真空技術(shù) 真空計(jì) 皮拉尼真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度 征求意見稿

GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20171真空技術(shù)真空計(jì)皮拉尼真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度GB/T34873-2017真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)（ISO3567:2011，ISO27893真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評定（Vacuumtechnology—comparisonwithareferencegauge）3.1部組件定義熱傳導(dǎo)真空計(jì)thermalconductivi注1：一些皮拉尼真空計(jì)通過在管內(nèi)使用熱對流來擴(kuò)展測量范圍的上限。這種類型通常被稱為對流增強(qiáng)型皮拉尼真GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201723.2物理參數(shù)定義從法蘭連接平面處開始計(jì)算，真空規(guī)暴露于其所連接的真空系熱調(diào)節(jié)系數(shù)thermalaccommodationcoea)至少進(jìn)行三次校準(zhǔn)，從中獲得測量誤差ei的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差，每次校準(zhǔn)間隔規(guī)定的時間，e-b)校準(zhǔn)前后測量誤差Δpi變化量絕對值（非負(fù)）的平均值，每次校準(zhǔn)間隔規(guī)δt=+1eiGB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20173生。因此，長期穩(wěn)定性與時間不是線性關(guān)系(例如兩年的注5：如果沒有特別說明，建議在一年的周期內(nèi)確定δt。一方面是出于成本和運(yùn)輸因素，另一方面和最小測量不確定度可能性帶來的的影響，這是介于二者τ圖1響應(yīng)時間τ定義說明示意圖4符號和縮略語eGB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20174pPa測量誤差（示值壓力pUUC減去參考壓力p）PapUUCPaδtτ-5皮拉尼真空計(jì)原理電壓或電流保持恒定。當(dāng)溫度保持不變時，線性測量范圍最大。更詳細(xì)的資料參見參考文獻(xiàn)[1]。皮拉尼真空計(jì)的測量下限和分辨率是由加熱元件與機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)之間的熱導(dǎo)率以及熱輻射所決定真空計(jì)規(guī)管處內(nèi)壁的溫度也可受到加熱元件的影響。在壓力(大于1kPa)較高時，與較低的壓力相6.2測量原理應(yīng)規(guī)定真空計(jì)規(guī)管內(nèi)的散熱方式(連續(xù)、脈沖、對6.3輸出類型GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201756.4輸出的范圍和輸出顯示分辨率6.5測量范圍和滿量程6.6預(yù)期測量不確定度應(yīng)規(guī)定在6.5中所給出的測量范圍內(nèi)，該類型的所有設(shè)備都能達(dá)到的預(yù)期測量不確定度。預(yù)期測量單個真空計(jì)的測量不確定度由校準(zhǔn)證書給出(見8.6)。單個真空計(jì)的測量不確定度可6.7暴露在氣體中的材料6.8連接法蘭6.9接口和引腳連接應(yīng)規(guī)定在測量范圍內(nèi)(示值在測量范圍以及測量不確定度限值內(nèi))獲得最佳性能的6.11真空計(jì)規(guī)管與控制單元的兼容性應(yīng)規(guī)定真空計(jì)能正常工作時，規(guī)管和/或工作氣體的溫度以及可準(zhǔn)確測量壓力的濕度應(yīng)指定所需的電壓(交流或直流)、頻率和功率，以及(如適用)其穩(wěn)定性(例如GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201766.15最大烘烤溫度應(yīng)分別規(guī)定規(guī)管和電纜的最高溫度。如果控制單元或指示單元直接與真空計(jì)規(guī)管連接(“集成”或“活動”規(guī)管)，但能拆卸，則應(yīng)說明這一點(diǎn)，同時應(yīng)給出僅有真空計(jì)規(guī)管和附加控制單元的真空計(jì)規(guī)6.16規(guī)管和控制單元的尺寸標(biāo)注?？梢詫挾?、深度和高度(w.d.h)的方式表示。此外，能使用其他單位。7.2相對靈敏度系數(shù)7.3遲滯7.4響應(yīng)時間7.5檢驗(yàn)記錄和校準(zhǔn)證書可隨真空計(jì)提供一份顯示儀器正常功能的檢查記錄文件(氮的測量范圍極限的讀數(shù)和真實(shí)壓力)。7.6配置7.7重量7.8儲存和運(yùn)輸條件GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201777.9照片為了獲得清晰的外觀和細(xì)節(jié)，建議使用垂直真空計(jì)規(guī)管和真空計(jì)控制單元的前后面板(連接器側(cè))7.11壓力設(shè)定點(diǎn)如果在極少數(shù)情況下，使用基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶應(yīng)相應(yīng)地應(yīng)8.2校準(zhǔn)條件記錄輸出的必要設(shè)備(例如數(shù)字電壓表)均按ISO/IEC1702校準(zhǔn)項(xiàng)目應(yīng)適合于校準(zhǔn)，即校準(zhǔn)項(xiàng)目在校準(zhǔn)時的狀態(tài)宜符合廣為接受的技術(shù)規(guī)則以及制造商文件檢查應(yīng)包括:——檢查是否有校準(zhǔn)所需的文件(技術(shù)資料、操作說明)。建議用戶要聲明壓力表沒有被有毒、腐蝕、爆炸、放射性、微生物或其他有害物功能測試應(yīng)包括:——校準(zhǔn)項(xiàng)目的密封性;——操作功能(如開/關(guān)、零點(diǎn)可調(diào));——將控制單元元件調(diào)整到指定位置。GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201788.3校準(zhǔn)物品的安裝和調(diào)整考慮預(yù)熱時間。除非制造商另有規(guī)定，建議穩(wěn)定時間為30mi8.4校準(zhǔn)建議使用一個或多個具有相似或更高精度的電容薄膜計(jì)或其他真空計(jì)作為參考真空計(jì)，覆蓋整個8.5校準(zhǔn)過程中的測量不確定度ISO27893適用于此。各個不確定度分量取決于皮拉尼真空計(jì)的具體設(shè)計(jì)?！盘栞敵龇直媛?——零漂移;——滿量程漂移;——環(huán)境溫度的變化。8.6校準(zhǔn)證書GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201798.7遲滯的測量程序取讀數(shù);8.8響應(yīng)時間的測量程序于升壓過程，小體積的容器壓力為100Pa，9倍大的儲存容器壓力則為1膨脹時，要配有通導(dǎo)率足夠高以及開啟快速注2：如果記錄儀表中輸出控制單元的電子元件與10ms的壓力步長相比較慢，則電子元件——長期不穩(wěn)定性；——非線性；GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017——環(huán)境溫度與校準(zhǔn)期間不同；——環(huán)境溫度漂移；——規(guī)暴露后的氣體清潔度和一般氣體成分；——加熱元件的污染和磨損；GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017[2]JOUSTEN,K.Onthegas[3]W.JITSCHINANDS.LUDWIG.Pul[4]EllEFSON,R.E.etal.Recommendedpracticeforcalibratingvacuumgaugesofthethermaconductivitytype.JVSTA.2OOO,1