2025年度3月份半導(dǎo)體光刻工藝優(yōu)化咨詢協(xié)議模板

二零二五半導(dǎo)體光刻工藝優(yōu)化咨詢協(xié)議模板?本合同共二部分組成，僅供學(xué)習(xí)使用，第一部分如下：鑒于甲方（全稱：_________________________，注冊(cè)地址：_________________________，法定代表人：_________________________）與乙方（全稱：_________________________，注冊(cè)地址：_________________________，法定代表人：_________________________）為優(yōu)化半導(dǎo)體光刻工藝技術(shù)，提升生產(chǎn)效能，依據(jù)《中華人民共和國民法典》及相關(guān)法律法規(guī)，經(jīng)協(xié)商一致，訂立本協(xié)議。第一條定義與解釋1.1“半導(dǎo)體光刻工藝優(yōu)化”指乙方根據(jù)甲方需求提供的包括但不限于光刻膠配方調(diào)整、曝光參數(shù)優(yōu)化、蝕刻工藝改進(jìn)等技術(shù)服務(wù)。1.2“交付成果”指乙方按本協(xié)議約定提交的技術(shù)方案、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、分析報(bào)告及其他書面或電子形式的成果。1.3“關(guān)鍵設(shè)備”指甲方提供的用于實(shí)施光刻工藝優(yōu)化的生產(chǎn)設(shè)備及檢測(cè)儀器，清單見附件一。第二條服務(wù)內(nèi)容2.1乙方負(fù)責(zé)對(duì)甲方現(xiàn)有光刻工藝流程進(jìn)行全面診斷，識(shí)別技術(shù)瓶頸并提出優(yōu)化方案。（1）光刻膠選擇與涂布工藝改進(jìn)建議；（2）曝光機(jī)臺(tái)參數(shù)優(yōu)化方案；（3）蝕刻后關(guān)鍵尺寸（CD）均勻性提升策略。第三條服務(wù)期限3.1本協(xié)議有效期自______年______月______日起至______年______月______日止。3.2若因甲方設(shè)備調(diào)試延遲導(dǎo)致項(xiàng)目延期，服務(wù)期限可經(jīng)雙方書面確認(rèn)后順延，最長不超過______日。第四條服務(wù)費(fèi)用及支付4.1總費(fèi)用為人民幣_(tái)_____元（大寫：_________________________），包含技術(shù)咨詢、差旅及稅費(fèi)。4.2付款方式：（1）協(xié)議簽訂后______日內(nèi)支付首期款______元；（2）中期驗(yàn)收通過后______日內(nèi)支付第二期款______元；（3）最終成果交付后______日內(nèi)支付尾款______元。4.3乙方須在每期付款前開具合法有效發(fā)票。第五條技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（1）關(guān)鍵尺寸均勻性≤______nm；（2）缺陷密度≤______/cm2；（3）產(chǎn)能提升≥______%。5.2所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)須符合SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）標(biāo)準(zhǔn)。第六條交付與驗(yàn)收6.1乙方應(yīng)按附件二載明的時(shí)間節(jié)點(diǎn)提交階段成果。6.2甲方應(yīng)在收到成果后______日內(nèi)組織驗(yàn)收，逾期未提出書面異議視為驗(yàn)收合格。6.3驗(yàn)收不合格的，乙方應(yīng)在______日內(nèi)完成整改并重新提交。第七條知識(shí)產(chǎn)權(quán)7.1甲方享有交付成果的獨(dú)占使用權(quán)，乙方保留著作權(quán)及專利申請(qǐng)權(quán)。7.2雙方合作產(chǎn)生的發(fā)明專利，權(quán)利歸屬按附件三約定執(zhí)行。第八條保密義務(wù)8.1保密期限自協(xié)議生效日起算______年，不因協(xié)議終止而失效。8.2未經(jīng)披露方書面同意，任何一方不得向第三方披露技術(shù)參數(shù)、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)及商業(yè)信息。第九條甲方責(zé)任9.1提供符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)環(huán)境及附件一列明的設(shè)備清單。9.2指派______名工程師全程配合乙方工作，并提供必要技術(shù)資料。第十條乙方責(zé)任10.2對(duì)甲方技術(shù)人員進(jìn)行不少于______小時(shí)的專項(xiàng)培訓(xùn)。第十一條變更管理11.1任何方案變更須經(jīng)雙方項(xiàng)目負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)，重大變更需簽訂補(bǔ)充協(xié)議。