GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

UDC

中華人民共和國國家標準

PGB50472—2008

電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

Codefordesignofelectronicindustrycleanroom

2008—12—人人文庫專用15發(fā)布2009—07—01實施

統(tǒng)一書號：1580177·中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布

書

中華人民共和國國家標準

電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

Codefordesignofelectronicindustrycleanroom

GB50472-2008

主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

施行日期：2009年7月1日

人人文庫專用

中國計劃出版社

2009北京

書

中華人民共和國國家標準

電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

GB50472-2008

☆

中華人民共和國工業(yè)和信息化部主編

中國計劃出版社出版

(地址：北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號國宏大廈C座4層)

(郵政編碼：100038電話：6390643363906381)

新華書店北京發(fā)行所發(fā)行

人人文庫專用世界知識印刷廠印刷

850×1168毫米1/325.5印張139千字

2009年5月第1版2009年5月第1次印刷

印數(shù)1—10100冊

☆

統(tǒng)一書號：1580177·176

定價：28.00元

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告

第200號

關于發(fā)布國家標準

《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》為國家標準，編號為

GB50472—2008，自2009年7月1日起實施。其中，第3.2.5、

4.3.3(1)、5.4.2、5.5.6、6.2.1、6.2.6、6.2.7、6.2.8、6.2.9、

6.3.1、7.1.6、7.5.1、7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、7.5.4、7.5.6、

7.6.1、7.7.2、7.7.7(2、3)、8.3.1、8.3.2、8.5.1、8.5.2(1)、

8.5.3(3)、9.2.3(3、4、5)、10.1.5、10.1.6、10.1.7(2、3)、

10.1.8(1、3、4)、10.2.5、10.2.6、10.4.2、10.4.3(1、2、3)、

10.4.5、11.2.1(1、2、3、5、6、7、8)、11.2.2、11.2.3、11.2.5、

11.3.1、12.1.8、12.2.3(1)、12.2.4、12.3.2、12.3.4(1、3)、

12.3.6、12.3.7、12.3.8、12.4.4、13.2.1(2、3)、13.3.4條(款)

為強制性條文人人文庫專用，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

二〇〇八年十二月十五日

前言

本規(guī)范是根據(jù)建設部“關于印發(fā)《2005年工程建設標準規(guī)范

制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標函﹝2005﹞124號)的要求，

由中國電子工程設計院會同有關單位編制完成的。

本規(guī)范在編制過程中，編制組結合我國電子工業(yè)潔凈廠房設

計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調(diào)查研究，收集整理相關

的專題報告、測試資料，認真總結多年來電子工業(yè)潔凈廠房設計建

造和運行方面的經(jīng)驗，廣泛征求了國內(nèi)有關單位的意見，最后經(jīng)審

查定稿。

本規(guī)范共分15章和4個附錄。主要內(nèi)容有：總則、術語、電子

產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈建筑設計、空氣

凈化和空調(diào)通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品

供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制、微振控制等。

本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解

釋，由中國電子工程設計院負責具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行

過程中，希望各有關單位結合工程實踐，認真總結經(jīng)驗，若發(fā)現(xiàn)需

要修改和補充之處，請將意見和有關資料寄至中國電子工程設計

院《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范人人文庫專用》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬

壽路27號，郵政編碼：100840，傳真E-mail：xiao-

hongmei@)，以供今后修改時參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人：

主編單位：中國電子工程設計院

參編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院有限公司

上海電子工程設計研究院有限公司

·1·

深圳市電子院設計有限公司

中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司

北京中瑞電子系統(tǒng)工程設計院

主要起草人：陳霖新秦學禮晁陽張利群王唯國

侯憶穆京祥趙海高艷敏王毅勃

肖紅梅李杰李錦生路振福章光護

鄒英杰鐘景華牛光宏張曉敏周志剛

陳騮焦明偉

人人文庫專用

·2·

目次

1總則…………………(1)

2術語…………………(2)

3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求……………(6)

3.1一般規(guī)定………………(6)

3.2生產(chǎn)環(huán)境設計要求………(6)

4總體設計…………………(8)

4.1位置選擇和總平面布置…………………(8)

4.2潔凈室型式……………(9)

4.3潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)…………………(9)

