三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x綜述

1、中圖儀器 三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x綜述三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量?jī)x器。三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x典型特點(diǎn)：1）使用白光干涉測(cè)量技術(shù)，非接觸式、非破壞性、快速表面形貌測(cè)量與分析；2）臺(tái)階高度測(cè)量分辨率達(dá)0.1 nm ；3）可搭配黑白或彩色相機(jī)進(jìn)行2D、3D顯示和測(cè)量功能；4）配置電動(dòng)鼻輪，可同時(shí)掛載多種物鏡并程序化控制切換使用；5）采用雙光源模式，適應(yīng)特殊樣品測(cè)量；6）測(cè)量范圍1

2、00 x 100mm（可按客戶定制尺寸）；7）配置低倍率物鏡（2.5 x和5X倍率），可進(jìn)行大面積3D測(cè)量；8）提供多種表面參數(shù)測(cè)量功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗糙度、波紋度、 薄膜厚度及平面度；9）提供超過(guò)250多種各類(lèi)參數(shù)（含 2D、3D ）計(jì)算；10）友好的人機(jī)界面，簡(jiǎn)便的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示;11）多種交換文件格式，可儲(chǔ)存與讀取多種3D輪廓文件格式；三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x典型應(yīng)用：對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。行

3、業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用對(duì)象備注材料、精密加工行業(yè)合成材料、柔軟材料、易腐蝕材料蝕刻加工如硅納米線樣品化學(xué)蝕刻深度和面積測(cè)量非金屬表面如玻璃、砂輪、有色金屬如軸承鋼球、軋制鋁膜表面形貌特征測(cè)量分析汽車(chē)行業(yè)曲軸表面的粗糙度、腐蝕和磨損表面形貌、噴油嘴、機(jī)械密封特征測(cè)量分析液晶、平板顯示行業(yè)液晶顯示器、液晶間隔、液晶棱鏡薄片、藍(lán)寶石襯底、手機(jī)顯示屏生物醫(yī)學(xué)行業(yè)人造牙齒、人造皮膚、手術(shù)刀的表面粗糙度、腐蝕和磨損紋理等能源器件行業(yè)太陽(yáng)能電池半導(dǎo)體、微電子行業(yè)薄膜和涂層厚度測(cè)量、晶元、大高深比硅通孔（TSV測(cè)量硅納米線表面形貌、芯片、PCB電子元器件、LEDSMEM微機(jī)電行業(yè)微機(jī)電硬盤(pán)讀頭、微機(jī)電打印機(jī)噴嘴光學(xué)行業(yè)光

4、學(xué)鏡片及鍍膜、微透鏡陣列、光學(xué)鏡面激光拋光信息存儲(chǔ)行業(yè)光盤(pán)、硬盤(pán)表面印刷造紙行業(yè)紙幣印刷和紙張表面應(yīng)用范例:材料、精密加工能源器件3中圖儀器 IMIS 1 om#中圖儀器 生物醫(yī)學(xué)吧丫呂muz帀r-半導(dǎo)體、微電子莊表面蝕弼舞板分布“-hi-ii tn I. tIki F-.-r. T.啊?。憾Z' T'V； UK卜五障北酗kMEMS造紙印刷光學(xué)4中圖儀器 #中圖儀器 三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo):光源白光LED;綠光LED影像系統(tǒng)1280X1024普通物鏡IX、2.5 X、5X、10 X、20 X、50 X、100 X、150 X干涉物鏡5X、10 X、20X、50 X、100X坡度小于42o物鏡座電控5孔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)光學(xué)ZOOM1 X 或 0.5 XXY移動(dòng)平臺(tái)測(cè)量范圍：100 X 100mm （可根據(jù)客戶需要定制）精度：0.5卩m分辨率：0.01卩m負(fù)載：10kg控制方式：自動(dòng)水平調(diào)整手動(dòng)調(diào)整，土 4 °Z軸移動(dòng)范圍：100mm 分辨率：0.01卩mPZT掃描行程：100（1 m分辨率：0.8 nm重復(fù)性：5nm掃描速度：w 301 m/s測(cè)量模式與精度垂直掃描VS；準(zhǔn)確度（4.43 im臺(tái)階高）：0.75%重復(fù)性（4.43 im臺(tái)階高）：0.1%