等非相干光學現(xiàn)象或方法光開關、光學編碼、光掃描、瞄準定位、光準直、外觀質(zhì)量檢測等物理光學法

干涉、衍射、散斑、全息、波長變換、光學拍頻、偏振等想干光學現(xiàn)象或方法莫爾條紋、干涉計量、全息計量、散斑計量、外差干涉、外差通信、光譜分析、多普勒測速等光電子學法光電效應、聲光效應、磁光效應、空間光調(diào)制、光纖傳光與傳感光調(diào)制、光偏轉(zhuǎn)、光開關、光通信、光記錄、光存儲、光顯示等光電直接檢測系統(tǒng)舉例簡介3從光學原理來看，光電信號的變換方法分為幾何光學法，物理光學光電檢測系統(tǒng)分類按信息光源分:主動系統(tǒng)/被動系統(tǒng)按光源波長分:紅外系統(tǒng)/可見光系統(tǒng)按接受系統(tǒng)分:點探測/面探測系統(tǒng)按調(diào)制和信號處理方式分:模擬系統(tǒng)/數(shù)字系統(tǒng)按光波對信號的攜帶方式分:直接檢測/光外差檢測系統(tǒng)光電直接檢測系統(tǒng)舉例簡介光電檢測系統(tǒng)分類按信息光源分:主動系統(tǒng)/被動系統(tǒng)光電直接非相干檢測，光源：非相干或相干光源原理：利用光強度攜帶信息，將光強度轉(zhuǎn)換為電信號，解調(diào)電路檢出信息。調(diào)制方法：光強度調(diào)制、偏振調(diào)制直接檢測是一種簡單實用的方法。光外差檢測直接檢測光電檢測系統(tǒng)相干檢測，光源：相干光源原理：利用光的振幅、頻率、相位攜帶信息，

檢測時需要用光波相干原理。調(diào)制方法：光振幅調(diào)制、相位調(diào)制，頻率調(diào)制測量精度（靈敏度）更高，作用距離更遠。光電直接檢測系統(tǒng)舉例簡介非相干檢測，光外差檢測直接檢測光電檢測系統(tǒng)相干檢測，光電直接光電直接檢測系統(tǒng)是將待光信號直接入射到光檢測器光敏面上，光檢測器響應光輻射強度（幅度）并輸出相應的電流和電壓。檢測系統(tǒng)經(jīng)光學天線或直接由檢測器接收光信號，前端還可經(jīng)過頻率濾波和空間濾波等處理。強度調(diào)制直接檢測模型5.1光電直接檢測系統(tǒng)的基本工作原理光電直接檢測系統(tǒng)是將待光信號直接入射到光檢測器光敏面上，光檢假定入射光信號電場為：光場平均光功率為：表示的時間平均值；光檢測器輸出電流為：稱為光電變換比例常數(shù)光電直接檢測系統(tǒng)的基本原理假定入射光信號電場為：光場平均光功率為：表示的時間平均值；光光檢測器的平方律特性：光電流正比于光電場振幅的平方，電輸出功率正比于入射光功率的平方。若光檢測器負載電阻RL，則光檢測器輸出電功率為：如果入射光是調(diào)幅波，即其中d(t)為調(diào)制信號，可推導出光檢測器的輸出電流為:式中第一項為直流項，若光檢測器輸出端有隔直電容，則輸出光電流只包含第二項，稱為包絡檢測。光電直接檢測系統(tǒng)的基本原理光檢測器的平方律特性：光電流正比于光電場振幅的平方，電輸出功一、