5工藝設計…………………(11)

5.1一般規(guī)定………………(11)

5.2工藝布局………………(11)

5.3人員凈化………………(12)

5.4物料凈化………………(13)

5.5設備及工器具……………(13)

6潔凈建筑設計……………(15)

6.1一般規(guī)定………………(15)

6.2防火和疏散人人文庫專用……………(16)

6.3室內(nèi)裝修………………(17)

7空氣凈化和空調(diào)通風設計………………(19)

7.1一般規(guī)定………………(19)

7.2氣流流型和送風量………(20)

7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)……………(21)

7.4空氣凈化設備……………(21)

·1·

7.5采暖、通風………………(23)

7.6排煙……………………(25)

7.7風管、附件………………(25)

8給水排水設計……………(27)

8.1一般規(guī)定………………(27)

8.2給水……………………(27)

8.3排水……………………(28)

8.4雨水……………………(28)

8.5消防給水和滅火設備……(28)

9純水供應…………………(30)

9.1一般規(guī)定………………(30)

9.2純水系統(tǒng)………………(30)

9.3管材、閥門和附件………(31)

10氣體供應…………………(32)

10.1一般規(guī)定………………(32)

10.2常用氣體系統(tǒng)…………(33)

10.3干燥壓縮空氣系統(tǒng)……(35)

10.4特種氣體系統(tǒng)…………(35)

11化學品供應………………(37)

11.1一般規(guī)定………………(37)

11.2化學品儲存、輸送………(37)

11.3管材、閥門……………(39)

12電氣設計人人文庫專用…………………(40)

12.1配電……………………(40)

12.2照明……………………(41)

12.3通信與安全保護裝置……(42)

12.4自動控制………………(44)

12.5接地……………………(44)

13防靜電與接地設計………(46)

·2·

13.1一般規(guī)定………………(46)

13.2防靜電措施……………(46)

13.3防靜電接地……………(48)

14噪聲控制…………………(49)

14.1一般規(guī)定………………(49)

14.2噪聲控制設計…………(49)

15微振控制…………………(51)

15.1一般規(guī)定………………(51)

15.2容許振動值……………(51)

15.3微振動控制設計………(51)

附錄A各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求……(53)

附錄B電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災危險性

分類舉例…………(55)

附錄C精密儀器、設備的容許振動值舉例………………(56)

附錄D潔凈室(區(qū))性能測試和認證………(57)

本規(guī)范用詞說明………………(65)

附：條文說明…………………(67)

人人文庫專用

·3·

1總則

1.0.1為在電子工業(yè)潔凈廠房設計中，做到技術先進、經(jīng)濟適用、

安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境

保護的要求，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設

計。

1.0.3電子工業(yè)潔凈廠房的設計應滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品

生產(chǎn)工藝要求，并應根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工

藝改進的需要預留條件。

1.0.4電子工業(yè)潔凈廠房的設計應為施工安裝、調(diào)試檢測和安全

運行、維護管理創(chuàng)造必要的條件。

1.0.5電子工業(yè)潔凈廠房設計除應執(zhí)行本規(guī)范外，尚應符合國家

現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

人人文庫專用

·1·

2術語

2.0.1潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)

誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等

按要求進行控制。

2.0.2潔凈區(qū)cleanzone

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少

空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕

度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。

2.0.3人員凈化用室roomforcleaninghumanbody

人員在進入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進行凈化的房間。

2.0.4物料凈化用室roomforcleaningmaterial

物料在進入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進行凈化的房間。

2.0.5粒徑particalsize

由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直

徑。對離散粒子計數(shù)、光散射儀器采用當量光學直徑。

2.0.6懸浮粒子airborneparticles

用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～

5μm的固體和液體粒子人人文庫專用。

2.0.7含塵濃度particleconcentration

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

2.0.8潔凈度cleanliness

以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。

2.0.9空態(tài)as-built

設施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設備、材料及

·2·

人員。

2.0.10靜態(tài)at-rest

設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應商同意的

狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。

2.0.11動態(tài)operational

設施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況

下進行工作。

2.0.12氣流流型airpattern

室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。

2.0.13單向流unidirectionalairflow

沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括

垂直單向流和水平單向流。

2.0.14非單向流non-unidirectionalairflow

凡不符合單向流定義的氣流。

2.0.15混合流mixedairflow

單向流和非單向流組合的氣流。

2.0.16潔凈工作區(qū)cleanworkingarea

指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)

