JJG2018-1989表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng).pdf

中 華人民共和國 國 家計 量檢定系 統(tǒng)J J G 2 0 1 8 - 8 9表面粗糙度計盤器具1 9 8 9 年 6 月 2 2 日批準(zhǔn)1 9 9 0 年 4 月 1 日實(shí)施國 家 技 術(shù) 監(jiān) 督 局表面粗糙度計最器具檢定系統(tǒng)Ve r i f i c a t i o n S c h e me o f Me a s u r i n g I n s t r u me n t sf o r S u r f a c e Ro u g h n e s sJ J G 2 0 1 8 -8 9 本國 家計 量檢定系統(tǒng)經(jīng)國 家技術(shù)監(jiān)督局 于1 9 8 9 年6 月2 2日 批準(zhǔn).并自1 9 9 0 年 4月1日起施行。jig 草單位: 中國計量科學(xué)研究院本檢定系統(tǒng)技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋。標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載本檢定系統(tǒng)主要紀(jì)草人: 毛起廣 ( 中國 計量科學(xué)研究院) 參加起草人: 金良元( 中國計里科學(xué)研究院)目錄計量基準(zhǔn)器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 )計量標(biāo)準(zhǔn)器具 ， ， ， ， ， ， ， 4 ， 一( 2 )工作 計 量 器 具 ， ， ， ， ， ， 。 一 ( 2 )表面粗糙度計 量器具檢定系統(tǒng)框圖. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一( 3 )二三四標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載刀C2 0 1 8 -8 9共3 頁 第士 炙表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng) 本檢定系 統(tǒng)規(guī)定了表面粗糙度R 二 和R , 參數(shù)為。 , 1 .8 0 p m以 及R 。 參數(shù)為0 , 1 -1 0 u m范圍內(nèi) 的國家計量基準(zhǔn) 所包含的全套主要計量器具和主要計量學(xué)參數(shù)，從國家計量基準(zhǔn)器具通過標(biāo)準(zhǔn)計量器具向工作計量器具進(jìn)行量值傳遞的程序，并指明誤差和基本檢定方法. 一計 通 基 準(zhǔn) 器 具 表面粗糙度國家基準(zhǔn)用于復(fù)現(xiàn)和保存粗 糙度 參數(shù)R ， 和R ， 在0 , 1 - v 8 0 p m測量范圍內(nèi)以 及R 。 參數(shù)在。 , 1 - v 1 0 u m測量范圍內(nèi) 的長度單位，通過計量標(biāo)準(zhǔn)器具向國內(nèi)各生產(chǎn)和使用單位的工作計量器具傳遞量值，以保證全國表面粗糙度量值的統(tǒng)一 國家基準(zhǔn)由 下列全套計量器具組成: 有專用單色光源的干涉顯微鏡基準(zhǔn)裝置， 觸針式表面粗糙度測 量系統(tǒng)，包括專 用微機(jī)系統(tǒng)、 連接硬件和成套軟件， 一組表面粗糙度基準(zhǔn)樣板和基準(zhǔn)階梯量塊組. 國家基準(zhǔn)保證:當(dāng)測量微觀不平度高度的極值參數(shù)R ， 和R 時，在0 , 1 -1 V _m范圍 內(nèi)，其未消除的系統(tǒng)誤差 ( : )不超過0 , 0 0 5 N m ，隨機(jī)誤差 ( 單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差a ) 不超過。 , 0 0 5 p m ;在1 - - 8 0 I M范圍內(nèi)，s 不超過0 , 0 3 w m , a 不超過0 , 0 3 g m , 當(dāng)測量微觀不平度 輪 廓 算 術(shù) 平 均 高 度 R o參數(shù) 時，在 0 . 1 -0 . 2 5 w m范圍內(nèi)，其未消除的系統(tǒng)誤差 ( )不超 過。 . 0 0 5 W m，隨機(jī)誤差 ( 單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差o )不超過。 . 0 0 2 w m ;在0 , 2 5 - 1 0 W m范圍內(nèi) ， 不超過0 , 0 0 7 w m ,“ 不超過0 , 0 0 3 w m . 為了保證按 上述準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)表面粗糙度參數(shù)R , 以及R s , R 測量的長 度單位，必須遵守國家基準(zhǔn)的保管、使用規(guī)則和測量操作程序。共 3頁第 2頁刀 G 2 0 1 8 - 8 5 二計 ， 標(biāo) 準(zhǔn) 器 具 采用表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣板作為粗糙 度量值傳遞的主要計量標(biāo)準(zhǔn)器具。標(biāo)準(zhǔn)樣板的型式有兩大類:一類為標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板 ( 包括組成階梯高 度的階 梯式實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)) ， 單刻線溝 槽深度 ( 或階梯高 度) 為。 . 