數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試 能力驗(yàn)證項(xiàng)目報(bào)告

數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試能力驗(yàn)證項(xiàng)目報(bào)告（計(jì)劃編號(hào)：CNCA-24-15）中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院賽西實(shí)驗(yàn)室 3 4 4 6 8 4.4指定值及不確定度、能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差的計(jì)算 20 21 21 21 21 21 22 23 23 23 23 23 25 26 36 38 “數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試”能力驗(yàn)證項(xiàng)目（CNCA-24-15）是國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局于2024年組織開展的國(guó)家級(jí)能力驗(yàn)證計(jì)劃項(xiàng)目之一。本項(xiàng)目由中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院賽西實(shí)驗(yàn)室（以下簡(jiǎn)稱“賽西實(shí)驗(yàn)室”）負(fù)責(zé)具體實(shí)施。本次能力驗(yàn)證旨在了解檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)在數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)量能力的整體水平，識(shí)別和掌握實(shí)驗(yàn)室間在該項(xiàng)目檢測(cè)方面的差異，加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)領(lǐng)域的能力建設(shè)，是檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)質(zhì)量控制有效的外部手段之一。本次能力驗(yàn)證依據(jù)《檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)能力驗(yàn)證管理辦法》（2023年28043-2019《利用實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)進(jìn)行能力驗(yàn)證的統(tǒng)計(jì)方法》和《市場(chǎng)監(jiān)管總局辦公廳關(guān)于開展2024年國(guó)家級(jí)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)能力驗(yàn)證工作的通知》（市監(jiān)檢測(cè)發(fā)〔2024〕18號(hào)）相關(guān)工作要求實(shí)施。本項(xiàng)目對(duì)國(guó)內(nèi)集成電路檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室在本檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)水平進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和分析，找出實(shí)驗(yàn)室可能存在的導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確的原因，有效提升集成電路產(chǎn)品的檢測(cè)質(zhì)量和水平，有效保障我國(guó)新型工業(yè)化發(fā)展的基座穩(wěn)固。能力驗(yàn)證是檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)質(zhì)量控制的基本元素之一，是判斷和監(jiān)控檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)能力的有效手段，是通過外部措施對(duì)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)內(nèi)部質(zhì)量控制工作的有效補(bǔ)充。能力驗(yàn)證項(xiàng)目的主要用途是評(píng)價(jià)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)檢測(cè)能力，為檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)提供一個(gè)評(píng)估和證明其檢驗(yàn)檢測(cè)數(shù)據(jù)、結(jié)果可靠性的客觀手段。 