域。

2.0.17空氣吹淋室airshower

利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附

著粒子的小室。

2.0.18氣閘室人人文庫專用airlock

設置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓

差控制而設置的緩沖間。

2.0.19傳遞窗passbox

在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側窗扇

的開啟應進行聯(lián)鎖控制。

2.0.20潔凈工作服cleanworkinggarment

·3·

為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少

的潔凈服裝。

2.0.21高效空氣過濾器(HEPA)highefficiencyparticulate

airfilter

在額定風量下，最易穿透粒徑法的效率在99.95%以上及氣

流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。

2.0.22超高效空氣過濾器(ULPA)ultralowpenetrationair

filter

在額定風量下，最易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及

氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

2.0.23微環(huán)境minienvironment

將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進行嚴格分隔的隔離空

間。

2.0.24風機過濾器機組fanfilterunit(FFU)

由HEPA或ULPA與風機組合在一起，構成自身可提供動

力的末端空氣凈化的裝置。

2.0.25自凈時間cleanlinessrecoverycharacteristic

潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)

定室內(nèi)潔凈度等級的時間。

2.0.26技術夾層technicalmezzanine

潔凈廠房中以水平構件分隔構成的空間，用于安裝輔助設備

和公用動力設施以及管線等。

2.0.27技術夾道人人文庫專用technicaltunnel

潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道，用于安裝輔助設備

和公用動力設施以及管線等。

2.0.28技術豎井technicalshaft

潔凈廠房中主要以垂直構件分隔構成的井式管廊，用于安裝

輔助設備和公用動力設施以及管線等。

2.0.29專用消防口fire-firingaccess

·4·

消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時

由消防人員從室外打開。

2.0.30純水purewater

雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和

非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均要求很

少的水。

2.0.31常用氣體bulkgas

電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦

氣等氣體。

2.0.32特種氣體specialgas

電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯

化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

2.0.33化學品chemical

指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機溶劑和氧化物等。

2.0.34防靜電環(huán)境ESDcontrolledenvironment

具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或

靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。

2.0.35表面電阻surfaceresistance

在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)

電流之商。

人人文庫專用

·5·

3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求

3.1一般規(guī)定

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要

求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、

壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。

3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)

品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種

介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。

3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料

儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。

3.1.4潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等性能測試和認證應符合本規(guī)

范附錄D的要求。

3.2生產(chǎn)環(huán)境設計要求

3.2.1潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級應按現(xiàn)行國家標準《潔凈廠

房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定執(zhí)行。

潔凈室(區(qū))設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、

動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。

3.2.2各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工人人文庫專用

藝要求確定；無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。

3.2.3潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應按表3.2.3確定。

表3.2.3潔凈室(區(qū))溫度和相對濕度要求

溫度(℃)相對濕度(%)

房間類別

冬季夏季冬季夏季

生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室按具體生產(chǎn)工藝要求確定

·6·

續(xù)表3.2.3

溫度(℃)相對濕度(%)

房間類別

冬季夏季冬季夏季

生產(chǎn)工藝無要求的潔凈室≤22～2430～5040～70

人員凈化及生活用室～18～28——

3.2.4各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學品的純度和

雜質(zhì)含量等應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。

3.2.5單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于

65dB(A)，非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB

(A)。

3.2.6潔凈室(區(qū))的微振動控制設計應滿足精密設備、儀器的振

動容許值要求。無要求時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性

確定。

人人文庫專用

·7·

4總體設計

4.1位置選擇和總平面布置

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求經(jīng)技術經(jīng)濟比較后

確定：

1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自

然環(huán)境較好的區(qū)域；

2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和

有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振

動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時，

則應位于全年最小頻率風向下風側；

3在廠區(qū)內(nèi)應布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿

越或少穿越的地段。

4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風口與城市交通干道之間的

距離(相鄰側邊沿)宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有

城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當減少，但不得小于25m。

4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定

周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后

確定。

4.1.4廠區(qū)總平面布置時人人文庫專用，應按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生

產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。

潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要

求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。

4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、

發(fā)塵少的材料。

4.1.6潔凈廠房周圍應進行綠化，但不宜種植對生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品

·8·

質(zhì)量有影響的植物。

4.1.7潔凈廠房宜設置環(huán)行消防車道，若有困難時可沿廠房的

兩長邊側設消防車道。消防車道的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建

筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

4.2潔凈室型式

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和

布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單

向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動

地板以下的下技術夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。

4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少

投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工

業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格

時，宜采用微環(huán)境等型式。

4.3潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)

