SJ-T 11820-2022 半導體分立器件直流參數測試設備技術要求和測量方法

I1本標準規(guī)定了半導體分立器件直流參數測試設備(以下簡稱“分立器件測試設備”)的術語和定義、技術要求、測量方法。本標準適用于直流電壓輸出和直流電壓測量范圃不超過0.01V~5000V,直流電流輸出和直流電流測量范圍不超過1nA~10A,脈沖里流輸出和脈沖電流制范圍不超過10A~1200A的分立器件測試設備。2規(guī)范性引用文件本文件沒有規(guī)成性引用文件3術語和定義下列材語知是義適用于文件直流參數、DCparameters在規(guī)定條件下表征半導體分立器件直流或脈沖電氣特性的參數。4技術要求4.1外觀要求分立器件測試設備外表不應有劃傷、玷污等痕跡。分立器件測試設備外露件不能有影響工作性能的機械損害或脫落。分立器件測試設備面板不應有影響讀數的缺陷，機殼或銘牌上應標有產品名稱、型號規(guī)則、出廠編號、生產廠家或商標標志。分立器件測試設備開關、按鍵應靈活可靠，接插件接觸應保持良好。分立器件測試設備高壓和大電流端應有明顯標志。分立器件測試設備供電電源標志應正確無誤。4.2.1輸出功能分立器件測試設備輸出功能應包括直流電壓輸出、直流電流輸出、脈沖電流輸出等的一種或多種。4.2.2測量功能2表1電氣性能技術要求電氣性能1按4.3.3.12345678——濕度：(25～75)%RH;測量范圍：±(1～40)V。35.2.4脈沖分流器5.2.5電阻箱阻值范圍：0.1Ω~10GΩ。5.2.6高壓表直流電壓測量范圍：(1000～5000)V。5.2.7校驗件最大允許誤差：±5%。重復性優(yōu)于0.3%。年穩(wěn)定性優(yōu)于0.3%。5.3測量方法5.3.1外觀測量方法a)按圖1連接測量系統，當分立器件測試設備直流電壓不大于1000V時使用數字多用表，當分立器件測試設備直流電壓大于1000V時使用高壓表；c)設置數字多用表或高壓表工作于直流電壓加壓測流模式的參數，直流電壓輸出設置為V,讀取數字多用表測量值加壓測流模式的參數，直流電壓輸出設置為V,讀取數字多用表測量值V?！獢底侄嘤帽?或高壓表)直流電壓測量值，單位為伏特(V);Y?——分立器件測試設備直流電壓輸出設置值，單位為伏特(V)。e)記錄直流電壓輸出相對誤差8v為直流電壓輸出誤差測量結果；4a)按圖2連接測量系統，當分立器件測試設備直流電壓不大于1000V時使用數字多用表，當分立器件測試設備直流電壓大于1000V時使用高壓表；nL.O-nL.O-c)根據分立器件測試設備帶載能力選擇電陽箱阻值，設置數字多用表(或高壓表)工作于直流表(或高壓表)測量值or,讀取分立器件測試設備直流壓測量值為V?;d)根據式(2)計算真流電壓測量誤差δvg;Vor數宇多用表(或高壓表)直流電壓測量值，單位為伏特(V:V?女分重器件試設備直流電壓團讀值，單位為伏特(V)。e)記錄重流電壓測量相對誤差δw為直流電壓測量誤差測結果。5.3.3.3直流電流輸出誤差立c)設置數字多用表工作于直流電流測量功能，選擇分立器件測試設備測試參數為采用加流測壓模式的參數，直流電流輸出設置為1,讀取數字多用農測量值Ld)根據式(3)計算直流電流輸出誤差L分立器件測試設備直流電流輸出設5.3.3.4直流電流測量誤差a)按圖4連接測量系統；5圖4直流電流測量測量框圖選擇分立器件測試設備測試參數為采用加壓測流模式的參數，根據分立力選擇電阻箱電阻值，讀取數字多用表測量值loe,分立IL?——分立器件測試設備直流電流測量值，單位為安培(A)。f)選取其他測量點，重復c)到e)。5.3.3.5脈沖電流輸出誤差a)脈沖電流輸出測量點應均勻分布在所選定的量程范圍內，不少于3個測量點，至少應包括量分立器件分立器件oo選擇分立器件測試設備測試參數為采用加流(脈沖電流)測壓模式的參數，啟動測量；d)記脈沖電流輸出設置值為Ip,讀取脈沖專用數字化儀脈沖電流測量值Iop,根據式(5)計算脈Iop——脈沖專用數字化儀脈沖電流測量值，單位為安培(A);Ip——分立器件測試設備脈沖電流輸出設置值，單位為安培(A)。5.3.3.6脈沖電流測量誤差a)脈沖電流測量測量點應均勻分布在所選定的量程范圍內，不少于3個測量點，至少應包括量6b)根據脈沖電流測量測量點幅度與脈沖分流器電阻值乘積應位于脈沖專用數字化儀測量范圍內，根據測量點選擇合適的脈沖分流器，按圖6連接測量系統；根據測量點選擇合適的脈沖分流器，按圖6連接測量系統；脈沖圖6脈沖電流測量測量框圖c)設置脈沖專用數字化儀工作于單次脈沖電流幅值測量，設置量程覆蓋測量點，采樣率為1MSa/s,選擇分立器件測試設備測試參數為采用加壓測流模式的參數，啟動測量；d)讀取脈沖專用數字化儀脈沖電流測量值分產器件測試設備脈沖電流顯示值為Ip,根據式IopR十途專用數字化儀脈沖電流測量值，單位為安增A);Ip分立器件測試設備脈沖電流顯示值，單位為安(A)。e)記錄脈沖電流測量相對誤δipk為脈沖電流測量誤差測量結果；f)選取其他測量點，重復b)到e)。5.3.3.7直流電阻誤差測量步驟如下：a)測量點應覆蓋分立器件測試設備所配備自校準盒全部標能電阻阻值；b)按圖連接測量系統，測量點應覆蓋目校準盒給出標準電阻值，當測量點≤1okp推薦使用四線連接線連接，其余測量點使用兩線圖7直流電阻測量框圖c)根據連線設置數字多用表工作于直流電阻測量兩線或四線功能記分立器件測試設備自校準盒直流電阻標稱值為A。讀取數字多用表面流電阻測量值R;d)根據式(7)計算直流電阻誤差δn:Ro數字多用表直流電阻測量值，單位為歐姆(Ω);R分立器件測試設備自