(高清版)GBT 43771-2024 電子氣體 一氧化碳

電子氣體一氧化碳2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施國家市場監(jiān)督管理總局國家標準化管理委員會IGB/T43771—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。本文件由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：河南心連心深冷能源股份有限公司、福建久策氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、華測檢測認證集團股份有限公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學品有限公司、北京高麥克儀器科技有限公司、岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司、三峽大學、湖北和遠氣體股份有限公司、蘭州裕隆氣體股份有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、上海申南特種氣體有限公司、上海凡偉儀器設備有限公司、液化空氣(中國)投資有限公司、浙江省標準化研究院、浙江省計量與標準化學會、浙江中硝康鵬化學有限公司、玉門大洋天慶石化有限責任公司、杭氧集團股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、杭州新世紀混合氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、中國計量科學研究院、中昊光明化工研究設計院有限公司、大連光明化學工業(yè)氣體質(zhì)量監(jiān)測中心有限公司、上海市計量測試技術(shù)研究院、沈陽中復科金壓力容器有限公司、眉山麥克在線設備股份有限公司、北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰?、中國計量測試學會、空氣化工產(chǎn)品(中國)投資有限公司、哈爾濱黎明氣體有限公司、中國測試技術(shù)研究院化學研究所、浙江西亞特電子材料有限公司、浙江東開半導體科技有限公司、和立氣體(上海)有限公司、昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司、西南化工研究設計院有限公司。周鵬云、唐霞梅。1電子氣體一氧化碳本文件適用于工業(yè)級一氧化碳經(jīng)純化制備的電子用一氧化碳。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險貨物包裝標志GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定GB15603危險化學品倉庫儲存通則GB/T16804氣瓶警示標簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T28727氣體分析硫化物的測定火焰光度氣相色譜法GB/T34972電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T43306氣體分析采樣導則TSGR0005移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4技術(shù)要求一氧化碳的技術(shù)要求應符合表1的規(guī)定。2表1技術(shù)要求項目指標一氧化碳(CO)純度(摩爾分數(shù))/10-2氫(H?)含量(摩爾分數(shù))/10~6(氧+氬)(O?+Ar)含量(摩爾分數(shù))/10-5氮(N?)含量(摩爾分數(shù))/10-6二氧化碳(CO?)含量(摩爾分數(shù))/10-6總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù))/10-6總硫(以硫計)含量(摩爾分數(shù))/10-6水分(H?O)含量(摩爾分數(shù))/10-6鐵(Fe)含量/(μg/g)<0.001鎳(Ni)含量/(μg/g)<0.0015采樣一氧化碳的采樣應符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗方法警示——本文件規(guī)定的一些試驗過程可能導致危險情況，使用者應采取適當?shù)陌踩徒】捣雷o措施。6.1—氧化碳純度一氧化碳純度按公式(1)計算：x=100-(x?+xz+x?+x+xs+xs+x?)×10-……………(1)式中：x——一氧化碳純度(摩爾分數(shù)),10-2;x?——氫含量(摩爾分數(shù)),10-6;x?——(氧+氬)含量(摩爾分數(shù)),10-?;x?——氮含量(摩爾分數(shù)),10-;x?——二氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;xs——總烴含量(摩爾分數(shù)),10-?;xs——總硫含量(摩爾分數(shù)),10-?;x?——水分含量(摩爾分數(shù)),10-6。按GB/T28726規(guī)定的方法測定一氧化碳中氫、氧+氬、氮、二氧化碳含量。可采用其他等效的方法測定。當對測定結(jié)果有異議時，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。3長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。色譜柱I:長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.2他等效色譜柱。該柱用于測定氫、氧+氬、氮含量。色譜柱Ⅱ:長約6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(二乙烯苯與N-2-烯基-2-吡咯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測定二氧化碳含量。標準樣品中各組分含量的摩爾分數(shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氦氣。6.3總烴含量的測定按GB/T8984規(guī)定的方法測定一氧化碳中總烴含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y定。當對測定結(jié)果有異議時，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.3.2預分離柱長約2m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球載體，或其他等效色譜柱。甲烷含量的摩爾分數(shù)為(1～5)×10-?,平衡氣為氮氣。參考的氣路流程示意圖及典型色譜圖見附錄A。