4.3.1潔凈廠房的平面布置應合理安排潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和動

力區(qū)，并應符合下列要求：

1潔凈室(區(qū))人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應合理

分區(qū)布置；

2生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設備有特殊要求時，宜分隔為單獨的房

間；人人文庫專用

3生產(chǎn)過程中排放腐蝕性氣體的生產(chǎn)設備或生產(chǎn)工序應分

類、集中布置或與其他生產(chǎn)房間分隔；

4發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設備，宜與空氣潔凈

度要求嚴格的房間分隔布置；

5潔凈室(區(qū))的輔助設備、維修間等技術支持區(qū)，宜集中布

置在潔凈室(區(qū))的相鄰房間，技術支持區(qū)的空氣潔凈度等級應低

·9·

于潔凈室(區(qū))的等級；

6若需在潔凈室(區(qū))內(nèi)設置潔凈電梯時，應采取氣閘間、潔

凈送風措施；

7應符合有關防爆、防火、消防等要求。

4.3.2潔凈室(區(qū))的空間布置應滿足下列要求：

1生產(chǎn)設備、物料運輸系統(tǒng)應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，

并應做到有效、靈活和操作方便；

2各類管線的空間布置應滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要

求；

3終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設施的布

置，應滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級、安全生產(chǎn)和維修要求；

4潔凈生產(chǎn)層的高度應按生產(chǎn)設備、微環(huán)境裝置和物料運輸

設備的外形尺寸確定。技術夾層高度應根據(jù)具體工程要求確定。

4.3.3潔凈室(區(qū))內(nèi)應少分隔，但下列情況應予分隔：

1按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或

房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；

2在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段

或房間之間；

3生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學污染物

的工序、設備，宜分隔設獨立房間。

4.3.4潔凈廠房的布置應綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設備安裝和維修、

公用動力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術設施的需

要。人人文庫專用

·01·

5工藝設計

5.1一般規(guī)定

5.1.1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)

品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。

5.1.2潔凈廠房工藝設計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品

生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、

運行費用低、生產(chǎn)效率高。

5.1.3潔凈廠房工藝設計應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等

級要求設置人流路線、物料運輸和倉儲設施。

5.2工藝布局

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣

流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。

在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設備、操作程序、人員流動路

線和物料傳輸布置時，應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措

施。

5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設

置人員入口人人文庫專用、物料入口和設備出入口，并應在各自的入口處設置相

應的凈化設施。

5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，

空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置；空氣潔凈度

等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5.2.4潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠

離出入口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；易產(chǎn)生

·11·

污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置或下風側。

5.2.5工藝布置時，應根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設備的運輸、安裝、維修

的要求設置運輸通道、安裝口或檢修口。

5.2.6潔凈廠房內(nèi)不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間聯(lián)系

頻繁時，應采取防止污染的措施。

5.3人員凈化

5.3.1人員凈化用室和設施應根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等

級設置，并應設置生活用室。人員凈化用室宜按圖5.3.1的人員

凈化程序進行布置。

圖5.3.1人員凈化程序

5.3.2人員凈化用室，應根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服

等的需要設置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用

房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用

室，可根據(jù)需要設置。

5.3.3潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積人人文庫專用，應根據(jù)

潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，

宜按潔凈室(區(qū))內(nèi)設計人數(shù)平均2～4m2/人計算。

5.3.4人員凈化用室和生活用房的設置，應符合下列規(guī)定：

1凈鞋設施應設在潔凈室入口處；

2更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設置在同一房間內(nèi)；

3外衣存放柜應按潔凈室(區(qū))內(nèi)設計人數(shù)配置；

·21·

4應設置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O施；

5應設置感應式洗手和烘干設施；

6廁所宜設在進入人員凈化用室之前，需設在人員凈化用室

內(nèi)時，應設置前室。

5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：

1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹

淋室時，應設氣閘室；

2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；

3單人空氣吹淋室，應按最大班人數(shù)每30人設一臺。潔凈

室(區(qū))工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；

4空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措

施；

5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室

(區(qū))，宜設氣閘室。

5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內(nèi)

逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。

潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室

(區(qū))的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空

氣潔凈度等級宜為8級。

5.4物料凈化

5.4.1潔凈室(區(qū))內(nèi)的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根

據(jù)設備和物料的特征人人文庫專用、性質(zhì)、形狀等設置凈化用室及相應物凈設

施。

5.4.2物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應設置氣閘室或傳遞窗。

5.5設備及工器具

5.5.1潔凈室(區(qū))內(nèi)應采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設備和輔

助生產(chǎn)設備，并應符合下列要求：

·31·

1表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學物質(zhì)；

2設備的傳動部件等應密封性能好，并應防止?jié)櫥?、冷卻

劑等的泄漏；

3對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應

采取防擴散措施；

4設備的金屬外殼應設置接地設施。

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))

時，宜采取密封隔斷措施。

5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超

過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。

5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具

進行凈化處理的設施。

5.5.5潔凈室(區(qū))內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和

傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應符合下列

規(guī)定：

1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，

并在空氣中不應被氧化；

2應密封性能好；

3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；

4構造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。

5.5.6潔凈室(區(qū))內(nèi)設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：

1使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排

入排氣系統(tǒng)人人文庫專用；

2對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下

限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀

釋可燃氣體組分；

3傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不

燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備

操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

·41·

6潔凈建筑設計

6.1一般規(guī)定

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以

及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采

用內(nèi)墻承重體系。

6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))

的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防

火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。

6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生

產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調(diào)，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷

性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空

間布局和構造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施

安裝和維修的要求。

6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道

的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。

穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形

式、尺寸和構造應滿足風管人人文庫專用、管線的安裝、檢修和防火要求。

6.1.7對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室(區(qū))的綜合性廠房，廠房的

平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生

產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。

6.1.8潔凈廠房內(nèi)的通道寬度應滿足人員操作、物料運輸、設備

安裝和檢修的要求。

·51·

6.2防火和疏散

6.2.1潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

6.2.2潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災危險性，應符合現(xiàn)行國家標

準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。火災危險性分類

舉例見本規(guī)范附錄B。

6.2.3潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑

設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關鍵生產(chǎn)設

備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于

0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火

分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

6.2.4潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產(chǎn)層，當按其

構造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術夾層的面積可不

計入防火分區(qū)的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。

6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質(zhì)選擇，應符合

現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

6.2.6在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生

產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合

現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

6.2.7潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定：

1每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)

目，應符合現(xiàn)行國家標準人人文庫專用《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)

定；

2安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏

散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有

關規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗；

3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災

報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m

·61·

的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需

要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)

人員密度小于0.02人/m2，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

6.2.8潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置專用消防口，并應符合

下列規(guī)定：

1潔凈區(qū)各層專用消防口的設計，應符合現(xiàn)行國家標準《潔

凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定；

2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，

均不應作為專用消防口。

6.2.9潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得

與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄

爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的

有關規(guī)定。

6.3室內(nèi)裝修

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良

好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其

密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修

材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)

范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，

材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的

煙密度試驗方法人人文庫專用》GB/T8627的有關規(guī)定。

6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求：

1應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避

免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面；

2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。

6.3.3潔凈室樓地面設計應符合下列要求：

1應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和設備安裝要求；

·71·

2應平整、耐磨、易清潔、不易積聚靜電、避免眩光、不開裂、

耐撞擊等；

3地面宜配筋，并應做防潮構造。

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且

表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或

防潮、防霉措施。

6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好

的氣密性，同時應采取防結露措施。

6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下

列要求：

1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措

施；

2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道；

3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺；

4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)

電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。

6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚，宜采用輕

質(zhì)壁板構造。

人人文庫專用

·81·

7空氣凈化和空調(diào)通風設計

7.1一般規(guī)定

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電

子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。

7.1.2氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)

