半導(dǎo)體激光器實(shí)驗(yàn)

1、半導(dǎo)體激光器實(shí)驗(yàn)半導(dǎo)體激光器是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的一類激光器，它是1962年研制成功的。其基本結(jié)構(gòu)原則上仍由工作物質(zhì)、諧振腔和激勵(lì)能源組成。半導(dǎo)體激光器主要工作物質(zhì)有v族化合物半導(dǎo)體gaas（砷化鎵）、mosb（銻化鉬）等；族化合物半導(dǎo)體zns（硫化鋅）、cds(硫化鎘)等。一般采用半導(dǎo)體晶體的解理面作為反射鏡構(gòu)成諧振腔。常用的激勵(lì)能源有電注入、光激勵(lì)、高能電子束激勵(lì)和碰撞電離激勵(lì)等裝置。半導(dǎo)體激光器既有單色性好、高亮度的特點(diǎn)，又具有體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單、效率高、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，有著廣泛的應(yīng)用前景。這類器件的發(fā)展，從一開始就和光通訊技術(shù)緊密結(jié)合在一起，它是當(dāng)前通信領(lǐng)域中發(fā)展最快、最為重

2、要的激光光纖通信光源，預(yù)期在光信息處理和光存儲、光計(jì)算機(jī)和全息照相以及測距、雷達(dá)等方面都將得到重要的應(yīng)用?？梢灶A(yù)料，在飛速發(fā)展的激光光纖通訊技術(shù)中，半導(dǎo)體激光器將發(fā)揮出它的巨大潛力。一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?了解半導(dǎo)體激光器的基本原理和光學(xué)特性；2掌握半導(dǎo)體激光器耦合、準(zhǔn)直等光路的調(diào)節(jié)；3. 根據(jù)半導(dǎo)體激光器的光學(xué)特性考察其在光電子技術(shù)方面的應(yīng)用。二、實(shí)驗(yàn)原理1、半導(dǎo)體激光器的基本結(jié)構(gòu)最簡單的半導(dǎo)體激光器由一個(gè)薄有源區(qū)、p型和n型限制層構(gòu)成，其核心是pn結(jié)，pn結(jié)激光器的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示。pn結(jié)通常在n型襯底上生長p型層而形成。在p區(qū)和n區(qū)都要制作歐姆接觸，使激勵(lì)電流能夠通過,該電流使結(jié)區(qū)附近的有源區(qū)內(nèi)

3、產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。此外還需制作兩個(gè)平行的端面起鏡面作用，一般取晶體的解理面，為形成激光模提供必需的光反饋。圖1中的器件是分立的激光器結(jié)構(gòu)，它可以與光纖傳輸線連接，如果設(shè)計(jì)成更完整的多層結(jié)構(gòu)，可以提供更復(fù)雜的光反饋，更適合單片集成光路。 圖1 半導(dǎo)體激光器的基本結(jié)構(gòu)2、半導(dǎo)體激光器的閾值條件：半導(dǎo)體中光學(xué)過程的物理圖像為：一方面，通過載流子的注入，使得半導(dǎo)體中獲得很多載流子，這些電子空穴對輻射復(fù)合，便產(chǎn)生光；另一方面，光在半導(dǎo)體中傳播時(shí)，會引起光的損耗。前者是產(chǎn)生光，稱為光的增益，后者是吸收光，稱為光的損耗。只有當(dāng)增益等于或大于總損耗時(shí)，才能建立起穩(wěn)定的振蕩，這一增益稱為閾值增益。為達(dá)到閾值增益所

4、要求的注入電流稱為閾值電流。對于半導(dǎo)體p-n結(jié)電注入來說，增益系數(shù)g同注入到半導(dǎo)體中的電流密度j的關(guān)系為： (1)式中，為增益因子，m為與結(jié)構(gòu)有關(guān)的常數(shù)。激光器的閾值條件為： (2)其中，為吸收系數(shù)，l為腔長，和為腔端面的反射系數(shù)。上式右邊第一項(xiàng)為半導(dǎo)體內(nèi)部的光吸收引起的損耗，上式右邊的第二項(xiàng)為端面透射損耗，它是光波從端面透射出半導(dǎo)體外引起的端面損耗。由(1)和(2)式可得激光器的閾值電流密度為： (3)當(dāng)半導(dǎo)體激光器加正向偏置并導(dǎo)通時(shí)，器件不會立即出現(xiàn)激光振蕩。小電流時(shí)發(fā)射光大都來自自發(fā)輻射。隨著激勵(lì)電流的增大，結(jié)區(qū)大量粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，發(fā)射更多的光子。當(dāng)電流超過閾值時(shí)，會出現(xiàn)從自發(fā)輻射到受激發(fā)射