本次能力驗(yàn)證的結(jié)果客觀反映了我國(guó)數(shù)字集成電路相關(guān)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)能力狀況，給出了測(cè)試結(jié)果的技術(shù)分析并提出了建議，期望幫助相關(guān)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)獲取一定的信息以提高檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的市場(chǎng)監(jiān)管總局對(duì)本次能力驗(yàn)證計(jì)劃具有最終解釋權(quán)，能力驗(yàn)證結(jié)果和報(bào)告內(nèi)容未經(jīng)市場(chǎng)監(jiān)管總局同意不得用于其他目的。對(duì)未按要求參加能力驗(yàn)證及能力驗(yàn)證結(jié)果不滿意的國(guó)家級(jí)資質(zhì)認(rèn)定的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，市場(chǎng)監(jiān)管總局將督促其進(jìn)行整改和驗(yàn)證。2項(xiàng)目概述2.1項(xiàng)目簡(jiǎn)介集成電路構(gòu)建現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵基礎(chǔ)產(chǎn)品，也是保障我國(guó)新型工業(yè)化是否能夠順利發(fā)展的關(guān)鍵要素。目前數(shù)字集成電路產(chǎn)品參數(shù)測(cè)試的能力驗(yàn)證作為有效保障集成電路產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段之一長(zhǎng)期缺失。集成電路測(cè)試結(jié)果受到測(cè)試系統(tǒng)、測(cè)試程序、測(cè)試工裝、測(cè)試人員操作等多個(gè)維度的影響，測(cè)試結(jié)果是否準(zhǔn)確，是否如實(shí)反應(yīng)被測(cè)產(chǎn)品的真實(shí)性能指標(biāo)，對(duì)后續(xù)應(yīng)用集成電路產(chǎn)品的部件和整機(jī)影響至數(shù)字集成電路輸出高電平電壓的測(cè)試是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17574-1998《半導(dǎo)體集成電路數(shù)字集成電路》中的一個(gè)重要測(cè)試項(xiàng)目，具有代表性。本次開展的數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試能力驗(yàn)證，不僅可以識(shí)別數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試實(shí)驗(yàn)室間的差異，促進(jìn)實(shí)驗(yàn)室提升檢測(cè)能力水平和檢測(cè)服務(wù)質(zhì)量，同時(shí)有利于提高我國(guó)相 關(guān)機(jī)構(gòu)集成電路檢測(cè)的整體水平，有效發(fā)揮檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)在解決集成電路產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”關(guān)鍵問題的技術(shù)支撐作用，為我國(guó)新型工業(yè)化高質(zhì)量發(fā)展提供技術(shù)保障。本次能力驗(yàn)證計(jì)劃共有32家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)報(bào)名參加，經(jīng)查詢市場(chǎng)監(jiān)管總局資質(zhì)認(rèn)定管理系統(tǒng)，具備本項(xiàng)目參數(shù)檢測(cè)能力機(jī)構(gòu)共19家，除組織機(jī)構(gòu)外，2家機(jī)構(gòu)因業(yè)務(wù)能力調(diào)整、試驗(yàn)場(chǎng)地搬離原因自愿放棄參加本次能力驗(yàn)證，剩余16家機(jī)構(gòu)均參加本次能力驗(yàn)證計(jì)劃。另有16家自愿報(bào)名參加機(jī)構(gòu)。32家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)均按要求反饋結(jié)果并參與統(tǒng)計(jì)分析。本次能力驗(yàn)證計(jì)劃于2023年11月通過內(nèi)部立項(xiàng)評(píng)審，2024年3月完成樣品均勻性檢驗(yàn)，2024年4月15日在總局網(wǎng)站上公布邀請(qǐng)通知，報(bào)名表的電子版可以在網(wǎng)站下載，報(bào)名工作截止2024年5月17日，全國(guó)共計(jì)32家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)報(bào)名參加；2024年5月完成能力驗(yàn)證樣品的穩(wěn)定性（部分）檢驗(yàn)；2024年6月至7月組織機(jī)構(gòu)分三批以順豐快遞的方式向各參加檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)寄出《能力驗(yàn)證作業(yè)指導(dǎo)書》定收到樣品后的3個(gè)工作日上報(bào)檢測(cè)結(jié)果；截止2024年8月7日對(duì)回收的32家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行了錄入、核對(duì)、統(tǒng)計(jì)分析和結(jié)果評(píng)價(jià)，并編寫《數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試能力驗(yàn)證計(jì) 