品工藝特點的不同要求選用。

7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設置：

1運行班次或使用時間不同；

2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設備交叉污染，對產(chǎn)

品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；

3對溫、濕度控制要求差別大；

4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設備發(fā)熱相差懸殊；

5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

6系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

7.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對濕度應符合本規(guī)范第3.2.3條

的規(guī)定。

7.1.5潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠

房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

7.1.6潔凈室人人文庫專用(區(qū))與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應

符合下列規(guī)定：

1各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定；

2不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于5Pa；

4潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應大于10Pa。

7.1.7潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風量，宜采用縫隙

·91·

法或換氣次數(shù)法確定。

7.1.8送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應符合現(xiàn)行

國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

7.1.9非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置值班送

風，并應進行凈化處理。

7.1.10潔凈室(區(qū))的清掃方式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔

凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵

器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空

吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應暗敷。

7.2氣流流型和送風量

7.2.1氣流流型的設計，應符合下列要求：

1氣流流型應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求。

空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈

度等級為6～9級時，宜采用非單向流；

2潔凈室工作區(qū)的氣流流速應滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健

康的要求。

7.2.2潔凈室的送風量，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)

范》GB50073的有關規(guī)定。

7.2.3潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和

氣流流型，宜按表7.2.3計算。

表7.2.3潔凈送風量(靜態(tài))和氣流流型

空氣潔凈度等級人人文庫專用氣流流型平均風速(m/s)換氣次數(shù)(h-1)

1～5單向流或混合流0.20～0.45—

6非單向流—50～60

7非單向流—15～25

8～9非單向流—10～15

注：1換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室。

2室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。

·02·

7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)

和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等

級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部

要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道

送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降

低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的

送風方式。

7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其

他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房

的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風，應集中處理。

7.3.5凈化空調(diào)系統(tǒng)設計應合理利用回風，但下列情況不得回

風：

1在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時；

2采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時；

3對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

7.3.6凈化空調(diào)系統(tǒng)需設置電加熱時，應選用不產(chǎn)塵的電加熱

器，且應布置在高效過濾器的上風側，并應采取安全保護措施。

7.3.7凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應采取安全保護措施人人文庫專用。

7.3.8根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風系統(tǒng)應采取防

凍保護措施。

7.4空氣凈化設備

7.4.1空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求：

1空氣過濾器應根據(jù)空氣潔凈度等級選用；

·12·

2空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；

3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段；

4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；

超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；

5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空

氣過濾器的阻力、效率應相近；

6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空

氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；

7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系

統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；

8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料

制作。

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：

1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；

2應按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置；

3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的

規(guī)定；

4送風量應能調(diào)節(jié)；

5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，

外殼強度應滿足檢修要求。

7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：

1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層

流罩；人人文庫專用

2層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產(chǎn)工藝或設備需要選

用；

3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的

規(guī)定；

4安裝方式不應影響生產(chǎn)操作。

7.4.4微環(huán)境裝置的設置應符合下列要求：

·22·

1當生產(chǎn)工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對

濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置；

2微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設備配套；

3在不影響工藝操作的前提下，應具有可靠的密閉性，內(nèi)外

表面應平整、光滑；

4圍擋構造、材料的選用應方便生產(chǎn)操作。

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：

1安裝位置、外形尺寸應根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確

定；

2迎面風速、結構形式應根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負荷、風機過濾

器機組所提供的機外余壓確定；

3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點溫度；

4應設置排水設施。

7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要

求：

1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；

2整體結構應有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應平整、光滑，外

表面不應結露；

3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組

為同一潔凈室(區(qū))服務時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；

4送風機宜采取變頻調(diào)速措施。送風機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)

的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中

效)、高效(人人文庫專用亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的

1.5～2.0倍取值；

5應設置排水裝置。

7.5采暖、通風

7.5.1空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區(qū))不應采用散熱器

采暖。

·32·

7.5.2潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，

應設置局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。局部排風系統(tǒng)單獨設

置的要求，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073

的有關規(guī)定。

7.5.3潔凈室(區(qū))的排風系統(tǒng)設計，應符合下列要求：

1應防止室外氣流倒灌；

2含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質(zhì)

