電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

編制工作大綱

一.編制依據(jù)

根據(jù)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2007年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制定、修訂計(jì)劃（第二批）〉的通知》

（建標(biāo)（2007）126號(hào)）和信息產(chǎn)業(yè)部《關(guān)于下達(dá)〈二OO七年度電子工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)定額制訂修

訂計(jì)劃）的通知》（信規(guī)函（2007）18號(hào)）的文件精神，及2006年10月信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標(biāo)

準(zhǔn)定額站在北京召開的2007年度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制修訂計(jì)劃工作會(huì)議，經(jīng)主編單位專家和編寫人員討

論，初步確定該規(guī)范的編制工作大綱。

二.編制內(nèi)容

本規(guī)范的編寫將適用于集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠、新型顯示器件廠（TFT/PDPD高純化

學(xué)品配送系統(tǒng)管道的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收。主要技術(shù)內(nèi)容包括：高純化學(xué)品（含研磨液）配送系統(tǒng)

設(shè)計(jì)，室內(nèi)管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)，品質(zhì)在線偵測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，有機(jī)溶劑間的防爆設(shè)計(jì)，氣體、液體泄漏檢

測(cè)設(shè)計(jì)，配套的通風(fēng)、廢氣處理、純水、工藝系統(tǒng)廢液收集、電力、生命安全等支持系統(tǒng)設(shè)計(jì)，

土建設(shè)計(jì)以及上述設(shè)備、管道的施工及驗(yàn)收。

三.編制工作遵循的主要原則

1.積極吸收國內(nèi)外電子工廠成熟的化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計(jì)的特點(diǎn)，參考?xì)W美發(fā)達(dá)國家有關(guān)技術(shù)規(guī)

范與標(biāo)準(zhǔn)，注意鼓勵(lì)新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備、新材料的應(yīng)用。

2.編寫過程應(yīng)以科學(xué)的態(tài)度總結(jié)芯片生產(chǎn)廠、新型顯示器件系統(tǒng)等電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)

計(jì)、運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，較好地反映近年來的建設(shè)成果和運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，做到既有前瞻性又有科學(xué)

性、實(shí)用性和可操作性。

3.嚴(yán)格按建設(shè)部[1996]626號(hào)《工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)定》和《工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)出版印刷規(guī)

定》進(jìn)行編寫。編寫工作階段為準(zhǔn)備階段（含調(diào)研）、征求意見稿、送審稿、報(bào)批稿。

4.與現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范相協(xié)調(diào)。

5.以認(rèn)真、縝密的態(tài)度從事調(diào)研和編寫工作，按計(jì)劃完成任務(wù)。

四.章節(jié)構(gòu)成及分工

（―*）章節(jié)構(gòu)成

1.總則

（說明：應(yīng)包括本規(guī)范的編寫目的，與其它標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的關(guān)系，應(yīng)包括規(guī)范適用范圍，本

規(guī)范不包括化學(xué)品提純工藝系統(tǒng)、不包括電子工廠廢水、純水、廢氣的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，只

包括生產(chǎn)工藝上使用到的高純化學(xué)品供應(yīng)和回收系統(tǒng)，規(guī)范應(yīng)重視新技術(shù)、節(jié)能和環(huán)保設(shè)備

的推廣應(yīng)用的規(guī)定。）

2.術(shù)語

3.化學(xué)品配送系統(tǒng)（設(shè)計(jì)）

3.1一般規(guī)定

3.2設(shè)備要求

3.3管道設(shè)計(jì)

3.4管材與附件

（說明：采用國際通用的管材名稱，如PFA、SS304L.SS316L等，可在條文說明中詳細(xì)

說明管道材料的成分要求）。

3.5管道標(biāo)識(shí)

（說明：應(yīng)有化學(xué)品種類的標(biāo)識(shí)顏色、字體、流向等規(guī)定）

4.化學(xué)品回收系統(tǒng)（設(shè)計(jì)）

4.1一般規(guī)定

4.2設(shè)備要求

4.3管道設(shè)計(jì)

4.4管材與附件

（說明：采用國際通用的管材名稱，如CPVC,HDPE、碳鋼襯PTFE等，可在條文說明中詳

細(xì)說明管道材料的成分要求）。

4.5管道標(biāo)識(shí)

