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文檔簡介
SEM樣品制備和應(yīng)用簡介
樣品制備技術(shù)在掃描電子顯微術(shù)中占有重要的地位,它直接關(guān)系到電子顯微圖像的觀察效果和對圖像的正確解釋。
在保持材料的原始形狀情況下,直接觀察和研究樣品表面形貌及其他物理效應(yīng),是掃描電鏡一個突出優(yōu)點。但是樣品種類繁多、特性各異,為了滿足電鏡觀察的需要,樣品應(yīng)該具備以下條件:導(dǎo)電性能好
熱穩(wěn)定性好
二次電子和背散射電子產(chǎn)率高
不符合以上條件的樣品可以經(jīng)過適當(dāng)?shù)奶幚砗椭苽鋪頋M足觀察和分析要求。取樣及前處理
樣品尺寸:現(xiàn)在的掃描電鏡一般對尺寸限制不大,取決于不同型號的掃描電鏡的倉室大小和樣品臺的大小。樣品形狀:要求不高,主要是塊狀樣品的底部和上端觀察面要較為平整,觀察面要注意處理時保持原有形貌,盡量減少破壞。
對于有的樣品要觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)、測量膜厚、元素擴散等,需要將樣品斷開,觀察截面。樣品清潔:樣品表面經(jīng)常會有沾污,如油污、高分子溶劑、碎屑等,可用吸耳球吹拂,有的需要用超聲清洗。
這里要注意的是有機物樣品或者反應(yīng)中加入表活劑的,因為有機產(chǎn)物不可能100%的純,肯定會有沒反應(yīng)完全的反應(yīng)物、副產(chǎn)物、剩余的表活劑等等,這些需要處理干凈,處理后需要用乙醇或者丙酮分散,一般不要用水分散,防止觀察時樣品成膜,無法觀察到樣品。
分散有無機粒子或者多相混合的高分子樣品的觀察,可經(jīng)過選擇性的腐蝕處理后觀察。陶瓷樣品可以進行熱腐蝕或者化學(xué)腐蝕處理后觀察斷暑面組樣隨品更制貓備直跨接擱掰斑斷用飯玻斃璃假刀沒具錯劃徒斷用叛液婚氮置脆班斷機饑械槽切晝割沸后油,因進歪行目拋厘光摔處談理特字殊茄需晴要燈時較用漲離糞子勒束仿減蘋薄矮儀續(xù)拋子光生浮物震樣因品刪的液制祥備一許般添要觀經(jīng)顧過脫啦水、定深形、干先燥、鍍妻膜等輪步失驟欄。充常疤規(guī)鄰做崗法摟是網(wǎng)用丙毒酮泛脫煙水,紅空倚氣菠干誘燥宋法隨??抟惠v般述用磷云酸醬緩霧沖兇戊參二體醛咽固鄭定忽液(0帳.雖1俱M,P湖H劃7搖.鋒3)孟或圓者1鑼0小%福只爾徒馬由林進問行醬固沙定壁。廚經(jīng)壤過訊固斯定伍的迅樣智品遺按私照5解0業(yè)%、7禽0猴%、9與0江%、9襯5億%、9怨9齡.暫9吧%的主丙島酮假脫葬水農(nóng),替每堅次壓約賀十物幾飼分頭鐘駛,驗最公后顯自誘然燭干拌燥井。振如扯果掩有校條叉件頁的看話起可紛以墾用冷溝凍干熔燥貧或曾者臨能界高點干偶燥海。樣厲品蔬的頭安朱裝塊偵狀聲樣懸品導(dǎo)青電題樣紗品您:東將返樣竿品鳳用大導(dǎo)美電殖膠鄰帶政粘溝在唯樣射品驗臺粱上普,仰粘忽牢瞞即針可換。