5、的突變。實(shí)際上能夠觀察到超過閾值電流時(shí)激光的突然發(fā)生，在光功率激勵(lì)電流(p-i)曲線上可以觀察到注入電流達(dá)到并超出閾值電流后，輸出功率陡峭上升。我們把陡峭部分外延，將延長線和電流軸的交點(diǎn)定義為閾值電流ith。3、橫模特性光源的光束分布在光通訊中直接影響到光耦合到光纖中去的技術(shù)選擇，并決定耦合效率，因此，研究光束的空間分布具有重要意義。人們通常將半導(dǎo)體激光器輸出的光場分布用近場和遠(yuǎn)場特性來描述。近場分布是指光強(qiáng)在解理面上的分布，它往往和激光器的側(cè)向模式聯(lián)系在一起。遠(yuǎn)場特性是指距輸出腔面一定距離的光束在空間的分布，它常常與光束的發(fā)散角的大小聯(lián)系在一起。由于半導(dǎo)體激光器的諧振腔具有介質(zhì)波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)，因

6、此在諧振腔中傳播光以模的形式存在。沿諧振腔軸向的光強(qiáng)分布是縱模，垂直于該方向的分布是橫模。橫模經(jīng)端面出射后形成輻射場，其分布沿平行于結(jié)面方向和垂直于結(jié)面方向分別稱為側(cè)橫場和正橫場。則發(fā)散角在兩個(gè)方向上分別為平行于pn結(jié)的發(fā)散角和垂直于pn結(jié)的發(fā)散角，其大小定義為兩個(gè)半功率強(qiáng)度點(diǎn)處的全角寬。圖2是一個(gè)半導(dǎo)體激光器的典型遠(yuǎn)場輻射圖。 圖2 半導(dǎo)體激光器遠(yuǎn)場輻射圖通常的半導(dǎo)體激光器發(fā)出的是一束橢圓形的光束，原因是輻射場的角分布和諧振腔的幾何尺寸密切相關(guān)。諧振腔橫向尺寸越小，輻射場發(fā)射角越大。半導(dǎo)體激光器的諧振腔相當(dāng)于一個(gè)矩形波導(dǎo)腔，其垂直于結(jié)平面方向的厚度小于平行于結(jié)平面方向的寬度，故正橫場的發(fā)散角

7、要大于側(cè)橫場的發(fā)散角，如圖3所示。半導(dǎo)體激光器由于有源層模截面的不對稱和很小的線度，其遠(yuǎn)場光斑既不對稱，又具有很大的光束發(fā)散角，這是因其發(fā)射區(qū)域小，引起了衍射效應(yīng)所致。側(cè)橫場發(fā)散角可近似表示為:，表示共振腔寬度。輻射場的發(fā)散角還和共振腔長度成反比，而半導(dǎo)體激光器共振腔一般只有幾百微米 ，所以其遠(yuǎn)場發(fā)散角遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于氣體激光器和固體激光器的遠(yuǎn)場發(fā)散角。圖3 半導(dǎo)體激光器的發(fā)散角半導(dǎo)體激光器諧振腔面一般是晶體的解理面，對常用的gaas異質(zhì)結(jié)激光器，gaas晶面對te模的反射率大于對tm模的反射率。因而te模需要的閾值增益低，te模首先產(chǎn)生受激發(fā)射，反過來又抑制了tm模；另一方面形成半導(dǎo)體激光器諧振腔的