（說明：應(yīng)有化學(xué)品種類的標(biāo)識(shí)顏色、字體、流向等規(guī)定）

5.監(jiān)控及安全系統(tǒng)（設(shè)計(jì)）

（說明：應(yīng)包括化學(xué)品連續(xù)不間斷供應(yīng)系統(tǒng)的監(jiān)控措施，生命安全保障系統(tǒng)，含氣體、液

體泄漏環(huán)境保護(hù)和檢測(cè)系統(tǒng)、消防疏散、地震等緊急情況等安全設(shè)施的規(guī)定）

5.1一般規(guī)定

5.2設(shè)備要求

5.3系統(tǒng)要求

5.4儀表與配件

6.相關(guān)專業(yè)

6.1一般規(guī)定

本節(jié)應(yīng)包括：

1）包括化學(xué)品存放的一般規(guī)定，臨時(shí)存放一般規(guī)定，集中存放在化學(xué)品庫房時(shí)應(yīng)執(zhí)行現(xiàn)

行建筑設(shè)防火計(jì)規(guī)范中的相關(guān)條文。

2）在總圖規(guī)劃上化學(xué)品配送設(shè)備間、臨時(shí)化學(xué)品儲(chǔ)存間、電氣控制間的位置規(guī)定）。

6.2建筑結(jié)構(gòu)

（說明：應(yīng)包括化學(xué)品配送設(shè)備間、化學(xué)品儲(chǔ)存間、電氣控制間等設(shè)計(jì)規(guī)定、以及防腐/

防爆的規(guī)定）。

6.3電氣及儀表控制

（說明：應(yīng)包括電氣設(shè)計(jì)、照明、儀表、防雷及接地等的規(guī)定）

6.4給水排水及消防

（說明：應(yīng)包括純水供應(yīng)、消防系統(tǒng)、緊急洗眼/淋浴系統(tǒng)設(shè)計(jì)的規(guī)定）

6.5采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

（說明：應(yīng)包括化學(xué)品配送設(shè)備間采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)，以及廢氣處理系統(tǒng)的規(guī)定）

7.工程施工及驗(yàn)收

7.1設(shè)備和管道系統(tǒng)安裝

（說明：應(yīng)包括潔凈室要求、設(shè)備、材料存放規(guī)定、管道焊接規(guī)定等，管道焊接包括焊

接方式的規(guī)定，如采用超高純氣體應(yīng)自動(dòng)焊，高純氣體宜采用軌道焊等規(guī)定。）

7.2相關(guān)系統(tǒng)安裝

7.3改擴(kuò)建工程的施工

7.4施工及竣工驗(yàn)收

（說明：僅為技術(shù)上的驗(yàn)收，行政上的竣工驗(yàn)收不在本規(guī)范內(nèi)。應(yīng)包括管道試壓、吹掃、置

換、充氮保護(hù)、取樣位置等規(guī)定，體現(xiàn)高純氣體與普通氣體間驗(yàn)收的差別）

7.4.1驗(yàn)收的內(nèi)容

7.4.2驗(yàn)收的方法

7.4.3驗(yàn)收的合格標(biāo)準(zhǔn)

附錄A車間內(nèi)架空化學(xué)品管道與其它架空管線之間的最小凈距

附錄B電子工廠常用高純化學(xué)品（含研磨液）的種類及物理、化學(xué)特性、儲(chǔ)存方式

附錄C電子工廠高純化學(xué)品物流簡(jiǎn)圖

（二）分工

1.中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

主要負(fù)責(zé)第7章：工程施工及驗(yàn)收，華虹、德芯配合中電二編寫，十一院負(fù)責(zé)檢查、

整理、排版。

2.上海華虹-NEC

負(fù)責(zé)第3.2,3.4,4.2,4.4,5.2,5.4章節(jié)。

3.德芯電子（昆山）有限公司

負(fù)責(zé)第3.2,3.4,4.2,4.4,5.2,5.4章節(jié)。

4.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司

負(fù)責(zé)規(guī)范編寫整體進(jìn)度、質(zhì)量控制、文件整理、編輯，并負(fù)責(zé)第1,2,

3.1,3.3,3.5,4.1,4.3,4.5,5.1,5.3?5.5章節(jié)。

五.調(diào)研及其分工

（一）調(diào)研內(nèi)容

調(diào)查近年來如下幾類電子工業(yè)高純化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計(jì)、施工、運(yùn)行相關(guān)內(nèi)容，填寫附表，要

求每類不少于兩個(gè)電子工廠項(xiàng)目。

1.集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠

2.新型顯示器件（PDP/TFT）

（二）分工

1.中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

負(fù)責(zé)調(diào)查集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠和新型顯示器件（PDP/TFT）各一個(gè)項(xiàng)目的施工或

