《電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術(shù)規(guī)程》

ICS91.140.01

CCSP34

GACT

團體標(biāo)準(zhǔn)

T/GACTXXXX—2023

電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術(shù)規(guī)程

Technicalspecificationforoperationandmaintenanceofcleanroom

inelectronicindustry

（征求意見稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會??發(fā)布

T/GACTXXXX—2023

電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術(shù)規(guī)程

1范圍

本規(guī)程規(guī)定了電子工業(yè)潔凈車間運行維護的術(shù)語和定義、一般要求、潔凈車間的環(huán)境控制要求、潔

凈車間公用設(shè)備的運行與維護、自動控制及能源管理等其他要求。

本規(guī)范適用于電子工業(yè)潔凈車間的運行維護。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T25915.1/ISO14644-1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.2/ISO14644-2潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

GB/T36370潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣過濾器應(yīng)用指南

GB50591潔凈室施工及驗收規(guī)范

GB50073潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50472電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50050工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范

GB50365空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)運行管理標(biāo)準(zhǔn)

T/CECS1012高效制冷機房技術(shù)規(guī)程

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

電子工業(yè)潔凈車間Cleanworkshopofelectronicindustry

是指用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的空氣中粒子濃度、溫度、濕度、壓力等參數(shù)受控的空間。（以下簡稱潔凈

車間）

冷、熱源Coldandheatsources

是指為空氣調(diào)節(jié)處理系統(tǒng)提供所需冷量或熱量，用以抵消室內(nèi)產(chǎn)生的熱負(fù)荷或冷負(fù)荷的主機。包括

冷水機組、風(fēng)冷熱泵、鍋爐等設(shè)備。

氣動設(shè)備Pneumaticequipment

是指以空氣為介質(zhì)進(jìn)行壓縮、冷凍除濕、吸附干燥處理等而產(chǎn)生有壓力的干空氣、真空、氮氣等的

設(shè)備。包括空壓機、干燥機、制氮機、真空泵等。

水處理設(shè)備Watertreatmentequipment

是指通過各種物理的、化學(xué)的手段，去除水中一些對生產(chǎn)、生活不需要的有害的物質(zhì)，這一類對水

做過濾凈化處理的設(shè)備。包括污水處理設(shè)備、原水處理設(shè)備、凈水設(shè)備、過濾設(shè)備、超純水設(shè)備等

末端設(shè)備Terminalequipment

通過冷熱盤管、加濕、過濾、吸附處理，控制流經(jīng)氣流的溫度、濕度、潔凈度、金屬離子、有機物

等參數(shù)達(dá)到設(shè)計要求的設(shè)備。包括風(fēng)機盤管、干盤管、吊頂風(fēng)柜、組合式空調(diào)機組、新風(fēng)空調(diào)機組、除

濕機、空氣過濾器等。

運行維護Operationandmaintenance

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指對潔凈車間系統(tǒng)及設(shè)備進(jìn)行管理操作、正常巡查、維修、日常保養(yǎng)，保證潔凈車間的系統(tǒng)、設(shè)備

可正常運行。

日常維護保養(yǎng)Dailymaintenanceandupkeep

是指在不停爐的狀態(tài)下進(jìn)行的維護修理。

4一般要求

一般原則

4.1.1潔凈車間的運行維護要求通過制度化、流程化、規(guī)范化的運行維護保養(yǎng)，保證企業(yè)穩(wěn)定可持續(xù)

化發(fā)展。

4.1.2潔凈車間的運行維護應(yīng)保證運行保養(yǎng)維持原有效率。

4.1.3潔凈車間各系統(tǒng)運行維護管理及操作的人員，應(yīng)持有運行維護系統(tǒng)相對應(yīng)專業(yè)的特種作業(yè)操作

證書，無證人員不得上崗操作。

4.1.4新入職潔凈車間的各系統(tǒng)運行維護管理和操作人員，應(yīng)經(jīng)過消防安全和相對應(yīng)專業(yè)系統(tǒng)維護知

識和技能的培訓(xùn)。

4.1.5運行維護管理人員應(yīng)熟悉各系統(tǒng)的工作原理和運行特點，具有安全、環(huán)保、節(jié)能意識和應(yīng)急指

揮處理能力。

管理部門

4.2.1應(yīng)明確本單位潔凈車間的運行維護的主管領(lǐng)導(dǎo)。

4.2.2應(yīng)根據(jù)本單位潔凈車間的運行要求，設(shè)立相應(yīng)運行維護的部門。

4.2.3應(yīng)根據(jù)本單位潔凈車間的情況設(shè)計安全管理的部門

管理職責(zé)

4.3.1應(yīng)明確本單位潔凈車間運行維護部門的主管領(lǐng)導(dǎo)、運行管理人員和運行維護操作人員的主要職

責(zé)。

4.3.2主管領(lǐng)導(dǎo)的主要職責(zé)

a)對本單位潔凈車間的運行管理負(fù)全面領(lǐng)導(dǎo)責(zé)任。

b)組織制定本部門各專業(yè)、各系統(tǒng)設(shè)備運行管理標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程（SOP)和規(guī)章制度。

c)配置本部門所需的資源，包括人員、檢修設(shè)備、檢修耗材等。

d)根據(jù)要求組織制定本單位環(huán)保、節(jié)能、減排指標(biāo)。

4.3.3運行管理人員的主要職責(zé)

a)保證本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統(tǒng)運行管理滿足生產(chǎn)的實際需求。

b)落實規(guī)章制度和各專業(yè)、各系統(tǒng)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程，培訓(xùn)相關(guān)員工。

c)落實本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統(tǒng)設(shè)備維修保養(yǎng)制度和計劃的落實，讓各系統(tǒng)始終處于良

好的運行狀況。

d)組織制定落實本部門應(yīng)急預(yù)案。

e)根據(jù)環(huán)保、節(jié)能、減排指標(biāo)，制定相對應(yīng)的可行性措施、方案和計劃。

4.3.4運行維護人員的主要職責(zé)

a)熟練掌握本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

b)負(fù)責(zé)本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統(tǒng)設(shè)備維護巡檢、維護保養(yǎng)并記錄、歸檔保存工作。

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c)負(fù)責(zé)本部門范圍內(nèi)的各種應(yīng)急預(yù)案演練和實施。

d)負(fù)責(zé)本單位環(huán)保、節(jié)能、減排指標(biāo)可行性措施、方案和計劃的實施。

管理制度

4.4.1結(jié)合本單位潔凈車間的實際使用情況，建立建全本部門的各項管理制度；

4.4.2潔凈車間運行管理應(yīng)具備以下制度和標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程：

a)各專業(yè)、各系統(tǒng)人員的崗位職責(zé)；

b)潔凈車間的檢測制度；

c)消防管理制度；

d)設(shè)備管理制度；

e)安全管理制度；

f)應(yīng)急管理制度；

g)人員培訓(xùn)制度；

h)特種設(shè)備管理制度；

i)中央空調(diào)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

j)凈化空調(diào)機組標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

k)純水系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

l)綜合廢水處理系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

m)空壓系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

n)真空系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

o)氮氣系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

p)廢氣排風(fēng)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

q)供變配電系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

r)特氣系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

s)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

t)化學(xué)供藥系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

u)鍋爐系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

檔案管理

4.5.1檔案資料應(yīng)詳實，全面反映潔凈車間各系統(tǒng)及設(shè)備運行的基本情況及維修保養(yǎng)記錄，并根據(jù)變

化及時更新。

4.5.2檔案資料應(yīng)分門別類造冊，存放整齊，便于查找。

4.5.3對于采用FMCS（廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)）存儲系統(tǒng)運行管理數(shù)據(jù)的潔凈車間，電子檔案數(shù)據(jù)保存時間應(yīng)