11.2因甲方單方變更導(dǎo)致的費(fèi)用增加，由甲方按實(shí)際成本支付。第十二條違約責(zé)任12.1乙方未按期交付成果，每逾期一日按合同總額______%支付違約金。12.2甲方逾期付款超過______日的，乙方有權(quán)暫停服務(wù)且不承擔(dān)違約責(zé)任。第十三條不可抗力13.1因地震、戰(zhàn)爭(zhēng)、重大疫情等不可抗力導(dǎo)致協(xié)議無法履行的，受影響方應(yīng)及時(shí)通知對(duì)方并提供證明。13.2不可抗力持續(xù)超過______日的，任何一方可解除協(xié)議且互不承擔(dān)違約責(zé)任。第十四條保險(xiǎn)14.1乙方應(yīng)為參與項(xiàng)目的技術(shù)人員購買保額不低于______萬元的人身意外險(xiǎn)。14.2因乙方操作不當(dāng)造成設(shè)備損壞的，由乙方承擔(dān)維修費(fèi)用或等價(jià)賠償。第十五條合同轉(zhuǎn)讓15.1未經(jīng)對(duì)方書面同意，任何一方不得將協(xié)議權(quán)利義務(wù)轉(zhuǎn)讓給第三方。第十六條法律適用與爭(zhēng)議解決16.1本協(xié)議適用中華人民共和國法律。16.2爭(zhēng)議應(yīng)協(xié)商解決，協(xié)商不成的，提交______仲裁委員會(huì)仲裁。第十七條合同完整性17.1本協(xié)議包括及______個(gè)附件，附件與具有同等法律效力。17.2未盡事宜需簽訂補(bǔ)充協(xié)議，補(bǔ)充協(xié)議需加蓋雙方公章后生效。第十八條通知與送達(dá)甲方地址：_________________________乙方地址：_________________________18.2通知送達(dá)日期以簽收日期或寄出后第______日為準(zhǔn)。第十九條合同生效與終止19.1本協(xié)議自雙方蓋章及法定代表人簽字后生效。19.2出現(xiàn)下列情形時(shí)協(xié)議終止：（1）服務(wù)目標(biāo)全部實(shí)現(xiàn)；（2）經(jīng)雙方協(xié)商一致解除；（3）一方嚴(yán)重違約且未在______日內(nèi)補(bǔ)救。第二十條可分割性20.1本協(xié)議某條款被認(rèn)定為無效的，不影響其他條款的效力。第二部分：第三方介入后的修正第二十一條第三方定義與類型（1）技術(shù)顧問：由甲方或乙方引入的獨(dú)立技術(shù)專家或機(jī)構(gòu)，負(fù)責(zé)提供特定領(lǐng)域的技術(shù)支持；（2）檢測(cè)機(jī)構(gòu)：經(jīng)雙方共同認(rèn)可的第三方實(shí)驗(yàn)室或認(rèn)證機(jī)構(gòu)，負(fù)責(zé)對(duì)交付成果進(jìn)行獨(dú)立驗(yàn)證；（3）設(shè)備供應(yīng)商：為項(xiàng)目實(shí)施提供補(bǔ)充設(shè)備或耗材的供應(yīng)商；（4）中介方：協(xié)助協(xié)調(diào)項(xiàng)目資源或商業(yè)談判的獨(dú)立機(jī)構(gòu)。（1）經(jīng)甲方、乙方書面共同確認(rèn)；（2）與主協(xié)議目標(biāo)無實(shí)質(zhì)性沖突；（3）簽署與本協(xié)議具有同等法律效力的補(bǔ)充協(xié)議。第二十二條第三方介入程序（1）第三方全稱、資質(zhì)證明及業(yè)務(wù)范圍；（2）介入的具體工作內(nèi)容及時(shí)間節(jié)點(diǎn)；（3）費(fèi)用承擔(dān)方式及支付主體。22.2另一方應(yīng)在收到申請(qǐng)后______日內(nèi)書面回復(fù)，逾期未回復(fù)視為同意。（1）第三方服務(wù)范圍及交付標(biāo)準(zhǔn)；（2）知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸屬規(guī)則；（3）保密義務(wù)及違約責(zé)任。第二十三條第三方責(zé)任與義務(wù)23.1技術(shù)類第三方責(zé)任：（1）按補(bǔ)充協(xié)議約定提交符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方案或檢測(cè)報(bào)告；（2）對(duì)其提供的技術(shù)結(jié)論承擔(dān)專業(yè)責(zé)任，若因數(shù)據(jù)錯(cuò)誤導(dǎo)致甲方損失，按實(shí)際損失______%承擔(dān)賠償責(zé)任；（3）參與甲方組織的技術(shù)評(píng)審會(huì)并提供現(xiàn)場(chǎng)答疑。23.2設(shè)備供應(yīng)類第三方責(zé)任：（1）確保設(shè)備性能參數(shù)符合附件一要求，并提供______個(gè)月免費(fèi)質(zhì)保期；（2）在接到甲方故障通知后______小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，______日內(nèi)完成維修或更換；（3）承擔(dān)設(shè)備運(yùn)輸、安裝及調(diào)試的全部費(fèi)用。