2.2參加檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)情況本項(xiàng)目要求獲得GB/T17574-1998《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路》或者SJ/T10741-2000《半導(dǎo)體集成電路CMOS電路測(cè)試方法的基本原理》中輸出高電平電壓測(cè)試能力的國(guó)家級(jí)資質(zhì)認(rèn)定檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)必須參加，其他相關(guān)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)可自愿參加。本項(xiàng)目共有32家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)報(bào)名參加，其中16家強(qiáng)制參加機(jī)構(gòu)，占參加機(jī)構(gòu)總數(shù)的50%；16家自愿參加機(jī)構(gòu)，占參加機(jī)構(gòu)總數(shù)的50%。強(qiáng)制和自愿參加的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)占比見圖1。強(qiáng)制參加的16家機(jī)構(gòu)全部具備GB/T17574-1998《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路》的資質(zhì)，其中2家機(jī)構(gòu)同時(shí)具備SJ/T10741-2000《半導(dǎo)體集成電路CMOS電路測(cè)試方法的基本原理》的資質(zhì)。各強(qiáng)制參加機(jī)構(gòu)資質(zhì)情況見表1。 122報(bào)名本次能力驗(yàn)證的機(jī)構(gòu)涉及北京、江蘇、陜西、湖北、四川、安徽、湖南、廣東、上海等14個(gè)省、直轄市的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)。參加機(jī)構(gòu)的地區(qū)分布圖如圖2所示。報(bào)名本次能力驗(yàn)證的機(jī)構(gòu)使用測(cè)試設(shè)備涉及到11個(gè)型號(hào)，其中使用V93000集成電路測(cè)試系統(tǒng)和J750集成電路測(cè)試系統(tǒng)占大多數(shù)，具體數(shù)據(jù)見圖3。其中，使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的機(jī)構(gòu)共8家，占比25%，具體數(shù)據(jù)見圖4。 2.3方案設(shè)計(jì)與實(shí)施本次能力驗(yàn)證方案設(shè)計(jì)遵循《檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)能力驗(yàn)證管理辦法》GJB548C-的2021《微電子器件試驗(yàn)方法和程序》、CNAS-GL003：《能力驗(yàn)證結(jié)果的統(tǒng)計(jì)處理和能力評(píng)價(jià)指南》和《市場(chǎng)監(jiān)管總局辦公廳關(guān)于開展2024年國(guó)家級(jí)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)能力驗(yàn)證工作的通知》（市監(jiān)檢測(cè)發(fā)〔2024〕18號(hào)）相關(guān)工作要求，并經(jīng)專家評(píng)審合格后按方案實(shí) 2.3.1樣品設(shè)計(jì)本次能力驗(yàn)證計(jì)劃充分考慮檢測(cè)方法要求，國(guó)內(nèi)相關(guān)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的能力水平、測(cè)試環(huán)境條件、測(cè)試工裝夾具制作、測(cè)試程序開發(fā)能力等實(shí)際條件，選擇的能力驗(yàn)證樣品的樣品類型、封裝形式、引腳數(shù)量、參數(shù)范圍是相關(guān)實(shí)驗(yàn)室日常檢測(cè)中的常見產(chǎn)品，通用性較好。根據(jù)上述原則，本次能力驗(yàn)證計(jì)劃選擇的能力驗(yàn)證樣品的封裝形式為塑料雙列直插封裝形式（PDIP引腳數(shù)14至40，規(guī)定條件下輸出高電平電壓不小于3V。參加機(jī)構(gòu)可使用通用DIP封裝的測(cè)試工裝，無其他特殊要求，無須針對(duì)本次能力驗(yàn)證樣品單獨(dú)定制工裝夾具。2.3.2樣品制備根據(jù)樣品設(shè)計(jì)要求，樣品從流通領(lǐng)域進(jìn)行選擇并采購(gòu)，最終組織機(jī)構(gòu)選擇用某型號(hào)數(shù)字集成電路產(chǎn)品作為本次能力驗(yàn)證計(jì)劃的樣品。該樣品為塑料雙列直插封裝形式（PDIP引腳數(shù)：20，樣品尺寸（長(zhǎng)×寬×高26.9mm×6.10mm×8.26mm，引腳間距：2.54mm，在規(guī)定條件下輸出高電平電壓不小于3.98V。