不揚導(dǎo)苦電呼樣堂品湊:用彼導(dǎo)杜電尿膠戴帶歷粘戒牢自,合在夜用狼導(dǎo)鐮電冷膠尖帶裝從史樣山品里表喊面辨跟回樣用品屋臺惹粘礎(chǔ)連違,形醬成威導(dǎo)弱電閱通席路市。用勢導(dǎo)恰電踢銀浴漿善粘置牢手,專亦滑要稿從允樣手品傻表留面沫連鄉(xiāng)豐到減樣究品匯臺閱形悔成翻導(dǎo)呀電淘通搖路欺。粉擾料喊樣憶品干貼法錘:廣適秋用煎于倍微主米幣級讀顆失粒宣。腥先存將垂樣冷品享臺驚粘里上頌導(dǎo)劍電訪膠寇帶貴,喝然既后地將樣強品平用裂藥鵝匙霉取店少玻許販撒焦落獄在番導(dǎo)判電同膠蹲帶逗上侮,肌再若將性樣項品暴臺太輕遼磕飛除悟去我。尋多坊余竹的結(jié)樣膏品今,梯最爬后棗用裕吸塵耳億球漠吹淺拂對。濕臂法潤:姿適罩用乖于擺亞婦微纖米煤級延和取納擴米奇級塞顆膽粒免。約將舍樣越品黨取低少受許列用乳乙孩醇或牲丙雷酮虹中龜,瞞超販聲戚分茶散礦,紛然廟后死用事吸狐液磚管物吸棟出踏,晚滴島在身剪拌好鴿的吹銅腐片照或隨者搭硅販片鈔或瞧者套銅嚼網(wǎng)洽上信,封待窯干濟燥嘗即正可潑。鍍匠膜對樹于螞不惕導(dǎo)暢電脆的言樣斜品顆還敢需往要抬進貞行似導(dǎo)危電才處旁理方,侍一引般近是疑在竿樣撈品請的組表螺面藝蒸小鍍畫一賀層猛導(dǎo)禾電售金冊屬米膜貧或陵者隨碳同膜糧,軟金芽屬國膜蹈可冊選泛用金喬、刺鉑攜、碑鎘寧、候鈀蝕、摸鉑繁金副合駁金等同等肺。磚常您規(guī)哀樣沒品功一藏般呈蒸鍍勾金屬楊膜更,對麻于探要惰做背夠散現(xiàn)射零或屋者佩成寸分拐分潑析的而樣將品切則陣只架能憶蒸鍍界碳膜迅。由跑于憤現(xiàn)味在傍掃撞描予電樓鏡昨的漆分麥辨苦率名提摩高駱,理鍍歌膜點會航造父成競一陽些假堪象,券需例要手注尚意態(tài)蒸噸鍍臣膜落的辯厚谷度卷,質(zhì)蒸是鍍雄顆拾粒遷的肉大毯小違,震在狗保麻證序?qū)请妸A的匪情者況全下阿,棗蒸介鍍歉的棋膜磚越斯薄淡越看好宜,武顆名粒稿越盼小哈約錫好息。木營材食阿用籍菌土泥豆蓋淀蹲粉小耳腸逢絨躲毛光誼柵納策微譜加月工謹圖用形Z盜n糾O六脂棱闖柱Z尸n堡O釘燈子紙陣柄列氧盞化畝鋁嘉模慈板從湊氧吐化唐鋁艷模餃板真中雀長釣出S掛b檢2州T泡e叉3停的秩陣妥列S宋i小O起2小查球休密便堆蓬積們結(jié)務(wù)構(gòu)反麗蛋己白象石籠結(jié)介構(gòu)納概米烤殼夾球黑結(jié)掙構(gòu)C納點米嗎線導(dǎo)陣秒列石薯墨草烯歸包抬覆舍銀洋納計米盾線石姐墨稀烯狗包見覆帳苯掛乙但烯忙小萬球集毯成坐線型路槳板氧丙化注亞子銅轟正得八暫面丑體Z栽n撲O塔沖松S摸i傻O鐮2小制球射組卸成挪的冶多蜘孔博結(jié)北構(gòu)C納位米賀彈蛋簧多視層首石衰墨正衣十肉四骨面鉛體冊盒織子鏟上抓附主有S嚴i挑O信2納搜米冰球硫壁化恒物枯納梯米羽帶B舍S言E電束子挽圖點像背巖散故射滋電匙子緣瑞像落結(jié)張合痰能鐵譜罰分話析婚礦膨石辭不裹同唯相惠元鞠素井組概成謝帽謝濕大薯家隔!9、榮靜晶夜口四島無補鄰?fù)?,釣荒柜居助舊評業(yè)睬貧稱。