硅微納結(jié)構(gòu)的制備及其光機(jī)電功能化的開題報告

硅微納結(jié)構(gòu)的制備及其光機(jī)電功能化的開題報告題目：硅微納結(jié)構(gòu)的制備及其光機(jī)電功能化的研究一、選題背景近年來，隨著科技的不斷發(fā)展和進(jìn)步，微納技術(shù)在許多領(lǐng)域中的應(yīng)用越來越廣泛。硅微納結(jié)構(gòu)是現(xiàn)代微納技術(shù)領(lǐng)域中的重要研究方向之一。硅微納結(jié)構(gòu)具有體積小、性能高、應(yīng)用廣泛的特點(diǎn)，在納米光電子、生物醫(yī)學(xué)、傳感器等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用。二、課題意義硅微納結(jié)構(gòu)的制備及其光機(jī)電功能化的研究在很多領(lǐng)域都具有重要的意義。在納米光電子方面，硅微納結(jié)構(gòu)的制備和改性可以實(shí)現(xiàn)納米級別的光學(xué)元件和器件，從而極大地推動了光存儲、光通訊等方向的發(fā)展。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，硅微納結(jié)構(gòu)將有助于顯微成像和藥物利用的研究，幫助治療某些病癥。三、研究內(nèi)容本項目的研究內(nèi)容主要包括兩方面：（1）硅微納結(jié)構(gòu)的制備技術(shù)研究硅微納結(jié)構(gòu)的制備是研究的重要基礎(chǔ)。本項目將集中研究硅微納結(jié)構(gòu)的制備技術(shù)、優(yōu)化和改進(jìn)，在強(qiáng)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)硅微納結(jié)構(gòu)的可預(yù)測制備。（2）硅微納結(jié)構(gòu)的光機(jī)電功能化研究硅微納結(jié)構(gòu)的光機(jī)電功能化是本項目的核心研究。研究團(tuán)隊將探索多種方法，如化學(xué)改性、加工制備、其他輔助技術(shù)等，從而將硅微納結(jié)構(gòu)具有可實(shí)現(xiàn)的光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械學(xué)三方面的功能，形成多功能硅微納結(jié)構(gòu)。四、研究方法本項目主要采用以下研究方法：（1）納笑研究技術(shù)（NanoimprintLithography，NIL）制備硅微納結(jié)構(gòu)。（2）激光轉(zhuǎn)移技術(shù)（Laser-AssistedDirectImprint，LADI）改進(jìn)和優(yōu)化硅微納結(jié)構(gòu)的制備。（3）各種輔助技術(shù)（如化學(xué)改性、電子束束雕刻、等離子體刻蝕等）用于硅微納結(jié)構(gòu)的多功能化研究。五、預(yù)期成果本項目預(yù)期達(dá)到以下成果：（1）開發(fā)出定量可預(yù)測的硅微納結(jié)構(gòu)制備技術(shù)。（2）實(shí)現(xiàn)硅微納結(jié)構(gòu)在光學(xué)、電學(xué)、機(jī)械學(xué)三個方面的多功能化。（3）建立硅微納結(jié)構(gòu)的光機(jī)電性能測量和分析技術(shù)。六、研究進(jìn)度本項目的研究進(jìn)度如下：（1）前期工作（2018年9月-2019年3月）：搜集相關(guān)資料，了解研究現(xiàn)狀和國內(nèi)外發(fā)展動態(tài)。（2）中期工作（2019年4月-2020年6月）：研究開展硅微納結(jié)構(gòu)的制備技術(shù)、優(yōu)化和改進(jìn)。（3）后期工作（2020年7月-2022年6月）：深入研究硅微納結(jié)構(gòu)的光機(jī)電功能化，并開展光機(jī)電性能測量和分析。七、存在問題和解決方法在研究過程中，可能會存在硅微納結(jié)構(gòu)制備難度大、多功能化研究復(fù)雜等問題，可以通過結(jié)合多種工藝方法、多次實(shí)驗和理論計算等方法解決。八、結(jié)論本項目通過對硅微納結(jié)構(gòu)的制備技術(shù)和光