GB∕T 43773-2024 電子氣體 羰基硫（正式版）

電子氣體羰基硫2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：福建久策氣體股份有限公司、河南心連心深冷能源股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、華測檢測認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、北京高麥克儀器科技有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、三峽大學(xué)、湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司、蘭州裕隆氣體股份有限公司、杭氧集團(tuán)股份有限公司、衢州杭氧特種氣體有限公司、液化空氣(中國)投資有限公司、浙江省計(jì)量與標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會、浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院、浙江中硝康鵬化學(xué)有限公司、玉門大洋天慶石化有限責(zé)任公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、中國計(jì)量科學(xué)研究院、上海凡偉儀器設(shè)備有限公司、浙江省化工研究院有限公司、沈陽中復(fù)科金壓力容器有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、大連光明化學(xué)工業(yè)氣體質(zhì)量監(jiān)測中心有限公司、哈爾濱黎明氣體有限公司、中國測試技術(shù)研究院化學(xué)研究所、空氣化工產(chǎn)品(中國)投資有限公司、中國計(jì)量測試學(xué)會、北京睿信捷環(huán)保科技有限公司、浙江西亞特電子材料有限公司、浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司、和立氣體(上海)有限公司、昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司、眉山麥克在線設(shè)備股份有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司。唐霞梅。1電子氣體羰基硫要求。本文件適用于一氧化碳與硫?yàn)樵虾铣芍苽涞碾娮佑敏驶颉?規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T5099(所有部分)鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB15603危險(xiǎn)化學(xué)品倉庫儲存通則GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T33145大容積鋼制無縫氣瓶GB/T43306氣體分析采樣導(dǎo)則TSGR0005移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4技術(shù)要求羰基硫的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1技術(shù)要求指標(biāo)羰基硫(COS)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10-2氫(H?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-62表1技術(shù)要求(續(xù))指標(biāo)(氧+氬)(O?+Ar)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-氮(N?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6一氧化碳(CO)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6二氧化碳(CO?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6甲烷(CH?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6硫化氫(H?S)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6二氧化硫(SO?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6二硫化碳(CS?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6水分(H?O)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6羰基硫的采樣應(yīng)符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗(yàn)方法雜質(zhì)總含量按公式(1)計(jì)算：xn=x?+x?+xg+x?+xs+x?+x?+xg+xg+xin…(1)x?——?dú)浜?摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;x?——(氧+氬)含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-°;x氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xs——二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10~?;xs——甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;x;——硫化氫含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xg——二氧化硫含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xg——二硫化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;x?0——水分含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-°;xu——雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6。羰基硫純度按公式(2)計(jì)算：3式中：x——羰基硫純度(摩爾分?jǐn)?shù)),10-2。量?？刹捎闷渌刃У姆椒y定。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。長約0.6m,內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。色譜柱I:長約2m,內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或色譜柱Ⅱ:長約4m,內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(二乙烯基苯),或其他等效色譜柱。該柱用于測定二氧化碳含量。標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量與被測組分含量相近，平衡氣為氦氣。按GB/T28726規(guī)定的方法測定羰基硫中硫化氫、二氧化硫、二硫化碳含量。可采用其他等效的方法測定。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。色譜柱I:長約1.2m,內(nèi)徑約1mm的內(nèi)涂層不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測定二氧化硫、二硫化碳色譜柱Ⅱ:長約2m,內(nèi)徑約1mm的內(nèi)涂層不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測定硫化氫含量。