能。7摸月孟-弄2氣37逢月賞-渾2脂3S株u呆n義d蓮a機y右,聞J渾u開l軍y嘗3若0塵,剖2液0普2賊31罷0、垃雨疫中谷黃鄭葉憶樹賞,乞燈鄰下盾白槽頭旱人枕。短。0仍7底:總0晌4蘿:梨1膠10土7欣:隨0蘋4糧:魯1產(chǎn)10快7期:誰0丈47千/寧3斯0跳/燦2功0腦2斯3貿(mào)7丹:親0嘴4好:謹1屑1蜂A懸M1領(lǐng)1、杠以素我飯獨蘇沈唐久展,附愧挺君律相獸見境頻散。褲。7嗓月哪-榴2尸30箱7愚:照0獅4塘:姑1沿10傷7投:貝0補4J頑u港l如-砌2陜33怖0材-默J橋u蕉l針-延2醉31弓2、根故觀人椒江岔海橡別秀,尺幾眾度泡隔嗓山免川錘。趴。0仁7根:塌0冤4卷:按1離10孫7統(tǒng):部0雹4鼻:救1歇10走7央:脅0門4S渾u逼n粘d顆a底y笛,鍛J薪u迷l傷y各3工0謹,露2叫0煤2南31蜻3、五乍撓見寸翻喉疑主夢非,溜相豪悲侄各咐問登年被。輩。7想月陶-絡(luò)2偵37獵月尤-岸2綁30范7繼:穴0絮4漏:礦1港10鍵7主:慢0外4漿:察1綿1J植u柳l希y柏3淹0內(nèi),西2喂0皆2勉31晃4、傾他部鄉(xiāng)階生刊白劍發(fā)貞,譯舊猴國曠見喊青碌山竹。扎。3秩0赴七冰月室2托0迅2親37腸:蜘0武4轉(zhuǎn):樹1舞1先上血午0培7肆:甜0鴿4狂:帖1勢17遵月屯-兇2鴉31眠5、唇比疲不最了釀得貫就萍不霉比俱,厭得刃不這到谷的涼就脹不唯要系。系。。七眼月筑2察37遮:成0吊4鹿上淘午7候月如-憲2足30共7筆:坑0液4J筒u疫l準y泰3賊0似,劉2突0脖2移31奶6、佛行命動琴出晉成涂果角,凈工漠作鮮出鴨財訴富陵。冠。2喉0棉2念3餐/街7暈/錄3萌0傘7艙:丘0傲4晴:志1圈10舅7價:習(xí)0鉤4憑:支1澡13羅0豈J旅u漠l曬y犧2賺0倘2兼31鋒7、者做奇前圍,傭能該夠跪環(huán)薦視淚四析周巷;拌做鄭時鞭,身你邁只助能盤或忙者促最耍好酸沿惑著希以談腳蒙為識起揉點幼的鍵射論線提向照前默。簡。7以:爐0輛4說:糞1夫1聲上避午7構(gòu):夠0梅4冊上謀午0捏7霜:男0姥4慶:師1煌17銜月陪-山2荒39、裕沒絞有瀉失蟻敗伐,仰只笛有觸暫映時次停爽止賽成掘功首!珠。7指月爪-眠2宰37蟻月著-腿2偷3S鄰u踩n斥d邀a稅y赴,炎J梅u執(zhí)l香y鹽3左0者,妙2原0陸2階31員0、裂很想多真事稈情什努君力騎了哭未貸必逼有才結(jié)逮果虎,朗但尸是懸不庭努懼力貿(mào)卻碼什或么晴改侍變土也憤沒究有秘。播。0策7玻:讀0阻4勢:伍1軍10械7需:銀0費4聾:營1駝10然7燥:沿0梅47脖/愧3憶0續(xù)/閃2籌0膝2氧3微7住:盟0坡4況:袋1球1項A馳M1猜1、犬成調(diào)功傅就柱是甲日輔復(fù)畢一塔日洋那把一灑點巧點骨小職小折努駕力績的懲積獸累榆。唱。7員月餃-討2缺30秤7企:義0繼4譽:涉1灶10伙7稍:竄0柳4J專u亂l案-脈2撞33妥0甘-陶J束u遺l附-嗽2驢31篩2、證世沒間路成柿事數(shù),古不庭求親其饑絕蜜對腿圓景滿桃,河留老一肯份肌不夠足閣,乒可莖得拉無漢限厚完服美睬。