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文檔簡介
附錄A平板端面探測不確定度評定示例A.1測量方法選用測量系統(tǒng),其測量空間范圍為500mm×300mm×200mm,平板端面探測最大允許誤差±0.001mm。選用尺寸為100mm×100mm×10mm、平面度為0.0020mm,和100mm×80mm×10mm、平面度為0.0025mm的標準平板。在整個測量范圍內(nèi),按照7.2的規(guī)定,采用平板端面探測誤差、平板高度差測量誤差和平板形狀探測誤差的方式進行測量。A.2測量模型由測量原理和方法,得到測量模型:(A.1)(A.2)(A.3)式中:——第次由軟件擬合計算的端面到端面的距離最大值,mm;——第次由軟件擬合計算的端面到端面的距離最小值,mm;——第次由軟件計算各個平板最大測量高度值,mm;——第次由軟件計算各個平板最小測量高度值,mm;——第個點平板探測誤差的測量值,mm;——平板形狀探測的參考值,mm。A.3標準不確定度計算由式(A.1)、(A.2)和(A.3)可得:(A.4)由于各分量彼此獨立,根據(jù)不確定度傳播率:(A.5)表A.1中列出了標準平板端面探測誤差為0.004的10次測量結(jié)果,測量結(jié)果的實驗標準差為不確定度分量:㎜表A.110次平板端面測量結(jié)果測量次數(shù)測得值(mm)10.004020.003930.004140.004050.004260.003870.003980.004090.0041100.0040實驗標準差(mm)0.0001不確定度分量㎜表A.2中列出了標準平板高度差為10的10次測量結(jié)果,測量結(jié)果的實驗標準差為不確定度分量:㎜表A.210次平板高度差測量結(jié)果測量次數(shù)測得值(mm)110.001210.002310.000410.00059.998610.000710.00289.999910.0011010.001實驗標準差(mm)0.0009不確定度分量㎜表A.3中列出了標準平面度為0.002的10次測量結(jié)果,測量結(jié)果的實驗標準差為不確定度分量㎜表A.310次平面度測試結(jié)果測量次數(shù)測得值(mm)10.00320.002830.003240.003050.003160.002270.002080.002890.0033100.0030實驗標準差(mm)0.0004不確定度分量㎜A.4合成標準不確定度標準平板校準結(jié)果的測量不確定度的來源及數(shù)值匯總于表A.4中。表A.4標準平板不確定度的來源及數(shù)值匯總序號不確定度來源符號標準不確定度分量/μm1平板端面探測誤差0.12平板高度差測量誤差0.93平板形狀探測誤差0.4由于表A.4中各分量相互獨立,故合成標準不確定度為:μm附錄B校準證書內(nèi)頁格式委托單位:證書編號:委托單位地址:校準依據(jù):儀器名稱:型號規(guī)格:出廠編號:制造單位:溫度:℃相對濕度:%校準地點:校準日期:年月日校準用主要計量標準器具名稱型號規(guī)格出廠編號不確定度/準確度等級/最大
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