1 - - -8 0 P -范圍 ，用作傳遞微觀不平度高度極值參數(shù)R ， 和R 二 的標(biāo)準(zhǔn)器具;另一 類為標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板 ( 包括其他類似型式的用于校驗(yàn)觸針式儀器的校驗(yàn)樣板) ，其R。 參數(shù)值在0 . 1 1 0 w m范圍，用作傳遞粗糙反參數(shù)R 。 的標(biāo)準(zhǔn)器具.標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板按其準(zhǔn)確度和使用對象分為一等和二等兩個等級。 由 計量基準(zhǔn)器具用直接檢定法 分別檢定各類型的標(biāo)準(zhǔn)樣板。一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板可通過隨機(jī)誤差 ( a )不大于 1 %的 觸 針 式儀器，用比較法檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板。 檢定標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板溝槽深度的不確定度d( 3 的，在。 , 1 . . ,1 G y m范圍為士( 5 - v1 ) /,在1 -8 0 Ia m范圍為土( 3 - 0 . 5 ) %. 檢定一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板R 。 值的不確定度d ( 3 0 ) ，在0 . 1 0 . 2 5 W m范 圍為 1 ( 5 - v 3 ) %，在0 . 2 5 -v1 0 w m范 圍 為 1 ( 3 -0 . 5 ) %. 檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板R : 值的 不確定度d ( 3 0 ) ，在。 . 1 -0 . 2 5 W m范圍為1 ( 7 - - - 5 ) %，在0 . 2 5 - 1 0 w m范圍 為1 ( 5 .3 ) %. 為保證可靠地傳遞量值，標(biāo)準(zhǔn)樣板工作區(qū)域內(nèi)粗糙度參數(shù)值的均勻性應(yīng)有明確規(guī)定，并且必須遵守規(guī)定的檢定方法、 程序和標(biāo)準(zhǔn)樣 板使用規(guī)則。 用允許 誤差 ( )不大于士 7 % 的觸針式儀器以 及其 他相應(yīng)準(zhǔn)確度的儀器直接檢定表面粗糙度比 較樣塊或表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)件。 三工 作 計 f 器 具 工作計 量器具包括:千涉顯微式測里儀、 光切式測量儀、觸針式側(cè)量儀以 及表面粗糙度比 較樣塊或粗糙 度標(biāo)準(zhǔn)零件等.各類標(biāo)準(zhǔn)樣板是檢定這些測量儀器準(zhǔn)確 度的主要工具。比較樣塊和標(biāo)準(zhǔn)件則用儀器標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載J J G 2 0 1 8 -8 9共 3 頁第3頁直接檢定。 工作計f器具的允許誤差 ( )分別在1 ( 4 - 3 0 ) %范圍。 槍定工作計 盈器具所偉的標(biāo)準(zhǔn)器具的不確 定度與工作計f器具 允許誤差之比 應(yīng)不大于1 : 1 . 5 .四衰面粗舫度計t貴共檢定系統(tǒng)框田表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)框圖表面粗糙度國家基準(zhǔn) R d , R , 參數(shù)0 . 1 - I ll. - 0 . 0 0 5 戶 m 口二0 . 0 0 5 p m I 一 8 0 P . - 0 . 0 3 A m 廳0 . 0 3 4 m 、R, 參敬0 . 1 - 0 . 2 5 1+ . s = 0 . 0 0 5 u m 廳 = 0 . 0 0 2 林 mX0 . 2 5 一I O U . - 0 . 0 0 7 1, m 叮 二 0 . 0 0 3 p m計量基準(zhǔn)器具直接科量r o t NA t計標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板 溝植深度H值0 . 1 - 1量 1 -8 0umumd二3 ( 5 一 1 ) %d =士( 3 - 0 . 5 ) %一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板 R , 參數(shù)0 . 1 - - 0 . 2 50 . 2 5 - 1 0u mu md二 士( 5 一 3 ) %6 = 1 o- o . )Y ,標(biāo)直接側(cè)量直接g o/比較測量、 用 為l y的 觸 針 式 儀 器之堆千移 最徽 式 io 慢 儀光切式測 量儀R 。 ，R s 參數(shù) I 一 1 . 0 u m器R v , R s 參數(shù)0 . 8一8 0 u mA = 2 ( 2 2 - 5 ) %二 止 ( 2 4 5 ) %觸 引 一犬 裹 面粗糙度測量儀R. R, 參數(shù)0 . 2 -8 0 u n ,= 士 4 %吃 觸 針式 裹 面粗糙度測量儀 R a 參數(shù)0 . 1 - 1 0 Wua二 士 7 %二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板 R , 參 數(shù)0 . 1 -0 . 2 5林 幻 10 . 2 5 - 1 0 Wn6 - 士 t - s )6 = 土 ( 5 - 3 ) %具 光切式 測 量 儀 R u . R z 參 數(shù) 0 . 8 -8 0 u mA 二*- ( 2 4- 5) % 干涉顯微式 測量儀 R , , R , 參數(shù) 0 . 1 一 1 . 0 I ) mA_ _ ( 2 2 - 5 ) % 觸針式表面粗糙度測量儀 R y .刀 : 參舒 0 . 2-8 0 u m 二士4 %直接 測量直 接測 量 表面粗糙度 比較樣塊 (