TCCGA 30007-2022 電子級三氟化氯

T/CCGA30007—2022

電子級三氟化氯

1范圍

本標準規(guī)定了電子級三氟化氯的技術要求、檢驗規(guī)則、試驗方法、標志、包裝、儲運及安全信息的

要求。

本標準適用于以氟氣和氯氣為原料制備的三氟化氯產(chǎn)品，該產(chǎn)品主要用于半導體等領域。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標志

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB/T16804氣瓶警示標簽

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術條件

GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T34525氣瓶搬運、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定

TSG23氣瓶安全技術規(guī)程

T/CCGA20006氣瓶安全使用技術規(guī)定

AS/NZS2161.1職業(yè)防護手套，第1部分：選擇、使用和維護（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技術要求

三氟化氯應符合表1的要求。

表1技術要求

項目指標

-2

三氟化氯(ClF3)（摩爾分數(shù)）/10≥99.95

氟化氫(HF)（摩爾分數(shù)）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩爾分數(shù)）/10＜40

-6

氧(O2)（摩爾分數(shù)）/10＜10

-6

氯氣(Cl2)（摩爾分數(shù)）/10＜50

-6

氟氣(F2)（摩爾分數(shù)）/10＜50

3

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4檢驗規(guī)則

4.1采樣

取樣應當符合GB/T3723及GB/T6681中的相關規(guī)定。取樣人應穿戴符合7.5要求的個人防護裝備。

4.2檢驗規(guī)則

三氟化氯產(chǎn)品應逐一檢驗。當檢驗結果均符合表1的技術要求時，判該產(chǎn)品合格。當檢驗結果有任

何一項指標不符合表1的技術要求時，則判該產(chǎn)品不合格。

5試驗方法

警示：本文件規(guī)定的一些試驗過程可能導致危險情況，使用者應采取適當?shù)陌踩徒】捣雷o措施。

5.1三氟化氯純度

三氟化氯純度按式（1）計算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的純度，10；

-6

Φ1——氟化氫(HF)的摩爾分數(shù)，10；

-6

Φ2——氮(N2)的摩爾分數(shù)，10；

-6

Φ3——氧(O2)的摩爾分數(shù)，10；

-6

Φ4——氯(Cl2)的摩爾分數(shù)，10；

-6

Φ5——氟(F2)的摩爾分數(shù)，10。

5.2氧、氮、氟化氫、氯氣和氟氣含量的測定

5.2.1儀器

采用配備雙熱導池檢測器（TCD)+氦離子檢測器（PDD)的氣相色譜儀，在選定的色譜條件下，試樣

通過色譜柱，使其中的各組分分離，外標法定量。當對測定結果有異議時，以本文件規(guī)定的方法為仲裁

方法。儀器對各組分檢出限應不大于表3值。

表3各組分檢出限

雜質(zhì)O2N2Cl2F2HF

檢出限（摩爾分數(shù)）/10-6)0.10.1202040

5.2.2色譜柱

柱1：長3.2m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為40～80目的改性701擔體1，或采用其它等效色譜柱，

該柱用于測定（氧、氮、氟）合峰及氟化氫、氯含量。

柱2：長2m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為60～80目的改性701擔體2，或采用其它等效色譜柱。

該柱用于測定（氧、氮）合峰及氟含量。

柱3：長0.5m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為40～80目的銀粉，或采用其它等效吸附氟氣柱。

柱4：長0.5m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為粒度為40～80目的氧化鋁粉，或采用其它等效吸附

氟化氫柱。

柱5：長3.0m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為80～100目的MS-13X（或5A）分子篩，或采用其它

等效色譜柱。該柱用于測定氧、氮含量。

5.2.3標準樣品

標準樣品中組分含量應與樣品氣中被測組分含量相近，平衡氣為氦。

5.2.4氣路流程

4

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參考的氣路流程示意圖參見附錄A。

5.2.5尾氣處理

檢測三氟化氯時，應有合適的三氟化氯的尾氣處理措施，以防止三氟化氯對環(huán)境的污染。

6標志、包裝、儲運

6.1標志

6.1.1三氟化氯出廠時應有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應包括：

——產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，；

——生產(chǎn)日期或批號，以及安全使用期；

——充裝質(zhì)量（kg）；

——本文件號及三氟化氯的純度。

6.1.2包裝容器上應標明“三氟化氯”字樣。

6.1.3三氟化氯的包裝標志應符合GB190的相關規(guī)定，顏色標志應符合GB/T7144的規(guī)定，標簽應符合

GB/T16804、GB15258規(guī)定的要求。

6.2包裝、儲運和儲存

6.2.1三氟化氯氣瓶應符合TSG23、GB/T32566的規(guī)定。

6.2.2推薦使用內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應滿足T/CCGA20006的相關規(guī)定，瓶閥宜使用CGA

