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編制說明《合成低羥基光學石英玻璃》任務來源及計劃要求經(jīng)中國材料與試驗團體標準委員會(CSTM標準委員會)光電材料及產(chǎn)品領域委員會審查,CSTM標準委員會批準CSTM標準《合成低羥基光學石英玻璃》由湖北菲利華石英玻璃股份有限公司牽頭,項目公告文件號:材試標字[2020]177號,歸口管理委員會為CSTM/FC60、TC01光電材料及產(chǎn)品領域委員會光學玻璃標準化技術委員會,標準計劃編號為CSTMLX600100492-2020。編制說明編制原則本標準符合國家有關法規(guī)和政策,貫徹貫徹執(zhí)行國家標準、國家軍用標準和行業(yè)標準的有關規(guī)定,充分吸收適用于本技術要求的相關國家標準、國家軍用標準的內(nèi)容,與相關標準協(xié)調(diào)一致。本標準的構成、內(nèi)容、文字的表述、條文的編排、文件的引用等符合GB/T1.1—2009給出的規(guī)則要求。編制出的標準應具有先進性、適用性、科學性和可操作性。工作分工本標準由湖北菲利華石英玻璃股份有限公司牽頭,上海光學精密機械研究所為聯(lián)合承研單位。具體分工如下:1)湖北菲利華石英玻璃股份有限公司負責標準項目研制申請報告,標準的起草及編制;2)寧波大學、中國科學院西安光學精密機械研究所、成都光明光電有限責任公司、中國科學院光電技術研究院、中國建筑材料科學研究院均為標準的制定提供了非常寶貴的指導意見以及產(chǎn)品分析測試方面的幫助。3)寧波大學負責大綱的匯總、征求意見的組織和歸納。自接到標準任務后,根據(jù)寧波大學戴世勛教授的提議,根據(jù)計劃要求成立了由湖北菲利華石英玻璃股份有限公司相關技術人員和標準化人員組成的項目編制組,并編制了標準編制計劃表,按照計劃表開展具體工作。結合中國建筑材料科學研究院在高品質合成石英玻璃領域長期積累的經(jīng)驗及調(diào)研情況進行分析,前期分別在西安和成都召開了兩次標準意見征求會,邀請了寧波大學、中國科學院西安光學精密機械研究所、成都光明光電有限責任公司、中國科學院光電技術研究院等科研和生產(chǎn)單位,結合這些單位的技術專家給出的指導意見,確定了合成低羥基石英玻璃的技術要求和試驗方法,根據(jù)中國建筑材料科學研究院提供的產(chǎn)品檢測結果,編制出了標準草案。標準草案完成后,2019年12月和寧波大學戴世勛教授課題組組織進行了討論,確定了修改原則,并對標準草案進行了修改完善,最終形成標準征求意見稿初稿。2020年上半年,在行業(yè)內(nèi)進行了充分的征求意見,中國建筑材料科學研究總院有限公司、成都光明光電股份有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、武漢理工大學、浙江大學、寧波舜宇紅外技術有限公司等單位給出的意見均表示同意立項并給出了寶貴意見。2020年7月項目編制組提交了征求意見稿,8月3號根據(jù)收到返回的修改意見完成修改后返還,將征求意見稿交中國材料與試驗團體標準委員會光電材料及產(chǎn)品領域委員會(CSTM/FC60),進行審查。2021年1月14日,項目編制組再根據(jù)CSTM新的格式要求進行修改后提交,形成了新的征求意見稿。主要技術內(nèi)容的說明范圍本標準適用于國內(nèi)微電子工業(yè)用超純石英玻璃制品、航天用宇航級光學石英玻璃、高能近紅外激光技術用超純低羥基合成石英玻璃和半導體行業(yè)短波準分子激光光刻領域產(chǎn)品,直徑或對角線尺寸不超過300mm。本標準將主要規(guī)定合成低羥基光學石英玻璃的術語和定義,分類與標記,技術要求,試驗方法,檢測規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存等。