SilvacoTCAD交互式工具的界面及基本操作

SilvacoTCAD交互式工具的界面及基本操作SilvacoTCAD框架，交互式工具的界面及基本操作Page

3主要內(nèi)容第一部分SilvacoTCAD框架第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作Page

41SilvacoTCAD框架第一部分SilvacoTCAD框架第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作1.1SilvacoTCAD框架ProcessSimulation3D-VICTORYPROCESS，VICTORYCE2D-ATHENA，SSuprem4，MCImplant/Deposit/Etch，Elite，Optolith；1D-ATHENA1D，SSuprem3；DeviceSimulation3D-VICTORYDEVICE，Device3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D，TFT3D，Magnetic3D，Thermal3D，MixedMode3D2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MCDevice，Giga，MixedMode，Quantum，F(xiàn)erro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，OrganicDisplay，OrganicSolar，Noise，Mercury；InteractiveToolsDeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D；VirtualWaferFabPage

51.2SilvacoTCAD的主要交互工具集成環(huán)境DeckBuild仿真控制進(jìn)行仿真語法輸入和編輯；仿真的實時輸出；各仿真器通過DeckBuild調(diào)用；顯示工具Tonyplot顯示器件結(jié)構(gòu)顯示特性曲線導(dǎo)出數(shù)據(jù)Page

61.3SilvacoTCAD啟動方式快捷方式文件夾路徑X:\sedatools\shortcuts或啟動>所有程序>S.EDATools>DeckBuildPage

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82DeckBuild界面及主要操作第一部分第二部分SilvacoTCAD框架第三部分Tonyplot界面及主要操作DeckBuild界面及主要操作2.1DeckBuild界面Page

9仿真輸入實時輸出菜單欄控制條2.2.1DeckBuild菜單欄——File打開/保存輸入文件，保存實時輸出信息Page

10輸入程序的編輯，設(shè)置DeckBuild特性(保存歷史文件、工作路徑，默認(rèn)仿真器、實時輸出…)2.2.2DeckBuild菜單欄——EditPage

11快速提?。ú牧虾穸?、結(jié)深、方塊電阻…），顯示當(dāng)前結(jié)構(gòu)，工藝優(yōu)化2.2.3DeckBuild菜單欄——CommandPage

122.2.4DeckBuild菜單欄——Execution進(jìn)度控制（運(yùn)行、結(jié)束、暫停、設(shè)置“斷點(diǎn)”、運(yùn)行到“斷點(diǎn)”暫停、初始化、退出、強(qiáng)制結(jié)束）Page

13導(dǎo)入示例2.2.5DeckBuild菜單欄——HelpPage

142.3DeckBuild進(jìn)度控制 Run（Ctrl+R）：從上致下執(zhí)行到“斷點(diǎn)”（即“Stopatline”的“l(fā)ine”）時結(jié)束； Stop（Shift+F5）：執(zhí)行完當(dāng)前行就停止； Next（F10）：運(yùn)行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止運(yùn)行的行開始往下運(yùn)行； Initialize：從仿真歷史初始化； Kill（Ctrl+K）：強(qiáng)制立即結(jié)束； Line（Ctrl+L）：重置當(dāng)前行為選擇的行； Stopatline（Ctrl+B）：設(shè)置斷點(diǎn)。Page

15仿真控制2.4DeckBuild輸入仿真程序輸入Page

16goathenalinexloc=0spac=0.1linexloc=1spac=0.1lineyloc=0spac=0.02lineyloc=10spac=0.2initc.phos=2e13oreit=111two.dtonyplot2.5DeckBuild實時輸出程序運(yùn)行時實時顯示運(yùn)行進(jìn)度和結(jié)果Page

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183Tonyplot界面及主要操作第一部分第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作SilvacoTCAD框架3Tonyplot界面顯示結(jié)構(gòu)和仿真曲線Page

193.1.1Tonyplot－Plot菜單Display：顯示方式設(shè)置Page

203.1.2Tonyplot－Plot>DisplayPage

21Mesh：顯示結(jié)構(gòu)中的網(wǎng)格分布Edges：顯示結(jié)構(gòu)的邊界Regions：顯示材料區(qū)域Contours：顯示器件結(jié)構(gòu)內(nèi)部的物理量Vectors：顯示器件內(nèi)部的矢量信息Light：顯示光線在器件內(nèi)部的特性Junction：顯示器件結(jié)構(gòu)中結(jié)的邊界Electrodes：顯示電極的名稱3D：顯示三維信息Lines：按照顏色來顯示MeshElectrodesEdgesRegionsJunctionConrours3.2.1Tonyplot－Tools>Cutline在二維結(jié)構(gòu)中劃“線”（直線或折線）以顯示一維信息Page

223.2.1Tonyplot－Tools>CutlinePage

233.2.2Tonyplot－Tools>Ruler測量兩點(diǎn)的距離、連線和水平線的夾角angle以及斜率Page

243.2.3Tonyplot－Tools>Integrate對一維曲線進(jìn)行積分Cutline得到一維分布或器件仿真得到的特性曲線Pa