多晶硅潔凈室施工工法

多晶硅生產(chǎn)車間干凈室施工工法1．前言隨著電子、化工行業(yè)的飛迅發(fā)展，對產(chǎn)品純度的要求日益提高，而生產(chǎn)、加工環(huán)境的干凈度干脆影響著產(chǎn)品的純度。干凈室從最初的生物醫(yī)藥行業(yè)逐步擴(kuò)展至電子、化工行業(yè)。近幾年，對產(chǎn)品純度要求極高的多晶硅行業(yè)的發(fā)展與興起使得干凈室更充分的應(yīng)用于化工領(lǐng)域。我單位依據(jù)所承建的江蘇中能硅業(yè)多晶硅一期、二期及三期近三萬平方米干凈室的施工閱歷，總結(jié)編定本工法。其中一期、二期干凈室已驗收、檢測合格，投入運(yùn)用，順當(dāng)產(chǎn)出合格的多晶硅，取得了良好的社會和經(jīng)濟(jì)效益；三期干凈室正在驚慌、有序施工。《多晶硅生產(chǎn)車間干凈室施工工法》被我公司評為2008年度施工工法一等獎。2.特點(diǎn)2．1干凈室的建立須要多個專業(yè)共同協(xié)作完成。土建專業(yè)要為建立干凈室供應(yīng)合格的外圍護(hù)結(jié)構(gòu)。干凈室的裝修材料要求壁板平整、接縫嚴(yán)密且平整光滑，不許有凸凹造型，陰陽角全部做成R＞50mm的圓弧角；窗戶應(yīng)與墻面平齊，不應(yīng)設(shè)置凸出墻面的踢腳；風(fēng)口、燈具采納帶密閉罩的凈化燈吸頂安裝；地面采納不產(chǎn)塵材料整體制作，且平整、光滑、防靜電。在干凈室內(nèi)明裝的管道均應(yīng)采納不銹鋼管，其連接采納氬電連焊。2．2采納本工法施工，可以保證干凈室的施工質(zhì)量，并可大大提高工效、削減材料消耗，降低施工成本，取得更大的經(jīng)濟(jì)效益。3.適用范圍本工法適用于以多晶硅干凈廠房為代表、其凈化要求為千級至十萬級的精細(xì)化工、醫(yī)藥車間、電子車間等生產(chǎn)車間的施工，不適用于有特別要求的生物工程試驗室的施工。本工法重點(diǎn)介紹干凈室裝修工程的施工內(nèi)容，對干凈室施工中的通風(fēng)、電氣、給排水等專業(yè)的施工工藝不做具體說明。4.工藝原理通過二次排版設(shè)計和材料選用、節(jié)點(diǎn)選型進(jìn)行施工，使干凈室內(nèi)不出現(xiàn)污染死角或氣流過濾不到的部位，沒有揚(yáng)塵。經(jīng)過凈扮裝修保證干凈室達(dá)到不產(chǎn)塵、不集塵要求，具有肯定的密閉性能，確保室內(nèi)維持肯定的正壓，防止外界非干凈空氣滲入造成污染。5.施工工藝流程及操作要點(diǎn)5.1施工流程施工流程遵循先有塵后無塵、先上后下的原則。具體施工依次如下：施工打算→測量放線→二次排版→材料加工→可調(diào)整吊桿安裝→槽鋁安裝→壁板安裝→T型鋁安裝→頂板安裝→彩鋼板調(diào)平并固定→門窗安裝→陰陽角安裝→風(fēng)口安裝→燈具安裝→地面施工→過濾器安裝→硅膠密封→愛護(hù)膜拆除→清潔→干凈度檢測→竣工驗收5.2操作要點(diǎn)5.2.經(jīng)圖紙會審及施工現(xiàn)場勘察，土建工程屋面防水及保溫已竣工；室外門窗安裝完畢，室內(nèi)易產(chǎn)生粉塵的施工內(nèi)容結(jié)束，水、電已進(jìn)入施工現(xiàn)場，廠房四周能通過8t以上載重汽車。5.2.施工技術(shù)打算：依據(jù)業(yè)主供應(yīng)的合格施工圖及收集到的現(xiàn)場資料，結(jié)合工程特點(diǎn)，確定工程施工的管理技術(shù)人員構(gòu)成、管理體系；熟識、消化技術(shù)文件、設(shè)計圖紙及相關(guān)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)，做好設(shè)計交底和圖紙會審工作，對各施工班級進(jìn)行具體的施工技術(shù)交底。材料及設(shè)備的打算：所運(yùn)用材料必需符合設(shè)計要求和施工規(guī)范規(guī)定，且具有出廠合格證明書或相關(guān)質(zhì)量證明文件。