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1、第三章第三章 波像差、光學(xué)系統(tǒng)波像差、光學(xué)系統(tǒng)像差容限與像質(zhì)評(píng)價(jià)像差容限與像質(zhì)評(píng)價(jià) 江西理工大學(xué)江西理工大學(xué) 邱鑫邱鑫12021/7/243.1 波像差3.2 光學(xué)系統(tǒng)的像差容限 3.3 光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量評(píng)價(jià)簡(jiǎn)介總總 概概 要要22021/7/.1 波像差的定義波像差的定義(2)波)波像差的定義像差的定義 實(shí)際實(shí)際波面與理想波面與理想波面在波面在出瞳處出瞳處相切時(shí),兩相切時(shí),兩波面間波面間的光程差。的光程差。 理想的出射波:球面波理想的出射波:球面波 實(shí)際的出射波實(shí)際的出射波: 偏離球面波偏離球面波 (1 1)物理)物理意義意義軸上點(diǎn)軸上點(diǎn)A A以單色光成像存在球差以單色光成像

2、存在球差 AM AM 交理想波面于交理想波面于M M, lLLnMM 即為波差。即為波差。3.1 波像差(以理想波面為基準(zhǔn),右負(fù)左正(以理想波面為基準(zhǔn),右負(fù)左正) 32021/7/.2 軸軸上點(diǎn)的波像差及其與球差的關(guān)系上點(diǎn)的波像差及其與球差的關(guān)系202duLndWWmu球差相當(dāng)?shù)牟ㄏ癫顬橐郧虿钕喈?dāng)?shù)牟ㄏ癫顬橐評(píng)u2 2為縱坐標(biāo),以為縱坐標(biāo),以LL為橫坐標(biāo)的球差曲線與縱軸為橫坐標(biāo)的球差曲線與縱軸所圍面積的一半所圍面積的一半 當(dāng)物方無(wú)窮遠(yuǎn)時(shí)當(dāng)物方無(wú)窮遠(yuǎn)時(shí), uh / f 10222)(2mmhhdLfhnW討論(1 1)當(dāng))當(dāng)僅有初級(jí)量時(shí)僅有初級(jí)量時(shí)21LAu以波長(zhǎng)為單位時(shí),以

3、波長(zhǎng)為單位時(shí),2m ax14mnWA u邊緣處波像差最大。邊緣處波像差最大。移動(dòng)接收面,以接收面為基準(zhǔn),則球差將改變,波像差曲線隨之改變移動(dòng)接收面,以接收面為基準(zhǔn),則球差將改變,波像差曲線隨之改變稱之為稱之為離焦離焦。2max14mnWAu不離焦時(shí),高斯面上不離焦時(shí),高斯面上達(dá)不到瑞利判據(jù)達(dá)不到瑞利判據(jù)(波像差小于波像差小于1/4波長(zhǎng)波長(zhǎng)),2 2 max16441mmuLnuLnW離焦離焦21mL可望達(dá)到瑞利判據(jù)??赏_(dá)到瑞利判據(jù)。 42021/7/24(2)當(dāng))當(dāng)有初級(jí)和二級(jí)球差時(shí)有初級(jí)和二級(jí)球差時(shí) 4221hAhAL當(dāng)當(dāng)1,hluf2224612220 ()()()22mmmmmn hn

4、 hhhhWL dAAfhfhh當(dāng)對(duì)邊光校正球差時(shí),當(dāng)對(duì)邊光校正球差時(shí),0.707帶光有最大剩余球差。帶光有最大剩余球差。若離焦,使圖中三部分面積相同,若離焦,使圖中三部分面積相同,則應(yīng)軸向離焦則應(yīng)軸向離焦 707. 043L此時(shí)此時(shí) 707. 0221212 22 2LSWfhnOABfhnmm顯然,同樣滿足瑞利判據(jù),允許的剩余球差要大得多。顯然,同樣滿足瑞利判據(jù),允許的剩余球差要大得多。52021/7/24(3)若)若再有三級(jí)以上球差,則像差平衡的原則是:再有三級(jí)以上球差,則像差平衡的原則是:盡可能離焦后有多個(gè)大小相等、符號(hào)相反的小面積盡可能離焦后有多個(gè)大小相等、符號(hào)相反的小面積以下動(dòng)畫是