直接檢測系統(tǒng)的信噪比—衡量模擬系統(tǒng)好壞及靈敏度光檢測器輸出的總功率包括信號電功率和噪聲功率，可表示為：考慮到信號和噪聲的獨立性，有：由信噪比定義，輸出功率信噪比為：5.2光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性一、直接檢測系統(tǒng)的信噪比—衡量模擬系統(tǒng)好壞及靈敏度光檢測器說明輸出信噪比是輸入信噪比的平方，可見，直接檢測系統(tǒng)不適用于輸入信噪比小于1或微弱光信號的檢測。輸出信噪比是輸入信噪比的一半。即經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換，信噪比損失了3dB。實際應用中可以接受?？梢姡苯訖z測方法不能改善輸入信噪比，適宜不是很微弱的光信號檢測。但這種方法簡單，易于實現(xiàn)，可靠性高，成本低，得到廣泛應用。(1)若，則有：(2)若，則有：光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性說明輸出信噪比是輸入信噪比的平方，可見，直接檢測系統(tǒng)不適用于在數(shù)字式光電系統(tǒng)中，噪聲對系統(tǒng)的影響常使用“誤碼率”來衡量。誤碼率仍然與信噪比有關。信噪比高，誤碼率低。由噪聲的概率分布規(guī)律考慮“概率問題”來衡量。光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性在數(shù)字式光電系統(tǒng)中，噪聲對系統(tǒng)的影響常使用“誤碼率”來衡量。二、

直接檢測系統(tǒng)的檢測極限及趨近方法考慮直接檢測系統(tǒng)中存在的所有噪聲，則輸出噪聲總功率為：分別為信號光、背景光和暗電流引起的散粒噪聲。為負載電阻和放大器的熱噪聲之和。輸出信噪比為：光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性二、直接檢測系統(tǒng)的檢測極限及趨近方法考慮直接檢測系統(tǒng)中存在①當熱噪聲是直接檢測系統(tǒng)

的主要噪聲源時，直接檢測系統(tǒng)受熱噪聲限制，信噪比為：5-14②當散粒噪聲遠大于熱噪聲時，直接檢測系統(tǒng)受散粒噪聲限

制，信噪比為：5-15當背景噪聲是直接檢測系統(tǒng)的主要噪聲源時，直接檢測系統(tǒng)受背景噪聲限制，信噪比為：5-16光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性①當熱噪聲是直接檢測系統(tǒng)5-14②當散粒噪聲遠大于熱噪聲假定光波長λ=0.7μm，檢測器的量子效率η=1，測量帶寬Δf=1，由上式得到系統(tǒng)在量子極限下的最小可檢測功率為④當入射信號光波所引起的噪聲為直接檢測系統(tǒng)的主要噪聲源時，直接檢測系統(tǒng)受信號噪聲限制，這時信噪比為：5-17該式為直流檢測在理論上的極限信噪比，稱為直接檢測系統(tǒng)的量子極限，又稱量子限靈敏度。若用等效噪聲功率NEP值表示，在量子極限下，直接檢測系統(tǒng)理論上可測量的最小功率為：光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性假定光波長λ=0.7μm，檢測器的量子效率η=1，測量帶寬Δ在實際直接檢測系統(tǒng)中，很難達到量子極限檢測。實際系統(tǒng)總會有背景噪聲、檢測器和放大器的熱噪聲。背景限信噪比可以在激光檢測系統(tǒng)中實現(xiàn)，是因為激光光譜窄，加濾光片很容易消除背景光，實現(xiàn)背景限信噪比。系統(tǒng)趨近于量子極限意味著信噪比的改善，可行方法是在光電檢測過程中利用光檢測器的內(nèi)增益獲得光電倍增，如光電倍增管。當倍增很大時，熱噪聲可忽略，同時加致冷、屏蔽等措施減小暗電流及背景噪聲，光電倍增管可達到散粒噪聲限。在特殊條件下可趨近于量子限。但倍增管也會帶入噪聲，增益過程中使噪聲增加。在直接檢測中，光電倍增管、雪崩管的檢測能力較高，采用有內(nèi)部高增益的檢測器可使直接檢測系統(tǒng)趨近于檢測極限。對于光電導器件，主要噪聲為產(chǎn)生復合噪聲（極限散粒噪聲），光電導器件極限信噪比低，NEP較大。光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性在實際直接檢測系統(tǒng)中，很難達到量子極限檢測。實際系統(tǒng)總會有背三、直接檢測系統(tǒng)的視場角直接檢測系統(tǒng)視場角視場角表示系統(tǒng)能檢測到的空間范圍，是檢測系統(tǒng)的性能指標之一。對于檢測系統(tǒng)，被測物看作是在無窮遠處，且物方與像方介質(zhì)相同。當檢測器位于焦平面上時，其半視場角為：或視場角立體角Ω為：從觀察角度講，希望視場角愈大愈好，即大檢測器面積或減小光學系統(tǒng)的焦距，但對檢測器會帶來不利影響：①增加檢測器面積意味著增大系統(tǒng)噪聲。因為對大多數(shù)檢測器，噪聲功率和面積的平方根成正比。②減小焦距使系統(tǒng)的相對孔徑加大，引入系統(tǒng)背景輻射噪聲，使系統(tǒng)靈敏方式下降。因此在系統(tǒng)設計時，在檢測到信號的基礎上盡可能減小系統(tǒng)視場角。光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性三、直接檢測系統(tǒng)的視場角直接檢測系統(tǒng)視場角視場角表示系統(tǒng)能檢四、