6.4總硫含量的測定按GB/T28727規(guī)定的方法測定一氧化碳中總硫含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y定。當對測定結(jié)果有異議時，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。長約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。4長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球載體，或其他等效色譜柱。羰基硫含量的摩爾分數(shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氮氣。參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.5水分含量的測定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y定。當對測定結(jié)果有異議時，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。按照GB/T34972的規(guī)定執(zhí)行。6.7尾氣處理測定時，應有一氧化碳尾氣處理措施，以防止一氧化碳對環(huán)境的污染和人員的傷害。7檢驗規(guī)則7.1組批同一生產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)的瓶裝一氧化碳產(chǎn)品為一批。7.2.1應逐一檢驗氫含量、(氧+氬)含量、氮含量、二氧化碳含量、總烴含量、總硫含量及水分含量，當檢驗結(jié)果不符合表1技術(shù)要求時，則判該產(chǎn)品不合格。7.2.2應按表2規(guī)定的抽樣數(shù)量隨機抽樣檢驗鐵含量及鎳含量。當檢驗結(jié)果符合表1的技術(shù)要求時，則判該批產(chǎn)品合格。當檢驗結(jié)果不符合表1技術(shù)要求時，則應自同批產(chǎn)品中重新加倍隨機抽樣檢驗，若檢驗結(jié)果符合表1技術(shù)要求時，則判除不合格的那瓶產(chǎn)品外，該批產(chǎn)品合格；若檢驗結(jié)果仍不符合表1技術(shù)要求時，則判該批產(chǎn)品不合格。表2抽樣表每批氣瓶數(shù)最少抽樣氣瓶數(shù)12558.1標志8.1.1一氧化碳出廠時應有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應包括：——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期或批號，以及保質(zhì)期；——充裝壓力(MPa);——本文件編號及一氧化碳的純度。8.1.2包裝容器上應涂刷“電子氣體一氧化碳”字樣。8.1.3一氧化碳的包裝標志應符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標志應符合GB/T7144的規(guī)定，包裝標簽應符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2.1包裝一氧化碳的氣瓶應符合GB/T11640的規(guī)定。8.2.2一氧化碳的充裝及貯運應符合GB/T14194、TSGR0005、TSG23的規(guī)定。充裝及貯運的安全8.2.3宜使用進行內(nèi)表面處理的氣瓶。8.2.4瓶閥出氣口連接方式宜使用DISS724或CGA350。8.2.5應防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6用戶返回的一氧化碳氣瓶中氣體的殘余壓力不宜低于0.5MPa。8.2.7一氧化碳產(chǎn)品的貯存應符合GB15603的規(guī)定，存放在陰涼、干燥、通風的庫房內(nèi)，不應暴曬，遠離熱源。8.3安全信息一氧化碳的安全信息見附錄B。6(資料性)氣路流程示意圖及典型色譜圖A.1測定總烴的氣路流程示意圖測定一氧化碳中總烴含量時，參考的氣路流程示意圖見圖A.1。標引序號說明：8——放空針閥；2——樣品進口；9——玻璃微球柱；3——樣品過濾器；10——高純氫氣；4——定量管；11——高純空氣；5——樣品出口；12——氫火焰離子化檢測器；6——流量計；13——預分離柱。7——十通閥；A.2測定總烴的典型色譜圖測定總烴的典型標準樣品色譜圖見圖A.2,典型樣品色譜圖見圖A.3。7圖A.2典型標準樣品色譜圖圖A.3典型樣品色譜圖8GB/T43771—2024標引序號說明：1——高純氮氣；2——樣品進口；3——樣品過濾器；4——定量管；5——樣品出口；6——流量計；7——聚四氟十通閥；8——放空針閥；9——玻璃微球柱；10——高純氫氣；11——高純空氣；12——火焰光度離子化檢測器；13——預分離柱。圖A.4測定總硫的氣路流程示意圖9(資料性)B.1基本信息B.1.4物理性質(zhì)：沸點-191℃,熔點-205℃,水中溶解度20℃時2.3mL/100mL,蒸汽相對密度(空氣=1)0.97,閃點易燃氣體，自燃溫度605℃。B.1.5空氣中爆炸極限(體積分數(shù)):12.5%～74.2%。B.1.6毒性：(非高原)時間加權(quán)平均值20mg/m3,短時間接觸容許濃度為30mg/m3。B.2危險性說明B.2.1一氧化碳是無嗅、無味、無色的壓縮氣體，與空氣充分混合易形成爆炸性混合物。B.2.2遇熱可能爆炸。B.2.4在一定條件下，一氧化碳可與鐵、鎳等大部分過渡金屬發(fā)生反應生成有毒、易燃、易爆的不穩(wěn)定金屬羰基化合物，且高溫高壓會加速該反應進行。B.3.3操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩),穿防靜電服。B.3.4遠離火種、熱源。B.3.5工作場所不吸煙。B.3.8搬運時輕裝輕卸，防止氣瓶及附件破損。B.3.9配備相應品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應急處理設備。B.4緊急情況應對措施如果誤吸入一氧化碳，迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給氧。如呼吸B.5泄漏處理處置B.5.1消除所有點火源。B.5.3應急處理人員穿正壓自給式呼吸器，穿防靜電服。B.5.4盡可能切斷泄漏源。B.5.5隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。B.5.6防止氣體通過下水道、通風系統(tǒng)和有限空間擴散。B.5.7作業(yè)時使用設備接地。B.6存儲注意事項B.6.1儲存于陰涼、干燥、通風良好的專用庫房。遠離火種、熱源。B.6.2與氧化劑分離儲存。B.6.3儲存區(qū)采用防爆型照明、通風設施。B.6.4不使用產(chǎn)生火花的機械設備和工具。B.6.5儲存區(qū)配備泄漏應急處理設備。B.7廢棄處置說明B.7.1廢棄化學品可用焚燒法處置。或與制