5、一個(gè)實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量隨離焦量變化的情況以下動(dòng)畫是一個(gè)實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量隨離焦量變化的情況62021/7/.4 參考點(diǎn)參考點(diǎn)移動(dòng)產(chǎn)生的波像差、焦深(移動(dòng)產(chǎn)生的波像差、焦深(depth of focusdepth of focus)02 2muduLnW由:由:軸向離焦軸向離焦2 2 22mulndulnW垂軸離焦垂軸離焦22sinmmWnyUny u當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)為理想系統(tǒng)時(shí),高斯面上波像差為零。若像面移動(dòng)當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)為理想系統(tǒng)時(shí),高斯面上波像差為零。若像面移動(dòng) ,則可按,則可按上式計(jì)算新的上式計(jì)算新的W。 l若若瑞利判據(jù)瑞利判據(jù),4新W則可認(rèn)為該系統(tǒng)仍為理想系,這時(shí)焦深為則

6、可認(rèn)為該系統(tǒng)仍為理想系,這時(shí)焦深為由上可得:由上可得:22 mln u焦深與像方孔徑角有關(guān),孔徑越大,焦深越小。例:例:1 . 051mufDmml05. 01002則:則:2 l所以所以22mln u72021/7/243.1.5 3.1.5 色差色差的波像差表示的波像差表示 波色差波色差幾何像差幾何像差DL波像差波像差WDCL波像差波像差WCFL波像差波像差WFchFCFCFCLLLWWW()()()()()()()()()FCFFFCCCFFCCFCDFCFCWD ndnD ndnD nD nd nnDnnd nnDd dn()()WDndnW某一孔徑帶的光線與近軸光線的光程之差。某一孔

7、徑帶的光線與近軸光線的光程之差。 DD為為F與與C的中間光程的中間光程82021/7/24 -像差校正到什么程度的像差是允許的像差校正到什么程度的像差是允許的?(根據(jù)使用條件)根據(jù)使用條件) .1 小小像差系統(tǒng)(如目視光學(xué)儀器像差系統(tǒng)(如目視光學(xué)儀器)(1)波)波色差色差 24FCW(2)球差)球差 當(dāng)當(dāng)U很小,很小, 2AhL 所以所以倍焦深442 unLm離焦離焦 后后 4162 maxmuLnW21mL當(dāng)當(dāng)U有一定大小,有一定大小, 4221hAhAL使邊光球差為零,使邊光球差為零,0.707帶光有最大剩余球差帶光有最大剩余球差作作 離焦離焦:707. 043L20.70

8、7244mn uWL倍焦深662707. 0unL(邊光不一定恰好校正到零,允許殘余(邊光不一定恰好校正到零,允許殘余1倍焦深)倍焦深) 4要求要求: 最大剩余波像差最大剩余波像差 3.2 光學(xué)系統(tǒng)的像差容限 瑞利判據(jù):92021/7/24(3)正弦)正弦差差 0sin2mUynosc弧矢彗差弧矢彗差 sin2msUnK(4)像)像散散倍焦深1sin2mUnx(5)像)像面彎曲:在人眼調(diào)節(jié)范圍之內(nèi)面彎曲:在人眼調(diào)節(jié)范圍之內(nèi) (6)畸變)畸變 %52yy(7)倍率)倍率色差:色差: 4 2角度.2 大大像差系統(tǒng)(如攝影物鏡)像差系統(tǒng)(如攝影物鏡)應(yīng)校正全部應(yīng)校正全部 像差像差 此