符合要求。

4.5.4潔凈室運行維護檔案應(yīng)包括下列內(nèi)容：

a)本部門的規(guī)章制度；

b)各專業(yè)各系統(tǒng)及設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程；

c)人員培訓(xùn)及管理文件；

d)安全及應(yīng)急管理文件；

e)承包商管理文件；

f)配件、耗材、檢測工具設(shè)備的使用管理文件。

g)潔凈車間的竣工圖（包含平面圖、系統(tǒng)圖、剖面圖等）；

h)各專業(yè)各系統(tǒng)設(shè)備的出廠合格證、檢測報告、維護手冊、操作使用說明書；

i)各專業(yè)各系統(tǒng)的施工組織設(shè)計、專項方案；

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j)各專業(yè)各系統(tǒng)施工過程文件（包括開工報告、材料進(jìn)場驗收報告、隱蔽工程驗收、漏光測試、

試壓記錄、試運行記錄等）；

k)設(shè)備運行日常點檢記錄；

l)設(shè)備維修保養(yǎng)記錄；

m)初、中、高效空氣過濾器，化學(xué)過濾器的更換記錄；

n)日常事故分析及處理記錄；

o)消防及應(yīng)急預(yù)案演練記錄。

檔案管理部門

維護管理部門應(yīng)設(shè)立專門的檔案管理人員，為查閱方便，檔案資料應(yīng)由本部門保管。

檔案保存時間

所有檔案資料應(yīng)保存應(yīng)不小于兩年。

5潔凈車間管理

潔凈車間的管理及定期檢查

5.1.1潔凈車間的監(jiān)測

5.1.1.1為確保潔凈車間的各項參數(shù)達(dá)到設(shè)計需求，應(yīng)按規(guī)范GB50073的方法和要求對潔凈車間的潔

凈度、溫濕度等參數(shù)進(jìn)行定期監(jiān)測，監(jiān)測項目和頻次依照有規(guī)定。

5.1.1.2發(fā)現(xiàn)下列情況，高效過濾器應(yīng)予更換：

a)氣流速度降到最低限度，即使更換初效和中效空氣過濾后，氣流速度仍不能增大；

b)高效空氣過濾器風(fēng)量為原風(fēng)量的70%；

c)高效空氣過濾器出現(xiàn)無法修補的滲漏。

5.1.2潔凈車間的維護

5.1.2.1建立潔凈車間安全措施綜合系統(tǒng)，設(shè)置火災(zāi)報警、排煙、消防、事故照明等設(shè)施，對生產(chǎn)中

使用化學(xué)品、氣體的潔凈車間，還應(yīng)根據(jù)腐蝕、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性質(zhì)采取相應(yīng)的安全措

施；

5.1.2.2潔凈車間的維護管理應(yīng)包括對潔凈車間的空氣凈化設(shè)備、物料、設(shè)備和潔凈車間的操作人員

等管理，應(yīng)建立相應(yīng)的管理制度，明確管理內(nèi)容、方法和責(zé)任，執(zhí)行應(yīng)有記錄；

5.1.2.3潔潔車間除了依靠使用人員日常管理外，應(yīng)建立潔凈車間檢修制度，對潔凈車間空調(diào)系統(tǒng)、

空氣凈化設(shè)備和外圍公用設(shè)備等實行定期檢修和保養(yǎng)。

人員管理

5.2.1潔凈車間的工作人員要求

5.2.1.1嚴(yán)格控制進(jìn)入潔凈車間的人員數(shù)量。由生產(chǎn)技術(shù)部、質(zhì)檢部共同確定潔凈車間的操作人員數(shù)

量，一經(jīng)商定，必須嚴(yán)格控制；

5.2.1.2嚴(yán)格控制臨時進(jìn)入潔凈車間的維護、檢測人員和其他人員，如參觀者等，臨時進(jìn)入者必須辦

理申請、批準(zhǔn)手續(xù)并佩帶進(jìn)出標(biāo)志。

5.2.1.3下列人員不準(zhǔn)進(jìn)入潔凈車間：

a)皮膚有曬焦、剝離、外傷和炎癥、瘙癢癥者；

b)鼻子排出物過多者；

c)感冒、咳嗽、凍傷、濕疹等疾病患者；

d)過多掉頭皮、頭發(fā)者，有搓皮膚、挖鼻孔、搔頭等不良習(xí)慣者；

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e)沒有按規(guī)定洗去化妝品、指甲油和未穿潔凈工作服者；沒有及時刮須、剪指甲者。

5.2.1.4對潔凈車間工作人員應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行定期考核、培訓(xùn)；對臨時進(jìn)入人員應(yīng)進(jìn)行監(jiān)督、記錄。

5.2.1.5進(jìn)入潔凈車間的工作人員不準(zhǔn)帶入下列物件：

a)未按規(guī)定進(jìn)行凈化的物料、容器、工具、儀器等；

b)未確定為低發(fā)塵性的記錄、筆記用紙；

c)未經(jīng)允許的放射性物質(zhì)；

d)作業(yè)人員的手表、首飾、化妝品、手紙、手帕、錢包、鑰匙、筆記本、食品等。

5.2.1.6潔凈車間進(jìn)入管理

a)進(jìn)入潔凈車間的人員應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈

室內(nèi)必須按規(guī)定先通過換鞋柜，坐在柜子上進(jìn)行換室內(nèi)鞋，把自己穿的鞋子放在鞋柜外面指

定位置上，穿工作鞋進(jìn)入更衣室。男員工進(jìn)入男更衣室，女員工進(jìn)入女更衣室，在門口須有

明顯指示標(biāo)識。進(jìn)入更衣室后把外套脫去換上凈化工作服，按要求佩戴工作帽，進(jìn)入緩沖間

進(jìn)行洗手消毒。洗手消毒后通過潔凈通道進(jìn)入潔凈車間。

b)工作人員在潔凈車間內(nèi)工作時，動作要輕，嚴(yán)格執(zhí)行操作規(guī)程，不允許跑跳、打鬧，不作不

必要的動作，不作易發(fā)塵和大幅度的動作。

c)為不干擾氣流，在作業(yè)區(qū)上游側(cè)不應(yīng)放物品，生產(chǎn)操作在氣流的上游進(jìn)行。

d)不允許將與生產(chǎn)無關(guān)和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈車間。

