PPT精品文檔磁控濺射技術(shù)和透明導電薄膜

1、磁控濺射技術(shù)和透明導電薄膜什么叫鍍膜n薄膜： 在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。n厚度通常在幾微米以下。濺射原理濺射示意圖成膜示意圖磁控濺射原理磁控濺射原理電子在加速飛向基片的過程中受電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響，被束縛到磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并在磁場的作用下圍繞靶面作圓并在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動，該電子的運動路徑很長，周運動，該電子的運動路徑很長，在運動過程中不斷的與氬原子發(fā)在運動過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過多次碰撞后電子的能靶材，經(jīng)

2、過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，遠離靶材，最終沉積在基片上。遠離靶材，最終沉積在基片上。 等離子詳解等離子詳解n洛侖磁力：運動電荷在磁場中受到的作用力洛侖磁力：運動電荷在磁場中受到的作用力磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)圖磁控濺射設(shè)備磁控濺射設(shè)備 射頻（rf）磁控濺射：sio2 直流（dc）磁控濺射:ito、mo、al 中頻（mf）磁控濺射：si、mo、al、nb2o5磁控濺射電源及靶材磁控濺射電源及靶材薄膜的種類及應用n電子工業(yè)：電極、電阻膜、電介質(zhì)膜、絕緣膜、透明導電膜、超導膜等。n光學工業(yè)：熒光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。n機械工業(yè)：硬化膜、耐熱膜、耐腐

3、蝕膜等。n能源工業(yè)：聚熱膜、防反射膜、透射膜等。n傳感器：熱敏、氣敏、壓敏、氧氣傳感器、紅外線傳感器等。n其它：裝飾膜等。電學薄膜光學薄膜力學薄膜裝飾薄膜薄膜的制備手段n氣相法：化學氣相沉積（cvd）硅烷和氮反應形成氮化硅膜(si3n4)把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片，利用加熱、等離子體、紫外光以及激光等能源，借助氣相作用或在基板表面的化學反應（熱分解或化學合成）生長形成固態(tài)的薄膜。 物理氣相沉積（pvd）熱蒸發(fā) 濺射 離子鍍 分子束外延n液相法：化學鍍、電鍍、浸漬鍍等。n其他方法：噴涂、涂敷等。磁控濺射儀器結(jié)構(gòu)圖磁控濺射儀器外觀 大型多弧離子/磁控濺射鍍膜機?？稍谳^大

4、體積的工件表面鍍制厚度均勻的金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、導電透明等多種功能薄膜。磁控濺射技術(shù)的優(yōu)點n薄膜與基底的結(jié)合力強。n鍍膜均勻，可鍍大面積薄膜。n鍍膜種類豐富：各種金屬(合金)薄膜 各種金屬氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等薄膜其它(如類金剛石薄膜等) 基底種類豐富：金屬、玻璃、陶瓷、 有機玻璃(薄膜)等nito膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ito玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。n電極膜（ito層）iindium tin oxido 銦 錫 氧化物什么是什么是ito透明導電膜透明導電膜透

5、明導電薄膜n厚度：幾十幾百納米n透明性：與玻璃接近n導電性：與金屬接近透明導電薄膜種類n氧化銦錫（ito）n摻鋁氧化鋅（zao）n多層結(jié)構(gòu)： sio2/ito mo-al-mo 透明導電薄膜的應用n液晶顯示器（lcd）n觸摸屏n太陽能電池n除霜防霧n保溫、隔熱n電磁屏蔽n軍事領(lǐng)域： 雷達隱身中國觸摸屏網(wǎng)（中國觸摸屏網(wǎng)（http:/)http:/)32中國觸摸屏網(wǎng)中國觸摸屏網(wǎng) 無無“觸觸”不在不在您下載的該觸摸屏技術(shù)文檔來自于中國觸摸屏網(wǎng)( http:/ )what you are downloading are from china touchscreen site: ( http:/ ) 中國觸摸屏網(wǎng)四大版塊：中國觸摸屏網(wǎng)四大版塊： 觸摸屏論壇： http:/ http:/ http:/ http:/ 觸摸屏論壇：觸摸屏論壇：中國觸摸屏網(wǎng)論壇是觸控面板人討論觸摸屏技術(shù)，解決觸摸屏技術(shù)問題，發(fā)布觸摸屏產(chǎn)品供求信息，了解觸摸屏市場動態(tài)，觸摸屏廠商招聘和找工作求職的第一平臺。 2. 觸摸屏供求商機：觸摸屏供求商機：免費發(fā)布觸摸屏相關(guān)產(chǎn)品：觸控面板、觸摸屏材料、觸摸屏設(shè)備、觸摸屏一體機、人機界面、大屏幕顯示器、廣告機、金融自助設(shè)備、薄膜開關(guān)、電子顯示屏等 3. 招聘招聘