《氧化銦錫靶材》（預審稿）

3氧化銦錫靶材本文件規(guī)定了氧化銦錫靶材（以下簡稱ITO）的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸與貯存、隨行文件和訂貨單內容。本文件適用于由In2O3和SnO2按照一定比例混合的氧化銦錫靶材（簡稱ITO），是制作透明導電薄膜的核心材料。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T5163燒結金屬材料(不包括硬質合金)可滲性燒結金屬材料密度、含油率和開孔率的測定GB/T1551硅單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法GB/T13298金屬顯微組織檢驗方法GB/T16535精細陶瓷線熱膨脹系數試驗方法頂桿法GB/T6569精細陶瓷彎曲強度試驗方法GB/T38389ITO化學分析方法SL499鉆孔應變法測量殘余應力的標準測試方法GB/T8170數值修約規(guī)則與極限數值的表示和判斷3術語和定義下列術語和定義適用于本標準。3.1表觀密度density每單位體積物質的質量。3.2相對密度relativedensityITO表觀密度與理論密度的比值。ITO質量百分比In2O3:SnO2=90:10時，ITO理論密度以7.155g/cm3計算。ITO質量百分比In2O3:SnO2=93:7時，ITO理論密度以7.143g/cm3計算。ITO質量百分比In2O3:SnO2=95:5時，ITO理論密度以7.134g/cm3計算。ITO質量百分比In2O3:SnO2=97:3時，ITO理論密度以7.131g/cm3計算。ITO質量百分比In2O3:SnO2=98:2時，ITO理論密度以7.115g/cm3計算。ITO質量百分比In2O3:SnO2=99:1時，ITO理論密度以7.103g/cm3計算。4分類4ITO分為平面靶和管狀靶，ITO按In2O3和SnO2的比例分為六個牌號：ITO90、ITO93、ITO95、ITO97、ITO98、ITO99。5技術要求5.1化學成分5.1.1主要成分5.1.1.1牌號ITO90的質量比In2O3:SnO2=90:10，SnO2的偏差為±0.5。5.1.1.2牌號ITO93的質量比In2O3:SnO2=93:7，SnO2的偏差為±0.4。5.1.1.3牌號ITO95的質量比In2O3:SnO2=95:5，SnO2的偏差為±0.3。5.1.1.4牌號ITO97的質量比In2O3:SnO2=97:3，SnO2的偏差為±0.3。5.1.1.5牌號ITO98的質量比In2O3:SnO2=98:2，SnO2的偏差為±0.2。5.1.1.6牌號ITO99的質量比In2O3:SnO2=99:1，SnO2的偏差為±0.1。5.1.2雜質成分ITO的雜質成分應符合表1的規(guī)定。表1ITO雜質成分雜質含量，不大于(×10）%5555555.1.3其他需方如對ITO的氧化銦和氧化錫的質量比或雜質元素有特殊要求時，由供需雙方商定。5.2物理性能5.2.1ITO的物理性能應符合表2的規(guī)定表2ITO物理性能5.2.2ITO物理性能如有其他要求，由供需雙方商定。5ITO分為平面型靶材和管狀型靶材，其規(guī)格尺寸及其偏差由供需雙方商定。5.4.1ITO表面粗糙度Ra≤1.0μm。5.4.2ITO呈黑色或灰黑色，顏色應均勻。5.4.3ITO表面應平整清潔光滑，無指痕，無外來夾雜物污染物。ITO應無裂紋，氣孔直徑不大于0.3mm，單位面積氣孔個數≤5∕cm2。6試驗方法6.1化學成分分析方法ITO化學成分的分析方法按照GB/T38389的規(guī)定進行。6.2物理性能檢驗方法6.2.1相對密度檢驗方法ITO的表觀密度的測定按GB/T5163的規(guī)定進行，再根據表觀密度和理論密度計算得到相對密度。ITO電阻率的測定按GB/T1551的規(guī)定進行。6.2.3線膨脹系數檢驗方ITO線膨脹系數的測定按GB/T16535的規(guī)定進行。6.2.4抗彎曲強度檢驗方法ITO抗折強度的測試按GB/T6569的規(guī)定進行。6.2.5殘余應力檢驗方法ITO殘余應力的測定按SL499的規(guī)定進行。按GB/T13298的規(guī)定進行。ITO的物理規(guī)格用相應精度的量器測定。ITO的外觀質量用目視法或相應的儀器檢驗。6ITO的內部質量用超聲波無損檢測。7檢驗規(guī)則7.1.1ITO應由供方質量技術監(jiān)督部門進行檢驗，保證產品質量符合本文件或訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方應對收到的產品按本標準的規(guī)定進行檢驗。如檢驗結果與本標準或訂貨單（合同）的規(guī)定不符時，應在收到產品之日起30天內向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，仲裁取樣在需方由供需雙方共同進行。ITO應成批提交檢驗，每批應由同一生產工藝、同一批氧化銦錫粉生產的產品組成。7.3.1每批ITO應進行化學成分、外觀質量的檢驗。7.3.2每批ITO應進行物理性能之密度、電阻率的檢驗。7.3.3每件ITO應進行物理規(guī)格、外觀質量的檢驗。7.3.4ITO的電阻率、線膨脹系數、抗彎曲強度、殘余應力、晶粒尺寸按型式試驗要求進行檢驗，正常生產時，按季度周期進行型式檢驗。7.4仲裁取樣和制樣7.4.1化學分析仲裁樣的采取和制備ITO化學分析仲裁樣的采取和制備方法由供需雙方商定。7.4.2物理性能檢驗仲裁樣的采取7.4.2.1表觀密度檢驗試樣的采?。簭漠a品中按片（件）隨機抽取10%樣品，但不少于1（件），沿靶材的中心線，用線切割機等距分取20mm×20mm的樣品3～4塊，用超聲波清洗器清洗干凈后進行表觀密度的測定。7.4.2.2電阻率檢驗試樣的采取：從產品中按片（件）隨機抽取10%的樣品，但不少于1（件用線切割機沿ITO的邊切割長120mm的矩形長條10個，用超聲波清洗器清洗干凈后進行電阻率的測定。7.4.2.3線膨脹系數檢驗試樣的采?。簭漠a品中按片（件）隨機抽取10%的樣品，但不少于1片（件），用線切割機沿ITO的邊切割下與標準樣品尺寸一致的長條5個，用超聲波清洗器清洗干凈后進行線膨脹系數的測定。7.4.2.4內部質量檢驗試樣的采?。簩⒚芏葴y試后檢驗樣品洗凈并用紙吸干后測試。7.5檢驗結果的判定77.5.1ITO檢驗結果的數值修約和修約后數值的判定按GB/T8170中的有關規(guī)定進行。7.5.2ITO的化學成分、物理性能、內部質量的檢驗結果與本文件的規(guī)定不符時，該批判不合格。7.5.3ITO的物理規(guī)格、外觀質量與本文件的規(guī)定不符時，該片（件）判不合格。8標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件每片ITO應在潔凈環(huán)境下采用真空包裝，并采用相應的防震措施。每片（件）ITO的包裝上應標注注冊商標（或企業(yè)標志），產品名稱、批號及產品合格標志。ITO應存放干燥陰涼的庫房。運輸及貯存過程中應注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。需方如對ITO的標志、包裝、運輸與貯存有特殊要求時，由供需雙方商定。每批ITO應附有隨行文件，其中除應包括供方信息、產品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a）質量保證書：·產品特點（包括制造工藝及原材料的特點）；·對產品質量所負的責任；·產品獲得的質量認證及帶供方技術監(jiān)督部門檢印的各項分析檢驗結果；b）產