e)嚴(yán)禁在潔凈車間內(nèi)吸煙、飲食、嚼檳榔、嚼口香糖等與生產(chǎn)無關(guān)的活動。

f)嚴(yán)禁手不消毒進(jìn)入凈化車間。

5.2.1.7進(jìn)出潔凈室應(yīng)遵循以下流程：

a)人員進(jìn)入：換鞋-更衣-手消-清潔走廊-各工藝崗位；

b)人員退出：各工藝崗位-清潔走廊-手消-更衣-換鞋；

c)物料進(jìn)入：外包裝清理-拆包-緩沖-清潔走廊-各工藝物料需求；

d)物料退出：各工藝物料成品-清潔走廊-緩沖-室外。

5.2.1.8潔凈車間的工作服（潔凈服）

5.2.1.8.1潔凈工作服材料的選擇

a)不起塵，應(yīng)采用難于引起纖維脫落，穿用較長時間也無斷絲現(xiàn)象的纖維。

b)有過濾效果，人體的發(fā)塵不應(yīng)通過面料向外擴散。

c)不得采用防靜電性能不良導(dǎo)體材料。

d)具有穿著舒適、活動方便、不悶熱的材料。

e)耐久性較好，因需經(jīng)常洗滌、重復(fù)使用，應(yīng)具有反復(fù)洗滌的耐久性。

f)不宜黏附塵粒，具體耐腐蝕性，操作方便，清洗后不起皺和不需燙熨，不透明等。

5.2.1.8.2各等級潔凈車間應(yīng)穿著潔凈服的要求，如表1所示。

表1

凈化級別衣、帽、褲子手套鞋鞋套網(wǎng)帽口罩

6級（1000級）及以上三者連體按工藝需求√√√√

7級（10000級）分裝型，護士帽按工藝需求√--√

8級（100000級）及以下大褂，護士帽按工藝需求√--√

5.2.1.8.3潔凈服的使用和管理

a)日常作業(yè)后，潔凈服應(yīng)放在規(guī)定的專用存放柜內(nèi)。

b)作業(yè)人員的潔凈服發(fā)放時間應(yīng)盡量一致。

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c)潔凈服的一次使用時間不應(yīng)超過工藝生產(chǎn)的周期時間，通常潔凈度高于5級（100級）及以上

潔凈車間使用的潔凈服應(yīng)每周清洗2~3次；6級（1000級）車間車間使用的潔凈服應(yīng)每周清

洗1~2次，7級（10000級）及以下潔凈車間使用的潔凈服應(yīng)每半個月清洗1次。

d)潔凈服按規(guī)定時間清洗后，通常潔凈服清洗100次后應(yīng)檢測確定是否廢棄。

e)潔凈度高于5級（100級）及以上潔凈車間使用的潔凈服應(yīng)在專用的洗衣房內(nèi)清洗，采用專業(yè)

的工業(yè)無塵清洗和烘干設(shè)備，清洗烘干后包裝區(qū)的潔凈車間的級別不得低于5級（100級）；

7級（10000級）及以下潔凈車間使用的潔凈服清洗、烘干后包裝區(qū)的潔凈度不低于6級（1000

級）。

f)潔凈服清洗的洗衣房應(yīng)設(shè)置粗洗區(qū)和精洗區(qū)，設(shè)置專人對送來清洗的潔凈服進(jìn)行分揀，表面

看比較臟的潔凈服應(yīng)經(jīng)過粗洗后再進(jìn)入精洗機內(nèi)清洗。

g)洗衣房使用的清洗用水的水質(zhì)應(yīng)參照規(guī)范GB/T11446.1《中國國家電子電子級超純水標(biāo)準(zhǔn)》：

粗洗區(qū)使用水源應(yīng)為EW-Ⅲ級別的純水；精洗區(qū)使用的水源應(yīng)為EW-Ⅱ級別的純水。

潔凈車間的清掃

5.3.1潔凈車間內(nèi)的清掃工具一般采用集中式或便攜式真空清掃設(shè)備，若不具備條件時，也可采用不

掉纖維、不產(chǎn)塵的材料如無紡布、絲光毛巾、尼龍等進(jìn)行擦拭。

5.3.2潔凈車間內(nèi)的清潔要求如表2所示。

表2

凈化級別地面清潔墻面清潔工作臺清潔設(shè)備清掃檢查

6級（1000級）及以上1次/周1次/月1次/日1次/日目視或觸摸

7級（10000級）1次/2周1次/2月1次/日1次/日目視或觸摸

8級（100000級）及以下1次/月1次/2月1次/日1次/日目視或觸摸

5.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)每年應(yīng)清掃1~2次，并安排專業(yè)的清潔人員進(jìn)行。

6潔凈車間的環(huán)境控制要求

對塵埃粒子的要求

表3按粒子濃度劃分的空氣潔凈度ISO級別

大于或等于關(guān)注粒徑的粒子最大允許濃度a個/m3

ISO等級數(shù)N0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm

110bdddde

210024b10bdde

3100023710235bde

4100002370102035283be

510000023700102003520832d,e,f

61000000237000102000352008320293

7ccc352000832002930

8ccc352000083200029300

9gccc352000008320000293000

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a本表中的所有濃度都是累積的,例如ISO5級,0.3μm所對應(yīng)的10200個粒子包括所有粒徑大

于或等于該粒徑的粒子。

b這些濃度需大采樣量才能用于分級。可以使用序貫采樣程序,見附錄D。

c表格這一區(qū)域因粒子濃度太高,濃度限值不適用。

d受采樣和統(tǒng)計方法的制約,在粒子濃度低時不適用于分級。

e粒徑大于1μm的低濃度粒子在采樣系統(tǒng)可能有損耗,此粒徑不適合分級之用。

fISO5級中此粒徑可采用大粒子M描述符,但至少要結(jié)合另一個粒徑一起使用(見C.7)。

g該級別只適用于動態(tài)。

潔凈區(qū)內(nèi)的懸浮粒子的潔凈度、濃度限值的測試應(yīng)按照GB/T25915.1標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定；測試采樣點、采樣

次數(shù)、測試方法及所需使用儀器應(yīng)按照GB/T25915.1的規(guī)定。

對于潔凈等級≤ISO5的潔凈室，潔凈區(qū)分級檢測間隔應(yīng)不超過6個月；對于＞ISO5的潔凈室，潔

凈區(qū)分級檢測應(yīng)不超過12個月；（NEBB潔凈室認(rèn)證測試程序性標(biāo)準(zhǔn)）在分級檢測的間隔期間，應(yīng)根據(jù)

生產(chǎn)工藝，產(chǎn)品種類，生產(chǎn)過程中的環(huán)境要求等進(jìn)行日常環(huán)境監(jiān)測，監(jiān)測頻率應(yīng)結(jié)合實際情況制定。

對溫濕度的要求

表4對溫濕度的要求

溫度(℃)相對濕度(%)

房間類別

冬季夏季冬季夏季

生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室按具體生產(chǎn)工藝要求確定

生產(chǎn)工藝有無求的潔凈室≤22～2430～5040～70

人員凈化及生活用室～18～28--

參照GB50472-2008執(zhí)行。

表5有恒溫恒濕要求時的溫、濕度測點數(shù)

波動范圍室面積≤50m2每增加20~50m

溫度波動△t=±0.5～±2°℃

5增加3~5個

相對濕度波動△RH=±5%～±10%

溫度波動△t≤|0.5|℃

點間距不應(yīng)大于2m，點數(shù)不應(yīng)少于5個

相對濕度波動△RH≤|5|%

潔凈區(qū)溫度檢測間隔應(yīng)不超過12月（NEBB潔凈室認(rèn)證測試程序性標(biāo)準(zhǔn)）

對氣壓的要求

6.3.1潔凈室（區(qū)）應(yīng)與周圍的空間保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合以下規(guī)定：

a)各潔凈潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要去確定；

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b)不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

c)潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；

d)潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa；

e)壓差檢測規(guī)程。

6.3.1.1在測量各房間之間以及房間與外部之間的壓差前，宜先確認(rèn)送風(fēng)量和設(shè)施的風(fēng)量均衡符合規(guī)

定要求。

6.3.1.2所有的門保持關(guān)閉，測量并記錄潔凈室與周圍環(huán)境之間的壓差。

6.3.1.3若設(shè)施內(nèi)有多間潔凈室，先測量最里層房間與相鄰房間之間的壓差，然后依次向外層測量，

直至測量到最外層密閉區(qū)和輔助區(qū)之間以及與室外環(huán)境之間的壓差。

6.3.1.4所測的壓差一般很小，測量方法不正確很容易造成讀數(shù)錯誤，鑒于此，應(yīng)考慮下列措施：

a)建議設(shè)置永久性測點；

b)測點設(shè)在潔凈室中央，遠(yuǎn)離可能影響測點局部壓力的送風(fēng)口和回風(fēng)口。當(dāng)前的ISO14644標(biāo)