8、波導(dǎo)層一般都很薄，這一層越薄對偏振方向垂直于波導(dǎo)層的tm模吸收越大。這就使得te模增益大，更容易產(chǎn)生受激發(fā)射。因此半導(dǎo)體激光器輸出的激光偏振度很高。偏振度計(jì)算公式為： (4)4、縱模特性激光二極管端面部分反射的光反饋導(dǎo)致建立單個(gè)或多個(gè)縱光學(xué)模。由于它類似于法布里珀羅干涉儀的平行鏡面，激光器的端面也常稱為法布里珀羅面。當(dāng)平行面之間為半波長的整數(shù)倍時(shí)，在激光器內(nèi)形成駐波。模數(shù)m可由波長的數(shù)值得出。 (5)式中，l是兩端面之間的距離，n是激光器材料的折射率，是發(fā)射在真空中的波長，模的間隔由確定： (6)對應(yīng),模的間隔為： (7)半導(dǎo)體激光器光譜如圖4所示，通常同時(shí)存在幾個(gè)縱模，其波長接近自發(fā)輻射峰值

9、波長。當(dāng)工作電流小于閾值電流之前，發(fā)射的光譜較寬，光譜中包含許多個(gè)縱模。隨著驅(qū)動電流的增加，諧振腔的選模作用增強(qiáng)，發(fā)射光譜變窄。電流達(dá)到閾值電流時(shí)，激光管開始受激輻射，發(fā)出激光，光譜圖明顯變窄。gaas激光器的縱模間隔的典型值為為了實(shí)現(xiàn)單模工作，必須改進(jìn)激光器的結(jié)構(gòu)，抑制主模以外的所有其它模。圖4 超過閾值電流時(shí)的發(fā)射光譜三、實(shí)驗(yàn)儀器半導(dǎo)體激光器及可調(diào)電源，多功能光學(xué)升降臺，旋轉(zhuǎn)臺，可旋轉(zhuǎn)偏振片，光功率指示儀及接收器，wgd-6光學(xué)多道分析器1. wgd-6型光學(xué)多道分析器基本原理wgd-6型光學(xué)多道分析器，由光柵單色儀，ccd接收單元，掃描系統(tǒng)，電子放大器，a/d采集單元，計(jì)算機(jī)組成。光學(xué)系

10、統(tǒng)采用ct型，如圖5所示。 圖5 光學(xué)原理圖m1: 反射鏡、m2: 準(zhǔn)光鏡、m3: 物鏡、m4: 轉(zhuǎn)鏡、g: 平面衍射光柵、s1: 入射狹縫、s2: ccd接收位置、s3: 觀察窗（或出射狹縫）s1m2m1 m3s2gm4s3s2 入射狹縫、出射狹縫均為直狹縫，寬度范圍02mm連續(xù)可調(diào)，光源發(fā)出的光束進(jìn)入入射狹縫s1，s1位于反射式準(zhǔn)光鏡m2的焦面上，通過s1射入的光束經(jīng)m2反射成平行光束投向平面光柵g上，衍射后的平行光束經(jīng)物鏡m3成像在s2上。2. wgd-6型光學(xué)多道分析器的使用(1) 接通電源前，認(rèn)真檢查接線是否正確。(2) 轉(zhuǎn)換開關(guān)檢查轉(zhuǎn)換開關(guān)的位置，確認(rèn)是否是工作位置，若ccd接收，

11、請將扳手放在“ccd”檔；若觀察譜線，可將旋鈕指示停在“觀察”檔。(3) 入射狹縫s1的調(diào)整狹縫為直狹縫，寬度范圍02mm連續(xù)可調(diào)，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)為狹縫寬度加大，反之減小，每旋轉(zhuǎn)一周狹縫寬度變化0.5mm。為延長使用壽命，調(diào)節(jié)時(shí)注意最大不超過2mm，不使用時(shí)，狹縫最好開到0.10.5mm左右。四、軟件指南(由于紙面灰度無法顯示軟件彩圖顏色，請對照計(jì)算機(jī)閱讀軟件使用指南)4.1 工作界面介紹進(jìn)入系統(tǒng)后，馬上顯示工作界面，同時(shí)彈出一個(gè)對話框讓用戶確認(rèn)是否重新初始化。如果選擇“是”，則初始化波長位置回到300nm處；如果選擇“否”，則確認(rèn)當(dāng)前的波長位置，并進(jìn)行初始化。工作界面主要由菜單欄、主工具欄、輔工