依據(jù)設(shè)計要求制定不同施工階段的供應(yīng)支配，落實貨源，組織運(yùn)輸，支配好現(xiàn)場儲備，保證項目施工連續(xù)、有序進(jìn)行。施工人員的打算：包括項目經(jīng)理部管理人員和施工工人，及由此二者組成的工程施工管理層及作業(yè)層。5.2測量放線是干凈室裝修施工的的基礎(chǔ)，有多個專業(yè)共同安裝施工的干凈室裝修工程施工精確性至關(guān)重要，而測量放線是施工精確性能否得到保證的關(guān)鍵條件。由于施工中專業(yè)多、交叉施工困難，干凈室裝修測量需按統(tǒng)一的安裝基準(zhǔn)線進(jìn)行，以縱橫兩方向的軸線為原始基準(zhǔn)，確定一條對各專業(yè)施工最有利的安裝基準(zhǔn)線。采納激光水平儀或精度較高的水準(zhǔn)儀進(jìn)行測量放線。在測量放線中，必需采納多點(diǎn)法確定每一個基準(zhǔn)點(diǎn)和基準(zhǔn)線，以保證精確度，在地面盡可能低的地方找尋確定最高點(diǎn)，并在柱中心相對于地面最高點(diǎn)繪出500mm高的水準(zhǔn)測量點(diǎn)。彈墨線前應(yīng)用棉線校核基準(zhǔn)點(diǎn)或參考點(diǎn)，墨線彈好后剛好做好相關(guān)標(biāo)記。5.2.依據(jù)現(xiàn)場測量放線的尺寸了解完成的建筑實體與圖紙的誤差進(jìn)行二次排版，排版內(nèi)容包括頂板、壁板及高效過濾器、燈具、門窗的安裝位置及尺寸規(guī)格，繪出結(jié)點(diǎn)大樣圖和各部分的的具體尺寸。排版時尤其要留意考慮門窗、高效過濾器、燈具、通訊、消防、工藝管道所開孔洞與彩鋼夾芯板間的模數(shù)、位置關(guān)系及強(qiáng)度、結(jié)構(gòu)要求。對原設(shè)計圖中的門窗尺寸及位置，在二次排版時可能依據(jù)現(xiàn)場實際進(jìn)行肯定調(diào)整。在排版過程中不能完全依據(jù)土建工程中的建筑模數(shù)，假如門窗口寬度沒有特別嚴(yán)格的尺寸要求，可以將門窗的寬度改為彩鋼板的有效寬度并提前預(yù)留，裁下的板正好可做門扇材料，這樣不但節(jié)約材料，而且門窗縫與彩鋼夾芯板拼接縫相重合，效果美觀。假如工藝要求門洞寬度大于彩鋼夾芯板的有效寬度，做成雙扇門且門洞位置于兩板相鄰壁板中間，裁下來的材料可做門扇。彩鋼夾芯板上電氣、工藝管道、消防、通訊等專業(yè)洞口的定位要避開在彩鋼夾芯板企口位置而降低強(qiáng)度，同時要考慮陰陽角的安裝尺寸。彩鋼夾芯板上的高效過濾器泂口口邊的寬度不得太窄，若洞口邊寬度太窄，人上吊頂時，由于彩鋼板頂板的強(qiáng)度降低而存在嚴(yán)峻的平安隱患。已完裝飾工程的愛護(hù)愛護(hù)好已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、敲打、踩踏、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。壁板安裝過程中不得撕下壁板表面塑料愛護(hù)膜，禁止撞擊和踩踏板面。全部穿過干凈室的管道、設(shè)備在與彩鋼夾芯板接口處均密封處理。節(jié)點(diǎn)彩鋼板安裝中主要的節(jié)點(diǎn)有：彩板與干凈燈具的節(jié)點(diǎn)、彩板與過濾器的接點(diǎn)、彩板與密閉窗門的接點(diǎn)、彩板與百頁風(fēng)口的接點(diǎn)、頂板的節(jié)點(diǎn)、壁板的節(jié)點(diǎn)等。節(jié)點(diǎn)連接形式有多種，這里僅以其中一類為例說明（詳見圖），具體接點(diǎn)形式的選用，可依據(jù)現(xiàn)場狀況敏捷選取。.1壁板與地面：按圖紙開間尺寸彈出墨線，用電錘間距300mm～500mm鉆眼，用膨脹螺栓固定槽鋁，壁板依據(jù)公母口方向按依次安裝。在壁板和地面施工完畢后安裝陰角條，最終用硅膠密閉縫隙。墻角應(yīng)垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不應(yīng)大于０.２％。