準(zhǔn)不涉及潔凈室壓差，盡管通常使用6到25Pa的壓差，除非另有說明，否則12.5Pa是

房間之間的常見增量。（NEBB潔凈室認(rèn)證測試程序性標(biāo)準(zhǔn)第三版）潔凈區(qū)氣壓差檢測間隔

應(yīng)不超過12月（NEBB潔凈室認(rèn)證測試程序性標(biāo)準(zhǔn)）。

對新風(fēng)的要求

6.4.1新風(fēng)系統(tǒng)在使用過程中，需要專業(yè)人員對系統(tǒng)進(jìn)行定期檢查，并調(diào)節(jié)風(fēng)量，保證新風(fēng)系統(tǒng)的正

常運行效果。

6.4.2定期對風(fēng)口和濾網(wǎng)進(jìn)行更換或清洗，必須使用專業(yè)的清潔藥劑對新風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)口以及濾網(wǎng)進(jìn)行

清洗，并將灰塵全部清理干凈，以免影響新風(fēng)系統(tǒng)的正常使用：注意觀察風(fēng)速系統(tǒng)的風(fēng)速是否達(dá)標(biāo)。

6.4.3定期對主機連線進(jìn)行檢查，如出現(xiàn)老化或松動情況，要及時處理，以免帶來不可預(yù)料的后果。

6.4.4由專業(yè)的維修人員定期對管道的氣密性以及控制面板進(jìn)行檢測與維護，發(fā)現(xiàn)問題要及時處理，

以改善新風(fēng)運行效果。

對噪聲的要求

6.5.1電子潔凈車間的噪聲應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的規(guī)定。

6.5.2對于噪聲值超過潔凈車間允許值的冷水機組、空壓機、真空泵等設(shè)備，宜設(shè)置在單獨的動力站

廠房內(nèi)或設(shè)置專用隔聲或消聲設(shè)施。

6.5.3安裝在潔凈車間技術(shù)夾層的FFU、風(fēng)機、風(fēng)柜應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。安裝在潔凈車間里的回風(fēng)百

葉、送風(fēng)口、技術(shù)夾層管道的截面流速宜滿足室內(nèi)容許噪聲級要求。

對防靜電的要求

6.6.1防靜電區(qū)運行要求

a)應(yīng)定期檢驗防靜電接地系統(tǒng)的可靠性連接。

b)工作人員進(jìn)入防靜電區(qū)域，應(yīng)進(jìn)行靜電泄漏處理、穿防靜電工作服和鞋。

c)防靜電工作臺面上禁止放置非生產(chǎn)物品。

d)防靜電工作臺應(yīng)可靠接地，并設(shè)置腕帶連接裝置。

6.6.2防靜電區(qū)管理和維護要求

a)應(yīng)落實專人負(fù)責(zé)靜電防護管理。

b)應(yīng)定期測量防靜電工作區(qū)域內(nèi)的地面、墻面、柱面、頂棚、工作面等表面的電阻值，并做好

書面記錄，其電阻值應(yīng)滿足相關(guān)規(guī)范的要求。

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c)應(yīng)常備一定數(shù)量的防靜電工作服、鞋等個人用品以備來訪人員使用。

對TVOC(VOC)有機污染物控制的要求

a)需定期對過濾器系統(tǒng)中的過濾器產(chǎn)品進(jìn)行更換，一般初中效過濾產(chǎn)品可以根據(jù)產(chǎn)品運行壓差

值達(dá)到終阻力時進(jìn)行更換，吸附型過濾產(chǎn)品需根據(jù)產(chǎn)品選型對比現(xiàn)場上游數(shù)據(jù)和下游指標(biāo)數(shù)

據(jù)確定更換周期，定期更換對應(yīng)過濾產(chǎn)品。

b)對采用水淋系統(tǒng)的用戶，要求固定時間添加對應(yīng)中和試劑確保水淋系統(tǒng)有效運行。同時要求

定期對系統(tǒng)進(jìn)行有效的清潔工作。

c)定期對VOC排放口進(jìn)行數(shù)據(jù)檢測，確保隨時排放數(shù)據(jù)能處于達(dá)標(biāo)范圍之內(nèi)。

對AMC氣溶膠控制的要求

6.8.1控制管理分級

根據(jù)AMC對電子工業(yè)產(chǎn)品的影響大小，我們可分為三個對應(yīng)運行維護管理級別。

6.8.1.1一級管理：AMC表面控制管理

AMC對電子工業(yè)產(chǎn)品影響可以通過產(chǎn)品表面觀察，或常規(guī)儀器可以分析判斷的，通過現(xiàn)場質(zhì)檢對產(chǎn)

品通過觀察檢測判斷，根據(jù)結(jié)果及時更換吸附性過濾產(chǎn)品。

6.8.1.2二級管理：AMC定期測試管理

AMC對電子工業(yè)產(chǎn)品的影響需要通過專業(yè)儀器檢測的，同時形成影響的周期需要較長時間的，需要

定期安排專業(yè)儀器對產(chǎn)品工藝環(huán)境進(jìn)行檢測，通過檢測數(shù)據(jù)變動情況確定吸附型過濾產(chǎn)品是否更換。

6.8.1.3三級管理：AMC控制策略管理

生產(chǎn)的電子工業(yè)產(chǎn)品對AMC比較敏感的，要求嚴(yán)格的，需采用專業(yè)儀器對現(xiàn)場做實時監(jiān)測，發(fā)現(xiàn)數(shù)

據(jù)出現(xiàn)問題可以第一時間安排處理。同時要求常備吸附性過濾產(chǎn)品庫存，確保隨時可以安排更換。

7潔凈車間公用設(shè)備的運行與維護

基本要求

7.1.1潔凈車間公用設(shè)備主要包括水、電、氣的供應(yīng)系統(tǒng)；這些設(shè)備是實現(xiàn)潔凈車間正常、安全運行

的重要裝置，要做好日常的維護、定期檢查和規(guī)定的測試、認(rèn)證。

7.1.2設(shè)備操作、維護人員，應(yīng)定期參加業(yè)務(wù)和技能培訓(xùn)，考核合格后方可上崗。從事特種設(shè)備作業(yè)

的人員必須經(jīng)過培訓(xùn)考核合格取得《特種設(shè)備作業(yè)人員證》，方可從事相應(yīng)的作業(yè)。

7.1.3按規(guī)定記錄各類設(shè)備的運轉(zhuǎn)狀態(tài)及有關(guān)參數(shù)，記錄和分析定期檢查、維修、清洗狀況，定期檢

查設(shè)備的完好狀態(tài)。

7.1.4建立各類設(shè)備運行檔案，將設(shè)備說明書、圖紙技術(shù)資料分類編號并妥善保管。設(shè)備維修、儀器

儀表校正記錄，設(shè)備故障事故記錄、運行記錄匯編成冊保管，以便掌握設(shè)備、儀器的完好狀況，即時分

析可能出現(xiàn)的問題，確保潔凈室正常安全運行。

制冷主機運行維護

7.2.1值班人員應(yīng)檢查并填寫運行記錄，包括冷水機組的冷凍水進(jìn)出水溫度，冷卻水進(jìn)出水溫度，負(fù)