組織機(jī)構(gòu)從滿足要求的合格供應(yīng)商處采購(gòu)共500只樣品，經(jīng)驗(yàn)收滿足技術(shù)要求。樣品經(jīng)過標(biāo)識(shí)、篩選、均勻性及穩(wěn)定性檢驗(yàn)等，共制備15只PT樣品（記為A樣15只干擾樣品（記為B樣A樣與B樣外觀、引出端定義均相同。干擾樣品作為防串通措施之一，其測(cè)試結(jié)果與PT樣品測(cè)試結(jié)果存在差異。本次能力驗(yàn)證項(xiàng)目的測(cè)試參數(shù)是數(shù)字集成電路輸出高電平電壓。 該參數(shù)的定義為在輸入端在施加規(guī)定的電壓條件下，測(cè)試輸出端為邏輯高電平時(shí)的電壓。測(cè)試條件見表2，測(cè)試向量要求見表3。數(shù)字輸出負(fù)載條件：IOH=-4mA，IOL=4mA；表3500kHz波形pattern的示意圖1234567891101010101XXXXXXXX02110101010XXXXXXXX03101010101HLHLHLHL04110101010LHLHLHLH05101010101HLHLHLHL01················02.3.3樣品標(biāo)識(shí)和分發(fā)參加本次能力驗(yàn)證的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)賦有一個(gè)唯一性機(jī)構(gòu)代碼，每個(gè)樣品已通過激光打標(biāo)編號(hào)且均具有唯一性。組織機(jī)構(gòu)對(duì)每個(gè)參加機(jī)構(gòu)發(fā)放兩只樣品，其中包含一只PT樣品（A樣）和一只干擾樣品（B樣兩只樣品從外觀、引腳數(shù)量、引腳定義均一致，組織機(jī)構(gòu)不向參加機(jī)構(gòu)披露PT樣品和干擾樣品信息，參加機(jī)構(gòu)收到樣品后提供2 只樣品的測(cè)試結(jié)果，組織機(jī)構(gòu)僅對(duì)A樣結(jié)果進(jìn)行能力評(píng)定。本次能力驗(yàn)證計(jì)劃參加機(jī)構(gòu)32家，分為三個(gè)輪次，第一輪次為10個(gè)參加機(jī)構(gòu)，第二、第三輪次為11個(gè)參加機(jī)構(gòu)。每個(gè)輪次參加機(jī)構(gòu)的設(shè)置充分考慮地域分布等因素。樣品發(fā)放時(shí)，15只A樣按照順序排列后，第一輪次發(fā)放10只，第二輪次、第三輪次按照順序循環(huán)發(fā)放樣品，盡可能確保本次能力驗(yàn)證計(jì)劃中A樣平均使用，明細(xì)見下表。B樣與A樣隨機(jī)搭配發(fā)放。不同輪次間樣品由組織機(jī)構(gòu)向參加機(jī)構(gòu)進(jìn)行一對(duì)一發(fā)放，參加機(jī)構(gòu)之間不進(jìn)行樣品傳遞。樣品經(jīng)過均勻性和穩(wěn)定性檢驗(yàn)合格后，于2024年6月至7月以順豐快遞的方式分三輪向各參加機(jī)構(gòu)發(fā)放樣品，同時(shí)附《能力驗(yàn)證作在收到樣品后進(jìn)行樣品外觀檢查，填寫《樣品接收狀態(tài)確認(rèn)表》并與收件當(dāng)天將表格通過電子郵件返回組織機(jī)構(gòu)，并在收到樣品后3個(gè)工作日內(nèi)完成測(cè)試并按照作業(yè)指導(dǎo)書填寫測(cè)試記錄表，并于5-7工作日內(nèi)返回作業(yè)指導(dǎo)書要求的紙質(zhì)文件。 2.3.4樣品均勻性和穩(wěn)定性檢驗(yàn)樣品的均勻性和穩(wěn)定性檢驗(yàn)均依據(jù)GB/T28043-2019《利用實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)進(jìn)行能力驗(yàn)證的統(tǒng)計(jì)方法》和CNAS-GL003：2018《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指南》要求進(jìn)行。樣品的均勻性、穩(wěn)定性檢驗(yàn)針對(duì)全部PT樣品（A樣檢測(cè)依據(jù)文件是GB/T17574-1998《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路》，每個(gè)樣品重復(fù)測(cè)試2次，樣品測(cè)試順序隨機(jī)。組織機(jī)構(gòu)前期通過對(duì)大量樣品的測(cè)試、篩選及數(shù)據(jù)積累和統(tǒng)計(jì)，在規(guī)定的條件下，樣品引腳17的輸出高電平電壓的預(yù)期值范圍在（4.3320V～4.4640V能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差參考GJB548C-20214.5.2中 準(zhǔn)差的目標(biāo)值σ目標(biāo)值等于=1/3×預(yù)期值范圍下限×1%=14.4mV。發(fā)樣前，未知能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)偏差時(shí)，可以估算能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差目標(biāo)值σ目標(biāo)值，均勻性檢驗(yàn)采用單因子方差分析法和準(zhǔn)則Ss≤0.3σ目標(biāo)值，通過計(jì)算樣品間均方MS1和樣品內(nèi)均方MS2，計(jì)算統(tǒng)計(jì)量F。