DB22T 2651-2017 數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

備案號(hào)：56355-2017DB22DB22/T2651—2017數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范Digitallasersphericalinterferometerscalibrationspecification2017-06-12發(fā)布2017-08-12實(shí)施吉林省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布I1被檢驗(yàn)波前（或鏡面）范圍內(nèi)與最佳匹配的參考波前的光程差平方的和的平均值的開方，簡稱RMS數(shù)字式激光球面干涉儀根據(jù)光學(xué)干涉原理（如圖1）采用由干涉儀的參考面反射的光學(xué)波面和圖，用計(jì)算機(jī)控制CCD攝像機(jī)對(duì)移相干涉圖進(jìn)行同步采集，對(duì)干涉圖信息進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理后得到被測(cè)28W4.3結(jié)構(gòu)數(shù)字式激光球面干涉儀主要由穩(wěn)定激光源(可見波段、紅外波段等)、擴(kuò)束準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)、參考5特性5.1外觀5.1.2成像光路中的光學(xué)零件表面不應(yīng)有目視可見的灰塵5.2.1各調(diào)整機(jī)構(gòu)工作時(shí)應(yīng)平穩(wěn)、靈活、無卡滯和松動(dòng)現(xiàn)象。5.2.2數(shù)字式激光球面干涉儀各部件及干涉儀主機(jī)與計(jì)算機(jī)的電纜連接可靠，接通電源后，各電器部5.3示值誤差5.4.1一級(jí)數(shù)字式激光球面干涉儀的測(cè)量重復(fù)性不大于3nm(RMS)。5.4.2二級(jí)數(shù)字式激光球面干涉儀的測(cè)量重復(fù)性不大于5nm(RMS)。3a)環(huán)境溫度：溫度范圍22C3C，溫度變化量不大于0.5C/h；d)數(shù)字式激光球面干涉儀及所用標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡在校準(zhǔn)室內(nèi)放7.4.1示值誤差采用比較法測(cè)量，比較法的原理是將數(shù)字式激光球面干涉儀參4參考球面鏡標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡圖2比較法測(cè)量示意圖7.4.2測(cè)量步驟如下：a)根據(jù)被檢數(shù)字式激光球面干涉儀的參考鏡頭，選取表2中相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡；b)按照干涉儀參考球面鏡出廠時(shí)規(guī)定的使用方式將參考球面鏡安裝到干涉儀主機(jī)上并進(jìn)行調(diào)整，將標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡安裝在調(diào)整架上并進(jìn)行調(diào)整，調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡使干涉條紋最少；c)有效口徑設(shè)置為98%,常數(shù)項(xiàng)、傾斜項(xiàng)及離焦項(xiàng)設(shè)置為關(guān)閉；d)進(jìn)行測(cè)量并讀取面形誤差的測(cè)量結(jié)果；e)在條件不變的情況下，連續(xù)進(jìn)行6次測(cè)量并讀取6個(gè)測(cè)量結(jié)果，計(jì)算PV值和RMS值的算術(shù)平均值，即為實(shí)測(cè)示值誤差。7.5測(cè)量重復(fù)性按7.4.2的要求進(jìn)行測(cè)量，重復(fù)測(cè)量不少于6次，按公式(1)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差s:X,第i次測(cè)量的PV值(RMS值),i=1,2,3,.,n,單位為納米(nm);Xn次測(cè)量的PV值(RMS值)算術(shù)平均值，單位為納米(nm);8校準(zhǔn)結(jié)果處理和校準(zhǔn)周期8.1校準(zhǔn)結(jié)果處理8.1.1校準(zhǔn)結(jié)果包括示值誤差測(cè)量結(jié)果和不確定度，示值誤差不確定度評(píng)定方法見附錄A。8.1.2校準(zhǔn)報(bào)告格式參見附錄B。8.2校準(zhǔn)周期數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)周期一般為一年。5A.1.1標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡面形誤差引入的不u1——標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡面形誤差引入的不確定度分量，單位為納UBZ——標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡面形誤差的擴(kuò)展不確定度，單位為納米(nm)；k——包含因子，取k=2。u2 (xix)2u2——測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量，單位為納米(nm)；xi——第i次測(cè)量的PV值（RMS值），i=1,2,3,…,n，單位為納米(nm)；n——測(cè)量次數(shù)。A.1.3合成不確定度測(cè)量結(jié)果合成不確定度uc按公式(A.3)計(jì)算： ucu1u2................uc——比較法測(cè)量結(jié)果合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，單位為納米(nm)；u1——標(biāo)準(zhǔn)凹球面反射鏡引入的不確定度分量，單位為6u2——測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量，單位為納米(nm)。A.1.4擴(kuò)展不確定度擴(kuò)展不確定度U按公式(A.4)計(jì)算：Ukuc......................................(AU——測(cè)量結(jié)果的擴(kuò)展不確定度，單位為納米(nm)；k——包含因子，取k2；uc——比較法測(cè)量結(jié)果合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，單位為納米(nm)。ApplicantAddressNo.月日SignatureofleaderTheseresultsapplyonlytoCalibrationSample.ThecertificatesmustnotbwithoutWrittenapprovalformthelaboraAdd：78校準(zhǔn)中使用的主要標(biāo)準(zhǔn)器具(StandardsofmeasuS/Nuncertainty/accurac/allowableerrory校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)文件或校準(zhǔn)方法ReferrnceDocumentormethodsforcalibration校準(zhǔn)時(shí)的環(huán)境條件EnvironmentConditioninth溫度Temperature:校準(zhǔn)結(jié)果RESULTSOFCALIBRATION1234Whileusing,PleaseCalibr