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文檔簡介

ICS83.140.10

G33

團體標準

T/CPPIAXXXX-202X

光致抗蝕干膜用聚酯薄膜

Polyesterfilmforphotoresistdryfilm

(征求意見稿)

202X-XX-XX發(fā)布202X-XX-XX實施

中國塑料加工工業(yè)協(xié)會發(fā)布

T/CPPIAXXXX-202X

光致抗蝕干膜用聚酯薄膜

1范圍

本文件規(guī)定了光致抗蝕干膜用聚酯薄膜(以下簡稱“薄膜”)的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則

、標志、包裝、運輸和貯存。

本文件適用于以聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂為主要原料,經(jīng)雙向拉伸工藝制得,用于光致

抗蝕干膜用途的薄膜材料。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用

于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T1040.3塑料拉伸性能的測定第3部分:薄膜和薄片的試驗條件

GB/T2035塑料術(shù)語及其定義

GB/T2410透明塑料透光率和霧度的測定

GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分:按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2918塑料試樣狀態(tài)調(diào)節(jié)和試驗的標準環(huán)境

GB/T6672塑料薄膜和薄片厚度測定機械測定法

GB/T6673塑料薄膜和薄片長度和寬度的測定

GB/T8807塑料鏡面光澤試驗方法

GB/T10006塑料薄膜和薄片摩擦系數(shù)測定方法

GB/T14216塑料膜和片潤濕張力的測定

GB/T16958包裝用雙向拉伸聚酯薄膜

3術(shù)語和定義

GB/T2035界定的以及下列術(shù)語和定義適應(yīng)于本文件。

3.1

光致抗蝕干膜用聚酯薄膜Polyesterfilmforphotoresistdryfilm

2

T/CPPIAXXXX-202X

采用聚酯樹脂為主要原料,經(jīng)熔融擠出鑄片,然后在一定的工藝條件下經(jīng)過縱、橫兩個方向

的拉伸、取向、定型及冷卻等處理(無電暈處理)而制得的可以用于光致抗蝕干膜載膜的透明塑

料薄膜。

[來源GB/T16958-2008,3.1,有修改]

4要求

4.1外觀

外觀要求見表1.

表1外觀要求

項目要求

卷芯端面躥邊不齊≤2mm,無影響實際使用的皺紋,無收卷松緊不一,無切口毛邊臟污。

單層膜面無未熔料、糊料、雜質(zhì)、晶點、氣泡點、油污、劃痕及任何影響實際使用的異物和表觀缺陷。

備注客戶如有特殊要求由供需雙方議定

4.2尺寸及規(guī)格

4.2.1厚度偏差要求見表2。

表2厚度偏差

平均厚度偏差,%厚度偏差,%

優(yōu)等品合格品優(yōu)等品合格品

±2±3±3±5

4.2.2寬度和長度偏差要求見表3。

表3寬度和長度偏差

項目要求

寬度偏差,mm-1~2

長度偏差,%0~2

注:客戶如有特殊要求有供需雙方議定。

4.3物理機械性能

物理機械性能要求見表4。

3

T/CPPIAXXXX-202X

表4物理機械性能

項目要求

縱向≥220

拉伸強度,MPa

橫向≥220

縱向≥100

斷裂伸長率,%

橫向≥80

縱向1.0~2.5

熱收縮率,%

(150℃/30min)

橫向0.0~1.5

霧度,%≤2.8

光澤度,%≥126

摩擦系數(shù)(靜/動)≤0.55/0.50

潤濕張力,mN/m38~42

注:客戶如有特殊要求由供需雙方商定。

5試驗方法

5.1試驗環(huán)境

樣品狀態(tài)調(diào)節(jié)和試驗的標準環(huán)境按GB/T2918規(guī)定進行。試驗環(huán)境條件為23℃±2℃,相對濕

度50%±10%,并在此條件樣品預(yù)處理1h以上。

5.2取樣(Sampling)

先去掉被測卷膜外表面3~5層,然后按檢驗項目的要求取足樣品。沿膜卷的橫向切割超過10

層做外觀及物理性能測試,小心存放,防止試樣受污染。

5.3外觀(Appearance)