728。

6.2.3三氟化氯的充裝應符合TSG23、GB/T14193的相關規(guī)定，三氟化氯的充裝量按實際稱量的質(zhì)量

計。

6.2.4瓶裝三氟化氯的最大充裝量按式（2）計算：

……（2）

式中：

m——氣瓶內(nèi)三氟化氯的質(zhì)量，單位為千克（kg）；

Fr——三氟化氯的充裝系數(shù)，1.40kg/L；

V——氣瓶標明的內(nèi)容積，單位為升(L)。

6.2.5三氟化氯的儲運應符合TSG23、GB/T34525等相關規(guī)定。

6.2.6三氟化氯安全使用期：12個月。

6.2.7客戶返回的三氟化氯鋼瓶的殘液量不宜低于充裝量的5%。

6.2.8三氟化氯氣瓶，宜有符合TSG23要求的固定瓶帽，并有防止泄漏和瓶口被污染措施；出廠前應

檢查氣瓶瓶口及頸部無泄漏。

6.2.9三氟化氯氣瓶應放在陰涼、干燥、通風的庫房內(nèi)，嚴禁曝曬，遠離熱源，禁止倒放。

6.2.10運輸時，嚴禁與可燃物、氧化物、鹵化物等混裝混運。

7安全信息

7.1三氟化氯在常溫常壓下為無色氣體，降溫變?yōu)榫G色液體；具有毒性、氧化性、強腐蝕性。接觸會

造成嚴重皮膚灼傷和眼損傷；吸入有劇毒會致命。

7.2在工作場所附近應有洗眼和淋浴設施；作業(yè)后徹底清洗臉部及手部。人體皮膚與三氟化氯接觸時，

應用大量水沖洗，及時脫去衣物，應及時治療。

7.3眼睛若濺入三氟化氯，先用大量水沖洗幾分鐘（應摘除隱形眼鏡），然后及時治療。

7.4發(fā)生泄漏時，盡可能切斷泄漏源。迅速撤離泄漏區(qū)人員至上風處，并立即進行隔離。應急處理人

員應佩戴自給正壓式呼吸器或其他呼吸防護裝置，使用個人防護裝備，避免吸入蒸氣、煙霧、氣體或風

塵。

5

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若是氣體泄漏，用噴霧狀水稀釋，并將殘余氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥

內(nèi)。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。若是液體泄漏，用大量水沖洗，洗水稀釋后放入專用容

器。

清除所有點火源，并采用防火花工具和防爆設備。

7.5個人防護裝備：

7.5.1眼睛防護：佩戴化學護目鏡（符合歐盟EN166或美國NIOSH標準），佩戴自吸過濾式防毒面具。

7.5.2手部防護：帶化學防護手套（例如丁基橡膠手套），宜選擇經(jīng)過歐盟EN374、美國USF739或AS/NZS

2161.1測試的防護手套。

7.5.3皮膚和身體防護：穿阻燃防靜電服和抗靜電的防護靴。

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A

附錄A

（資料性）

氣路流程示意圖

三氟化氯氣路氣路流程參見示意圖A.1。

圖A.1氣路流程示意圖

流程說明：

當樣品進入定量管后，切割閥轉(zhuǎn)動變?yōu)檫M樣位，柱1、柱2、柱3、柱4及柱5串聯(lián)。柱1分離（氧、氮、

氟）合峰及氟化氫、氯并由TCD1檢測出氟化氫、氯含量（見圖A.2）；

圖A.2TCD1檢測器參考峰譜圖

7

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當TCD2檢測出氧、氮合峰后，四通閥將切入柱3、柱4及柱5。柱2用于分離（氧、氮）合峰及氟并由

TCD2檢測出氟含量；色譜圖如圖A.3所示。

圖A.3TCD2檢測器參考峰譜圖

柱5分離測定氧、氮并由PDD檢測出含量，色譜圖如圖A.4所示。

圖A.4PDD檢測器參考峰譜圖

8

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參考文獻

[1]中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會編，中國工業(yè)氣體大全.大連：大連理工大學出版社，2008.05.

中國氣體協(xié)會官網(wǎng)

9

ICS71.100.20

CCSG86

CCGA

中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會團體標準

T/CCGA30007—2022

電子級三氟化氯

Electronicchlorinetrifluoride

2022-12-28發(fā)布2023-03-01實施

中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會發(fā)布

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電子級三氟化氯

1范圍

本標準規(guī)定了電子級三氟化氯的技術要求、檢驗規(guī)則、試驗方法、標志、包裝、儲運及安全信息的

要求。

本標準適用于以氟氣和氯氣為原料制備的三氟化氯產(chǎn)品，該產(chǎn)品主要用于半導體等領域。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標志

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB/T16804氣瓶警示標簽

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術條件

GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T34525氣瓶搬運、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定

TSG23氣瓶安全技術規(guī)程

T/CCGA20006氣瓶安全使用技術規(guī)定

AS/NZS2161.1職業(yè)防護手套，第1部分：選擇、使用和維護（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技術要求

三氟化氯應符合表1的要求。

表1技術要求

項目指標

-2

三氟化氯(ClF3)（摩爾分數(shù)）/10≥99.95

氟化氫(HF)（摩爾分數(shù)）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩爾分數(shù)）/10＜40

-6

氧(O2)（摩爾分數(shù)）/10＜10

-6

氯氣(Cl2)（摩爾分數(shù)）/10＜50

-6

氟氣(F2)（摩爾分數(shù)）/10＜50

3

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4檢驗規(guī)則

4.1采樣

取樣應當符合GB/T3723及GB/T6681中的相關規(guī)定。取樣人應穿戴符合7.5要求的個人防護裝備。

4.2檢驗規(guī)則

三氟化氯產(chǎn)品應逐一檢驗。當檢驗結果均符合表1的技術要求時，判該產(chǎn)品合格。當檢驗結果有任

何一項指標不符合表1的技術要求時，則判該產(chǎn)品不合格。

5試驗方法

警示：本文件規(guī)定的一些試驗過程可能導致危險情況，使用者應采取適當?shù)陌踩徒】捣雷o措施。

5.1三氟化氯純度

三氟化氯純度按式（1）計算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的純度，10；

-6

Φ1——氟化氫(HF)的摩爾分數(shù)，10；

-6

Φ2——氮(N2)