管式PECVD初步講解

管式PECVD初步講解南京華伯儀器科技有限公司July30,2024目錄一.PECVD技術(shù)二.管式PECVD基本原理三.管式PECVD基本組成電氣控制系統(tǒng)加熱系統(tǒng)冷卻系統(tǒng)射頻系統(tǒng)真空系統(tǒng)氣路系統(tǒng)石墨舟加載系統(tǒng)July30,20242華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)July30,20243華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)一.PECVD技術(shù)PECVD=PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition即“等離子增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積”，是一種化學(xué)氣相沉積，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。

PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

July30,20244華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)What’sPlasma?什么是等離子體？地球上，物質(zhì)有三態(tài)，即：固，液，氣。其共同點(diǎn)是由原子或分子組成，即基本單元是原子和分子，且為電中性。等離子體：氣體在一定條件下受到高能激發(fā)，發(fā)生電離，部分外層電子脫離原子核，形成電子、正離子和中性粒子混合組成的一種形態(tài)，這種形態(tài)就稱(chēng)為等離子態(tài)，即第四態(tài)。等離子體從宏觀來(lái)說(shuō)也是電中性，但是在局部可以為非電中性。一.PECVD技術(shù)July30,20245華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)PECVD技術(shù)原理:利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。PECVD方法區(qū)別于其它CVD方法的特點(diǎn)在于等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過(guò)程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過(guò)程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，因而顯著降低CVD薄膜沉積的溫度范圍，使得原來(lái)需要在高溫下才能進(jìn)行的CVD過(guò)程得以在低溫實(shí)現(xiàn)。一.PECVD技術(shù)July30,20246華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)特點(diǎn)：

PECVD的一個(gè)基本特征是實(shí)現(xiàn)了薄膜沉積工藝的低溫化（<450℃）。因此帶來(lái)的好處：節(jié)省能源，降低成本提高產(chǎn)能減少了高溫導(dǎo)致的硅片中少子壽命衰減一.PECVD技術(shù)July30,20247華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)其它方法的沉積溫度：APCVD—常壓CVD，700-1000℃LPCVD—低壓CVD,~750℃,~0.1mbar對(duì)比

PECVD—300-450℃，~0.1mbar一.PECVD技術(shù)July30,20248華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)二.管式PECVD基本原理July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)9二.管式PECVD基本原理July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)10三.管式PECVD基本組成1.電氣控制系統(tǒng)Tube1Tube2Tube3Tube4Tube1Tube2Tube3Tube4July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)11三.管式PECVD基本組成2.加熱系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)12三.管式PECVD基本組成3.冷卻系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)13三.管式PECVD基本組成4.射頻系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)14三.管式PECVD基本組成5.真空系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)15三.管式PECVD基本組成5.真空系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)部培訓(xùn)16三.管式PECVD基本組成6.氣路系統(tǒng)July30,2024華伯儀器科技有限公司工程部?jī)?nèi)