采取相應防火防爆措施；

3局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質(zhì)濃度超過排

放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足

國家現(xiàn)行有關排放標準的規(guī)定；

4對含有水蒸氣或凝結物質(zhì)的排風系統(tǒng)，應設置坡度及排放

口；

5排風介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應設置備用排風機和處理設

備，并應設置應急電源；

6排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較

高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；

7排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應

按在正常運行和事故情況下，風管內(nèi)爆炸危險氣體和粉塵的濃度

不大于爆炸下限的20%計；

8排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設置消除

靜電的接地裝置。

7.5.4對排風系統(tǒng)中含有毒性人人文庫專用、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應

保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。

7.5.5凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應采取

通風措施。

7.5.6潔凈室(區(qū))事故排風系統(tǒng)的設計，應符合下列規(guī)定：

1事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h；

2應設置自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設置在

·42·

潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點；

3應設置應急電源。

7.6排煙

7.6.1潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。

7.6.2潔凈廠房排煙設施的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計

防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。當同一防火分區(qū)的丙類潔凈室

(區(qū))人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時，潔

凈室(區(qū))可不設機械排煙設施。

7.6.3機械排煙系統(tǒng)宜與通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設置；當合用

時，應采取防火安全措施，并應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火

規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

7.6.4機械排煙系統(tǒng)的風量、排煙口位置、風機的設置，應符合現(xiàn)

行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

7.7風管、附件

7.7.1凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風吸入管應設置防倒灌裝置；送、回風

管宜設置調(diào)節(jié)閥。

7.7.2凈化空調(diào)系統(tǒng)風管的防火閥的設置，應符合現(xiàn)行國家標準

《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防

火閥。

7.7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管人人文庫專用、配件、過濾器以及密封材料等，應根

據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影

響物質(zhì)的材料。

7.7.4潔凈室(區(qū))內(nèi)排風系統(tǒng)的風管、閥門、附件的制作材料和

涂料，應根據(jù)排除氣體的物理化學性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件

確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學反應或引起安全事故的發(fā)生。

7.7.5凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風總管上，應采取消聲措施，并應滿

·52·

足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風系統(tǒng)，應采

取消聲措施，并應滿足室內(nèi)外噪聲標準的要求。

7.7.6在集中設置的空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或指針式

壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應設置風量測定孔。

7.7.7風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規(guī)定：

1凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作，但

接觸腐蝕性介質(zhì)的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；

2排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作；

3附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材

料。

人人文庫專用

·62·

8給水排水設計

8.1一般規(guī)定

8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道

內(nèi)，并宜敷設在通行的技術夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設。

潔凈室(區(qū))內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關的管道不應穿過。

8.1.2穿過潔凈室的水管道，應根據(jù)管內(nèi)水溫和所在房間的溫

度、濕度確定隔熱防結露措施。當采取隔熱防結露措施時，其外表

面應光滑、平整。

8.1.3給水排水管道穿過潔凈室(區(qū))墻壁、樓板和頂棚時應設

置套管，管道和套管之間應采取密封措施。

8.2給水

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻

水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分

別設置獨立的給水系統(tǒng)。

8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據(jù)化學品的物理

化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管

道應環(huán)形敷設布置。

8.2.3給水管道的管材及附件的選擇人人文庫專用，應符合下列要求：

1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工

作參數(shù)的要求；

2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；

3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應按生產(chǎn)工藝和水

質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；

4閥門及附件應采用與管材相同的材質(zhì)。

·72·

8.3排水

8.3.1生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應分別設置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應根據(jù)電