荷狀況，進(jìn)出水溫差，冷凝蒸發(fā)壓力，各相電壓，電流，油溫，溫壓等級，檢查周期1次/2小時；

7.2.2檢查油壓是否正常，油過濾器壓差大于25PSIG時，應(yīng)更換油過濾器。并檢查回油系統(tǒng)的工作狀

況，回油溫度（軸承溫度）應(yīng)在允許范圍內(nèi)，檢查周期1次/2小時；

7.2.3檢查冷卻水塔、換熱器換熱效果，確保冷水機組正常運行,檢查周期1次/2小時;

7.2.4檢測冷水機組系統(tǒng)各保護裝置和開關(guān)正常工作，檢查周期1次/日；

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7.2.5檢查水泵運轉(zhuǎn)是否正常，有無異常振動及噪音，檢查周期1次/日；

7.2.6檢查機組有無異常振動及噪聲并立即進(jìn)行處理，檢查周期1次/日；

7.2.7檢查油位是否位于上視鏡中間，出現(xiàn)油位低應(yīng)立即補充冷凍機油，檢查周期1次/日；

7.2.8檢查機組各項運行參數(shù)和電腦控制中心工作程序，檢查周期1次/日；

7.2.9檢查冷卻水塔、換熱器換熱效果，確保冷水機組正常運行,檢查周期1次/日;

7.2.10檢查機組螺栓是否有松動,保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.11檢查機組、管道保溫，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.12檢查機組是否泄漏冷媒介質(zhì)，有滲漏時應(yīng)立即處理，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.13檢查油位是否適中，出現(xiàn)低油位應(yīng)立即進(jìn)行補充，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.14檢查啟動電源柜接線螺絲松緊狀況，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.15檢查回油系統(tǒng)、更換干燥器、油過濾器、檢測冷凍機潤滑油應(yīng)符合下列的規(guī)格：

a)在100F(38℃)時的黏度300±25ssu(59.2至70.1平方毫米/秒)；

b)在210F(99℃)時的黏度50至55ssu(7.3至8.8平方毫米/秒)；

c)最小黏度指數(shù)955.2.4最高流動點-5F(-21℃)5.2.5最低閃火點400F(204℃)5.2.6酸性指

d)數(shù)不可超過2.0mgKOH/mg；

e)測試達(dá)不到上述指標(biāo)，應(yīng)更換冷凍機潤滑油。

7.2.16檢查主機操作及機組運行參數(shù)，檢查電腦板工作程序，對有關(guān)元件作適當(dāng)調(diào)整，保養(yǎng)周期1

次/年；

7.2.17檢查潤滑系統(tǒng)，油過濾器壓差大于25PSIG時，應(yīng)更換油過濾器、冷媒濾芯及冷媒過濾網(wǎng),保養(yǎng)

周期1次/年；

7.2.18檢查軸承磨損情況，軸承如有磨損，有時可由異常振動及軸承溫升高等現(xiàn)象檢查出來,保養(yǎng)周

期1次/年；

7.2.19檢查壓縮機馬達(dá)，檢測馬達(dá)絕緣電阻，對于閉式壓縮機絕緣電阻不小于50MΩ，開式不小于0.5M

Ω,保養(yǎng)周期1次/年；

7.2.20檢查冷某介質(zhì)充注量，其液位應(yīng)位于冷某介質(zhì)視鏡中間，必要時作適當(dāng)調(diào)整,保養(yǎng)周期1次/

年；

7.2.21檢查清洗蒸發(fā)器，冷凝器換熱銅管，如果銅管結(jié)垢嚴(yán)重應(yīng)清洗,保養(yǎng)周期1次/年；

7.2.22空調(diào)冷源系統(tǒng)停機前應(yīng)檢查和匯總當(dāng)年機組運行情況，填寫機組運行狀況匯總表，停機后應(yīng)填

寫維護保養(yǎng)工作表；

7.2.23不同種類冷熱源應(yīng)根據(jù)實際使用情況，按照每周、每月、每季度、每年制定定期維護計劃；

鍋爐的運行維護

7.3.1一般規(guī)定

a)鍋爐日常維護保養(yǎng)應(yīng)按照鍋爐廠家提供的使用（運行）說明書進(jìn)行日常維護保養(yǎng)。

b)做好備品備件的管理，確保日常維護保養(yǎng)所需的備品備件滿足日常需要。

c)為降低臨時維修對于生產(chǎn)的影響，應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行運營管理和設(shè)備管理制度，提高日常巡檢和定

期試驗的質(zhì)量，及早發(fā)現(xiàn)隱患和缺陷，及時消缺，減少故障停爐的概率，并通過嚴(yán)抓缺陷管

理減少重復(fù)缺陷的發(fā)生，確保應(yīng)修必修，修必修好。

d)應(yīng)重視計劃維修的計劃編制工作，按照鍋爐廠家推薦的維修周期，同時結(jié)合鍋爐實際運行過

程中的缺陷，利用生產(chǎn)淡季或者過渡季，合理安排維修時間和工期，盡量減少停爐帶來的經(jīng)

濟損失。

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7.3.2維修計劃

a)鍋爐設(shè)備的維修項目分標(biāo)準(zhǔn)項目和特殊項目兩類。

b)鍋爐大修項目計劃需在機組大修前四個月編制出來，鍋爐小修項目計劃需在機組小修前二個

月編制出來。

c)鍋爐維修標(biāo)準(zhǔn)項目的主要內(nèi)容：

1)制造廠要求的項目；

2)全面解體、定期檢查、清掃、測量、調(diào)整和修理；

3)定期監(jiān)測、試驗、校驗和鑒定；

4)按規(guī)定需要定期更換零部件的項目；

5)按各項技術(shù)監(jiān)督規(guī)定檢查項目；

6)消除設(shè)備和系統(tǒng)的缺陷和隱患。

d)特殊項目為標(biāo)準(zhǔn)項目以外的維修項目以及反事故措施、節(jié)能措施、技改措施等項目。

e)部分項目可安排在大（?。┬耷斑M(jìn)行。

f)在鍋爐運行期間可利用設(shè)備切換完成的設(shè)備維修項目不宜列入大（?。┬揄椖俊?/p>

7.3.3日常維護保養(yǎng)項目

a)每日：鍋爐排污、水位計及水位控制器疏水；檢查水質(zhì)是否符合要求；檢查燃燒裝置及燃料

供應(yīng)是否正常；檢查水位計的水位；檢查給水泵及自動給水系統(tǒng)是否正常；檢查壓力（溫度）

自動控制是否靈敏可靠。

b)每周：確認(rèn)低水位保護繼電器工作正常。

c)每半月：檢查安全閥是否靈敏可靠，做手動排汽試驗。

d)每月：檢查火焰監(jiān)視器，用干布輕輕擦檢測器的向火面；清洗油過濾器；清洗水泵過濾器；

清洗日用油箱、日用水箱；檢查電動執(zhí)行器，動作是否靈敏，接地和零線是否可靠；確認(rèn)風(fēng)