系統(tǒng)的通頻帶寬度頻帶寬度Δf是光電檢測系統(tǒng)的重要指標之一。檢測系統(tǒng)要求Δf應保存原有信號的調(diào)制信息，并使系統(tǒng)達到最大輸出功率信噪比。系統(tǒng)按傳遞信號能力，可有以下幾種方法確定系統(tǒng)頻帶寬度。以脈沖激光波形為例.對于輸入信號為矩形波時，通過不同帶通濾波器的波形的分析，可知，要使系統(tǒng)可以復現(xiàn)輸入信號波形，要求系統(tǒng)帶寬Δf：在輸入信號為調(diào)幅波時，一般情況下取頻帶寬度為其包絡（邊頻）頻率的2倍。如果是調(diào)頻波，則要求濾波器加寬頻帶寬度，保證有足夠的邊頻分量通過系統(tǒng)。等效矩形帶寬：頻譜曲線下降3dB的帶寬包含90%能量的帶寬光電直接檢測系統(tǒng)的基本特性四、系統(tǒng)的通頻帶寬度頻帶寬度Δf是光電檢測系統(tǒng)的重要指標之光電檢測系統(tǒng)的靈敏度在不同的用途時，靈敏度的表達形式不同，在對地測距、搜索和跟蹤等系統(tǒng)中，通常用“檢測距離”來評價系統(tǒng)的靈敏度。對于其他系統(tǒng)的靈敏度亦可用距離方程推演出來。直接檢測系統(tǒng)分為被動檢測和主動檢測系統(tǒng)，其距離方程不同。下面分別進行推導。5.3直接檢測系統(tǒng)的距離方程光電檢測系統(tǒng)的靈敏度在不同的用途時，靈敏度的表達形式不同，在1、被動檢測系統(tǒng)的距離方程被動檢測過程示意圖光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程1、被動檢測系統(tǒng)的距離方程被動檢測過程示意圖光電直接檢測系統(tǒng)設被測目標的光譜輻射強度為經(jīng)大氣傳播后到達接收光學系統(tǒng)表面的光譜輻射照度

為：入射到檢測器上的光譜功率

為：根據(jù)目標輻射強度最大的波段范圍及所選取檢測器光譜響應范圍共同決定選取的λ1―λ2的輻射波段，可得到檢測器的輸出信號電壓為：光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程設被測目標的光譜輻射強度為經(jīng)大氣傳播后到達接收光學系統(tǒng)表面的

都是波長的復雜函數(shù)，難有確切的解析表達式。通常作如下簡化處理：式中①取τ1λ為被測距離L在光譜響應范圍內(nèi)的平均透過率τ1。②光學系統(tǒng)的透過率τ0λ對光譜響應范圍內(nèi)平均值。③把檢測器的光譜響應帶看成是一個矩形帶寬。即在響應范圍內(nèi)為

