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1、方塊電阻測試介紹ecvsims方塊方塊電阻電阻怎樣快速表征硅片擴(kuò)散性能？ （濃度、深度、均勻性）12四探針方阻測試原理四探針方阻測試原理34方塊電阻測試方法方塊電阻測試方法方塊電阻定義方塊電阻定義測試方阻時需注意的問題測試方阻時需注意的問題 方塊電阻，又叫薄層電阻、面電阻，是指表面為正方形導(dǎo)電薄層的電阻值，它與正方形薄層邊長無關(guān)，而與薄層電阻率和厚度有關(guān)，計算公式為： 其中，為薄層電阻率，l為所選正方形邊長，xj為薄層厚度shjjlrl xxllxj 測量電阻率的方法很多，如兩探針法，四探針法，單探針擴(kuò)展電阻法以及現(xiàn)在正在流行的一些非接觸測試方法。 由于擴(kuò)散層非常?。ê穸葍H1m左右），探針1流

2、出的電流可認(rèn)為在以探針1為中心的表面散開，等勢面是以探針1以中心的圓柱面，在距中心r處電流密度： 所以，距中心r處電場強度為： 探針1和4分別看作流入點流源和流出點流源，則探針2和3之間電壓差為：2jiijarx(2=)ije rjxr2223232=ln 2ssjjssidrivvvedrxrx 232shjvrxi 這就是四探針法測無窮大薄層的方塊電阻的公式，為準(zhǔn)確測量，要求樣品厚度xj遠(yuǎn)比探針間距s小，樣品尺寸遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于探針間距，對于不滿足條件的樣品，采用以下修正公式：23shvrci c為修正因子，與薄層的幾何尺寸有關(guān)；結(jié)合上式，得到：n如果被測導(dǎo)電薄膜材料表面上不干凈，存在油污或材料暴露在空氣中時間過長，形成氧化層，會影響測試精度；n由于探針有少子注入及探針移動存在，所以在測量中可以進(jìn)行正反兩個方向電流測量，然后取其平均值以減小誤差；n電流選擇要適當(dāng)，太小會影響測試精度，太大會引起發(fā)熱或非平衡載流子注入；n對于高阻及光敏感性材料測試時，光電導(dǎo)效率會影響測量，應(yīng)在暗室進(jìn)行；n對于大面積硅片測試時一般采用五點法測試，選取最大值點與最小值點反映硅片方塊電阻均勻性；1、分析四探針法方塊電阻測試誤差來源，指出 與 區(qū)別與

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