門控制器設(shè)定值。

e)每半年：清洗燃燒器風(fēng)葉；清洗油泵過濾器；清洗油噴嘴和點火電極，并確認(rèn)其裝配尺寸；

檢查水位控制及報警器內(nèi)電極，用砂布清潔電極（取電極時，鍋爐應(yīng)無壓狀態(tài)）；檢查電氣

接線點的松動，對各處螺母、螺釘采取緊固措施；檢查鍋爐內(nèi)結(jié)垢情況，并采取措施清除或

預(yù)防。

f)每年：重復(fù)半年期維護內(nèi)容；打開煙箱門及檢查孔，清潔燃燒室的積灰；受壓元件年檢。

水系統(tǒng)及附屬設(shè)備運行維護

7.4.1電子潔凈車間的冷卻水、冷凍水、熱水系統(tǒng)宜在系統(tǒng)啟用前對冷卻水塔及管路進(jìn)行清洗消毒，

并取樣送有檢測資質(zhì)的機構(gòu)進(jìn)行檢測，檢測結(jié)果符合GB500500和GB50365的要求方可投入使用。

7.4.2水系統(tǒng)宜根據(jù)水質(zhì)的情況，設(shè)置持續(xù)過濾、緩蝕、阻垢、殺菌和滅藻等的水處理裝置，在停機

維修保養(yǎng)時還應(yīng)對過濾器進(jìn)行拆洗清潔工作。

7.4.3對于水質(zhì)報告中PH值、電導(dǎo)率、總硬度、鈣離子、氯離子超出基準(zhǔn)要求的地區(qū)，應(yīng)設(shè)置水處理

設(shè)備。對于循環(huán)流量≥1000m3/h的空調(diào)冷卻水系統(tǒng)宜設(shè)置砂濾系統(tǒng)。

7.4.4水系統(tǒng)運行期間，日常點檢人員宜巡檢管道及附屬設(shè)備每天≥2次。

氣動設(shè)備的運行維護

7.5.1空壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng)的啟停及日常運行操作應(yīng)嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程（SOP）來進(jìn)行。

7.5.2空壓機的的維護保養(yǎng)要求：

a)主電機風(fēng)扇和冷卻器散熱片的清潔工作，宜每15天清潔1次。

b)在空壓氣進(jìn)氣的處宜加無紡布防塵網(wǎng)，防塵網(wǎng)宜每周清潔1次。

c)疏水器的清潔清洗宜每15天清潔1次。

d)油過濾器：首次磨合500小時更換,不同品牌的具體時間有所不同，可根據(jù)說明書來定，以后

視使用情況每1000~2000小時更換1次。

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e)電控箱的清潔工作宜每半年清單1次。

f)空壓機冷凝水宜每24小時排放1次；最好選擇可以自動排放的空壓機。

g)空氣濾清器濾芯差達(dá)到-45mbar，需要清潔干凈后安裝到位，用戶可配備兩套過濾器，在清潔

工作中可交替使用，使用情況每500~1000小時清潔1次（用潔凈壓縮空氣反吹），清潔2~4

次后更換新的濾芯。

h)油細(xì)分離器濾芯：視使用情況外置的宜每1500~3000小時更換，內(nèi)置的每3000~6000小時更

換。

i)操作人員及維修工檢查設(shè)備要運用看、摸、聽的手段，看外表、摸溫升、聽聲音，判斷設(shè)備

運行是否正常，有隱患應(yīng)及時報告。

j)每月檢查電控柜與主機接地線，確保接地良好不得有漏電現(xiàn)象發(fā)生。

k)每年檢查電機接線盒端子是否牢固。

l)當(dāng)空壓機停機超過4小時，必須關(guān)閉空壓機出氣管道閥門，打開管道排水閥，及一級、二級

手動排水閥。

m)當(dāng)空壓機出現(xiàn)突然斷電，必須要檢測電路絕緣、電機絕緣不低于0.5兆歐，等待五分鐘后方

可開機。

n)空壓機儲氣罐安全閥，壓力表必須按國家標(biāo)準(zhǔn)每年進(jìn)行效驗。

7.5.3空壓系統(tǒng)后處理設(shè)備的維護保養(yǎng)要求:

a)儲氣罐或緩沖罐底部的冷凝水排放口宜安裝手動閥門及自動排水裝置，只安裝手動排水閥未

安裝自動排水裝置的宜每24小時手動排放冷凝水1次。

b)前置二級空氣過濾器每季度進(jìn)行更換（也可根據(jù)使用環(huán)境情況調(diào)整），末置二級過濾器每半

年進(jìn)行更換（也可根據(jù)使用環(huán)境情況調(diào)整）。

c)干燥機的排水口宜安裝自動排水裝置,只安裝手動排水閥未安裝自動排水裝置的宜每24小時

手動排放冷凝水1次。

d)每級空氣過濾器宜在底部安裝手動閥及自動排水裝置，空氣過濾器只安裝手動排水閥未安裝

自動排水裝置的宜每24小時手動排放冷凝水1次。

e)每班對過濾器和儲罐的排水閥進(jìn)行檢查，如果自動排水裝置排水不暢，宜及時維修或更換；

如手動排水閥排水不暢，宜在停機時更換。

f)根據(jù)干燥劑的使用情況和使用說明書對干燥劑進(jìn)行更換。

g)每月對整個空壓系統(tǒng)管道進(jìn)行檢查，發(fā)現(xiàn)泄漏時，及時進(jìn)行處理（切記不得帶壓維修）。

7.5.4真空系統(tǒng)的維護保養(yǎng)

7.5.4.1真空系統(tǒng)的運行要求

a)宜每2小時對真空泵進(jìn)行巡檢，巡檢內(nèi)容包括油位、泵溫、壓力、有無異響和超載等。

b)定期每班排放儲罐冷凝水1次。

c)如果聯(lián)軸器需要潤滑，請按照聯(lián)軸器生產(chǎn)廠家的要求加注潤滑油，宜每6個月檢1次。

d)檢查軸承的潤滑狀況，宜每6個月檢1次。

e)根據(jù)電機生產(chǎn)廠家的要求潤滑電機軸承，宜每6個月檢1次。

f)如安裝有檢查支管,需檢查真空管路是否堵塞；宜每6個月檢1次。

7.5.4.2真空系統(tǒng)的維護

a)每次使用結(jié)束應(yīng)立即進(jìn)行清潔。

b)要定期給真空泵添加潤滑油。

c)要注意泵油，不得超過40℃。

d)對于抽取的空氣含水的真空泵系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)含水量的大小定期對真空罐進(jìn)行排水。

e)定期對地腳焊絲進(jìn)行緊固在，泵體除垢刷油和檢查電機絕緣情況。

f)定期對入口空氣過濾器進(jìn)行清理。

氣體管路系統(tǒng)的運行維護

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7.6.1投入運行的氣體管道，應(yīng)定期巡檢，排除安全隱患，并建立技術(shù)檔案。

7.6.2不允許帶壓、帶氣維護管道。

7.6.3在易燃、易爆氣體，氧氣管道及氣體設(shè)備間進(jìn)行修理、動火作業(yè)，必須辦理維修、動火作業(yè)許

可證，需經(jīng)本單位安全部門批準(zhǔn)，并有切實可行的防范措施，在有人監(jiān)護下進(jìn)行維修、動火。

7.6.4易燃?xì)怏w管道或氧氣管道進(jìn)行動火作業(yè)，必須先行吹掃。并在動火前30分鐘進(jìn)行成份分析，經(jīng)

