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1其次章電阻式傳感器原理與應(yīng)用[根本要求]把握金屬應(yīng)變式傳感器的構(gòu)成原理特性;把握壓阻式傳感器工作原理,固態(tài)壓阻器件設(shè)計(jì)特點(diǎn);了解電阻應(yīng)變式傳感器動(dòng)的粘貼方法;通過(guò)對(duì)電阻應(yīng)變片測(cè)量電路分析,把握直流惠斯通電橋構(gòu)造形式及特點(diǎn)。[例題分析]2-1100ΩS=0.5E2×1011N/m2F=5×104N1Ω。試求該應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)?解:由題意得應(yīng)變片電阻相對(duì)變化量R 1依據(jù)材料力學(xué)理論可知:應(yīng)變
R 100〔σ為試件所受應(yīng)力,E
F,故應(yīng)變SF
5104
0.005SE 0.510421011應(yīng)變片靈敏度系數(shù)
R/R
1/10020.005例題2-2一臺(tái)用等強(qiáng)度梁作為彈性元件的電子秤,在梁的上、下面各貼兩片一樣l=100mmb=11mm現(xiàn)將四個(gè)應(yīng)變片接入圖〔b〕直流電橋中,電橋電壓U=6V。當(dāng)力F=0.5kgU0R1R2U0R1R2U0R4R3U〔b〕lbRR1 3tRR(a)24F解: 〔a〕所示四片一樣電阻應(yīng)變片貼于等強(qiáng)度梁上、下各兩片。當(dāng)重力F作用梁端部后,梁上外表R1R3R2R4則產(chǎn)生負(fù)應(yīng)變電阻變化,其應(yīng)變確定值相等,即電阻相對(duì)變化量為
1
2
4
6FlR2R2R R2R21 3 R R1 3
RR4R4R4
KU RUKUK6Fl0 R bt2E260.59.810011322104
0.0178V17.8mV例題2-3=2,將其貼在實(shí)心圓柱形測(cè)力彈性元件2-〔a)=1000kgr=1cm=2×107N/cm2,μ=0.3。求1〕畫出應(yīng)變片在圓柱上粘貼位置及相應(yīng)測(cè)量橋路原理圖〔2〕壓U=?〔4〕此種測(cè)量方式能否補(bǔ)償環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量的影響?說(shuō)明緣由。0RR1R2U0R4R3UFRR1 3FRR1 3RR24F〔a〕2-21 3 1 3 2 >0,ε >0;R、R沿圓周方向貼則產(chǎn)生負(fù)應(yīng)變?chǔ)?<0,ε4<01 3 1 3 2 2-2〔b〕所示。從而組成全橋測(cè)量電路可以提高輸出電壓靈敏度。F 9.8⑵1
1.56104156SE 122107F2
0.31.561040.4710447SER R1 R R1 3R R
k1
21.561043.121042 R R2 4
k2
20.471040.941041 R R R
R R⑶U ( 1 2 3
4)U ( 1 2)U0 4 R R R R1 2 3
R R1 21 (3.1210-40.4910-4)61.22mV12感受溫度變化產(chǎn)生電阻相對(duì)變化量一樣,在全橋電路中不影響輸出電壓值,即Rt Rt Rt R Rt 1 R R1 2
R3
4R R41 Rt Rt Rt Rt故 U0t
( 1 2 4 R R
3 R R
)U01 2 3 4例題2-4Kt
