表面粗糙度計量器

JJG2018—19891表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)表*本檢定系統(tǒng)表規(guī)定了表面粗糙度Rz和Ry參數(shù)為0.1~80μm以及Ra參數(shù)為0.1~10μm范圍內(nèi)的國家計量基準(zhǔn)所包含的全套主要計量器具和主要計量學(xué)參數(shù),從國家計量基準(zhǔn)器具通過標(biāo)準(zhǔn)計量器具向工作計量器具進(jìn)行量值傳遞的程序,并指明誤差和基本檢定方法。一計量基準(zhǔn)器具表面粗糙度國家基準(zhǔn)用于復(fù)現(xiàn)和保存粗糙度參數(shù)Rz和Ry在0.1~80μm測量范圍內(nèi)以及Ra參數(shù)在0.1~10μm測量范圍內(nèi)的長度單位,通過計量標(biāo)準(zhǔn)器具向國內(nèi)各生產(chǎn)和使用單位的工作計量器具傳遞量值,以保證全國表面粗糙度量值的統(tǒng)一。國家基準(zhǔn)由下列全套計量器具組成:有專用單色光源的干涉顯微鏡基準(zhǔn)裝置;觸針式表面粗糙度測量系統(tǒng),包括專用微機(jī)系統(tǒng)、連接硬件和成套軟件;一組表面粗糙度基準(zhǔn)樣板和基準(zhǔn)階梯量塊組。國家基準(zhǔn)保證:當(dāng)測量微觀不平度高度的極值參數(shù)Ry和Rz時,在0.1~1μm范圍內(nèi),其未消除的系統(tǒng)誤差(s)不超過0.005μm,隨機(jī)誤差(單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ)不超過0.005μm;在>1~80μm范圍內(nèi),s不超過0.03μm,σ不超過0.03μm。當(dāng)測量微觀不平度輪廓算術(shù)平均高度Ra參數(shù)時,在0.1~0.25μm范圍內(nèi),其未消除的系統(tǒng)誤差(s)不超過0.005μm,隨機(jī)誤差(單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ)不超過0.002μm;在>0.25~10μm范圍內(nèi),s不超過0.007μm,σ不超過0.003μm。為了保證按上述準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)表面粗糙度參數(shù)Ra以及Rz、Ry測量的長度單位,必須遵守國家基準(zhǔn)的保管、使用規(guī)則和測量操作程序。二計量標(biāo)準(zhǔn)器具采用表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣板作為粗糙度量值傳遞的主要計量標(biāo)準(zhǔn)器具。標(biāo)準(zhǔn)樣板的型式有兩大類:一類為標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板(包括組成階梯高度的階梯式實物標(biāo)準(zhǔn)),單刻線溝槽深度(或階梯高度)為0.1~80μm范圍,用作傳遞微觀不平度高度極值參數(shù)Ry和Rz的標(biāo)準(zhǔn)器具;另一類為標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板(包括其他類似型式的用于校驗觸針式儀器的校驗樣板),其Ra參數(shù)值在0.1~10μm范圍,用作傳遞粗糙度參數(shù)Ra的標(biāo)準(zhǔn)器具。標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板按其準(zhǔn)確度和使用對象分為一等和二等兩個等級。由計量基準(zhǔn)器具用直接檢定法分別檢定各類型的標(biāo)準(zhǔn)樣板。一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板可通過隨機(jī)誤差(σ)不大于1%的觸針式儀器,用比較法檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板。檢定標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板溝槽深度的不確定度δ(3σ),在0.1~1μm范圍為±(5~1)%,在>1~80μm范圍為±(3~0.5)%。注:自2003年之后,原“計量檢定系統(tǒng)”統(tǒng)稱為“計量檢定系統(tǒng)表”。JJG2018—19892檢定一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板Ra值的不確定度δ(3σ),在0.1~0.25μm范圍為±(5~3)%,在>0.25~10μm范圍為±(3~0.5)%。檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板Ra值的不確定度σ(3σ),在0.1~0.25μm范圍為±(7~5)%,在>0.25~10μm范圍為±(5~3)%。為保證可靠地傳遞量值,標(biāo)準(zhǔn)樣板工作區(qū)域內(nèi)粗糙度參數(shù)值的均勻性應(yīng)有明確規(guī)定,并且必須遵守規(guī)定的檢定方法、程序和標(biāo)準(zhǔn)樣板使用規(guī)則。用允許誤差(Δ)不大于±7%的觸針式儀器以及其他相應(yīng)準(zhǔn)確度的儀器直接檢定表面粗糙度比較樣塊或表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)件。三工作計量器具工作計量器具包括:干涉顯微式測量儀、光切式測量儀、觸針式測量儀以及表面粗糙度比較樣塊或粗糙度標(biāo)準(zhǔn)零件等。各類標(biāo)準(zhǔn)樣板是檢定這些測量儀器準(zhǔn)確度的主要工具。比較樣塊和標(biāo)準(zhǔn)件則用儀器直接檢定。工作計量器具的允