（如圖）.2壁板與頂板連接：在壁板上端用抽芯固定槽鋁并用自攻螺絲與頂板連接，室內(nèi)側(cè)安裝鋁合金陰陽角，用硅膠密封（如圖）。.3頂板與現(xiàn)澆板：依據(jù)二次排版的頂板布置圖用電錘在現(xiàn)澆板上間距1.2m～1.5m鉆眼，吊桿一般采納鍍鋅或不銹鋼拉絲柑，吊桿上端焊接50mm的角鋼。用膨脹螺栓固定在現(xiàn)澆板上。吊桿中間設(shè)置花籃調(diào)整螺栓，用以調(diào)整頂板的水平或起坡坡度。吊桿下端焊接T型鋁，頂板放置在T型鋁上，并用角鋁壓緊，角鋁與T型鋁用抽芯鉚釘固定，并用膠密封。（如圖5.5.3）。.4頂板與建筑墻面：工藝同壁板與地面節(jié)點(diǎn)（如圖5.2.6.4-1）。用乳膠漆封閉墻柱面后方可安裝彩鋼板，陰陽角安裝完畢后縫隙用硅膠密封（如圖5.2.6.4-2）。.5門窗節(jié)點(diǎn)：凈化彩鋼門一般采納不銹鋼或鋁合金門框，在門扇底端設(shè)置掃地密封條，材質(zhì)有橡膠類、皮革類等，底部縫隙高度5mm～10mm，掃地條長度約為縫隙的1.5倍～２.5倍（如圖5.2.6.5－1）；窗有單層密閉窗（如圖.5－2）和雙層密閉窗（如圖5.2.6.5－3）兩種，雙層密閉窗在彩鋼板壁板安裝時預(yù)先將窗洞口留設(shè)出來，用鋁合金型材進(jìn)行包邊，然后按下圖粘貼雙面膠，之后現(xiàn)場測量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每邊少5mm，最終用扣條壓蓋并用硅膠密封。單層密閉窗同樣在安裝壁板時留設(shè)窗洞口，先將內(nèi)側(cè)不銹鋼框架安裝并用鉚釘固定打膠密封，然后安裝白玻璃或防火玻璃。安裝外側(cè)不銹鋼框架，玻璃與框架間的縫隙用密封條密閉，框架與彩鋼板縫隙用膠密閉?；仫L(fēng)夾道依據(jù)設(shè)計凈化風(fēng)量設(shè)置回風(fēng)夾道的尺寸和位置（如圖.5－4）.6過濾器、燈具與彩鋼板：干凈燈具及過濾器依據(jù)二次排版的平面布置圖在頂板安裝前開孔，留設(shè)過濾器和燈具的安裝位置（如圖）。干凈燈具宜采納吸頂式、易清潔的、不易積塵的燈具。過濾器每個框架需設(shè)置四根吊筋，且吊筋不得承載其他構(gòu)件，過濾器框架從室內(nèi)用繩子吊上去人工校正后用螺栓固定到頂板上，防止位移，承重要靠吊筋，不得用頂板承重。安裝完畢后進(jìn)行清洗并用薄膜愛護(hù)，過濾器在凈化系統(tǒng)調(diào)試運(yùn)轉(zhuǎn)48小時后方可進(jìn)行安裝。過濾器安裝后干凈室必需按規(guī)范要求進(jìn)行管理，防止管理不當(dāng)對過濾器造成損耗或損壞。.7干凈室PVC地面：用石磨機(jī)打磨地面，并用吸塵器清理灰塵及沙粒；自流平水泥，經(jīng)充分?jǐn)嚢鑴蚍Q后，呈稀和狀倒在地面，用工具刮涂勻稱，厚度約2-3mm。待干透后，表面用磨光機(jī)打磨一遍，灰塵清理干凈。地面干燥后進(jìn)行放線、涂膠：確定地板基準(zhǔn)線，采納雙組分防水膠，經(jīng)充分?jǐn)嚢韬蠊瓮坑诟蓛舻孛?，依?jù)地面位置，涂膠先后依次，留出合理的施工通道。正常環(huán)境下等候時間為15－20分鐘后起先鋪設(shè)；將材料鋪設(shè)在濕的膠水上，施預(yù)壓力使其粘接住，地板安裝完成一部分后，要馬上運(yùn)用50公斤組合滾筒將地板壓平；安裝完畢后，清掃或運(yùn)用吸塵器將地面全部殘留物清除干凈，確保房間通風(fēng)，使膠水干燥，剛鋪好24小時后進(jìn)行打臘，清洗機(jī)對完工PVC地面進(jìn)行徹底清洗，地面水吸干后用專用蠟水涂抹勻稱。打蠟后8小時即可投入運(yùn)用，竣工前宜用薄膜覆蓋防止污染。6．材料及施工機(jī)具干凈室壁板及頂板要求防靜電、耐腐蝕、易清潔、不產(chǎn)塵、不集塵、接縫少，依據(jù)工藝要求不同采納不同材質(zhì)的彩鋼夾芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、巖棉板、紙蜂窩板、鋁蜂窩板等。厚度一般50mm～80mm不等。