主要的技術要求如下:對各種技術指標的測試和檢測方法進行統(tǒng)一規(guī)定,保證技術指標的準確和統(tǒng)一。對檢驗規(guī)則、包裝、運輸、貯存等環(huán)節(jié)進行統(tǒng)一說明和規(guī)定,形成CSTM標準系列。內(nèi)透射比內(nèi)透射比是本標準的核心要點,合成低羥基光學石英玻璃的一個最主要特征就是在大于190nm的紫外波段和2600nm左右的紅外波段具有較高的光譜內(nèi)透射比,也是合成低羥基光學石英玻璃和普通合成石英玻璃的一個主要區(qū)別。根據(jù)GB/T7962.12-2010,內(nèi)透射比定義為通過石英玻璃內(nèi)部終止點與起始點之間的光通量之比,即不包含表面反射損失的內(nèi)部透射比。光學均勻性合成低羥基光學石英玻璃的光學均勻性是本標準的另一個核心要點,合成低羥基光學石英玻璃在激光光刻、國防軍工等高端領域進行應用,均需要其具備非常好的光學均勻性。光學均勻性是光學材料內(nèi)部各部分折射率的不一致性,以材料最大折射率和最小折射率的差值來表示。光學均勻性的測試方法合成光學石英玻璃,當厚度為tmm時,采用斐索平面干涉法進行測量合成光學石英玻璃的光學均勻性。樣品垂直放置在干涉儀的測試光路中,當樣品的折射率分布不均勻時,兩次通過樣品反射回來的光波波前不再是嚴格的平面,而是變成了一個曲面,測量投射波前的P值、V值和PV值,計算出被測玻璃的折射率偏差△n。試驗驗證的情況和結果“中國建材檢驗認證集團股份有限公司”是國內(nèi)建筑材料和建設工程領域極具規(guī)模、綜合性、第三方檢驗認證服務機構,與“石英與特種玻璃研究院”同屬中國建筑材料科學研究總院。而中國科學院上海光學精密機械研究所(簡稱:上海光機所)成立于1964年5月,是我國建立最早、規(guī)模最大的激光科學技術專業(yè)研究所。發(fā)展至今,已形成以探索現(xiàn)代光學重大基礎及應用基礎前沿、發(fā)展大型激光工程技術并開拓激光與光電子高技術應用為重點的綜合性研究所。因此,項目編制組采用中國建材檢驗認證集團股份有限公司和上海光機所的內(nèi)透射比和光學均勻性檢測結果。中科院上海光機所的光學均勻性檢測:圖1上光所的光學均勻性檢測結果(24寸激光平面干涉儀分析)圖2光學非均勻性分布中國建材檢驗認證集團的內(nèi)透射比檢測:圖3合成低羥基石英玻璃的內(nèi)透射比檢測結果(190nm-1500nm)(S-21UV-2101PC紫外、可見、近紅外分光光度計)圖4合成低羥基石英玻璃的內(nèi)透射比檢測結果(2000nm-3400nm)(S-47Spectrum100傅里葉變換紅外光譜儀)以上結果驗證了本標準的提出的光學均勻性和內(nèi)透射比定義上的可行性。采用國際先進標準的情況我國高性能的合成低羥基石英玻璃基本依賴進口。因此國內(nèi)暫沒有合成低羥基石英玻璃的標準。而國際上僅有邁圖,賀利氏,康寧、東曹等有合成低羥基光學石英玻璃。但目前暫無公開的技術標準。其中邁圖牌號為GE-012,賀利氏牌號為Suprasil3001和Suprasil3002,康寧7979IR,東曹ED-C等為低羥基合成光學石英玻璃。因此本標準根據(jù)項目編制組了解的國際龍頭企業(yè)的產(chǎn)品技術水平和檢測指標項目來制訂,未采用國際標準。標準涉及的知識產(chǎn)權情況說明無。與現(xiàn)行法律法規(guī)、標準的關系本標準符合我國目前法律、法規(guī)的規(guī)定。實施標準的要求和措施建議無。修改或廢止有關標準的建議及理由無。標準印刷數(shù)量建議具體發(fā)行量由機關確定。其他需說明的事項無。參考資料清單無

密級:公開CSTM團體標準編制說明(征求意見稿)標準名稱合成低羥基光學石英玻璃主編單位湖北菲利華石英玻璃股份有限公司參編單位寧波大學中國科學院西安光學精密機械研究所成都光明光電有限責任公司

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