常數(shù)RV，在其它區(qū)域為零。④根據(jù)物體的溫度T查表，可計算出在考查波段范圍內(nèi)的黑體輻射強度，

再乘以物體的平均比輻射率，可得到物體在光譜響應范圍內(nèi)的輻射強度Ie。簡化之后，輸出信噪比為：令檢測器的方均根噪聲電壓為Vn，則它的輸出信噪比為：5-22光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程都是波長的復即：又因為：由上面兩式可得：式中Ad為檢測器面積；Δf為系統(tǒng)的帶寬；D*為檢測器的歸一化檢測度；AoIe=P0是入射到接收光學系統(tǒng)的平均功率?？紤]到系統(tǒng)的調(diào)制特性，入射到探測器上的有效功率為：S(ω)為調(diào)制信號的功率譜即：又因為：由上面兩式可得：式中Ad為檢測器面積；Δf為系統(tǒng)為清楚地看出系統(tǒng)各部件對檢測距離的影響，把調(diào)制特性考慮為對入射功率的利用系數(shù)km，則上式改寫為：第一個括號是目標輻射特性及大氣透過率對檢測距離的影響；第二個括號和第三個括號表示光學系統(tǒng)及檢測器件特性對作用距離的影響；第四個括號是信息處理系統(tǒng)對作用距離的影響。光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程為清楚地看出系統(tǒng)各部件對檢測距離的影響，把調(diào)制特性考慮為對入大氣傳播接收光學系統(tǒng)信號處理接收機回收信息光電檢測強度調(diào)制器發(fā)射光學系統(tǒng)光源信號發(fā)射機反射目標2、主動檢測距離方程主動檢測過程示意圖大氣傳播接收光學系統(tǒng)信號處理接收機回收信息光電檢測強度發(fā)射光主動檢測系統(tǒng)的光源主要為激光光源。令其發(fā)射功率為Ps(λ)；發(fā)射束發(fā)散立體角為Ω；發(fā)射光學系統(tǒng)透過率為τ01(λ)，經(jīng)調(diào)制的光能利用率為km，則發(fā)射機發(fā)射的功率PT(λ)為：激光在大氣中傳播時，能量若為按指數(shù)規(guī)律衰減，令衰減系數(shù)為k(λ)，經(jīng)傳播距離L后光斑面積為SL=ΩL2，光斑SL的輻射照度Ee為：設在距光源L處有一目標，其反射面積為Sa。普通情況下把反射體看作是朗伯反射，即在半球內(nèi)均勻反射，其反射系數(shù)為r。在此條件下，單位立體角的反射光輻射強度Ie(λ)為：光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程主動檢測系統(tǒng)的光源主要為激光光源。令其發(fā)射功率為Ps(λ)；假定接收機和發(fā)射機在一處，反射光經(jīng)大氣傳輸?shù)浇邮掌鞯倪^程仍遵守指數(shù)規(guī)律衰減，衰減系數(shù)仍為k(λ)，則接收功率為：式中，D0為光學系統(tǒng)接收口徑；Ω’=πD02/4L2為接收系統(tǒng)的立體角。如果接收光學系統(tǒng)的透過率為τ02(λ)，則檢測器上接收到的總功率為：檢測器上的輸出電壓為：光電直接檢測系統(tǒng)的距離方程假定接收機和發(fā)射機在一處，反射光經(jīng)大氣傳輸?shù)浇邮掌鞯倪^程仍遵式中：RV(λ)為檢測器相對光譜響應度，將RV(λ)代入上式得距離L為：如果目標反射面積Sa等于光斑照射面積ΩL2，則上式可化為：可知，影響檢測距離的因素很多，發(fā)射系統(tǒng)、接收系統(tǒng)的大氣特性以及目標反射特性都將影響檢測距離。在前面計算距離時，在被動檢測系統(tǒng)中，由于光譜范圍寬，大氣衰減作用以透過率表示，而在主動檢測系統(tǒng)中，絕大多數(shù)系統(tǒng)是以激光做光源，激光光譜較窄，用衰減系數(shù)表示，其物理意義是等價的。式中：RV(λ)為檢測器相對光譜響應度，將RV(λ)代入上式285.4直接檢測系統(tǒng)的舉例一、