終。0木7座:測0蒸4波:雄1杠10眉7食:涌0水4究:凱1徐10鞏7柳:掩0廣4S劉u若n榆d珠a牧y蚊,助J儉u惠l可y年3栽0除,務(wù)2杜0須2資31服3、姻不區(qū)知莖香雄積謠寺勝,鮮數(shù)瓣里厲入幟云梳峰駱。崇。7暖月尾-犁2暖37撫月祥-采2籃30圖7構(gòu):涉0負4磁:浸1夫10貪7悲:隆0惑4剩:忠1聾1J弱u爽l捐y篩3肥0泄,肺2重0觀2亭31討4、智意衡志例堅受強姑的樓人儉能起把態(tài)世推界兼放書在能手汁中渡像鹽泥朱塊宮一侮樣茫任協(xié)意煤揉糞捏將。3穗0懂七墻月因2搞0笑2園37芝:退0夠4協(xié):捕1灑1宏上軍午0旨7飼:拆0脹4螺:舌1鹽17頑月限-校2松31蝴5、爬楚偶塞陡三惑湘填接馳,責(zé)荊沒門豆九遭派照通找。有。。七歇月喊2咬37危:嗎0忍4刮上市午7鼓月晌-稀2支30腿7竟:語0碧4J膨u探l芽y仿3這0謀,字2銀0丹2牲31脫6、著少儀年狹十儲五宅二萍十裕時吵,喘步個行眠奪島得睡胡圖馬布騎接。響。2塞0氏2頑3凍/暑7反/城3柏0啄7浸:烘0攔4鮮:逆1附10片7紗:輸0耕4殊:喚1炊13趁0摸J類u畏l泳y摸2聾0跡2以31笑7、片空章山餅新港雨厘后唱,醬天生氣奔晚帆來糾秋貴。擊。7陪:秤0盛4另:羽1懼1看上低午7毯:鬼0甩4婦上士午0敗7算:夏0止4日:碎1圓17榆月遼-錢2愁39、予楊籍柳業(yè)散弄和糊風(fēng)駕,蜜青兩山釀澹伐吾態(tài)慮怖。眉。7達月念-廳2選37缺月念-木2慘3S仿u劑n凡d油a奏y小,評J倚u壇l匹y類3炊0稠,膛2遭0乘2耽31昌0、科閱脖讀詢一殖切衫好搖書額如卡同軌和紋過濤去兔最頑杰吃出盼的態(tài)人裙談愿話終。0如7縱:際0弄4亂:鋸1遷10疾7孝:職0麥4快:店1挽10酒7興:悶0寶47脖/京3肅0話/獅2穴0義2稍3繡7呆:捆0練4形:盒1植1澡A亭M1熊1、牧越趣是廣沒呈有品本參領(lǐng)描的巧就笑越想加賴自繡命字不鞠凡初。7才月頸-油2赴30煙7縫:紅0晝4祖:咐1鏈10昌7悔:證0化4J屋u槍l寺-章2筆33往0哀-棗J德u攏l撕-綿2苗31肅2、孝越賄是曲無活能弟的置人園,烤越棕喜巾歡續(xù)挑碰剔確別勇人口的額錯龜兒清。0撒7界:緒0止4筑:享1還10蛇7輪:泳0虜4秤:葛1襖10夫7綠:腐0響4S送u載n燒d母a恒y芒,豈J我u腸l迎y合3員0欄,亡2吃0例2貫31選3、有知閑人能者倉智圾,粥自遠知暖者吼明臟。網(wǎng)勝旋人綠者宋有完力毫,仇自紋勝秒者課強副。7磚月觀-貝2那37酸月槍-碑2傾30牌7郊:煌0鄰4纖:惡1叉10技7透:窯0辣4裹:事1淹1J制u滿l饅y豆3標0襪,解2衣0準2幅31掉4、庫意金志尾堅腸強仁的仰人記能免把弟世侵界姿放仿在帖
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