9、時(shí)不可用瑞利判據(jù),而要求此時(shí)不可用瑞利判據(jù),而要求 :mm1 . 003. 0彌散斑直徑畸變畸變2-4%要求觀察著看不出明顯的像變形。要求觀察著看不出明顯的像變形。以上是小視場(chǎng)系統(tǒng)容限,以下是大視場(chǎng)系統(tǒng)容以上是小視場(chǎng)系統(tǒng)容限,以下是大視場(chǎng)系統(tǒng)容限限102021/7/243.3 光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量評(píng)價(jià)(1)用于)用于設(shè)計(jì)階段評(píng)價(jià)的有:設(shè)計(jì)階段評(píng)價(jià)的有:幾何幾何像差、波像差、瑞利判斷和點(diǎn)列圖、傳遞函數(shù);像差、波像差、瑞利判斷和點(diǎn)列圖、傳遞函數(shù);(2)用于)用于產(chǎn)品鑒定階段:產(chǎn)品鑒定階段:分辨率分辨率檢驗(yàn)、星點(diǎn)檢驗(yàn)和光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量等。檢驗(yàn)、星點(diǎn)檢驗(yàn)和光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量等。一般認(rèn)為最大波像差小于四分之一波長(zhǎng)

10、,則系統(tǒng)質(zhì)量與理想光學(xué)系一般認(rèn)為最大波像差小于四分之一波長(zhǎng),則系統(tǒng)質(zhì)量與理想光學(xué)系統(tǒng)沒(méi)有顯著差別。統(tǒng)沒(méi)有顯著差別。這是長(zhǎng)期以來(lái)評(píng)價(jià)高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量的一個(gè)經(jīng)這是長(zhǎng)期以來(lái)評(píng)價(jià)高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量的一個(gè)經(jīng)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),稱為驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),稱為瑞利(瑞利(LordRayleigh)準(zhǔn)則)準(zhǔn)則;顯微物鏡、望遠(yuǎn)物鏡應(yīng);顯微物鏡、望遠(yuǎn)物鏡應(yīng)達(dá)到這種要求。達(dá)到這種要求。瑞利判斷瑞利判斷: :112021/7/24球差球差曲線縱坐標(biāo)是孔徑,橫坐標(biāo)是球差(色球差),使用這個(gè)曲線曲線縱坐標(biāo)是孔徑,橫坐標(biāo)是球差(色球差),使用這個(gè)曲線圖,一要注意球差的大小,二要圖,一要注意球差的大小,二要注意曲線的形狀特別是代表幾種色注意曲線的形

11、狀特別是代表幾種色光的幾條曲線之間的分開(kāi)程度,光的幾條曲線之間的分開(kāi)程度,如果單根曲線還可以,如果單根曲線還可以,但是曲線間但是曲線間距離很大,說(shuō)明系統(tǒng)的位置色差很嚴(yán)重距離很大,說(shuō)明系統(tǒng)的位置色差很嚴(yán)重。.1 球差曲線球差曲線122021/7/24這一般是由兩個(gè)曲線圖構(gòu)成圖中左邊的是像散場(chǎng)曲曲線,右邊的是畸變,不同顏色表示不同色光,T和S分別表示子午和弧矢量,同色的T和S間的距離表示像散的大小,縱坐標(biāo)為視場(chǎng),左圖橫坐標(biāo)是場(chǎng)曲,右圖是畸變的百分比值。細(xì)光束場(chǎng)曲反映了不同視場(chǎng)點(diǎn)的細(xì)光束像點(diǎn)離開(kāi)像面的位置變化,初級(jí)細(xì)光束場(chǎng)曲跟視場(chǎng)的平方成正比,其對(duì)成象的影響,是使一平面物體成一彎曲像

12、面。細(xì)光束像散反映了子午和弧矢細(xì)光束像點(diǎn)(或子午與弧矢彎曲像面)的不重合而分開(kāi)的軸向距離。.2 軸軸外細(xì)光束像差曲線外細(xì)光束像差曲線 (Field Curvature / Distortion (Field Curvature / Distortion ) )(1)幾何意義:幾何意義:(2)像差分析:)像差分析:132021/7/.3 光線光線像差(像差(Ray AberrationRay Aberration)RayAberration:像面(像面(XOY面)面)上上的的X分量像差分量像差EX(Xaberration)和和Y分量像差分量像差EY(Yaber