地面裝飾材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防靜電、耐腐蝕、易清潔、不易起塵開裂、二次施工簡便、接縫少或無接縫。干凈室常用的裝飾材料有嵌銅條水磨石地面、環(huán)氧自流平地面、防靜電PVC地板和聚氯乙烯軟板等。干凈室施工的主要工機(jī)具見下表6-1序號名稱規(guī)格型號單位數(shù)量1溝通焊機(jī)BX3-300臺22氬弧焊機(jī)NSA4-300臺13液壓升降機(jī)YSD-300臺14工業(yè)吸塵器GM80臺15切割機(jī)TC-4QPVC臺16沖擊鉆GBH3-28E臺37手電鉆φ6臺88鉚釘槍YWJ-D把139水平尺、線垂把610塵埃粒子計數(shù)器y09-6臺111熱球式風(fēng)速儀EY3-2A只212補(bǔ)償式微壓計YJB-150臺213通風(fēng)干濕球溫度計DHM2只17.工程質(zhì)量限制措施7.1材料限制措施進(jìn)場設(shè)備、材料的檢查驗收。在訂購設(shè)備、材料前，具體了解生產(chǎn)廠家的各種有效證件；設(shè)備、材料進(jìn)場后，會同業(yè)主及監(jiān)理人員進(jìn)行驗收。7.1.2彩鋼夾芯板分批次7.1.3彩鋼夾芯板在堆放時標(biāo)明生產(chǎn)批次，以免在同一干凈室內(nèi)產(chǎn)生色差。安裝過程中支配專人清掃施工現(xiàn)場，以免造成板7.1.47.1.5在彩鋼夾芯壁板明顯位置張貼標(biāo)語，提示其它專業(yè)施工單位做好成品愛護(hù)，并在壁板轉(zhuǎn)角等易碰撞位置包袱橡塑板等軟質(zhì)材料，防止彩鋼夾芯板被撞損7.2施工過程限制干凈室建立具有技術(shù)含量高、專業(yè)施工交叉多等特點(diǎn)，假如采納傳統(tǒng)的“秋后算賬”式質(zhì)量限制方法，只強(qiáng)調(diào)中間驗收、竣工驗收的相關(guān)數(shù)據(jù)達(dá)標(biāo)，而對施工過程的動態(tài)限制力度不夠，會造成驗收資料合格但實際工程不合格的現(xiàn)象。所以，通過提高二次排版、材料選用、節(jié)點(diǎn)選型等施工技術(shù)，加強(qiáng)施工過程中動態(tài)質(zhì)量限制是保證干凈室施工質(zhì)量的有效方法。施工過程中的動態(tài)質(zhì)量限制也是干凈室施工的技術(shù)難點(diǎn)之所在。7.2.1施工前環(huán)境限制：凈化空調(diào)系統(tǒng)施工前，屋面防水工程和外圍結(jié)構(gòu)完成，外門、外窗安裝完畢。施工現(xiàn)場環(huán)境交由負(fù)責(zé)凈化工程施工的公司管理7.2.2干凈室的密封限制：干凈工藝房間內(nèi)的空氣壓力必需保證相對于室外大氣為正壓，避開室外非干凈空氣滲入室內(nèi)影響室內(nèi)干凈度。干凈房間的嚴(yán)密性對房間正壓值的維持和干凈度的保證具有確定性的影響。車間干凈區(qū)的房間采納凈化彩鋼夾心板作為房間圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料，板材與板材之間的拼縫均涂密封膠，并要達(dá)到嚴(yán)密不漏風(fēng)。干凈房間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)按規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行工序交接驗收，合格后方可對穿越圍護(hù)結(jié)構(gòu)的管線進(jìn)行開孔安裝。機(jī)電安裝工程中必需在壁板上開孔安裝的插座、開關(guān)、煙感探測器、廣播喇叭、監(jiān)控攝像頭、照明開關(guān)箱、消火栓箱等部件，其箱體與壁板之間用密封膠進(jìn)行密封，箱體中7.2.3干凈房間空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管和設(shè)備的清潔限制：施工過程中必需重視對風(fēng)管和空調(diào)部件的清洗，安裝后須防止再次污染。風(fēng)管制作前必需用中性洗滌劑擦洗其表面油污，再用清水沖洗晾干。