微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率試驗(yàn)方法：閃光法

1微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率試驗(yàn)方法閃光法本文件規(guī)定了第三代半導(dǎo)體器件封裝用微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率的測(cè)封裝燒結(jié)材料在不含被連接件、連接基體的情況下，單熱擴(kuò)散系數(shù)thermaldiffusioncoe差示掃描量熱法differentialscanningcalo24.1熱導(dǎo)率值的計(jì)算 λ——導(dǎo)熱系數(shù)，單位為瓦每米開(kāi)爾文W/（mkρ——體積密度，單位為千克每立方米kg/m3。4.2熱擴(kuò)散系統(tǒng)的測(cè)量測(cè)試樣品的熱擴(kuò)散系數(shù)使用閃光法測(cè)量，如圖1所示，測(cè)試樣品在測(cè)試設(shè)備中受高強(qiáng)度短時(shí)能量脈和背面溫度達(dá)到最大值的一半所需時(shí)間（t1/2）計(jì)算出試樣的熱擴(kuò)散系數(shù)，具體計(jì)算公式a=k1/2×H2/t1/2 H——樣品厚度；t1/2——樣品背面溫度達(dá)到最大值的一k1/2——樣品背面溫度達(dá)到最大值的一半條件下對(duì)應(yīng)的經(jīng)驗(yàn)常數(shù)，取值0.13879。3主要成分為α-Al2O3）在相同測(cè)試條件下進(jìn)行升溫掃描，與此同時(shí)還需進(jìn)行一次相同條件的空白測(cè)試。cpsample=Dle×d×cstandard······································(3)Dscstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)DSC曲線特征值；Dscbase——空白DSC曲線特征值；msample——待測(cè)樣品質(zhì)量（差示掃描量熱儀可軟件直接讀數(shù)）；mstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)質(zhì)量（差示掃描量熱儀可軟件直接讀數(shù)）；cstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)比熱容（查文獻(xiàn)或咨詢標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)提供供應(yīng)商）。4.4體積密度的測(cè)量(p0?pair)+pair p——待測(cè)固體密度；A——待測(cè)固體在空氣中的質(zhì)量；B——待測(cè)固體在液體中的質(zhì)量；p0——測(cè)試用液體密度；pair——空氣密度，取值0.0012g/cm3。45.2熱擴(kuò)撒系數(shù)測(cè)試儀器、信號(hào)采集處理器、數(shù)據(jù)記錄系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)等構(gòu)成。閃光源可以是激光脈沖、閃光燈，或者其他可宜的價(jià)格和更低的維護(hù)費(fèi)用。根據(jù)GB/T22588-2008在激光與試樣之間使用光纖可以很好的勻性（高達(dá)95。因?yàn)檫@種方法幾乎不產(chǎn)生邊緣效應(yīng)，可比自然激光束有更環(huán)境控制腔室是用于樣品在不同溫度、不同氣氛條件下測(cè)試。環(huán)境控制腔室還應(yīng)設(shè)置特定位置窗樣品背面溫度的測(cè)量和采集可以使用接觸式熱電偶，推薦使用非接觸式紅外探測(cè)器。根據(jù)行業(yè)經(jīng)5.3尺寸測(cè)量?jī)x器5.4差式掃描量熱儀5密度組件一般應(yīng)包括固定支架、液體盛裝燒杯、固體掛籃、所有的窗材表面不能覆蓋有會(huì)吸收能量的沉積物以避免信號(hào)強(qiáng)度的損失和光源對(duì)試樣的不均勻加熱。更多關(guān)于避免測(cè)試過(guò)程中干擾的信息，可參考GB/T22588熱擴(kuò)散系數(shù)、比熱容、體積密度測(cè)量需使用體積密度測(cè)量對(duì)測(cè)試樣品外形無(wú)要求，而比熱容測(cè)量使用的試樣體積和質(zhì)量很?。ㄍǔ?0mg左~6mm。此處推薦使用直徑為12.7mm，試樣的厚度應(yīng)不小于1mm的樣品尺寸。其中直徑的選值原因如下1）首先，主要參考了現(xiàn)有通用閃光法熱擴(kuò)散系數(shù)測(cè)試設(shè)備對(duì)尺寸的大于10mm，因此采用12.7mm及以上直徑樣品，可以使得測(cè)試樣品能同時(shí)滿足兩個(gè)參數(shù)測(cè)試的目的；6使用樣品制備模具將微納米金屬膏體通過(guò)燒結(jié)工9.2體積密度測(cè)試9.2.2空氣內(nèi)測(cè)量：測(cè)量待測(cè)樣品在空氣的質(zhì)量，記錄稱(chēng)量結(jié)果A。9.2.3液體內(nèi)測(cè)量：在燒杯內(nèi)盛裝適量已知密度的參考液體（通常是水或無(wú)水乙醇b）放置盛9.3熱擴(kuò)散系數(shù)測(cè)試軸、樣品背面與溫度探測(cè)器同軸b）確保遮光圈、探測(cè)器、激光脈沖等位置正確c）確保腔外安全鎖正常鎖閉，以避免激光外漏d）如需要，通入惰性氣體或抽真空e）確保溫度穩(wěn)定性，出，樣品收到脈沖照射升溫，監(jiān)控樣品背面溫升曲線e）測(cè)定樣品環(huán)境溫度f(wàn)）采集基線和瞬79.3.3計(jì)算a）確定基線和最高溫升，得出溫度變化ΔTmaxb）再確定從起始脈沖開(kāi)始到