固態(tài)微波功率器件直流參數(shù)測試儀校準規(guī)范

JJF(電子)XXXX─XXXX固態(tài)微波功率器件直流參數(shù)測試儀校準規(guī)范CalibrationSpecificationofDC-parameterTesterforSolid-stateMicrowavePowerDevice（報批稿）××××-××-××發(fā)布××××-××-××實施CalibrationSpecificationofDC-parameterTesterforSolid-stateMicrowavePowerDevice歸口單位：中國電子技術(shù)標準化研究院主要起草單位：中國電子技術(shù)標準化研究院參加起草單位：深圳賽西信息技術(shù)有限公司北京振興計量測試研究所本規(guī)范技術(shù)條文委托起草單位負責解釋本規(guī)范主要起草人：邢榮欣（中國電子技術(shù)標準化研究院）褚楚（中國電子技術(shù)標準化研究院）參加起草人：吳永明（深圳賽西信息技術(shù)有限公司）李宗昆（北京振興計量測試研究所）李道政（中國電子技術(shù)標準化研究院）Ⅰ 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 3 3 3 4 4 5 6 7 9 Ⅱ1本規(guī)范適用于柵極電壓±(0.1~20)V、漏極電壓≤3000V、漏極電流≤30A、漏電流(100nA～1mA)的固態(tài)微波功率器件直流參數(shù)測試儀的校準，其他測量范圍的固態(tài)微波源和漏電流測量單元組成，可測量的直流參數(shù)包括柵源極夾斷電壓2直流電壓測量范圍：0.1V～1000V；最大允許誤差：±（4.3×10-6～1.4×10-5）），±(>0.1mA～0.3mA）1+++2+++3+++4+++5+++6+++5.1.1被校固態(tài)微波功率器件直流參數(shù)測試儀的產(chǎn)品名稱、制造廠家等均應(yīng)有明確標記，結(jié)構(gòu)完好，不應(yīng)有影響正常工作的機械碰傷及接觸不良的現(xiàn)象，并記錄于附錄A5.1.2開啟固態(tài)微波功率器件直流參數(shù)測試儀，并按規(guī)定預(yù)熱。檢查被校固態(tài)微波功率3a）將被校測試儀的柵極雙極性電壓源輸出端與數(shù)字多用表的輸入端相連，如圖1a）對于≤1000V的漏極電壓源，將被校V4），a）漏流測量單元為加壓測量方式，即采用柵極電壓源施加電壓，利用電流測量單5e）啟動漏流測量功能，讀取被校系統(tǒng)的漏電流測量值IGSS和數(shù)字電壓表的電壓測b）被校系統(tǒng)設(shè)置為漏極電流測量和輸出狀態(tài)，在被校系統(tǒng)漏極電流測量范圍內(nèi)選取IDS校準點，至少應(yīng)包含最大值、最小值和中間典型電）；），6g）進行校準的日期，如果與校準結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)說明被校對象的接7附錄A原始記錄格式測量不確定度k=2測量不確定度k=2測量不確定度k=2測量不確定度k=289附錄B校準證書內(nèi)頁格式測量不確定度k=2(V)VDS測量不確定度k=2測量不確定度k=2測量不確定度k=2測量不確定度k=2測量不確定度評定示例C.1柵極雙極性電壓參數(shù)校準C.1.1測量模型VC.1.2標準不確定度評定C.1.2.1數(shù)字多用表電壓測量不準引入的不確定度分量uB1 度為0.01%，可認為在該區(qū)間內(nèi)服從C.1.2.2數(shù)字多用表讀數(shù)分辨率引入的不確定度分量uB2C.1.2.3測量重復(fù)性引入的測量不確定度分量uA測量重復(fù)性等隨機因素引入的不確定度分量按A量，測量次數(shù)n=10，重復(fù)性測試數(shù)據(jù)見下表。根據(jù)下式，則uA1為：123456789xSn(x)/xkuB1 J3uB2 J3uA1//由測量重復(fù)性和數(shù)字多用表讀數(shù)分辨率引入的測量不確定度分量，取大者作為不確定度分量參與合成，即uA1=0.0026%。不確定度分量uA1和uB1獨立不相關(guān)，則合成標準不確定度可計算C.1.4擴展不確定度取值k=2，根據(jù)Urel=uc×k，則擴展不確定度為：0.014%，k=2。C.2漏極電流源輸出電流參數(shù)校準進行測量不確定度的評定，此時標準電阻為1Ω,數(shù)字多用表電壓讀數(shù)為C.2.1測量模型C.2.2標準不確定度評定C.2.2.1數(shù)字多用表電壓測量不準引入的不確定度分量uB1 UB1=kVuVB1=0.00006AC.2.2.2標準電阻阻值不準引入的不確定度分量uB2 UB2=kRuRB2=0.0012AC.2.2.3測量重復(fù)性引入的測量不確定度分量uA測量重復(fù)性等隨機因素引入的不確定度分量按A量，測量次數(shù)n=10，重復(fù)性測試數(shù)據(jù)見下表。根據(jù)下式，則uA1為：123456789xSn(x)/xkuB1 J3uB2J3uA1//不確定度分量uA