當(dāng)F<F(0.05，組間自由度，組內(nèi)自由度)時(shí)，表明PT樣品內(nèi)和樣品間無顯著性差異，樣品是均勻的，同時(shí)可以計(jì)算樣品之間的不均勻性標(biāo)準(zhǔn)偏差Ss，判定Ss≤0.3σ目標(biāo)值。各參加機(jī)構(gòu)反饋數(shù)據(jù)后，再根據(jù)Ss≤0.3σpt進(jìn)行均勻性判定。均勻性檢驗(yàn)后的全部能力驗(yàn)證計(jì)劃樣品進(jìn)行穩(wěn)定性檢驗(yàn)?？紤]到數(shù)字集成電路產(chǎn)品的自身特性以及運(yùn)輸和時(shí)間因素等對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，組織機(jī)構(gòu)開展的穩(wěn)定性檢驗(yàn)包括：溫度循環(huán)試驗(yàn)-高溫貯存試驗(yàn)-隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn)-老煉試驗(yàn)-包裝運(yùn)輸試驗(yàn)-常溫重復(fù)性測(cè)試。每次試驗(yàn)后依據(jù)CNAS-GL003《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指南》|?y'|≤0.3σ目標(biāo)值準(zhǔn)則驗(yàn)證樣品試驗(yàn)后與均勻性檢驗(yàn)結(jié)果的穩(wěn)定性。在能力驗(yàn)證樣品的三個(gè)輪次發(fā)放回收過程中，樣品每次發(fā)樣前、回樣后進(jìn)行測(cè)試，根據(jù)|?y'|≤0.3σ目標(biāo)值準(zhǔn)則驗(yàn)證樣品每個(gè)輪次收發(fā)前后的穩(wěn)定性。各參加機(jī)構(gòu)反饋數(shù)據(jù)后，得到最終能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差σpt，再次根據(jù)|?y'|≤0.3σpt準(zhǔn)則對(duì)樣品穩(wěn)定性進(jìn)行評(píng)價(jià)。2.4統(tǒng)計(jì)設(shè)計(jì)及評(píng)價(jià)方法本次能力驗(yàn)證統(tǒng)計(jì)設(shè)計(jì)和評(píng)價(jià)方法依據(jù)GB/T28043—2019《利用實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)進(jìn)行能力驗(yàn)證的統(tǒng)計(jì)方法》中的相關(guān)要求進(jìn)行。 2.4.1指定值的確定對(duì)各參加機(jī)構(gòu)結(jié)果匯總后，在對(duì)粗大誤差進(jìn)行識(shí)別和剔除后，經(jīng)驗(yàn)表明本項(xiàng)目測(cè)試項(xiàng)結(jié)果應(yīng)服從正態(tài)分布，對(duì)反饋結(jié)果采用格拉布斯檢驗(yàn)法進(jìn)行檢驗(yàn)是否有離群值；對(duì)剔除離群值后的測(cè)試結(jié)果采用愛潑斯-普利法進(jìn)行正態(tài)性的驗(yàn)證；驗(yàn)證測(cè)試結(jié)果符合正態(tài)分布后使用迭代穩(wěn)健統(tǒng)計(jì)方法進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，即使用算法A獲得本次能力驗(yàn)證的穩(wěn)健均值和穩(wěn)健標(biāo)準(zhǔn)差，并采用穩(wěn)健均值作為本次能力驗(yàn)證計(jì)劃的指定值。2.4.2能力評(píng)價(jià)方法本次能力驗(yàn)證采用差值D進(jìn)行能力評(píng)價(jià)，按公式（1）計(jì)算各參加機(jī)構(gòu)的能力統(tǒng)計(jì)量D值：D=xi?xpt…………公式（1）式中：xi—參加機(jī)構(gòu)的結(jié)果；xpt—指定值；各參加機(jī)構(gòu)的能力評(píng)價(jià)原則如下：其中最大允許誤差δE為GJB548C-20214.5.2規(guī)定的測(cè)量值的2.5保密措施為保護(hù)相關(guān)方的權(quán)益，對(duì)參加機(jī)構(gòu)的相關(guān)信息保密。本次能力驗(yàn)證計(jì)劃對(duì)每一個(gè)參加機(jī)構(gòu)編制唯一的實(shí)驗(yàn)室代碼，在說明與參加機(jī)構(gòu)有關(guān)的檢測(cè)結(jié)果及結(jié)果評(píng)價(jià)時(shí)，均以代碼形式表示。樣品發(fā)送過程中，每個(gè)參加機(jī)構(gòu)發(fā)送一只A樣和一只B樣，每一輪A、B樣品重新組合；組織機(jī)構(gòu)向參加機(jī)構(gòu)一對(duì)一發(fā)放樣品，參加機(jī)構(gòu)之間不進(jìn)行樣品傳遞。組織機(jī)構(gòu)收到結(jié)果后，由統(tǒng)計(jì)人員集中時(shí)間統(tǒng)計(jì)。組織機(jī)構(gòu)相關(guān)人員有責(zé)任和義務(wù)對(duì)參加檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)相關(guān)信息保密。3樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)3.1樣品均勻性檢驗(yàn)結(jié)果及評(píng)價(jià)樣品的均勻性依據(jù)GB/T28043-2019《利用實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)進(jìn)行能力驗(yàn)證的統(tǒng)計(jì)方法》和CNAS-GL003：2018《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指南》要求進(jìn)行。組織機(jī)構(gòu)使用GB/T17574-1998《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路》對(duì)15只A樣重復(fù)測(cè)試2次，測(cè)試順序隨機(jī)。使用單因素方差分析法對(duì)結(jié)果進(jìn)行均并使用Ss≤0.3σ目標(biāo)值準(zhǔn)則進(jìn)行驗(yàn)證，均勻性檢驗(yàn)數(shù)據(jù)見附錄A。樣品均勻性檢驗(yàn)結(jié)果表明樣品均勻性良好。反饋的有效數(shù)據(jù)經(jīng)過穩(wěn)健統(tǒng)計(jì)后，再根據(jù)Ss≤0.3σpt進(jìn)行均勻性判定。均勻性檢驗(yàn)統(tǒng)計(jì)結(jié)果表明，本次能力驗(yàn)證樣品的結(jié)果不均勻性標(biāo)準(zhǔn)偏差符合Ss≤0.3σpt準(zhǔn)則。樣品均勻性檢驗(yàn)詳細(xì)結(jié)果見附錄A。3.2樣品穩(wěn)定性檢驗(yàn)結(jié)果及評(píng)價(jià)樣品的穩(wěn)定性檢驗(yàn)依據(jù)GB/T28043-2019《利用實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)進(jìn)行能力驗(yàn)證的統(tǒng)計(jì)方法》和CNAS-GL003：2018《能力驗(yàn)證樣品均勻 性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指南》要求進(jìn)行。穩(wěn)定性檢驗(yàn)的測(cè)試條件參考GJB548C-2021中規(guī)定的試驗(yàn)條件要求。穩(wěn)定性檢驗(yàn)流程和要求見下表。12、試驗(yàn)條件：試驗(yàn)條件B，溫度?550-10℃~12515℃,循環(huán)10次，極限溫度停留時(shí)間30min，轉(zhuǎn)換時(shí)間≤5min。試驗(yàn)后標(biāo)志放大1倍~234561、依據(jù)文件：CNAS-GL003《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指71、依據(jù)文件：CNAS-GL003《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指每次試驗(yàn)后依據(jù)CNAS-GL003《能力驗(yàn)證樣品均勻性和穩(wěn)定性評(píng) 價(jià)指南》|?y'|≤0.3σ目標(biāo)值準(zhǔn)則驗(yàn)證樣品試驗(yàn)后測(cè)試結(jié)果與均勻性檢驗(yàn)結(jié)果的穩(wěn)定性。在能力驗(yàn)證樣品的三個(gè)輪次發(fā)放回收過程中，樣品每次發(fā)樣前、回樣后進(jìn)行測(cè)試，根據(jù)|?y'|≤0.3σ目標(biāo)值準(zhǔn)則驗(yàn)證樣品單個(gè)輪次收發(fā)前后的穩(wěn)定性。各參加機(jī)構(gòu)反饋數(shù)據(jù)后，得到最終能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差σpt，再次根據(jù)|?y'|≤0.3σpt準(zhǔn)則對(duì)樣品穩(wěn)定性進(jìn)行評(píng)價(jià)。穩(wěn)定性檢驗(yàn)統(tǒng)計(jì)結(jié)果表明，本次能力驗(yàn)證樣品的結(jié)果不均勻性標(biāo)準(zhǔn)偏差符合Ss≤0.3σpt準(zhǔn)則。樣品穩(wěn)定性檢驗(yàn)詳細(xì)結(jié)果見附錄B。4結(jié)果統(tǒng)計(jì)與能力評(píng)定4.1粗大誤差識(shí)別本次能力驗(yàn)證計(jì)劃最終有32家機(jī)構(gòu)報(bào)名參加并反饋了測(cè)試結(jié)果，經(jīng)識(shí)別反饋結(jié)果無小數(shù)點(diǎn)、單位、記錄填寫等明顯超出預(yù)期結(jié)果的粗大誤差。各參加機(jī)構(gòu)反饋的結(jié)果匯總表見附表C。4.2離群值剔除本次能力驗(yàn)證計(jì)劃最終有32家機(jī)構(gòu)報(bào)名參加并反饋了測(cè)試結(jié)果，測(cè)試結(jié)果參與統(tǒng)計(jì)分析。組織機(jī)構(gòu)先前組織的能力驗(yàn)證計(jì)劃經(jīng)驗(yàn)表明，本次能力驗(yàn)證計(jì)劃測(cè)試項(xiàng)目結(jié)果應(yīng)符合正態(tài)分布。參考GB/T4883-2008《數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理和解釋正態(tài)樣本離群值的判斷和處理》格拉布斯檢驗(yàn)法查找離群值。