12、具欄、工作區(qū)、狀態(tài)欄、參數(shù)設(shè)置區(qū)以及存儲器信息提示區(qū)等組成，如圖6。下拉菜單主工具欄工作存儲器選擇區(qū)工作區(qū)輔工具欄狀態(tài)欄參數(shù)設(shè)置區(qū)存儲器信息提示區(qū) 圖6 工作界面4.1.1 菜單欄下面簡單介紹菜單欄中各菜單的功能：1.“文件”菜單新建 清除當(dāng)前實(shí)驗(yàn)的所有數(shù)據(jù)s 打開打開一個(gè)已經(jīng)存在的數(shù)據(jù)文件s 保存把所選擇的存儲器中的數(shù)據(jù)保存到文件中 s 打印設(shè)置設(shè)置打印機(jī)的屬性及打印參數(shù) s 打印預(yù)覽顯示打印時(shí)文件的外觀 s 打印打印當(dāng)前的譜線及數(shù)據(jù)s 退出退出wgd6控制處理系統(tǒng)2.“信息”菜單 s 信息輸入輸入采集環(huán)境及其它信息s 網(wǎng)格顯示網(wǎng)格坐標(biāo)s 顯示中心波長位置在顯示的坐標(biāo)系統(tǒng)上顯示中心位置 3.

13、“運(yùn)行”菜單實(shí)時(shí)采集在當(dāng)前位置循環(huán)采集數(shù)據(jù)并顯示s 三維顯示采集當(dāng)前的譜線，并在三維坐標(biāo)中顯示s 模擬照相模擬攝譜儀，把底片效果顯示在屏幕上s 停止停止實(shí)時(shí)采集s 手動前進(jìn)波長向長波方向移動指定的間隔s 手動后退波長向短波方向移動指定的間隔s 背景記憶記錄當(dāng)前的暗環(huán)境，便于采集時(shí)扣除 圖4-6s 清除背景記憶清除記錄的背景s 檢索把中心處的波長移動到指定的波長位置 s 重新初始化對波長進(jìn)行重新定位，參數(shù)重新設(shè)置 4.“數(shù)據(jù)處理”菜單s 讀取譜線數(shù)據(jù)讀取指定譜線上各點(diǎn)的數(shù)據(jù)s 讀取坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)讀取坐標(biāo)面上各位置的坐標(biāo)s 擴(kuò)展對譜線進(jìn)行局部放大s 取消所有擴(kuò)展取消本次實(shí)驗(yàn)的所有擴(kuò)展s 手動定標(biāo)使用標(biāo)

14、準(zhǔn)譜標(biāo)定波長s 自動定標(biāo)使用定標(biāo)公式進(jìn)行定標(biāo)s 通道/波長轉(zhuǎn)換通道/波長兩種顯示方式中變換s 尋峰檢索峰、谷的位置s 顯示峰谷在譜線上標(biāo)記峰谷的標(biāo)志s 顯示峰谷數(shù)據(jù)顯示譜線上峰谷對應(yīng)的信息s 顯示方式選擇顯示峰谷信息的方式 s 平滑平滑選定的譜線s 計(jì)算對設(shè)置的譜線進(jìn)行計(jì)算s 顯示根據(jù)設(shè)置顯示譜線s 清除數(shù)據(jù) 清除選定的數(shù)據(jù)s 刷新 刷新屏幕5.“數(shù)據(jù)圖形處理”菜單s 波長修正 修正波長 s 光柵 根據(jù)所使用的光柵，選擇相應(yīng)的光柵參數(shù)4.1.2 工具欄軟件提供了兩個(gè)工具欄，每個(gè)工具欄由一組工具按鈕組成，分別對應(yīng)某些菜單項(xiàng)或菜單命令的功能，用戶只需用鼠標(biāo)左鍵單擊按鈕，即可執(zhí)行相應(yīng)的操作或功能。4