(2)d 2(Dd)E為待測(cè)壓力,μ泊松比,E楊氏模量,d筒內(nèi)徑,D筒外徑?,F(xiàn)承受直流電橋電路,供電橋壓U。要求滿足如下條件⑴該壓力傳感器有補(bǔ)償作用;⑵橋路輸出電壓靈敏度最高。試畫出應(yīng)變片粘貼位置和相應(yīng)橋路原理圖并寫出橋路輸出電壓表達(dá)式。解:按題意要求圓周方向貼四片一樣應(yīng)變片假設(shè)組成等臂全橋電路。當(dāng)四片全R1、R3貼在有應(yīng)變的圓筒R2R42-3(a)2-3〔b)橋臂位置上。此時(shí)被測(cè)壓力變化時(shí),R1、R3隨筒壁感受正應(yīng)變量ε1>0,ε3>0。并且ε1=ε3;R2R4所處位置筒壁不產(chǎn)生應(yīng)變,故ε2=ε4=0U0R1、R3R1R3放在對(duì)U0為1 R R
K K (2)dU ( 1 3)U
1 3 U pU0 4 R R1 3
4 2 2 2(Dd)E1K
(2)d
Up4 (Dd)E產(chǎn)生的電阻變化量均一樣,故對(duì)環(huán)境溫度變化有補(bǔ)償作用,使1 Rt Rt Rt RtU ( 1 2 0t 4 R R
3 R R
)V01 2 3 4DRADRA向2R4R1pR3dA向R2R4R1R2U0R4R3U〔a〕
2-3
〔b〕2-5求利用彈性模量E=187×109N/m2的P-Si[100]、[111]半導(dǎo)體應(yīng)變片的靈敏系數(shù)?解: 半導(dǎo)體應(yīng)變片靈敏度系數(shù)公式為K=·El式中l(wèi)
為應(yīng)變片軸線方向壓阻系數(shù),其表達(dá)式為l 11
11
)(l2m2l2n2m2n2)44 1 1 1 1 1 1l、m1
、n——壓阻元件縱向應(yīng)力相對(duì)于立方晶軸的方向余弦。1由教材(王化祥主編)表2-3可查P-Si的縱向壓阻系數(shù) -11m2/N;11橫向壓阻系數(shù)12
=-1.1×10-11m2/N;剪切壓阻系數(shù)
-11m2/N。44[100]晶向l ,m11 1
n0,故其[100]晶向應(yīng)變靈敏度系數(shù)1K E=6.6×10-11×187×109=12.3100 11( 2)212[111]晶向lm( 2)2121 1 1
1 ,故 6.62(6.61.1138.1)[(l9.351010m2/N
31)2( )2( )2( )2( )2( )2]1011313131311313131313靈敏度系數(shù)[思考題與習(xí)題]
K E9l什么是金屬材料的電阻應(yīng)變效應(yīng)?什么是半導(dǎo)體材料的壓阻應(yīng)變效應(yīng)?金屬電阻應(yīng)變片半導(dǎo)應(yīng)變片的工作原理有何區(qū)分?各有何優(yōu)缺點(diǎn)?什么是金屬應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)?承受應(yīng)變片進(jìn)展測(cè)量時(shí)為什么要進(jìn)展溫度補(bǔ)償?常用溫補(bǔ)方法有哪些?補(bǔ)償?直流電橋是如何分類的?各類橋路輸出電壓與電橋靈敏度關(guān)系如何?有一金屬應(yīng)變片,其靈敏度K=2.5,R=120Ω1200,則2-8D=10cm,E=50tK=2,R=120Ω,問(wèn)電阻變化多少?4式問(wèn);⑴42.1U=4V,RRRR=120Ω,試求:1 2 3 4RR的增量為△R=1.2Ω時(shí),電橋輸出電1 1 1U0RR1
都是應(yīng)變片,且批號(hào)一樣,感受應(yīng)變極性和大小都一樣,其余為外接電阻,電橋輸出電壓U0
為多少?|△R|=|△R|=1.2Ω,電橋輸出1 2 1 2UR1FR1FR1R2U0R4R3U
為多少?圖2.1直流應(yīng)變電橋 圖2.2等強(qiáng)度梁測(cè)力系統(tǒng)如圖2.2R1
K=2.05,未受應(yīng)變時(shí),R=120ΩFε=8×10-4,求1⑴應(yīng)變片電阻變化量△R和電阻相對(duì)變化量△R/R1 1
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