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文檔簡介
1、半導(dǎo)體材料光學(xué)帶隙的計(jì)算禁帶寬度是半導(dǎo)體的一個(gè)重要特征參量,其大小主要決定于半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu),即與晶體結(jié)構(gòu)和原子的結(jié)合性質(zhì)等有關(guān)。禁帶寬度的大小實(shí)際上是反映了價(jià)電子被束縛強(qiáng)弱程度的一個(gè)物理量,也就是產(chǎn)生本征激發(fā)所需要的最小能量。禁帶寬度可以通過電導(dǎo)率法和光譜測試法測得,為了區(qū)別用電導(dǎo)率法測得禁帶寬度值,用光譜測試法測得的禁帶寬度值又叫作光學(xué)帶隙。下面以光譜測試法為例介紹半導(dǎo)體材料光學(xué)帶隙的計(jì)算方法:對于半導(dǎo)體材料,其光學(xué)帶隙和吸收系數(shù)之間的關(guān)系式為1:h=b(h-eg)m ( 1)其中為摩爾吸收系數(shù),h為普朗克常數(shù),為入射光子頻率, b 為比例常數(shù), eg為半導(dǎo)體材料的光學(xué)帶隙,m的值與半導(dǎo)體
2、材料以及躍遷類型相關(guān):(1)當(dāng) m=1/2 時(shí),對應(yīng)直接帶隙半導(dǎo)體允許的偶極躍遷;( 2)當(dāng) m=3/2 時(shí),對應(yīng)直接帶隙半導(dǎo)體禁戒的偶極躍遷;( 3)當(dāng)m=2 時(shí),對應(yīng)間接帶隙半導(dǎo)體允許的躍遷;( 4)當(dāng)m=3 時(shí),對應(yīng)間接帶隙半導(dǎo)體禁戒的躍遷。下面介紹兩種禁帶寬度計(jì)算公式的推導(dǎo)方法:推導(dǎo) 1:根據(jù)朗伯比爾定律可知:a=b c (2)其中 a 為樣品吸光度,b 為樣品厚度,c 為濃度,其中 bc 為一常數(shù),若 b1=(b/bc)1/m,則公式(1)可為:(ah)1/m=b1(h-eg) (3)根據(jù)公式(3),若以 h 值為 x 軸,以(ah)1/m 值為 y 軸作圖,當(dāng) y=0 時(shí)
3、,反向延伸曲線切線與 x 軸相交,即可得半導(dǎo)體材料的光學(xué)帶隙值 eg。推導(dǎo) 2:根據(jù) k-m 公式可知:f(r)=(1- r)2/2 r=k/s (4)其中 r為絕對反射率(在日常測試中可以用以硫酸鋇做參比測得的樣品相對反射率代替2), k 為吸收系數(shù), s 為散射系數(shù)。若假設(shè)半導(dǎo)體材料分散完全或者將樣品置于 600入射光持續(xù)光照下可認(rèn)為 k=23。因在一定溫度下樣品散射系數(shù)為一常數(shù),假設(shè)比例常數(shù)為 b2, ,我們可通過公式(4)和公式(1)可得:(f(r) h)1/m=b2(h-eg) (5)根據(jù)公式(5),若以 h 值為 x 軸,以 (f(r) h)1/m 值為 y 軸作圖,當(dāng)
4、y=0 時(shí),反向延伸曲線切線與 x 軸相交,即可得半導(dǎo)體材料的光學(xué)帶隙值 eg。推導(dǎo)方法 1和推導(dǎo)方法 2分別為通過測量樣品吸收光譜和反射光譜值來計(jì)算半導(dǎo)體材料的光學(xué)帶隙。下面介紹以直接光學(xué)帶隙半導(dǎo)體材料( m=1/2) s1 和 s2 為例,通過推導(dǎo)方法 1 計(jì)算半導(dǎo)體材料的光學(xué)帶隙值。首先測得 s1 和 s2 的紫外吸收光譜,如圖 1 所示。 然后通過吸收光譜做(ah)2-h 線性關(guān)系圖,如圖 2 所示。沿曲線做反向切線至 y=0 相交,所得值為光學(xué)帶隙值,由圖 2 即可得egs1=3.0ev;egs2=3.1ev。參考文獻(xiàn)1. smith, r. a. semiconductors, 2nd ed., cambridge university press: cambridge, 1978.2. torrent, j.; barr´on, v. encyclopedia of surface and colloid science. new york: marcel dekker, inc., 2002.3. morales,
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