15、.1.3 工作區(qū)工作區(qū)是用戶繪制、瀏覽、編輯譜線的區(qū)域。工作區(qū)可同時(shí)顯示多條譜線。4.1.4 狀態(tài)欄狀態(tài)欄用于反映當(dāng)前的工作狀態(tài)。另外，當(dāng)定點(diǎn)設(shè)備指向某一菜單項(xiàng)或按鈕時(shí)，會在狀態(tài)欄顯示相應(yīng)的功能說明。4.1.5 參數(shù)設(shè)置區(qū)設(shè)置工作方式、工作范圍及工作狀態(tài)等參數(shù)。4.1.6 存儲器信息提示區(qū)顯示各存儲器的信息。4.1.7 存儲器選擇及波長顯示欄選擇當(dāng)前存儲器，顯示當(dāng)前中心波長位置。4.2 功能簡介4.2.1 設(shè)置工作參數(shù)s 曝光時(shí)間設(shè)置采集譜線的積分時(shí)間（188擋可設(shè)） s 平均次數(shù)對譜線數(shù)據(jù)進(jìn)行平均的次數(shù)（110次）s 累加次數(shù)對譜線進(jìn)行多次采集進(jìn)行累加的次數(shù)（110次）s 最大值坐標(biāo)顯示的最

16、大數(shù)值s 最小值坐標(biāo)顯示的最小數(shù)值 4.2.2 存儲器信息在存儲器信息顯示區(qū)中顯示了各存儲器的主要信息：存儲器：下面的r-1、r-2.分別代表10個(gè)不同的存儲器。顏色：點(diǎn)擊顏色框可以改變相應(yīng)存儲器的畫線顏色數(shù)據(jù)：可以清除相應(yīng)存儲器中的數(shù)據(jù)顯示：“改變相應(yīng)存儲器中的譜線顯示屬性（顯示或不顯示）4.2.3 當(dāng)前存儲器 圖7 存儲器信息 “當(dāng)前存儲器”下拉列表框可選擇當(dāng)前工作存儲器。其右側(cè)的按鈕用來改變存儲器的環(huán)境信息。系統(tǒng)時(shí)刻監(jiān)測波長位置的移動，并在“中心波長”提示框中顯示當(dāng)前中心波長位置。 圖8 當(dāng)前存儲器4.2.4 信息及視圖管理4.2.4.1 采集信息下拉菜單：信息信息輸入“工作存儲器”列表

17、框右側(cè)的按鈕“ ”執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)彈出如圖9所示的“環(huán)境信息”對話框。圖9 環(huán)境信息用戶在“存儲器”下拉列表框中選擇某一存儲器，向“譜線名稱”編輯框中輸入相應(yīng)的信息。然后，單擊“確定”按鈕即可將信息保留。此時(shí)，工作區(qū)上方的“存儲器”下拉列表框中將顯示已輸入的信息。單擊該列表框右側(cè)的按鈕，可對已輸入的信息進(jìn)行修改。4.2.4.2 網(wǎng)格下拉菜單：信息/視圖顯示網(wǎng)格工具欄：輔工具欄執(zhí)行該命令后，工作區(qū)將顯示網(wǎng)格坐標(biāo)，網(wǎng)格的寬度和高度將隨橫、縱坐標(biāo)范圍的變化而自動調(diào)整（網(wǎng)格線總是落在相應(yīng)的整值點(diǎn)上）。再次操作將取消網(wǎng)格坐標(biāo)。4.2.4.3 顯示中心波長位置下拉菜單：信息顯示中心波長工具欄：輔工具欄當(dāng)

18、選擇該項(xiàng)時(shí)，在譜線上數(shù)據(jù)點(diǎn)處，畫出一個(gè)圓作為標(biāo)志。再次操作將取消加強(qiáng)顯示。4.2.5 運(yùn)行4.2.5.1 實(shí)時(shí)采集下拉菜單：工作實(shí)時(shí)采集工具欄：主工具欄實(shí)時(shí)執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)將循環(huán)采集數(shù)據(jù)并顯示，把數(shù)據(jù)存到工作存儲器中。如果該存儲器中已經(jīng)有數(shù)據(jù)，系統(tǒng)會提示是否覆蓋該數(shù)據(jù)。4.2.5.2 三維顯示下拉菜單：工作三維顯示工具欄：主工具欄三維執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)彈出如圖10所示的對話框。通過設(shè)置參數(shù)后，點(diǎn)擊“開始”按鈕進(jìn)行三維采集。在采集的過程中，點(diǎn)擊“停止”按鈕，將終止三維采集。點(diǎn)擊“關(guān)閉”按鈕，關(guān)閉三維顯示窗口。時(shí)間間隔：設(shè)置采集兩次之間的時(shí)間間隔；采集次數(shù)：設(shè)置采集多少次數(shù)據(jù)組成三維圖。圖10