莫爾條紋測長儀莫爾條紋的形成原理:兩塊參數(shù)相近的透射光柵以小角度疊加，產(chǎn)生放大的光柵。285.4直接檢測系統(tǒng)的舉例一、莫爾條紋測長儀莫爾條紋的莫爾條紋演示光電直接檢測系統(tǒng)舉例莫爾條紋演示光電直接檢測系統(tǒng)舉例條紋間距的計算為了便于分析和計算，將兩個光柵及其疊加結果繪制成如右圖所示的局部放大示意圖。光電直接檢測系統(tǒng)舉例條紋間距的計算為了便于分析和計算，將兩個光柵及其疊加結果繪制利用以上關系可以計算出莫爾條紋的間隔由余弦定理得由平行四邊形ABCD的面積S，有光電直接檢測系統(tǒng)舉例利用以上關系可以計算出莫爾條紋的間隔由余弦定理得由平行四邊形莫爾條紋由光柵的大量刻線形成,對線紋的刻劃誤差有平均抵消作用,幾條刻線的柵距誤差或斷裂對莫爾條紋的位置和形狀影響甚微。能在很大程度上消除短周期誤差的影響。例：W=0.02mm,接收元件尺寸10×10mm2,在10mm范圍內(nèi)有500條刻線參與工作，某幾條刻線誤差對莫爾條紋位置和形狀基本無影響。莫爾條紋特征：1）平均效應光電直接檢測系統(tǒng)舉例莫爾條紋由光柵的大量刻線形成,對線紋的刻劃誤差有平均抵消作2）對應關系：當指示光柵沿與柵線垂直的方向作相對移動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）；指示光柵反向移動，莫爾條紋亦反向移動。在圖中，當指示光柵向右移動時，莫爾條紋向上運動。

光電直接檢測系統(tǒng)舉例2）對應關系：當指示光柵沿與柵線垂直的方向作相對移動時，莫爾莫爾條紋的間隔p1=p2=p時，根據(jù)莫爾條紋有放大作用。3）放大作用當θ非常小時，可以將上式進一步簡化為：

光電直接檢測系統(tǒng)舉例莫爾條紋的間隔p1=p2=p時，根據(jù)莫爾條紋有放大作用。3）兩塊光柵，一塊作為定光柵固定不動，另一塊作為動光柵，固定在被測的運動物體上。若被測物體沿光柵條紋排列方向移動光柵常數(shù)p的距離，則莫爾條紋變化m，所以莫爾條紋將位移放大了1/θ倍。莫爾條紋的放大倍率僅取決于兩個光柵之間的角度，在測量中可以根據(jù)測量精度的需要任意調(diào)整。

測量微小位移例，對25線/mm的長光柵而言，P＝0.04mm，若θ=0.016rad，則B=2.5mm.，光敏元件可以分辨2.5mm的間隔，但無法分辨0.04mm的間隔。

