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文檔簡介

氣敏傳感器及應(yīng)用技術(shù)

Air-sensitivesensoranditsapplicationtechnolegy1.

半導(dǎo)體氣敏傳感器氣敏傳感器原理2.

接觸燃燒式氣敏傳感器3.

電化學(xué)氣敏傳感器一、半導(dǎo)體氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器電阻式傳感器非電阻式傳感器半導(dǎo)體傳感器是利用半導(dǎo)體氣敏元件同氣體接觸后，造成半導(dǎo)體性質(zhì)變化來檢測特定氣體的成分或者測量其濃度。一、半導(dǎo)體氣敏傳感器

電阻式氣敏傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化和還原反應(yīng)，導(dǎo)致敏感元件阻值變化來測量氣體。1.電阻式氣敏傳感器按照半導(dǎo)體與氣體相互作用位置不同分類電阻式傳感器燒結(jié)型薄膜型厚膜型電阻式傳感器表面控制型體控制型

按照半導(dǎo)體制作類型不同分類一、半導(dǎo)體氣敏傳感器

非電阻式半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用氣敏吸附和反應(yīng)時引起的PN結(jié)或場效應(yīng)管功能參數(shù)變化來實現(xiàn)氣體檢測的。非電阻式半導(dǎo)體氣敏傳感器屬于表面控制型傳感器。2.非電阻式氣敏傳感器非電阻式傳感器金屬-半導(dǎo)體結(jié)二極管型MOS二極管型MOSFET型非電阻式氣敏傳感器分類：非電阻式氣敏傳感器主要特點：靈敏度高；常用于可燃防爆檢測有毒有害氣體檢測等。一、半導(dǎo)體氣敏傳感器物理特性類型檢測氣體氣敏元件電阻型電阻特性表面控制型可燃氣體二氧化硅、氧化鋅等體控制型酒精、可燃氣體、氧氣氧化鎂、二氧化硅、氧化鈦等非電阻型二極管整流特性表面控制型氫氣、一氧化碳、酒精鉑-硫化鎘、鉑-氧化鈦、金屬-半導(dǎo)體結(jié)型二極管晶體管特性氫氣、硫化氫鉑柵、鈀柵MOS場效應(yīng)管二、接觸燃燒式氣敏傳感器

1.可燃性氣體

將在空氣中達到一定濃度、觸及火種可引起燃燒的氣體稱為可燃性氣體。例如：甲烷、乙炔、甲醇、乙醇、乙醚、一氧化碳、氫氣等。2.接觸燃燒性氣體傳感器分類

直接接觸燃燒式、催化接觸燃燒式

二、接觸燃燒式氣敏傳感器3.接觸燃燒式氣敏傳感器原理

可燃氣體與空氣中的氧氣在通電狀態(tài)下的氣敏材料（如Pt電熱絲）上產(chǎn)生無焰接觸燃燒，使得氣敏材料（Pt電熱絲）溫度上高，電阻值增大。

4.應(yīng)用

石化工廠、造船廠、礦井隧道、浴室、廚房等處可燃性氣體的監(jiān)測和報警。三、電化學(xué)氣敏傳感器

電化學(xué)氣敏傳感器，主要利用兩個電極之間的化學(xué)電位差，一個在氣體中測量氣體濃度，另一個是固

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