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文檔簡介
1、2020/8/2,新信科電子,1,電子元器件防靜電放電 (ESD)損傷技術(shù),2020/8/2,新信科電子,2,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.1 靜電和靜電放電的定義和特點(diǎn),什么是靜電?通俗地來說,靜電就是靜止不動的電荷。它一般存在于物體的表面。是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果。靜電是通過電子或離子轉(zhuǎn)移而形成的。靜電可由物質(zhì)的接觸和分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生。,2020/8/2,新信科電子,3,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.1 靜電和靜電放電的定義和特點(diǎn),什么是靜電放電呢?處于不同靜電電位的兩個物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移就是靜電放電。這種轉(zhuǎn)移的方式有
2、多種,如接觸放電、空氣放電。 一般來說,靜電只有在發(fā)生靜電放電時,才會對元器件造成傷害和損傷。如人體帶電時只有接觸金屬物體、或與他人握手時才會有電擊的感覺。 對電子元器件來說,靜電放電(ESD)是廣義的過電應(yīng)力的一種。廣義的過電應(yīng)力是指元器件承受的電流或電壓應(yīng)力超過其充許的最大范圍。,2020/8/2,新信科電子,4,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.1 靜電和靜電放電的定義和特點(diǎn),三種過電應(yīng)力現(xiàn)象的特點(diǎn)比較,見表1.1。,2020/8/2,新信科電子,5,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.2 靜電的產(chǎn)生,通常物體保持電中性狀態(tài),這是由于它所具有的正負(fù)電荷量相等的緣故。如果兩種不同的材
3、料的物體因直接接觸或靜電感應(yīng)而導(dǎo)致相互間電荷的轉(zhuǎn)移,使之存在過剩電荷,這樣就產(chǎn)生了靜電。 靜電產(chǎn)生的主要兩種形式: 摩擦產(chǎn)生靜電 感應(yīng)產(chǎn)生靜電,2020/8/2,新信科電子,6,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.2.1 摩擦產(chǎn)生靜電,產(chǎn)生:兩種物體直接接觸后形成的,通常發(fā)生于絕緣體與絕緣體之間或者絕緣體與導(dǎo)體之間。,- - -,+ + +,- - -,+ + +,絕緣體,A、摩擦生電,絕緣體,2020/8/2,新信科電子,7,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.2.1 摩擦產(chǎn)生靜電,當(dāng)兩各具有不同的電子化學(xué)勢或費(fèi)米能級的材料相互接觸時,電子將從化學(xué)勢高的材料向化學(xué)勢低的材料轉(zhuǎn)移。當(dāng)接觸后
4、又快速分離時,總有部分轉(zhuǎn)移出來的電子來不及返回到它們原來所在的材料,從而使化學(xué)勢低的材料因電子過剩而帶負(fù)電,化學(xué)勢高的材料因電子不足而帶正電。 摩擦產(chǎn)生靜電的大小除了與摩擦物體本身的材料性質(zhì)有關(guān)之外,還要受到許多因素的影響,如環(huán)境的濕度、摩擦的面積、分離速度、接觸壓力、表面潔凈度等。,2020/8/2,新信科電子,8,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.2 .2 感應(yīng)產(chǎn)生靜電,產(chǎn)生:帶電物體與導(dǎo)體之間,兩種物體無需直接接觸。,+ + +,+ + +,帶電體,B、感應(yīng)生電,導(dǎo)體,+ + +,+ + +,+ + +,2020/8/2,新信科電子,9,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.3 靜電
5、的來源,在電子制造業(yè)中,靜電的來源是多方面的,如人體、塑料制品、有關(guān)的儀器設(shè)備以及電子元器件本身。,2020/8/2,新信科電子,10,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.3.1 人體靜電,人體是最重要的靜電源,這主要有三個方面的原因。其一,人體接觸面廣,活動范圍大,很容易與帶有靜電荷的物體接觸或摩擦而帶電,同時也有許多機(jī)會將人體自身所帶的電荷轉(zhuǎn)移到器件或者通過器件放電。其二,人體與大地之間的電容低,故少量的人體靜電荷即可導(dǎo)致很高的靜電勢。其三,人體的電阻較低,相當(dāng)于良導(dǎo)體,故人體處于靜電場中也容易感應(yīng)起電,而且人體某一部分帶電即可造成全身帶電。,2020/8/2,新信科電子,11,電子元器
6、件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.3.1 人體靜電,影響人體靜電的因素十分復(fù)雜,主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 1、人體靜電與人體接觸的環(huán)境以及活動方式有關(guān); 2、人體靜電與環(huán)境濕度有關(guān),濕度越低則靜電勢越高; 3、人體靜電與所著衣物和鞋帽的材料有關(guān),化纖和塑料制品較之棉制品更容易產(chǎn)生靜電。 4、人體靜電與個體人的體質(zhì)有關(guān),主要表現(xiàn)在人體等效電容與等效電阻上。 5、人體靜電與人的操作速度有關(guān),操作速度越快,人體靜電勢越高。 6、人體各部位所帶的靜電電荷不是均等的,一般認(rèn)為手腕側(cè)的靜電勢最高。,2020/8/2,新信科電子,12,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.3.2 儀器和設(shè)備的靜電,儀器和設(shè)備也