23.3中介類第三方責(zé)任：（1）不得同時(shí)代理甲方或乙方的競(jìng)爭(zhēng)性項(xiàng)目；（2）促成雙方達(dá)成合作后，傭金支付方式按補(bǔ)充協(xié)議執(zhí)行。第二十四條第三方權(quán)利與限制24.1第三方有權(quán)要求甲方或乙方提供與履行服務(wù)相關(guān)的必要資料，包括：（1）光刻工藝基礎(chǔ)參數(shù)；（2）設(shè)備運(yùn)行日志（涉密部分可經(jīng)脫敏處理）；（3）階段性驗(yàn)收結(jié)論。（1）將獲知的商業(yè)秘密用于與本協(xié)議無關(guān)的用途；（2）未經(jīng)允許將服務(wù)分包給其他主體；（3）在項(xiàng)目未驗(yàn)收前公開發(fā)表相關(guān)技術(shù)成果。第二十五條費(fèi)用與支付調(diào)整（1）技術(shù)顧問費(fèi)用由提議方承擔(dān)，若雙方共同引入則由甲方承擔(dān)______%、乙方承擔(dān)______%；（2）檢測(cè)機(jī)構(gòu)費(fèi)用計(jì)入主協(xié)議總費(fèi)用，由甲方按4.2條支付比例同步支付；（3）設(shè)備供應(yīng)商費(fèi)用由甲方直接支付，不計(jì)入主協(xié)議費(fèi)用總額。25.2因第三方介入導(dǎo)致的預(yù)算變更，需簽訂《費(fèi)用變更確認(rèn)單》并經(jīng)三方簽章生效。第二十六條知識(shí)產(chǎn)權(quán)特別約定（1）補(bǔ)充協(xié)議有明確約定的從其約定；（2）無約定的，歸屬實(shí)際開發(fā)者所有；（3）涉及甲方基礎(chǔ)工藝改進(jìn)的部分，甲方享有非獨(dú)占許可使用權(quán)。26.2第三方使用甲方或乙方背景知識(shí)產(chǎn)權(quán)時(shí)，須提前獲得書面授權(quán)并注明來源。第二十七條保密義務(wù)擴(kuò)展27.1第三方應(yīng)簽署不低于主協(xié)議保密等級(jí)的《保密承諾書》，承諾：（1）保密期限不少于主協(xié)議約定期限；（2）接觸商業(yè)秘密的人員范圍限于項(xiàng)目必需人員；（3）發(fā)生泄密事件時(shí)，應(yīng)在______小時(shí)內(nèi)書面通知甲方和乙方。27.2第三方保密義務(wù)不因其退出項(xiàng)目或協(xié)議終止而免除。第二十八條違約責(zé)任劃分（1）技術(shù)類第三方過錯(cuò)：乙方先行向甲方承擔(dān)主協(xié)議責(zé)任，再向第三方追償；（2）設(shè)備類第三方過錯(cuò)：甲方直接向第三方索賠，乙方提供必要協(xié)助；（3）中介類第三方過錯(cuò)：過錯(cuò)方單獨(dú)承擔(dān)全部責(zé)任。28.2第三方遲延履行超過______日的，甲方或乙方有權(quán)解除補(bǔ)充協(xié)議并要求賠償直接損失。第二十九條爭(zhēng)議解決機(jī)制調(diào)整（1）技術(shù)爭(zhēng)議：提交______行業(yè)協(xié)會(huì)專家委員會(huì)裁決；（2）商業(yè)爭(zhēng)議：提交主協(xié)議約定的仲裁機(jī)構(gòu)管轄；（3）設(shè)備質(zhì)量爭(zhēng)議：按設(shè)備交付地法院管轄。29.2第三方應(yīng)簽署《仲裁協(xié)議加入書》，接受主協(xié)議仲裁條款約束。第三十條協(xié)議終止與第三方退出（1）主協(xié)議提前終止；（2）第三方連續(xù)______次未通過階段性驗(yàn)收；（3）經(jīng)甲方、乙方共同書面通知。（1）移交全部技術(shù)資料及工作記錄；（2）簽署《項(xiàng)目離場(chǎng)確認(rèn)書》；（3）銷毀所有載有商業(yè)秘密的載體。第三十一條保險(xiǎn)與擔(dān)保31.1技術(shù)類第三方需購買保額不低于______萬元的專業(yè)責(zé)任險(xiǎn)，保單復(fù)印件交甲方備案。31.2設(shè)備供應(yīng)類第三方需提供合同總額______%的履約保函，保函有效期至設(shè)備驗(yàn)收合格后______個(gè)月。第三十二條通知與文件傳遞32.1向第三方送達(dá)文件需同時(shí)抄送協(xié)議相對(duì)方，送達(dá)地址以補(bǔ)充協(xié)議記載為準(zhǔn)。姓名：_________________________職務(wù)：_________________________簽收方式：_________________________甲方（蓋章）：公司全稱：_________________________注冊(cè)地址：_________________________法定代表人：_________________________簽署日期：______年______月______日乙方（蓋章）：公司全稱：______________________