當(dāng)n=32時(shí)，對(duì)應(yīng)檢出水平α=0.95，對(duì)應(yīng)格拉布斯檢驗(yàn)臨界值G0.95(32)=2.773；剔除水平a*=0.01，對(duì)應(yīng)格拉布斯 檢驗(yàn)臨界值G0.99(32)=3.135。經(jīng)計(jì)算，L04實(shí)驗(yàn)室的測(cè)試結(jié)果（統(tǒng)計(jì) 量GL04=3.366）和L09實(shí)驗(yàn)室的測(cè)試結(jié)果（統(tǒng)計(jì)量GL09=3.479）均判為統(tǒng)計(jì)離群值，在后續(xù)結(jié)果統(tǒng)計(jì)中予以剔除。4.3正態(tài)性檢驗(yàn)對(duì)剔除離群值后的反饋結(jié)果，參考GB/T4882-2001《數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理和解釋正態(tài)性檢驗(yàn)》采用愛潑斯-普利（Epps-Pulley）對(duì)反饋結(jié)果的正態(tài)性進(jìn)行驗(yàn)證。經(jīng)計(jì)算，得TEP(x)=0.0239，因當(dāng)置信水平p=0.95，n=30時(shí)p分位數(shù)p0.95(30)=0.371，當(dāng)置信水平p=0.95，n=50時(shí)p分位數(shù)p0.95(50)=0.374，可知TEP(x)=0.0239遠(yuǎn)小于p0.95(30)，說明在此置信水平下，參加機(jī)構(gòu)反饋的結(jié)果數(shù)據(jù)呈正態(tài)分布，正態(tài)分布擬合曲線見圖7。 876543210302520151050頻數(shù)正態(tài)概率密度4.284.294.304.314.324.334.344.354.364.374.384.394.404.414.424.434.444.454.464.474.484.494.504.51測(cè)試值4.4指定值及不確定度、能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差的計(jì)算采用參加機(jī)構(gòu)公議值的穩(wěn)健統(tǒng)計(jì)算法A對(duì)參加機(jī)構(gòu)的結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，經(jīng)多次迭代計(jì)算后，得出穩(wěn)健平均值x*作為指定值xpt，并得到穩(wěn)健標(biāo)準(zhǔn)差s*。指定值的不確定度u(xpt)采用GB/T280437.7.3方法進(jìn)行計(jì)算。u7xpt8=1.25×s*/>…………公式最大允許誤差δE采用GJB548C4.5.2規(guī)定的“測(cè)量誤差小于測(cè)量值的1%”進(jìn)行計(jì)算，即指定值的1%。δE=xpt×1% 公式（3）能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差σpt采用GB/T280434.3.2方法進(jìn)行計(jì)算。σpt=δE/3 公式（4）上述值計(jì)算結(jié)果見表6。 指定值xpt穩(wěn)健標(biāo)準(zhǔn)差s*指定值的不確定度u(xpt)能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差目標(biāo)值σ目標(biāo)值能力評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)差σpt0.3σpt最大允許誤差δE經(jīng)計(jì)算，指定值的不確定度u7x!t8<0.3σ!t，滿足方案設(shè)定要求。4.5能力評(píng)價(jià)結(jié)果根據(jù)能力評(píng)定準(zhǔn)則，計(jì)算各參加機(jī)構(gòu)的能力統(tǒng)計(jì)量D值，并根據(jù)|D|<δE判斷各參加機(jī)構(gòu)的結(jié)果是否滿意。本次能力驗(yàn)證計(jì)劃共有32家實(shí)驗(yàn)室參加，其中16家為強(qiáng)制參加的國(guó)家級(jí)資質(zhì)認(rèn)定檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，16家為自愿參加。強(qiáng)制參加的機(jī)構(gòu)中，15家結(jié)果滿意，1家結(jié)果不滿意；16家自愿參加的機(jī)構(gòu)中，15家結(jié)果滿意，1家結(jié)果不滿意。具體情況見表7、表8。12112 5技術(shù)分析和建議通過對(duì)參加機(jī)構(gòu)反饋資料的分析，對(duì)數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試提出以下技術(shù)分析和建議，供參加機(jī)構(gòu)參考。5.1測(cè)試程序開發(fā)本次能力驗(yàn)證過程中有兩家參加機(jī)構(gòu)結(jié)果不滿意，經(jīng)溝通，原因均為參加機(jī)構(gòu)的測(cè)試程序開發(fā)人員未仔細(xì)閱讀作業(yè)指導(dǎo)書描述的要求導(dǎo)致對(duì)樣品施加的測(cè)試條件與作業(yè)指導(dǎo)書中規(guī)定條件不一致。