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文檔簡介

1、精品 料推薦脈沖激光沉積pld簡單來說，脈沖激光沉積 pld(pulsed laser deposition) 就是脈沖激光光束聚焦再固體靶面上，激光超強的功率使得靶物質快速等離子化，然后濺鍍到目標物上。脈沖激光沉積的優(yōu)點有：1. 由于激光光子能量很高，可濺射制備很多困難的鍍層：如高溫超導薄膜，陶瓷氧化物薄膜，多層金屬薄膜等； pld 可以用來合成納米管，納米粉末等2. pld 可以非常容易的連續(xù)融化多個材料，實現多層膜制備3. pld 可以通過控制激光能量和脈沖數，精密的控制膜厚。脈沖激光沉積對激光器的要求有：1.盡可能避免熱效應：激光波長越短，越容易實現“冷加工 ”所以 193nm,248

2、nm 的準分子激光器和266nm,355nm 的高次諧波nd:yag 固態(tài)激光器為客戶所常用2. 大能量，短脈沖創(chuàng)造超過靶材的閾值的功率密度3. 比較高的重復頻率，提升濺射速度。4. 激光器使用簡單，壽命長，易于維護（這一點nd:yag 固態(tài)激光器要好于準分子激光器）1精品 料推薦先鋒公司相關產品激光光源部分：法國quantel 公司的脈沖nd:yag 激光器，(鏈接 )推薦型號：1.brillant b 系列：即插即用型 3倍頻（ 355nm）， 4 倍頻（ 266nm）結構；用戶使用方便，也是商用 pld 系統(tǒng) oem 廠家的選擇。2.yg980 系列：高能量輸出，工作穩(wěn)定，維護方便。是科研用pld 系統(tǒng)的首選。測試系統(tǒng)部分：1.等離子體光譜測試系統(tǒng)：英國 andor 公司，2.真空腔殘余氣體分析儀：美國srs 公司 rga200 等3.

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