子產(chǎn)品生產(chǎn)設備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。

有害廢水應經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。

8.3.2潔凈室(區(qū))內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備相連接的重力排水管

道，應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統(tǒng)應有完善的通

氣系統(tǒng)。

8.3.3潔凈室(區(qū))內(nèi)地漏等排水設施的設置，應符合現(xiàn)行國家

標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

8.3.4潔凈廠房內(nèi)宜采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設備。

8.4雨水

8.4.1屋面雨水排水系統(tǒng)應確保能迅速、及時地將屋面雨水排至

室外雨水管渠或室外。

8.4.2屋面雨水排水管道的排水設計重現(xiàn)期不宜小于10年。

8.4.3屋面雨水排水工程應設置溢流口、溢流堰、溢流管系等溢

流設施。屋面雨水排水工程與溢流設施的總排水能力不應小于

50年重現(xiàn)期的雨水量。

8.4.4雨水斗的位置應確保雨水斗連接管和懸吊管不穿過潔凈

室(區(qū))。

人人文庫專用8.5消防給水和滅火設備

8.5.1潔凈廠房必須設置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設置

應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

8.5.2潔凈廠房消火栓的設置應符合下列規(guī)定：

1潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)層及上下技術夾層(不含不通行的技

術夾層)，應設置室內(nèi)消火栓；

2室內(nèi)消火栓的用水量不應小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不

·82·

應少于2支，水槍充實水柱不應小于10m，每只水槍的出水量不

應小于5L/s；

3潔凈廠房室外消火栓的用水量不應小于15L/s。

8.5.3潔凈室(區(qū))設置的固定滅火設施，應符合下列規(guī)定：

1設置的自動噴水滅火系統(tǒng)，應符合現(xiàn)行國家標準《自動噴

水滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50084的有關規(guī)定。噴水強度不應小于

8L/min·m2，作用面積不應小于160m2；

2設置的氣體滅火系統(tǒng)，應符合現(xiàn)行國家標準《氣體滅火系

統(tǒng)設計規(guī)范》GB50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB

50193的有關規(guī)定；

3存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。

8.5.4潔凈廠房內(nèi)各場所應配置滅火器，并應符合現(xiàn)行國家標準

《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB50140的有關規(guī)定。

人人文庫專用

·92·

9純水供應

9.1一般規(guī)定

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品

生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情

況，經(jīng)技術經(jīng)濟比較確定。

9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)；潔凈室

(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。

9.1.3穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，

套管與管道之間應采取密封措施。

9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外

表面應平整、光滑、易于清潔。

9.2純水系統(tǒng)

9.2.1純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，

還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備，應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝

的要求，并應符合下列規(guī)定：

1純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇，應

滿足供水水質(zhì)人人文庫專用、終端水質(zhì)的要求；

2純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇，應確保水

質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象；

3純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質(zhì)降低。

9.2.3純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系

統(tǒng)或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應符合下列規(guī)定：

1循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30%；

·03·

2干管流速應大于等于1.5m/s；

3不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍；

4干管應設置清洗口；

5管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；

6應配備在線水質(zhì)檢測儀表；

7對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應采用雙管式

循環(huán)供水系統(tǒng)。

9.2.4純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化

學性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

9.2.5用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設備、量具、儀表，其連接不應使

純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

9.2.6純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設備設置。

9.3管材、閥門和附件

9.3.1純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應符合下列要求：

1應滿足純水水質(zhì)指標的要求；

2材料的化學穩(wěn)定性應好；

3管道內(nèi)壁光潔度應好；

4不得有滲氣現(xiàn)象。

9.3.2純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規(guī)定：

1應選擇與管道相同的材質(zhì)；

2應選用密封好、結構合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門；

3對純水的水質(zhì)要求嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)人人文庫專用，應采

用隔膜閥。

·13·

10氣體供應

10.1一般規(guī)定

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種

氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求。

10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體

品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。

10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除

應符合本規(guī)范外，還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB

50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB

50030等的有關規(guī)定。

10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技

術夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在

水、電管線下部；比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

10.1.5潔凈室(區(qū))內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，

穿過潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內(nèi)的管

道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

10.1.6可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體

的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。

10.1.7高純氣體管道設計應符合下列規(guī)定人人文庫專用：

1管徑應按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設備確定，管外

徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm；

2不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3管道系統(tǒng)應設置吹掃口和取樣口。

10.1.8潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應設置下列安全設施：

1可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣

·23·

體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)

鎖；

2接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施；

3引至室外的放散管，應設置防雷保護設施；

4應設置導除靜電的接地設施。

10.1.9氣體過濾器應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進

行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。

10.2常用氣體系統(tǒng)

10.2.1常用氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設置制氣裝置或

采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

10.2.2氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放

散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊

1m，并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容

許雜質(zhì)含量要求選擇；

2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)