光刻用AT切石英晶片 編制說明

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)報(bào)批資料團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《光刻用AT切石英晶片》（征求意見稿）編制說明一、工作簡況1、任務(wù)來源根據(jù)《中國電子元件行業(yè)協(xié)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》和《中國電子元件行業(yè)協(xié)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂工作程序》，中國電子元件行業(yè)協(xié)會2021年第六批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制定項(xiàng)目計(jì)劃下達(dá)本項(xiàng)目(項(xiàng)目編號為YX202108001），標(biāo)準(zhǔn)名稱為《光刻用石英晶體片》。北京石晶光電科技股份有限公司、唐山國芯晶源電子有限公司、廣東惠倫晶體科技股份有限公司、四川泰美克科技有限公司、泰晶科技股份有限公司、東晶電子金華有限公司、爍光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶體科技有限公司、三生電子（天津）有限公司、武漢海創(chuàng)電子股份有限公司、安徽晶賽科技股份有限公司、山東博達(dá)光電有限公司、研創(chuàng)科技（惠州）有限公司、匯隆電子（金華）有限公司、杭州鴻星電子有限公司、成都晶寶時頻技術(shù)股份有限公司、南京中電熊貓晶體科技有限公司、上海銳星電子科技有限公司為本團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的主要起草單位。2、主要工作過程項(xiàng)目計(jì)劃下達(dá)后，牽頭單位組織和落實(shí)了本標(biāo)準(zhǔn)編制組成員。于2021年6月完成了項(xiàng)目編制組的組建工作，確定項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，制定工作計(jì)劃。2021年8月牽頭單位完成了標(biāo)準(zhǔn)草案，并在牽頭單位內(nèi)部展開了廣泛的討論、資料收集及修訂。在此基礎(chǔ)上，編制組成員和牽頭單位有關(guān)人造石英晶片生產(chǎn)研制及加工工藝技術(shù)、試驗(yàn)檢驗(yàn)、標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量專家經(jīng)過多次反復(fù)逐條的討論、修改。為區(qū)別于光刻用Z切石英晶片，確定修改標(biāo)準(zhǔn)名稱為《光刻用AT切石英晶片》，并于2021年10月15日形成工作組討論稿。經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)編制組內(nèi)部討論后，收到8個成員的反饋意見23條，完全采納19條，部分采納0條，未采納4條。2022年2月20日完成征求意見稿。根據(jù)反饋意見，于2022年2月20日完成標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿并征求意見。3、標(biāo)準(zhǔn)編制的主要成員單位及其所做的工作負(fù)責(zé)起草單位為北京石晶光電科技股份有限公司、唐山國芯晶源電子有限公司、廣東惠倫晶體科技股份有限公司、四川泰美克科技有限公司、泰晶科技股份有限公司、東晶電子金華有限公司、爍光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶體科技有限公司、三生電子（天津）有限公司、武漢海創(chuàng)電子股份有限公司、安徽晶賽科技股份有限公司、山東博達(dá)光電有限公司、研創(chuàng)科技（惠州）有限公司、匯隆電子（金華）有限公司、杭州鴻星電子有限公司、成都晶寶時頻技術(shù)股份有限公司、南京中電熊貓晶體科技有限公司、上海銳星電子科技有限公司為本團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的主要起草單位，技術(shù)歸口單位為電子元件行業(yè)協(xié)會壓電晶體元器件及材料分會。其中，北京石晶光電科技股份有限公司主要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)中主要內(nèi)容的起草和各階段標(biāo)準(zhǔn)化檢查，其余單位參加草案的討論，協(xié)助開展征求稿、送審稿意見和建議的處理完善工作。二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定主要內(nèi)容的論據(jù)及解決的主要問題1、編制原則本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2020給出的規(guī)則起草。堅(jiān)持與現(xiàn)行國內(nèi)、外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)、統(tǒng)一。注意吸收國內(nèi)、外相關(guān)的最新研究成果。2、內(nèi)容說明本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光刻用AT切石英晶片的術(shù)語和定義、規(guī)格、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)識和貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)的制定，可以規(guī)范光刻用AT切石英晶片的生產(chǎn)和檢驗(yàn)，可以提升整個行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化程度，為滿足各壓電晶體頻率元器件工廠開展光刻工藝提供了技術(shù)指導(dǎo)。3、確定主要內(nèi)容的依據(jù)GB/T3352-2012《人造石英晶體規(guī)范與使用指南》、GB/T30118-2013《聲表面波（SAW）器件用單晶晶片規(guī)范與測量方法》、SJ/T11199-2016《壓電石英晶體片》適用于本文件，參考其他標(biāo)準(zhǔn)的最新成果，確保與現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)統(tǒng)一。4、編制過程中解決的主要問題人造石英晶體是壓電晶體頻率元器件的基礎(chǔ)性關(guān)鍵材料，而光刻用AT切石英晶片是為滿足近年來5G\6G等通訊應(yīng)用高基頻壓電晶體元器件SMD產(chǎn)品所開發(fā)的光刻工藝基材。