7、會由于摩擦或靜電感應(yīng)而帶上靜電。,1.3.3 器件本身有靜電,電子元器件的外殼(主要指陶瓷、玻璃和塑料封裝管殼)與絕緣材料相互摩擦,也會產(chǎn)生靜電。,2020/8/2,新信科電子,13,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.3.4 其它靜電來源,在電子元器件的制造、安裝、傳遞、運(yùn)輸、試驗(yàn)、儲存、測量和調(diào)試等過程中,會遇到各種各樣的由絕緣材料制成的物品。這些物品相互摩擦或與人體摩擦都會產(chǎn)生很高的靜電勢。,2020/8/2,新信科電子,14,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.4 靜電放電的三種模式,靜電對電子產(chǎn)品的損害有多種形式,其中最常見、危害最大的是靜電放電(ESD)。通過對靜電的主要來源以
8、及實(shí)際發(fā)生的靜電放電過程的研究認(rèn)為,對元器件造成損傷的主要是三種模式,即帶電人體的靜電放電模式、帶電機(jī)器的放電模式和充電器件的放電模式。,2020/8/2,新信科電子,15,電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識,1.4.1 帶電人體的放電模式(HBM),由于人體會與各種物體間發(fā)生接觸和磨擦,又與元器件接觸,所以人體易帶靜電,也容易對元器件造成靜電損傷。普遍認(rèn)為大部分元器件靜電損傷是由人體靜電造成的。 人體與被放電體之間的放電有兩種。即接觸放電和電弧放電。,1.4.2 帶電機(jī)器的放電模式(MM),機(jī)器因?yàn)槟Σ粱蚋袘?yīng)也會帶電。帶電機(jī)器通過電子元器件放電也會造成損傷。,2020/8/2,新信科電子,16
9、,制造過程的防靜電損傷技術(shù),2.1 靜電防護(hù)的目的和總的原則,目的:靜電防護(hù)的根本目的是在電子元器件、組件、設(shè)備的制造和使用過程中,通過各種防護(hù)手段,防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而產(chǎn)生或可能產(chǎn)生的危害,或?qū)⑦@些危害限制在最小程度,以確保元器件、組件和設(shè)備的設(shè)計(jì)性能及使用性能不致因靜電作用受到損害。,2020/8/2,新信科電子,17,制造過程的防靜電損傷技術(shù),2.2.1 防靜電的基本思想和技術(shù)途徑,防靜電的基本思想: (1)對可能產(chǎn)生接地的地方要防止靜電的聚集,及采取一定的措施,避免或減少靜電放電的產(chǎn)生,或采取“邊產(chǎn)生邊泄漏”的方法達(dá)到消除電荷積聚的目的,將靜電控制在不致引起產(chǎn)生危害的程度。 (
10、2)對已存在的電荷積聚,迅速可靠地消除掉。,2020/8/2,新信科電子,18,制造過程的防靜電損傷技術(shù),2.2.2 防靜電的基本思想和技術(shù)途徑,防靜電的基本途徑: 生產(chǎn)過程中靜電防護(hù)的核心是“靜電消除”。其基本途徑有: 1、工藝控制法 2、泄漏法 3、靜電屏蔽法 4、復(fù)合中和法 5、整凈措施,2020/8/2,新信科電子,19,制造過程的防靜電損傷技術(shù),2.3 現(xiàn)階段工廠的主要防靜電措施,2020/8/2,新信科電子,20,制造過程的主要防靜電損傷措施,2.3.1 戴防靜電手腕帶(1),要戴緊充分接觸皮膚;接口要按緊,沒戴緊松弛;接口沒按緊,目的:使人體靜電通過手腕帶泄漏至大地,達(dá)到消除人體
11、靜電的目的,2020/8/2,新信科電子,21,2.3.1 戴防靜電手腕帶(2),接地夾應(yīng)夾住主地線的兩根銅線;并要靠里,接地夾只夾住主地線的一根銅或夾子太外側(cè),目的:防止接地夾松脫,保正接地良好。,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,22,2.3.2 工具防靜電(1),烙鐵插頭應(yīng)是三腳插,且地線已連接良好或有外接地線,烙鐵插頭只有兩腳插,且沒外接地線,目的:烙鐵接地,及時消除烙鐵產(chǎn)生的靜電。,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,23,2.3.2 工具防靜電(2),電批應(yīng)有外接地線,電批沒外接地線,目的:電批接地,及時消除電批產(chǎn)生的靜電。,制造過
12、程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,24,2.3.3 檢測設(shè)備防靜電(1),電視機(jī)應(yīng)有外接地線,電視機(jī)沒外接地線,目的:電視機(jī)接地,及時消除電視機(jī)產(chǎn)生的靜電,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,25,2.3.3 檢測設(shè)備防靜電(2),毫伏表、示波器等應(yīng)有外接地線,毫伏表、示波器等沒外接地線,目的:毫伏表、示波器等機(jī)接地,及時消除其產(chǎn)生的靜電,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,26,2.3.4 工作臺面防靜電(1),作業(yè)區(qū)較長鋪有防靜電膠皮的,510米應(yīng)有一個接地夾,作業(yè)區(qū)5米以上只有一個接地線,目的:保證接地良好,及時消除臺面產(chǎn)生的靜電,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,27,2.3.4 工作臺面防靜電(2),單工位鋪有防靜電膠皮的應(yīng)有一個接地夾,沒接地線,目的:保證接地良好,及時消除臺面產(chǎn)生的靜電,制造過程的主要防靜電損傷措施,2020/8/2,新信科電子,28,2.3.5 物料存防靜電(1),IC、發(fā)光二極管、三極管、光耦,應(yīng)有防靜電盒存放:,無防靜電盒存放:
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