數(shù)字集成電路測(cè)試程序是對(duì)被測(cè)樣品的輸入配置、輸出狀態(tài)監(jiān)測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，測(cè)試程序的正確與否直接關(guān)系到測(cè)試結(jié)果的合格與否，因此對(duì)測(cè)試程序開發(fā)人員的技術(shù)水平、經(jīng)驗(yàn)積累有較高要求。5.2儀器設(shè)備本次能力驗(yàn)證過程中涉及到11個(gè)型號(hào)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其中使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的參加機(jī)構(gòu)占25%。組織機(jī)構(gòu)對(duì)不同型號(hào)設(shè)備的測(cè)試原理與檢測(cè)方法描述原理進(jìn)行了比對(duì)，經(jīng)分析認(rèn)為不同類型設(shè)備測(cè)試輸出高電平電壓時(shí)，測(cè)試原理均與檢測(cè)方法描述一致。5.3能力驗(yàn)證樣品本次能力驗(yàn)證過程中使用的能力驗(yàn)證樣品為流通領(lǐng)域采購(gòu)后經(jīng)組織機(jī)構(gòu)篩選后符合均勻性和穩(wěn)定性檢驗(yàn)要求的樣品，樣品的封裝、引腳數(shù)量、測(cè)試程序開發(fā)難易程度等具有通用性。各參加機(jī)構(gòu)基本可以按照組織機(jī)構(gòu)要求的條件進(jìn)行測(cè)試、存儲(chǔ)和包裝運(yùn)輸。5.4檢測(cè)方法數(shù)字集成電路輸出高電平電壓測(cè)試可依據(jù)GB/T17574-1998或 SJ/T10741-2000，這兩個(gè)方法規(guī)定的內(nèi)容為測(cè)試項(xiàng)目的測(cè)試原理和測(cè)試條件、步驟，不包含測(cè)試結(jié)果的判定依據(jù)。本次能力驗(yàn)證過程中檢測(cè)方法方面參加機(jī)構(gòu)均選擇使用了GB/T17574-1998。組織機(jī)構(gòu)經(jīng)對(duì)比分析兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)在測(cè)試原理、測(cè)試順序、規(guī)定條件方面一致，測(cè)試原理沒有差異，兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具有方法等效性，參加機(jī)構(gòu)即使選擇不同的方法不會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成影響。5.5測(cè)試環(huán)境參加機(jī)構(gòu)的測(cè)試環(huán)境溫度在22.6℃~27.5℃之間，環(huán)境相對(duì)濕度在41%～60%之間，均滿足作業(yè)指導(dǎo)書的環(huán)境條件要求。另外，組織機(jī)構(gòu)在作業(yè)指導(dǎo)書中明確了參加機(jī)構(gòu)應(yīng)具備防靜電設(shè)施并如實(shí)記錄，包括使用防靜電手環(huán)、防靜電指套、穿防靜電工作服、實(shí)驗(yàn)室配置防靜電球、使用防靜電工具等多種防靜電措施，參加機(jī)構(gòu)反饋均使用了相應(yīng)的防靜電設(shè)施。5.6建議（1）建議各參加機(jī)構(gòu)持續(xù)加強(qiáng)對(duì)測(cè)試程序開發(fā)人員的技術(shù)培訓(xùn)，測(cè)試程序開發(fā)人員應(yīng)能夠正確閱讀和理解測(cè)試樣品的測(cè)試技術(shù)要求，確保測(cè)試條件正確。（2）在后續(xù)類似能力驗(yàn)證計(jì)劃開展過程中，組織機(jī)構(gòu)應(yīng)進(jìn)一步細(xì)化對(duì)樣品包裝、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、試驗(yàn)操作等過程中樣品保護(hù)的相關(guān)要求，預(yù)防出現(xiàn)樣品損壞等情況。 6能力驗(yàn)證組織者、協(xié)調(diào)者6.1組織者國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局認(rèn)可與檢驗(yàn)檢測(cè)監(jiān)督管理司聯(lián)系人：郭棟6.2協(xié)調(diào)者中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院賽西實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人：孔憲偉6.3實(shí)施單位及主要人員實(shí)施單位：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院賽西實(shí)驗(yàn)室實(shí)施負(fù)責(zé)人：孔憲偉、金凱項(xiàng)目組成員：任翔、尹航、武海云、胡海濤、張馳、董今聯(lián)系人：孔憲偉、金凱7依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范1、GB/T17574-1998《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字