風(fēng)管加工應(yīng)在干凈、無風(fēng)沙的室內(nèi)操作間進(jìn)行，工作臺上應(yīng)鋪設(shè)地毯或橡膠板，防止鐵皮表面鍍鋅層劃傷。應(yīng)用清潔半干抹布擦拭風(fēng)管內(nèi)表面，再用白綢布檢查內(nèi)表面清洗質(zhì)量，白綢布揩擦后不留任何灰跡、油漬即為清洗合格。風(fēng)管管段加工清洗合格后，用塑料薄膜封好管段兩端再運(yùn)至安裝現(xiàn)場，全部風(fēng)管配件及設(shè)備在安裝前必需擦拭干凈，否則不得安裝。凈化空調(diào)的全部送風(fēng)管和回風(fēng)管均進(jìn)行漏風(fēng)量測試，檢測合格后方可進(jìn)行下一道工序施工。干凈室和空調(diào)送回風(fēng)管道應(yīng)在高效過濾器安裝前達(dá)到清潔要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)必需連續(xù)試運(yùn)轉(zhuǎn)（空吹）12小時以上，空吹后再對送回風(fēng)管和組合式空調(diào)器內(nèi)進(jìn)行清掃和擦洗干凈。每臺安裝于5級干凈區(qū)的高效過濾器在安裝前應(yīng)7.3竣工驗收7.37.37.3.3干凈室的檢測在空態(tài)、靜態(tài)下進(jìn)行（動態(tài)檢測因超出了干凈室施工單位限制的范圍，一般不做為干凈室竣工檢測依據(jù)。）?？諔B(tài)：設(shè)施已經(jīng)建成，全部動力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。靜態(tài)：設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員。7.37.3.5綜合性能全面評定由建設(shè)單位負(fù)責(zé)，設(shè)計、施工單位協(xié)作，有資格的第三方檢測單位進(jìn)行綜合性能全面評定檢測。7.37.3.7竣工驗收的檢測結(jié)果應(yīng)全部符合設(shè)計要求，其檢測項目符合室內(nèi)干凈度級別要求，滿意現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《干凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2001、《干凈室施工及驗收規(guī)范》JGJ71-90及《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范8.平安措施8.1建立完善的平安生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)及規(guī)章制度，配備專職平安員負(fù)責(zé)平安管理工作。8.2施工作業(yè)人員進(jìn)廠時必需經(jīng)過三級平安教化，教化施工人員在施工過程中做到不損害他人、不損害自己、不被他人損害?，F(xiàn)場設(shè)置平安警示牌。8.3進(jìn)入施工現(xiàn)場必需統(tǒng)一穿工作服，帶好平安帽，系好下額帶，登高作業(yè)必需系平安帶。在施工現(xiàn)場室內(nèi)工作時嚴(yán)禁吸煙，嚴(yán)禁酒后進(jìn)入施工現(xiàn)場。8.4施工需搭設(shè)腳手架時，所搭設(shè)的腳手架必需經(jīng)專職平安員確認(rèn)平安牢靠后方可運(yùn)用，施工所用工具應(yīng)放入工具袋內(nèi)，不能順手放在腳手架上。8.5施工用電必需采納三相五線，配電箱必需堅固且有牢靠接地。8.6避開動火作業(yè)，當(dāng)不行避開時，要做好動火作業(yè)的監(jiān)護(hù)。8.7各種機(jī)具設(shè)備應(yīng)有專人操作及管理。9．環(huán)保措施9.1建立定期噪音監(jiān)測制度，對施工中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲、金屬撞擊噪聲等實行有效措施進(jìn)行減弱