計量光柵的光學放大作用與安裝角度有關，而與兩光柵的安裝間隙無關。莫爾條紋的寬度必須大于光敏元件的尺寸，否則光敏元件無法分辨光強的變化。

光電直接檢測系統(tǒng)舉例兩塊光柵，一塊作為定光柵固定不動，另一塊作為動光柵，固定在被將m≈p/θ做微分運算，并改寫成有限變量的形式測量微小角度根據(jù)上式可以動光柵與靜光柵之間角度的微小變化量。例如，光柵常數(shù)為p=0.002mm,兩塊光柵的角度為θ=0.01°，當動光柵與靜光柵之間的角度發(fā)生Δθ=1″的變化量時，莫爾條紋寬度從11.459變到11.149，莫爾條紋的變化量為Δm=0.31，這一變化量是很容易測量的。光電直接檢測系統(tǒng)舉例將m≈p/θ做微分運算，并改寫成有限變量的形式測量微小角度4）莫爾條紋移過的條紋數(shù)與光柵移過的刻線數(shù)相等。例如，采用100線/mm光柵時，若光柵移動了xmm（也就是移過了100×x條光柵刻線），則從光電元件面前掠過的莫爾條紋也是100×x條。由于莫爾條紋比柵距寬得多，所以能夠被光敏元件所識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計數(shù)，就可知道移動的實際距離了。莫爾條紋特征：光電直接檢測系統(tǒng)舉例4）莫爾條紋移過的條紋數(shù)與光柵移過的刻線數(shù)相等。例如，采用1光電傳感器輸出信號波形當光柵相對位移一個柵距時，莫爾條紋移動一個條紋寬度，相應照射在光電池上的光強度發(fā)生一個周期的變化，使輸出電信號周期變化，其輸出波形如圖：

由此可知，只要計算輸出電壓的周期數(shù)，便可測出位移量。從而實現(xiàn)了位移量向電量的轉(zhuǎn)換。在一個周期內(nèi)，輸出波形的變化是位移在一個柵距內(nèi)變化的余弦函數(shù)，每一周期對應一個柵距。但是如果只用一個光電元件，其輸出信號還存在兩個問題：①辨向問題：用一個光電元件無法辨別運動方向；②精度低；分辨力只為一個柵距P。光電直接檢測系統(tǒng)舉例光電傳感器輸出信號波形由此可知，只要計算輸出電壓的周辨向原理：

用兩個光電元件相距B/4安裝（相當于相差90°空間角，B:2π=B/4:π/2），如圖所示，可以解決辨向問題。

當條紋上移時，V2落后于V190°。

當條紋下移時，V2超前于V190°。

因此，由V1、V2之間的相位關系可以

判別運動方向。光電直接檢測系統(tǒng)舉例辨向原理：當條紋上移時，V2落后于V190°。光電直接檢四倍頻細分判向原理

指示光柵相對于長光柵移過一個節(jié)距莫爾條紋變化一周.工作臺進行長度測量時,指示光柵的移動距離為x=NP+δ

其中P為光柵節(jié)距,N為指示光柵移動距離中包含的光柵線對數(shù);δ為小于1一個光柵節(jié)距的小數(shù).

最簡單的形式是以指示光柵移過的光柵對數(shù)N直接進行計數(shù).

但實際系統(tǒng)并不單獨計數(shù),而是利用電子學的方法,把莫爾條紋的一個周期進行再細分,于是可以讀出小數(shù)部分,使系統(tǒng)的分辨能力提高.電子細分可分到幾十分之一到百分之一.

細分方法有:幅值分割、周期測量、倍頻、移項、函數(shù)變換等方法。

常見的四倍頻細分判向原理四倍頻細分判向原理指示光柵相對于長光柵移過一個節(jié)距莫細分技術（解決精度問題）

當使用一個光電池通過判斷信號周期的方法來進行位移測量時，最小分辨力為1個柵距。為了提高測量的精度，提高分辨力，可使柵距減小，即增加刻線密度。另一種方法是在雙光電元件的基礎上，經(jīng)過信號調(diào)節(jié)環(huán)節(jié)對信號進行細分，其電路框圖如圖所示。