連續(xù)三次分析其含量確保符合安全標(biāo)準(zhǔn)時，方可檢修動火。

7.6.5對易燃、易爆、助燃、易窒息的氣體使用場所、純化間、中轉(zhuǎn)間、供氣站，應(yīng)設(shè)置氣體泄露偵

測報警系統(tǒng)。

水處理設(shè)備的運行維護

7.7.1純水處理設(shè)備

7.7.1.1稀釋化學(xué)品時，嚴(yán)禁先加化學(xué)品后加水；必須先加水再投化學(xué)品。

7.7.1.2經(jīng)過預(yù)處理，一般要求控制水質(zhì)SDI<5。

7.7.1.3EDI裝置啟動時，必須先通水后通電，停運時，必須先停電后停水。

7.7.1.4TOC啟動時，必須先通水后通電，停運時，必須先停電后停水。

7.7.1.5啟動前先將泵的進(jìn)水閥打開，且應(yīng)把泵的出水路徑找好，同時將相關(guān)的閥門打開，在啟動。

7.7.1.6閥門切換時，應(yīng)先開后關(guān)，緩開緩閉。

7.7.1.7PVC管路應(yīng)避免硬場撞擊，以免損壞。

7.7.1.8反滲透器進(jìn)水水質(zhì)條件不變，當(dāng)出現(xiàn)下述情況，應(yīng)進(jìn)行清洗：

a)標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)水量降低10%以上。

b)進(jìn)水和濃水之間的標(biāo)準(zhǔn)化壓差上升15%。

c)標(biāo)準(zhǔn)化透鹽率增加5%以上。

7.7.1.9EDI模塊需要定期的清洗和殺菌，應(yīng)及時進(jìn)行。

7.7.1.10純水箱內(nèi)純水不能儲存時間過長，一般不得超過48小時。

7.7.1.11當(dāng)反滲透系統(tǒng)停機時間超過24小時，必須對反滲透膜進(jìn)行保護運行，即每天至少運行兩次；

終端去離子供回水管路必須保證有水循環(huán)，若停水超過48小時，必須對管路進(jìn)行殺菌清洗，清洗可采

用分析純雙氧水按30PPM濃度進(jìn)行沖洗，并排放掉清洗水。

7.7.2廢水管理設(shè)備

7.7.2.1定期巡查各藥罐藥量情況，若發(fā)現(xiàn)藥罐液位已到藥罐1/4液位，應(yīng)進(jìn)行配藥。

7.7.2.2對所有的設(shè)備進(jìn)行巡視，查看是否處于正常運行狀態(tài)，如發(fā)現(xiàn)設(shè)備固定螺絲松動、電機聲音

變、電機表面溫度太高等異常情況應(yīng)及時處理。

7.7.2.3鼓風(fēng)機在運轉(zhuǎn)時至少每隔一小時巡視一次，聽鼓風(fēng)機聲音是否正常，運轉(zhuǎn)聲音不應(yīng)有非正常

的磨擦聲和撞擊聲，如不正常時應(yīng)停機檢查，排除故障。

7.7.2.4巡查閥門是否處于正確狀態(tài)，巡查管道及部件是否有泄漏和噪音過大現(xiàn)象。

7.7.2.5定時上沉淀池巡查液面高度、出水是否清澈、是否帶泥等，觀察泥面高度，確定是否需要排

泥。

7.7.2.6由于設(shè)備中加入大量石灰等鈣鹽，易造成管路、過水孔結(jié)垢堵塞，因此，必須定時及時清泥、

壓泥。

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7.7.2.7未經(jīng)安全知識教育和崗位操作技術(shù)培訓(xùn)的人員，禁止上崗或獨自操作，操作人員應(yīng)熟悉廢水

站的工藝，并仔細(xì)閱讀各設(shè)備的使用說明書，熟悉各設(shè)備操作。

7.7.2.8廢水處理站應(yīng)建立安全運行巡回檢查制度，崗位操作記錄，設(shè)備運行、檢修記錄及事故處理

記錄。

7.7.2.9正常運行中，嚴(yán)禁爬越護欄或獨自進(jìn)入構(gòu)筑物和設(shè)備內(nèi)。

7.7.2.10因工作需要進(jìn)入有關(guān)構(gòu)筑物(或設(shè)備)內(nèi)時，應(yīng)采取必要的安全防范措施后方可組織實施，并

切實做好現(xiàn)場安全監(jiān)護工作。

7.7.2.11在動力設(shè)備進(jìn)行檢修或事故處理期間，應(yīng)對相應(yīng)的區(qū)域、設(shè)備和對應(yīng)的電器控制點設(shè)置安全

警示牌，采取必要的安全措施，并加強現(xiàn)場安全監(jiān)護。

7.7.2.12加強設(shè)備管理，做好各設(shè)施的維護保養(yǎng)工作，實行計劃檢修；每月一小修，一年一大修；發(fā)

現(xiàn)問題及時處理，確保站內(nèi)各設(shè)施能連續(xù)穩(wěn)定運行。

7.7.2.13對傳動設(shè)備的安全保護裝置應(yīng)加強維護和完善，無保護裝置的傳動設(shè)備，禁止運行。

7.7.2.14藥劑配制操作過程中一定要配備安全防護用品，小心操作。

7.7.2.15加強對藥品的管理，建立藥品進(jìn)出臺賬，防止藥品的非生產(chǎn)性流失。

變電、供電設(shè)備的運行維護

7.8.1變配電系統(tǒng)清掃

a)變電站高壓配電裝置根據(jù)設(shè)備污穢情況、負(fù)荷重要程度及負(fù)荷運行情況安排設(shè)備的清掃檢查

工作，室外設(shè)備每半年至少一次；室內(nèi)設(shè)備每年至少一次。污穢地區(qū)除采用防污型設(shè)備及器

材外，根據(jù)環(huán)境的情況，增加清掃的頻次。

b)停電清掃內(nèi)容：

1)清掃瓷絕緣表面污垢，檢查有無裂紋、破損及爬閃痕道；

2)檢查導(dǎo)電部分連接點是否緊密；鋼、鋁接點有無腐蝕現(xiàn)象；若已腐蝕，應(yīng)清除腐蝕層后

涂導(dǎo)電膏；

3)檢查設(shè)備外殼和支架的接地線是否牢固可靠，有無斷裂（斷膠）及腐蝕現(xiàn)象，必要時應(yīng)

