mems光開關(guān)學(xué)習(xí)教案

1、會(huì)計(jì)學(xué)1mems光開關(guān)光開關(guān)(kigun)第一頁(yè)，共26頁(yè)。MEMS光開關(guān)的研究光開關(guān)的研究(ynji)背景背景1光開關(guān)(kigun)以及MEMS光開關(guān)(kigun)的概念2MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理3MEMS光開關(guān)的應(yīng)用4第1頁(yè)/共25頁(yè)第二頁(yè)，共26頁(yè)。成為傳統(tǒng)開關(guān)的替代者，這種新型的全光開關(guān)必須具備低損耗和高穩(wěn)定的特點(diǎn)而MEMS光開關(guān)具備了這些優(yōu)點(diǎn)而且與傳輸?shù)臄?shù)據(jù)速率和信號(hào)協(xié)議無(wú)關(guān)MEMS光開關(guān)還具有(jyu)體積小、成本低、易集成和容量大的優(yōu)點(diǎn)第2頁(yè)/共25頁(yè)第三頁(yè)，共26頁(yè)。 光開關(guān)(kigun)第3頁(yè)/共25頁(yè)第四頁(yè)，共26頁(yè)。將電、機(jī)械和光集成為一塊芯片,能透明

2、地傳送不同速率、不同協(xié)議的業(yè)務(wù)。目前已成為一種最流行的光開關(guān)制作技術(shù)。 MEMS光開關(guān)(kigun)第4頁(yè)/共25頁(yè)第五頁(yè)，共26頁(yè)。MEMS光開關(guān)(kigun)的基本原理第5頁(yè)/共25頁(yè)第六頁(yè)，共26頁(yè)。MEMS光開關(guān)的基本(jbn)組成第6頁(yè)/共25頁(yè)第七頁(yè)，共26頁(yè)。MEMS光開關(guān)(kigun)的驅(qū)動(dòng)方式第7頁(yè)/共25頁(yè)第八頁(yè)，共26頁(yè)。平行板電容靜電(jngdin)驅(qū)動(dòng)第8頁(yè)/共25頁(yè)第九頁(yè)，共26頁(yè)。梳狀靜電(jngdin)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第9頁(yè)/共25頁(yè)第十頁(yè)，共26頁(yè)。 電磁(dinc)驅(qū)動(dòng)第10頁(yè)/共25頁(yè)第十一頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn l

3、i)(fn li)及原理及原理 光開關(guān)(kigun)的分類光開關(guān)光開關(guān)mechanical optical switchSolid light switchOther light switch聲光(shn un)開關(guān)光纖開關(guān)自由空間棱鏡開關(guān)熱光開關(guān)電光開關(guān)Click to add TitleClick to add Title氣泡開關(guān)液晶開關(guān)機(jī)械光開關(guān)固體光開關(guān)其他光開關(guān)磁光開關(guān)宏機(jī)械開關(guān)光子開關(guān)全息光開關(guān)第11頁(yè)/共25頁(yè)第十二頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 MEMS光開關(guān)(kigun)的分類基于傳基于傳統(tǒng)的機(jī)統(tǒng)的機(jī)械式

4、光械式光開關(guān)開關(guān)MEMS光開關(guān)移動(dòng)其他部件的光開關(guān)第12頁(yè)/共25頁(yè)第十三頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理基于(jy)傳統(tǒng)的機(jī)械式光開關(guān)光纖1玻璃套筒方空玻璃套筒套管光 纖2光纖3光纖1光纖2光纖3第13頁(yè)/共25頁(yè)第十四頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 移動(dòng)(ydng)其他部件的光開關(guān)棱 鏡自聚焦透鏡123第14頁(yè)/共25頁(yè)第十五頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理移動(dòng)其他(qt)部件的光

5、開關(guān)第15頁(yè)/共25頁(yè)第十六頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理 移動(dòng)其他部件(bjin)的光開關(guān) 第16頁(yè)/共25頁(yè)第十七頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 MEMS光開關(guān)(kigun)的分類第17頁(yè)/共25頁(yè)第十八頁(yè)，共26頁(yè)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理光路遮擋(zhdng)型MEMS光開關(guān)第18頁(yè)/共25頁(yè)第十九頁(yè)，共26頁(yè)。移動(dòng)(ydng)光纖對(duì)接型MEMS光開關(guān)O 一個(gè)l4光開關(guān)，利用光纖的

6、移動(dòng)和對(duì)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的切換。O 采用體硅或LIGA工藝，制造結(jié)構(gòu)和制備方法較為簡(jiǎn)單。O 采用電磁驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)精度要求低，系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性好，穩(wěn)態(tài)時(shí)幾乎不耗能，O 缺點(diǎn)(qudin)是開關(guān)速度較低，可連接的最大端口數(shù)受到限制，多用于網(wǎng)絡(luò)自愈保護(hù)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理第19頁(yè)/共25頁(yè)第二十頁(yè)，共26頁(yè)。微鏡反射(fnsh)型MEMS光開關(guān)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理第20頁(yè)/共25頁(yè)第二十一頁(yè)，共26頁(yè)。 三維(3D)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(f

7、n li)(fn li)及原理及原理第21頁(yè)/共25頁(yè)第二十二頁(yè)，共26頁(yè)。n網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視功能：使用簡(jiǎn)單的1N光開關(guān)可以將多纖聯(lián)系起來(lái)。當(dāng)需要(xyo)監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)時(shí)，只需在遠(yuǎn)端監(jiān)測(cè)點(diǎn)將多纖經(jīng)光開關(guān)連接到網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視儀器上，通過(guò)光開關(guān)的動(dòng)作，可以實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)在線監(jiān)測(cè)。n光器件的測(cè)試：可以將多個(gè)待測(cè)光器件通過(guò)光纖連接，通過(guò)1N光開關(guān)，可以通過(guò)監(jiān)測(cè)光開關(guān)的每個(gè)通道信號(hào)來(lái)測(cè)試器件。n光開關(guān)可用于光纖通信系統(tǒng)，光纖網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，光線測(cè)量系統(tǒng)或儀器以及光纖傳感系統(tǒng)。4.MEMS4.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的應(yīng)用的應(yīng)用光開關(guān)(kigun)的應(yīng)用領(lǐng)域第22頁(yè)/共25頁(yè)第二十三頁(yè)，共26頁(yè)。4.MEMS4.M