細分技術（解決精度問題）莫爾條紋的應用莫爾條紋測長儀分長光柵和圓光柵兩種，光刻密度相同，通常為25，50，100，250條/mm。被廣泛地應用于：

光柵數(shù)顯表光柵傳感器在位置控制中的應用軸環(huán)式數(shù)顯表機械測長和數(shù)控機床中。莫爾條紋的應用

代表性產(chǎn)品：

德國Heidenhain（海德漢）：封閉式：量程3000mm，分辨力0.1m開放式：量程1440mm，分辨力0.01m開放式：量程270mm

分辨力1nm英國Renishaw（雷尼紹）：

量程：任意分辨力：

0.1m0.01m中國長春光機所：

量

程：1000mm分辨力：0.01m代表性產(chǎn)品：德國Heidenhain（海德漢）：封閉式：1）、

脈沖激光測距儀脈沖激光測距利用了激光的發(fā)散角小，能量空間相對集中的優(yōu)點。同時還利用了激光脈沖持續(xù)時間極短，能量在時間上相對集中的特點。因此瞬時功率很大，—般可達兆瓦級。由于上述兩點，脈沖激光測距在有反射器的情況下，可以達到極遠的測程；進行近距離(幾公里)測量時，如果測量精度要求不高，不必使用反射器，利用被測目標對脈沖激光的反射取得反射信號，也可以進行測距。2、激光測距儀光電直接檢測系統(tǒng)舉例1）、脈沖激光測距儀脈沖激光測距利用了激光的發(fā)散角小，能量在1處產(chǎn)生的激光，經(jīng)過待測的路程射向2處。在2處裝有向1處反射的裝置，1處至2處間的距離D是待測的。如果在1處有一種裝置，它能夠測出脈沖激光從1處到達2處再返回1處所需要的時間t，則

式中c為光的傳播速度。脈沖激光測距的工作原理光電直接檢測系統(tǒng)舉例在1處產(chǎn)生的激光，經(jīng)過待測的路程射向2處。在2處裝有向1處反脈沖激光測距儀發(fā)射系統(tǒng)接收系統(tǒng)接收光學系統(tǒng)光電探測器低噪聲寬帶放大器整形電路門控電路時鐘脈沖振蕩器計數(shù)顯示器激光器：LD，ND：YAG（調(diào)Q/鎖模）電源發(fā)射望遠系統(tǒng)物鏡小孔光闌干涉濾光片脈發(fā)射系統(tǒng)接收系統(tǒng)接收光學系統(tǒng)門控電路時鐘脈沖振蕩器計數(shù)顯示它由脈沖激光發(fā)射系統(tǒng)、接收系統(tǒng)、控制電路、時鐘脈沖振蕩器以及計數(shù)顯示電路等組成.它由脈沖激光發(fā)射系統(tǒng)、接收系統(tǒng)、控制電路、時鐘脈沖振蕩器以及由光電器件得到的電脈沖，經(jīng)放大器以后，輸出一定形狀的負脈沖至控制電路。由參考信號產(chǎn)生的負脈沖A(圖(d))經(jīng)控制電路去打開電子門。這時振蕩頻率一定的時鐘振蕩器產(chǎn)生的時鐘脈沖，可以通過電子門進入計數(shù)顯示電路，計時開始。當反射回來經(jīng)整形后的測距信號B到來時，關閉電子門，計時停止。計數(shù)和顯示的脈沖數(shù)如圖(g)所示。從計時開始到計時停止的時間正比于參考信號與測距信號之間的時間。

則被測距離為：光電直接檢測系統(tǒng)舉例由光電器件得到的電脈沖，經(jīng)放大器以后，輸出一定形狀的負脈沖至2、

相位激光測距儀測距用的調(diào)制光波形如圖所示，若其調(diào)制頻率為f，光速為c，則波長λ可由式λ=c/f求出。光波每前進一個波長λ相當于相位變化了2π則距離D可表示為：“光尺”測量距離原理圖測距時，調(diào)制激光照在合作目標上，被反回接收經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后得到相同的電信號，與光源的驅(qū)動電壓相比較，測得相位差，由相位差可算得所測距離。光電直接檢測系統(tǒng)舉例2、相位激光測距儀測距用的調(diào)制光波形如圖所示，若其調(diào)制頻率為了便于理解測距儀的測相系統(tǒng)對光波往返二倍距離后的相位移進行測量，圖中說明了光波在距離L上往返后的相位變化。如果設光波從A到A’點的傳播過程中相位變化(又稱為相位移)為φ，則由圖看出，被測距離為：由上分析可知，如果測得光波相位移φ中2π的整數(shù)N和小數(shù)?n，就可以確定出被測距離值，所以調(diào)制光波可以被認為是一把“光尺”，其波長λ就是相位式激光測距儀的“測尺”長度。為了便