在自然光線或40W日光燈下目測,觀察膜卷及單層膜面表觀,單層膜面取樣面積不小于1㎡。

單層膜面的進一步檢查在偏光鏡下進行,必要時參考在線表面缺陷檢測系統(tǒng)(如有)檢出情況。

5.4尺寸及規(guī)格(Specifications)

5.4.1厚度的測量

按GB/T6672的規(guī)定進行。儀器測量精度0.1μm,按GB/T16958規(guī)定的取樣層數(shù)在膜卷橫向上

截取約100mm寬的試樣。

平均厚度偏差及厚度偏差的計算按GB/T16958的規(guī)定進行。

5.4.2寬度和長度的測量

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T/CPPIAXXXX-202X

寬度和長度的測量及計算按GB/T6673的規(guī)定進行。

5.5物理機械性能(Physicalandmechanicalproperties)

5.5.1拉伸強度和斷裂伸長率

按GB/T1040.3的規(guī)定進行試驗,試樣采用2型試樣,長150mm,寬10mm~25mm的長條形,夾

具初始間距為100mm,試驗速度為100mm/min。分別測試縱、橫向試樣各5條,取平均值。

5.5.3熱收縮率

5.5.2.1實驗儀器

a)烘箱,溫度精度±1℃;

b)鋼直尺,分度0.5mm;

c)記時表

5.5.2.2試樣

取長、寬各為10mm的試樣5片,在試樣上表明縱橫向。

5.5.2.3試樣

調(diào)節(jié)烘箱溫度,恒溫至150℃±3℃,迅速放入試樣并開始計時,試樣采用平放法,保持30min

后取出冷卻至試驗環(huán)境溫度,測量試樣縱橫向長度,計算試樣的熱收縮率,取算術(shù)平均值為測量

結(jié)果,精確到小數(shù)點后一位。

5.5.2.4計算

熱收縮率計算按GB/T16958的規(guī)定進行。

5.5.4霧度

按GB/T2410的規(guī)定進行。

5.5.5光澤度

按GB/T8807的規(guī)定進行,測試45°角光澤度。

5.5.6摩擦系數(shù)

按GB/T10006的規(guī)定進行。

5.5.7潤濕張力

按GB/T14216的規(guī)定進行。

6檢驗規(guī)則

6.1檢驗項目

5

T/CPPIAXXXX-202X

光致抗蝕干膜用聚酯薄膜的檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。

出廠檢驗包含外觀和尺寸及規(guī)格和要求按4.1、4.2的要求進行,型式檢驗項目包含4.1-4.3中的

所有檢驗項目,檢驗按照本文件規(guī)定的檢驗方法進行。

6.2組批和抽樣

6.2.1組批

產(chǎn)品以相同原材料、相同工藝、相同結(jié)構(gòu)生產(chǎn)的為一批,最大批量不超過50t。

6.2.2抽樣

外觀和尺寸及規(guī)格的抽樣按GB/T2828.1的規(guī)定進行,抽樣方案采用GB/T16958中的抽樣方

案。

物理機械性能應(yīng)在合格品中隨機抽取一卷。

6.3判定及復(fù)驗規(guī)則

外觀、尺寸及規(guī)格檢驗結(jié)果按4.1、4.2中的規(guī)定進行單項判定,若有不合格項,則判定為該卷

不合格。

合格批的判定按表5進行。

表5抽樣數(shù)和合格判定數(shù)

批量范圍樣本數(shù)接收數(shù)Ac拒收數(shù)Re

1~150501

151~500812

物理機械性能指標結(jié)果的判定按表3中的規(guī)定進行單項判定,若有一項不合格,應(yīng)在原批中對

不合格項目進行加倍抽樣復(fù)驗,復(fù)驗結(jié)果仍不合格,則該批為不合格。

6.4型式檢驗

型式檢驗正常生產(chǎn)時每年進行一次,項目為第4章中規(guī)定的全部項目,當有下列情況之一時,

應(yīng)進行型式檢驗:

a)新產(chǎn)品試制定型鑒定時;

b)

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