運(yùn)行情況,并完成調(diào)查表。

2.上海華虹-NEC

負(fù)責(zé)調(diào)查集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠和新型顯示器件（PDP/TFT）各一個(gè)項(xiàng)目的運(yùn)行情

況，并完成調(diào)查表。

3.德芯電子（昆山）有限公司

負(fù)責(zé)調(diào)查集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠和新型顯示器件（PDP/TFT）各一個(gè)項(xiàng)目的運(yùn)行情

況，并完成調(diào)查表。

4.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院負(fù)責(zé)

負(fù)責(zé)調(diào)查集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠和新型顯示器件（PDP/TFT）各一個(gè)項(xiàng)目的設(shè)計(jì)情

況，并完成調(diào)查表。

六.專題報(bào)告

各單位自行調(diào)查，收集資料，提供電子工廠高純化學(xué)品系統(tǒng)“國內(nèi)外技術(shù)現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)”

專題報(bào)告一篇。

七.進(jìn)度安排

1.第一次編寫工作會(huì)議

2008年4月召開第一次編寫工作會(huì)議，確定編寫組的組成、編寫工作大綱和各項(xiàng)工作分

工。

2.征求意見初稿

2008年10月底各單位完成征求意見稿的編寫，提交主編單位，匯總后形成征求意見初

稿，條文說明最好同時(shí)提供。

2008年11月底由主編單位完成征求意見初稿。

2008年12月各單位完成高純化學(xué)品系統(tǒng)調(diào)查和專題報(bào)告1份，提交主編單位。

3.第二次編寫工作會(huì)議

2008年12月召開，完成征求意見稿第二次編寫工作會(huì)議。

2009年2月發(fā)行并發(fā)行征求意見稿至有關(guān)單位、專家征求意見。

4.送審稿

2009年6月各單位根據(jù)對(duì)征求意見稿的反饋意見進(jìn)行修改，提交主編單位、匯總，形成

送審稿，發(fā)至有關(guān)專家征求意見。

5.第三次編寫工作會(huì)議（送審稿審查會(huì)）

2009年6月召開送審稿審查會(huì)，2009年6月各單位根據(jù)對(duì)送審稿的審查意見進(jìn)行修改

（含條文說明修改），提交主編單位。

6.報(bào)批稿

2009年8月匯總，形成報(bào)批初稿。

7.第四次編寫工作會(huì)議

2009年10月召開第四次編寫工作會(huì)議，完成規(guī)范的報(bào)批稿，上報(bào)。

八.編寫組的組成

主編單位：

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司

參編單位：

中國電子系統(tǒng)工程建設(shè)第二建設(shè)公司

上海華虹-NEC

德芯電子（昆山）有限公司

九.附件

高純化學(xué)品配送系統(tǒng)調(diào)查項(xiàng)目表（一）

高純化學(xué)品配送系統(tǒng)調(diào)查項(xiàng)目表（二）

高純化學(xué)品配送系統(tǒng)調(diào)查項(xiàng)目表（三）

化學(xué)品配送系統(tǒng)調(diào)查項(xiàng)目表（一）

建設(shè)單位

設(shè)計(jì)單位

工程名稱竣工時(shí)間

工程類型新建□擴(kuò)建□改建口

化學(xué)品配送是否位于廠區(qū)主要道路旁邊是否靠近工藝使用點(diǎn)

設(shè)備間是口否口是口否口

位置

化學(xué)品配送1.單建口合建口

設(shè)備站建筑2.單層口多層口

形式

化學(xué)品配送底層口中間層口頂層口

站在建筑中

位置

工廠類型和產(chǎn)品年產(chǎn)量

生產(chǎn)產(chǎn)品

化學(xué)品名稱

建筑面積

建筑裝修1.墻體

A.防爆墻口

B.非防爆墻口

2.地面

A.防靜電地面口

B.非靜電地面口

3.吊頂

A.硬吊頂口

B.普通吊頂口

有機(jī)化學(xué)品C.無吊頂口

配送站4.門

尺寸

防火等級(jí)

配電方式1.只有一路市電口

2.兩路市電互投

A.變電站互投口

B.末端互投口

3.一路正常電和一路柴油機(jī)電源互投

A.變電站互投口

B.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防設(shè)置1.噴淋系統(tǒng)

房間口

配送設(shè)備口

2.消火栓系統(tǒng)口

3.消防滅火器類型

A.房間

1）C02Q

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

B.配送柜

1）C02Q

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

空調(diào)、采暖方式及溫1.空調(diào)/采暖

濕度要求有口無口

2.溫度要求

°C

3.濕度要求

%

一般通風(fēng)設(shè)置有口無口

緊急通風(fēng)設(shè)置有口無口

給水1.自來水口

2.冷凍水口

3.PCWQ

4.純水口

排水/廢液收集1.地漏口

2.地溝口

3.廢液收集系統(tǒng)口

4.閥門井口

1是□

連接FMCS或BMS?