涂防銹漆；

4)檢查傳動機構(gòu)和操作機構(gòu)的銷子、螺絲是否脫落或缺少，操作機構(gòu)的分、合閘是否靈活；

5)檢查配電裝置螺栓有無松動、腐蝕、脫落現(xiàn)象。

c)清掃工作必須有兩人在場，做好各種安全措施后，方可進(jìn)行；

d)清掃工作必須由持高壓電工進(jìn)網(wǎng)證的員工操作。

7.8.2設(shè)備絕緣預(yù)防性試驗

a)為確保供電系統(tǒng)正常穩(wěn)定運行，污水處理廠及泵站高壓配電裝置及設(shè)備應(yīng)根據(jù)要求，每年在

汛前完成電氣設(shè)備預(yù)防性試驗，并完成對試驗缺陷的整改。

b)高壓預(yù)防性試驗內(nèi)容包括變壓器、高壓變配電設(shè)備、高壓電纜、避雷器（針）等所有在檢測

范圍內(nèi)的項目。

c)高壓設(shè)備在大修后，必須進(jìn)行預(yù)防性試驗，否則不得投入使用。

d)變壓器、電容器等高壓設(shè)備停用半年后，新購高壓設(shè)備在投入使用前，必須進(jìn)行預(yù)防性試驗，

試驗合格后，方可投入使用。

7.8.3變壓器維護保養(yǎng)規(guī)程

a)投運變壓器之前，值班人員應(yīng)仔細(xì)檢查，確認(rèn)變壓器及其保護裝置在良好的狀態(tài)，具備帶電

運行條件，注意外部有無異物。臨時接地線是否已經(jīng)拆除，分接開關(guān)位置是否正確。

b)長期停運應(yīng)定期充電，投入運行時，同時投入冷卻裝置；主變壓器初次投入運行，應(yīng)空載24

小時，運行正常方可帶負(fù)荷運行；停運一年以上，準(zhǔn)備投入運行時，應(yīng)做超期試驗，合格后方可投

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入運行。

c)變壓器運行時，氣體保護裝置應(yīng)接信號和跳閘，有載分接開關(guān)的氣體保護應(yīng)跳閘。

7.8.4油浸式變壓器

a)變壓器周圍環(huán)境清潔。

b)檢查冷卻風(fēng)扇，有無放電現(xiàn)象。

c)各連接處連接是否正常。

d)接地裝置是否正常。

e)油位正常，無滲漏油情況。

f)吸潮劑顏是否色正常。

g)油箱外殼及附屬裝置清潔。

h)瓷套管無塵土、油垢，檢查有無裂紋、破損、閃絡(luò)放電痕跡和松動。

i)當(dāng)發(fā)現(xiàn)變壓器的油面壁油溫所應(yīng)有的油位顯著降低時，應(yīng)查明原因，補油時遵守操作規(guī)程，

禁止從變壓器下部補油，所補的新油應(yīng)與原牌號油一致，如牌號不一致，應(yīng)做混油試驗，變

壓器油位因溫度上升有可能高出油位指示極限，經(jīng)查明不是假油位所致時，則應(yīng)放油，使油

位降至與當(dāng)時油溫相對應(yīng)的高度，以免溢油。

j)油浸式變壓器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.5干式變壓器

a)檢查澆注型繞阻和相間接線有無積灰，有無龜裂、變色、放電等現(xiàn)象，絕緣電阻是否正常。

b)檢查鐵芯風(fēng)道有無灰塵異物堵塞，有無生銹或腐等現(xiàn)象。

c)檢查繞阻壓緊裝置是否松動各連接處連接正常冷卻。

d)檢查指針式溫度計等儀表和保護裝置動作是否正常。

e)檢查冷卻裝置包括電動機風(fēng)扇是否良好油位正常，有無滲漏油情況。

f)檢查有無由于局部過熱、有害氣體腐蝕等使絕緣表面出現(xiàn)爬電痕跡和炭化現(xiàn)象等造成的變色。

g)檢查變壓器所在的房屋或柜內(nèi)溫度是否特別高，其通風(fēng)，換氣狀態(tài)是否正常，變壓器風(fēng)冷裝

置運轉(zhuǎn)是否正常。

h)變壓器接地裝置是否可靠。

i)干式變壓器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.6互感器

a)電壓互感器

1)電壓互感器的絕緣子應(yīng)清潔、有無裂紋、有無破損及放電痕跡；

2)運行中的電壓互感器發(fā)出“嗡嗡”響聲是否正常，有無放電聲及放電痕跡；

3)油位是否正常，有無滲油和漏油，呼吸器的硅膠是否受潮變色；

4)二次回路接線是否牢固，各接頭有無松動；

5)接地是否牢固，接觸是否良好；

6)電壓互感器一、二次熔斷器是否完好；

7)隔離開關(guān)及輔助觸點接觸是否良好；

8)電壓互感器每月維護保養(yǎng)一次。

b)電流互感器

1)檢查電流互感器各接頭是否發(fā)熱及松動現(xiàn)象；

2)檢查電流互感器的二次側(cè)接線是否牢固、可靠；

3)檢查油色、油位是否正常，有無滲油和漏油，呼吸器的硅膠是否受潮變色；

4)檢查絕緣子是否清潔，有無破損紋及放電痕跡；

5)檢查運行中電流互感器發(fā)出“嗡嗡”響聲是否正常，滿負(fù)荷運行有無異常氣味；

6)電流互感器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.7斷路器

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a)油斷路器

1)檢查油色、油位是否正常，本體各充油部位有無滲油和漏油；

2)檢查瓷套管是否清潔，有無破損裂紋、放電痕跡；

3)檢查各連接頭接觸是否良好，有無發(fā)熱及松動；

4)檢查絕緣拉桿及拉桿絕緣子是否完好無缺陷，連接軟銅片是否完整，有無斷片；

5)檢查分、合閘機械指示器與斷路器實際狀態(tài)是否相對應(yīng)；

6)檢查室外操作機構(gòu)箱的門蓋是否關(guān)閉嚴(yán)密；

7)檢查操作機構(gòu)的連桿、拉桿絕緣子、彈簧等是否清潔，有無腐蝕和雜物卡阻；

8)檢查端子箱內(nèi)二次線端子是否受潮，有無銹蝕現(xiàn)象；

9)事故跳閘后，應(yīng)對斷路器進(jìn)行下列檢查:

有無噴油現(xiàn)象，油色和油位是否正常；本體各部位有無位移、變形、松動和損壞現(xiàn)象，瓷

件有無斷裂；引線連接點有無發(fā)熱或熔化；合閘線圈有無焦味。

10)高峰負(fù)荷時應(yīng)檢查斷路器各連接部位是否發(fā)熱、變色、打火；

11)大風(fēng)過后應(yīng)檢查引線有無松動斷股；

12)霧天、雷雨后應(yīng)檢查瓷套管有無閃絡(luò)痕跡；

13)雪天應(yīng)檢查各連接頭處積雪是否融化；

14)氣溫驟熱或驟冷應(yīng)檢查油位是否正常；

15)油斷路器每月維護保養(yǎng)一次。

b)六氟化硫斷路器

1)采用SF6斷路器自帶密度控制器或采用其他專用SF6氣體密度監(jiān)視器監(jiān)視斷路器內(nèi)SF6

氣體壓力，如果壓力下降即表明有漏氣現(xiàn)象，應(yīng)及時查出泄漏位置并進(jìn)行消除，否則將

危及人身和設(shè)備安全；

2)檢查外部瓷件有無破損、裂紋和嚴(yán)重污穢現(xiàn)象；

3)檢查接觸端子有無發(fā)熱跡象，如有即應(yīng)停電退出，消除后方可繼續(xù)運行；

4)斷路器在投入運行前應(yīng)檢查操動機構(gòu)是否靈活，分、合閘指示及紅綠燈信號是否正確；

5)運行中應(yīng)嚴(yán)格防止潮氣進(jìn)入斷路器內(nèi)部，以免由于電弧產(chǎn)生的氟化物和硫化物與水作用

對斷路器結(jié)構(gòu)材料產(chǎn)生腐蝕；

6)SF6斷路器每月維護保養(yǎng)一次。

c)真空斷路器

1)真空斷路器投入運行后（包括已掛網(wǎng)但處于備用狀態(tài)的設(shè)備）應(yīng)進(jìn)行定期巡視檢查，有

人值班變電所或發(fā)電廠廠用電設(shè)備每天當(dāng)班巡視不少于1次，無人值守變電所由各單位

根據(jù)具體情況確定，通常每旬不少于1次；

2)分、合指示器指示正確，應(yīng)與當(dāng)時實際運行工況相符；

3)支持絕緣子有無裂痕、損傷，表面是否光潔；

4)真空滅弧室無異常（包括無異常聲響），如果是玻璃外殼可觀察屏蔽罩顏色有無明顯變

化；

5)金屬框架或底座有無嚴(yán)重銹蝕和變形；

6)可觀察部位的連接螺栓無松動，軸銷有無脫落或變形；

7)接地是否良好；

8)引線接觸部位或有示溫蠟片部位有無過熱現(xiàn)象，引線馳度適中；

9)真空斷路器每