標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量與被測組分含量相近，平衡氣為氦氣。參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.4水分含量的測定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。4可采用其他等效的方法測定。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。6.5尾氣處理測定時(shí)，應(yīng)有羰基硫尾氣處理措施，以防止羰基硫?qū)Νh(huán)境的污染。7檢驗(yàn)規(guī)則羰基硫產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果均符合表1的技術(shù)要求時(shí)，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志8.1.1羰基硫出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期或批號，以及保質(zhì)期；——本文件編號及羰基硫的純度。8.1.2包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體羰基硫”字樣。8.1.3羰基硫的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，包裝標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2.1包裝羰基硫的氣瓶應(yīng)符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T33145的規(guī)定。8.2.2羰基硫的充裝及貯運(yùn)應(yīng)符合GB/T14193、TSGR0005、TSG23的規(guī)定。充裝及貯運(yùn)的安全管理要求見《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例《特種設(shè)備安全監(jiān)察條例》。8.2.3羰基硫的最大充裝量按公式(3)計(jì)算：式中：m——?dú)馄績?nèi)羰基硫的質(zhì)量，單位為千克(kg);F?——羰基硫的充裝系數(shù)，F(xiàn),=0.84kg/L;V——?dú)馄繕?biāo)明的內(nèi)容積，單位為升(L)。8.2.4宜使用進(jìn)行內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應(yīng)滿足本文件的要求。瓶閥出氣口連接方式宜使8.2.5應(yīng)防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6用戶返回的羰基硫鋼瓶中的殘液量不宜低于充裝量的5%。8.2.7羰基硫產(chǎn)品的貯存應(yīng)符合GB15603的規(guī)定，存放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房內(nèi)，不應(yīng)暴曬，遠(yuǎn)離熱源。羰基硫的安全信息見附錄B。5(資料性)氣路流程示意圖測定羰基硫中硫化氫、二氧化硫、二硫化碳含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.1。標(biāo)引序號說明：1——載氣進(jìn)口；2——載氣過濾器；3——氦氣純化器；5—-十通閥；6——樣品氣進(jìn)口；7——樣品過濾器；8——流量計(jì)；9——樣品氣出口；10——氦離子檢測器；11——尾氣出口；12——六通閥；13——色譜柱I;14——放空針閥；15——色譜柱Ⅱ。圖A.1氣路流程示意圖6(資料性)安全信息B.1基本信息B.1.2相對分子質(zhì)量：60.070(按2018年國際相對原子質(zhì)量計(jì)算)。1.178(沸點(diǎn)溫度下),相對蒸氣密度2.07(干燥空氣為1),飽和蒸氣壓1.1MPa(20102.0℃,臨界壓力5.88MPa。B.1.5毒性：半數(shù)致死濃度：大鼠吸入LCso?hp=850mL/m3?！?,臨界溫度B.2危險(xiǎn)性說明B.2.2與羰基硫空氣混合形成爆炸性混合物，遇明火、高熱引起燃燒爆炸。燃燒時(shí)生成有毒的二氧化硫氣體，與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。遇水或水蒸氣反應(yīng)放出有毒和易燃的氣體。B.3操作注意事項(xiàng)B.3.2確保地面區(qū)域有足夠的通風(fēng)。B.3.3保護(hù)管道和下水道免受氣體的滲透。B.3.4所有管路系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)備接地。所有電氣設(shè)備是防爆的。B.3.5在氣瓶和調(diào)壓閥之間安裝一個(gè)交叉吹掃總成。在引入氣體之前和停止供應(yīng)系統(tǒng)使用時(shí)，用惰性氣體或氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)。B.3.6使用前檢查整個(gè)氣體系統(tǒng)是否有泄漏，使用后定期檢查。B.3.7操作人員經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，熟練掌握操作技能，具備應(yīng)急處置知識。B.3.8遠(yuǎn)離熱源、熱表面、火花、明火和其他點(diǎn)火源。工作場所不吸煙。不使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。B.3.9操作人員佩戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡，穿防靜電工作服，戴橡膠手套。工作場所羰基硫含量超標(biāo)時(shí)，操作人員佩戴過濾式防毒面具?？赡芙佑|液體時(shí)，防止凍傷。B.4緊急情況應(yīng)對措施B.4.2發(fā)生小火火災(zāi)時(shí)，滅火劑用干粉，二氧化碳，霧狀水或抗溶性泡沫。發(fā)生大火火災(zāi)時(shí)選用水霧或抗醇泡沫進(jìn)行滅火。涉及儲罐的火災(zāi)時(shí)，則用大量的水冷卻容器，直到大火撲滅，不將水直接澆在泄漏源或安全設(shè)備上。當(dāng)排氣安全裝置的聲音上升或儲罐變色時(shí)，立即撤離。始終遠(yuǎn)離被火吞噬的儲罐。B.4.3如果誤吸入羰基硫，將誤吸人員轉(zhuǎn)移到空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸停止，立即進(jìn)行人7B.4.6如果燒傷，立即用冷水冷卻患處的皮膚，時(shí)間越長越好。如果衣服粘在皮膚上，不脫掉衣服，并就醫(yī)。B.4.7保持患者冷靜和溫暖。對患者進(jìn)行觀察，就醫(yī)。B.5泄漏處理處置B.5.1消除附近區(qū)域的所有點(diǎn)火源。B.5.2搬運(yùn)產(chǎn)品時(shí)使用的所有設(shè)備接地。B.5.3不接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。B.5.5不將水直接澆在溢出物或泄漏源上。B.5.6使用水霧減少蒸汽或轉(zhuǎn)移蒸汽云漂移。避免讓水流接觸溢出的物質(zhì)。B.5.9隔離區(qū)域，直到氣體分散。B.6存儲注意事項(xiàng)B.6.2滿瓶和空瓶分開存放。B.6.4用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。設(shè)施設(shè)備做好防雷、防靜電。嚴(yán)加密閉，防止泄漏，工作場所提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)。B.6.6存儲區(qū)具備泄漏應(yīng)急處理裝置設(shè)備或設(shè)施。B.7廢棄處置說明B.7.1廢棄化學(xué)品可用焚