2否□

?

化學(xué)品名稱

建筑面積

建筑裝修1.墻體

A.防爆墻口

B.非防爆墻口

2.地面

無機(jī)化學(xué)品A.防靜電地面口

配送站B.非靜電地面口

3.吊頂

A.硬吊頂口

B.普通吊頂口

4.門

尺寸

防火等級(jí)

配電方式1.只有一路市電口

2.兩路市電互投

A.變電站互投口

B.末端互投口

3.路正常電和路柴油機(jī)電源互投

A.變電站互投口

B.末端互投口

4.是否配UPS口

是口否口

消防設(shè)置1.噴淋系統(tǒng)口

2.消火栓系統(tǒng)口

3.消防滅火器類型

A.房間

1）C02D

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

B.配送柜

1）C02D

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

空調(diào)、采暖方式及溫1.空調(diào)/采暖

濕度要求有口無口

2.溫度要求

°C

3,濕度要求

%

一般通風(fēng)設(shè)置有口無口

緊急通風(fēng)設(shè)置有口無口

給水1.自來水口

2.冷凍水口

3.PCW口

4.純水口

排水1.地漏口

2.地溝口

3.廢液收集系統(tǒng)口

4.閥門井口

連接FMCS1.是口

2.否口

有機(jī)化學(xué)品建筑面積

（臨時(shí)）存建筑裝修1.墻體

放間A.防爆墻口

B.非防爆墻口

2.地面

A.防靜電地面口

B,非靜電地面口

3.吊頂

A.硬吊頂口

B.普通吊頂口

4.門

尺寸

防火等級(jí)

配電方式1.只有一路市電口

2.兩路市電互投

C.變電站互投口

D.末端互投口

3.一路正常電和一路柴油機(jī)電源互投

C.變電站互投口

D.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防設(shè)置1.噴淋系統(tǒng)口

2.消火栓系統(tǒng)口

3.消防滅火器類型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空調(diào)、采暖方式與溫1.空調(diào)/采暖

濕度要求有口無口

2.溫度要求

°C

3.濕度要求

%

一般通風(fēng)設(shè)置有口無口

緊急通風(fēng)設(shè)置有口無口

無機(jī)化學(xué)品建筑面積

（臨時(shí)）存建筑裝修1.墻體

放間A.防爆墻口

B.非防爆墻口

2.地面

A.防靜電地面口

B,非靜電地面口

3.吊頂

A.硬吊頂口

B.普通吊頂口

4.門

尺寸

防火等級(jí)

配電方式1.只有一路市電口

2.兩路市電互投

E.變電站互投口

F.末端互投口

3.一路正常電和一路柴油機(jī)電源互投

E.變電站互投口

F.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防設(shè)置4.噴淋系統(tǒng)口

5.消火栓系統(tǒng)口

6.消防滅火器類型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空調(diào)、采暖方式與溫1.空調(diào)/采暖

濕度要求有口無口

2.溫度要求

°C

3.濕度要求

%

一般通風(fēng)設(shè)置有口無口

緊急通風(fēng)設(shè)置有口無口

建筑面積

建筑裝修1.墻體

A.防爆墻口

B.非防爆墻口

2.地面

控制監(jiān)測(cè)室

A.防靜電地面口

B.非靜電地面口

3.吊頂

A.硬吊頂口

B.普通吊頂口

配電方式5.只有一路市電口

6.兩路市電互投

G.變電站互投口

H.末端互投口

7.路正常電和路柴油機(jī)電源互投

G.變電站互投口

H.末端互投口

8.是否配UPS

是口否口

消防設(shè)置7.噴淋系統(tǒng)口

8.消火栓系統(tǒng)口

9.消防滅火器類型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空調(diào)、采暖方式與溫1.空調(diào)/采暖

濕度要求有口無口

2.溫度要求

°C

3,濕度要求

%

一般通風(fēng)設(shè)置有口無口

緊急通風(fēng)設(shè)置有口無口

控制監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)置簡(jiǎn)

述

化學(xué)品配送系統(tǒng)調(diào)杳項(xiàng)目表（二）

序