19、三維顯示4.2.5.3 停止下拉菜單：工作停止工具欄：主工具欄停止系統(tǒng)在掃描過程中，執(zhí)行該命令，則中止掃描。4.2.5.4 手動前進(jìn)下拉菜單：工作手動前進(jìn)工作寄存器區(qū)：“手動前進(jìn)”按鈕執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)把當(dāng)前的中心波長向長波方向移動設(shè)置的間隔。 4.2.5.5 手動后退下拉菜單：工作手動后退工作寄存器區(qū)：“手動后退”按鈕執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)把當(dāng)前的中心波長向短波方向移動設(shè)置的間隔。 4.2.5.6 背景記憶下拉菜單：工作背景記憶工具欄：主工具欄背景執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)顯示如圖11所示的提示框。圖11 背景記憶提示框點(diǎn)擊“確定”按鈕，則測量背景并記憶（當(dāng)軟件關(guān)閉后將自動清除）。4.2.5.7 清除背

20、景記憶下拉菜單：工作清除背景記憶工具欄：主工具欄清除執(zhí)行該命令后，系統(tǒng)將清除存在的背景數(shù)據(jù)。4.2.5.8檢索下拉菜單：工作檢索工具欄：主工具欄檢索執(zhí)行該命令后，彈出如圖12輸入框。在編輯框中輸入數(shù)值后，單擊“確定”按鈕，系統(tǒng)將顯示“正在檢索”提示框。當(dāng)提示框自動消失時(shí)，中心波長移至用戶所輸入的位置。圖12 檢索4.2.5.9 重新初始化下拉菜單：工作重新初始化重新檢測零級譜，把光柵精確定位到300.0nm處；重新初始化參數(shù)。五、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容和步驟實(shí)驗(yàn)中所使用的半導(dǎo)體激光器是可見光半導(dǎo)體激光器，最大功率為3mw, 中心波長為650nm左右。1、半導(dǎo)體激光器的輸出特性實(shí)驗(yàn)光路如圖13所示,調(diào)節(jié)功率計(jì)

21、的零點(diǎn)，將激光束垂直照射在光功率計(jì)探測器光敏面的中心位置附近，用光功率指示儀讀出半導(dǎo)體激光的輸出功率。改變注入電流，從1ma或2ma開始測量，每隔1ma測量一次光功率，在閾值附近每隔0.5ma測量一次光功率，直到20ma，將試驗(yàn)數(shù)據(jù)列表。以電流值為橫坐標(biāo)、光功率值為縱坐標(biāo)，在坐標(biāo)紙上繪制出pi關(guān)系曲線，曲線中出現(xiàn)拐點(diǎn)處所對應(yīng)的電流值為閾值電流。 圖13 半導(dǎo)體激光器的輸出特性測試光路2、半導(dǎo)體激光器的發(fā)散角測定測量半導(dǎo)體激光器發(fā)散角的實(shí)驗(yàn)裝置如圖14所示，去掉半導(dǎo)體激光器的準(zhǔn)直透鏡，使光束發(fā)散，在遠(yuǎn)場看到橢圓形的激光光束。測量發(fā)散角的方法是將光源固定，探測器繞著以光源為中心，以光源到探測器的距離為半徑的圓旋轉(zhuǎn)便可測得各個(gè)方向的光束發(fā)散角。先測量正橫場的發(fā)散角，將半導(dǎo)體激光器置于旋轉(zhuǎn)臺中心，并平行于旋轉(zhuǎn)臺面，光功率指示儀探頭與半導(dǎo)體激光器ld的距離一定。當(dāng)注入電流一定時(shí)，記下旋轉(zhuǎn)臺處于不同角度時(shí)，光功率指示儀所測到的輸出值，做出輸出值隨角度變化的曲線，兩個(gè)半功率強(qiáng)度點(diǎn)處的全角寬即為發(fā)散角。再將半導(dǎo)體激光器旋轉(zhuǎn)90°測量側(cè)橫場發(fā)散角。圖14 測定半導(dǎo)體激光的發(fā)散角3、半導(dǎo)體激光器的偏振度測量測量半導(dǎo)體激光器的偏振度的裝置如圖15所示，偏振器是帶有角度讀數(shù)