光刻工藝技術(shù)是當(dāng)前替代傳統(tǒng)機(jī)械加工方式無法生產(chǎn)高基頻SMD產(chǎn)品的唯一工藝，目前5G\6G通訊、智慧物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展迅猛，已廣泛應(yīng)用于智慧物聯(lián)網(wǎng)、智慧車聯(lián)網(wǎng)、5G\6G通訊等多個軍民領(lǐng)域。本標(biāo)準(zhǔn)的制定有利于加快我國光刻用人造石英晶片的整體技術(shù)水平、質(zhì)量水平與國際接軌，豐富我國對人造石英晶體產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)細(xì)分，為我國電子元件行業(yè)壓電晶體元器件及材料的研發(fā)、生產(chǎn)、加工提供堅(jiān)實(shí)的標(biāo)準(zhǔn)支撐。三、主要試驗(yàn)情況分析無。四、知識產(chǎn)權(quán)情況說明無。五、產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應(yīng)用論證和預(yù)期達(dá)到的經(jīng)濟(jì)效果1、產(chǎn)業(yè)化情況我國是人造石英晶體材料的制造大國和使用大國，光刻用AT切石英晶片是制造高基頻壓電晶體元器件SMD頻率片的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，光刻工藝技術(shù)雖源于半導(dǎo)體光刻工藝而又不等同于半導(dǎo)體加工工藝，是基于高基頻無法采用機(jī)械加工而利用人造石英晶體傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械腐蝕減薄的工藝特點(diǎn)發(fā)展而來。由于5G\6G新一代通訊行業(yè)的快速發(fā)展，國內(nèi)各家都在自研光刻工藝，光刻用AT切割石英晶片沒有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，以至于生產(chǎn)者和使用者之間進(jìn)行頻繁的溝通，進(jìn)行各項(xiàng)性能指標(biāo)的驗(yàn)證和檢測，會花費(fèi)大量的時間，并且每次都要重復(fù)檢驗(yàn)，檢測一次周期時間較長，甚至導(dǎo)致合作失敗，所以有必要針對光刻用AT切割石英晶片制定專用標(biāo)準(zhǔn)，不僅提升整個行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化程度，而且為光刻工藝技術(shù)設(shè)備的生產(chǎn)提供規(guī)范的技術(shù)指導(dǎo)。2、標(biāo)準(zhǔn)推廣應(yīng)用本標(biāo)準(zhǔn)的制定不僅有利于提升我國人造石英晶體產(chǎn)業(yè)的整體質(zhì)量水平，提高與國外企業(yè)的競爭力和本類產(chǎn)品在國際上的話語權(quán)，而且適應(yīng)了國際市場要求，為解決國際貿(mào)易爭端提供技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)。本標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施不僅能夠促進(jìn)科研、制造和貿(mào)易等用戶對專業(yè)概念的統(tǒng)一認(rèn)識，促進(jìn)理解、設(shè)計(jì)、使用，避免產(chǎn)生歧義，而且會推動人造石英晶體高基頻壓電晶體元器件SMD產(chǎn)品的設(shè)計(jì)及工藝方法的研究改進(jìn)，做為我國電子元件行業(yè)新型壓電晶體頻率元器件、通信電子元件的研發(fā)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)。3、標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用的預(yù)期效果本標(biāo)準(zhǔn)中的術(shù)語和定義、規(guī)格、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志和貯存等可作為國內(nèi)外貿(mào)易技術(shù)條件的依據(jù)。本標(biāo)準(zhǔn)的制定有利于加快我國人造石英晶體高基頻壓電晶體元器件SMD產(chǎn)品領(lǐng)域整體工藝技術(shù)水平和質(zhì)量水平，實(shí)現(xiàn)與國際接軌。該標(biāo)準(zhǔn)的貫徹實(shí)施，不僅能夠提高該類產(chǎn)品質(zhì)量，同時規(guī)范該類產(chǎn)品的國內(nèi)外市場秩序，而且解決了供需雙方不必要的商業(yè)糾紛，減少和避免產(chǎn)品在使用中的不必要傷害，能夠使產(chǎn)品供需雙方達(dá)到共贏。六、采用國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況本標(biāo)準(zhǔn)中術(shù)語和定義、技術(shù)要求等部分內(nèi)容采用IEC60758︰2016-05國際標(biāo)準(zhǔn)、GB/T3352-20XX和IEC62276︰2016國際標(biāo)準(zhǔn)、GB/T30118-20XX最新標(biāo)準(zhǔn)，以及SJ/T11199-2016《壓電石英晶體片》技術(shù)部分內(nèi)容，反映了近年國際上人造石英晶體標(biāo)準(zhǔn)方面的最新成果，質(zhì)量評定程序與試驗(yàn)程序采用最新國際質(zhì)量規(guī)定，達(dá)到了當(dāng)前的國際先進(jìn)水平。七、與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性本標(biāo)準(zhǔn)與我國有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和相關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)無沖突，完全滿足其規(guī)定。八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中無重大分岐意見。九、標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議本標(biāo)準(zhǔn)是光刻用AT切石英晶片，規(guī)定了術(shù)語和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)識和貯存等。建議本標(biāo)準(zhǔn)為推薦性標(biāo)準(zhǔn)。不作保密要求。十、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議建議本標(biāo)準(zhǔn)在應(yīng)用過程中，根據(jù)具體產(chǎn)品在應(yīng)用中的具體情況，對產(chǎn)品的技術(shù)要求、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)識和貯存等內(nèi)容在編