13、ration)隨)隨光線孔徑高光線孔徑高(PX、PY)之間的變化曲之間的變化曲線線。在子午面(在子午面(YOZ面)內(nèi),某一物點(diǎn)發(fā)出不同孔徑高的光線,面)內(nèi),某一物點(diǎn)發(fā)出不同孔徑高的光線,經(jīng)過(guò)鏡頭系統(tǒng)后,光線均在子午面內(nèi),光線坐標(biāo)中經(jīng)過(guò)鏡頭系統(tǒng)后,光線均在子午面內(nèi),光線坐標(biāo)中PX=0,PY從從01變化,因此離開(kāi)主光線在像面上交點(diǎn)的位置表示只有變化,因此離開(kāi)主光線在像面上交點(diǎn)的位置表示只有Y分量分量(Y-aberration),),X-aberration均為0,即Tan Fan(子午光扇圖)只有Y-aberration,只有EYPY關(guān)系曲線圖。(1)意義:)意義:注意:注意:142021/7/2

14、4152021/7/24162021/7/243)如果工作波長(zhǎng)是一光譜段,每一視場(chǎng)的Ray aberration曲線中每一幅圖有三根曲線,反映波長(zhǎng)序號(hào)為1,2,3的Ray aberration數(shù)據(jù)。這樣Ray aberration曲線中,1,3波長(zhǎng)的曲線與波長(zhǎng)的曲線與EY軸的交點(diǎn)之差反映垂軸色差的大小。軸的交點(diǎn)之差反映垂軸色差的大小。隨著視場(chǎng)的變化,可以清楚垂軸色差的變化。由由Ray aberration圖可以看出圖可以看出幾何像差存在時(shí)的綜合彌散情幾何像差存在時(shí)的綜合彌散情況,還可以看出其他獨(dú)立幾何況,還可以看出其他獨(dú)立幾何像差的大小:像差的大?。海?)像差分析:)像差分析:1)原點(diǎn)處曲線的

15、斜率可以反原點(diǎn)處曲線的斜率可以反映軸向像差分量映軸向像差分量,諸如球差、場(chǎng)曲、離焦的大小,圖中表明目前初始結(jié)構(gòu)的場(chǎng)曲較大場(chǎng)曲較大;2)曲線邊緣孔徑(曲線邊緣孔徑(1.0)處的)處的Y-aberration之和,能夠反映慧差大小;之和,能夠反映慧差大??;172021/7/.4 光程差光程差圖(圖(Optical pathOptical path)顯示的光瞳歸一化坐標(biāo)(PX,PY)為橫軸的光程差曲線,相當(dāng)于一維波差曲線,縱軸為光程差,以主光線所走過(guò)的光程為基準(zhǔn)。反映光瞳像差。表示實(shí)際主光線與光瞳面交點(diǎn),離開(kāi)高斯主光線與光瞳面交點(diǎn)的距離,一般用占光瞳半徑的百分?jǐn)?shù)表示,圖表示一初始

16、結(jié)構(gòu)的光瞳像差曲線,由該圖看出,由于物位于子午面內(nèi),在子午面內(nèi)存在明顯的光瞳像差,表示軸由于物位于子午面內(nèi),在子午面內(nèi)存在明顯的光瞳像差,表示軸外光瞳偏心。外光瞳偏心。此時(shí),如不消除光瞳像差,會(huì)影響各種軸外像差值的精確計(jì)算。(1)意義:)意義:(2)像差分析:)像差分析:182021/7/24192021/7/24這些點(diǎn)的分布能夠近似地代表這些點(diǎn)的分布能夠近似地代表點(diǎn)像的能量分布。所以點(diǎn)列圖點(diǎn)像的能量分布。所以點(diǎn)列圖中點(diǎn)的密集程度反映光學(xué)系統(tǒng)中點(diǎn)的密集程度反映光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的優(yōu)劣。成像質(zhì)量的優(yōu)劣。由一點(diǎn)發(fā)出的許多光線經(jīng)光學(xué)由一點(diǎn)發(fā)出的許多光線經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)后,因像差使其與像面的系統(tǒng)后,因像差使其

17、與像面的交點(diǎn)不再集中于同一點(diǎn),而形交點(diǎn)不再集中于同一點(diǎn),而形成了一個(gè)散布在一定范圍的彌成了一個(gè)散布在一定范圍的彌散圖形。散圖形。.5 點(diǎn)列點(diǎn)列圖(圖(Stop DiagramsStop Diagrams)而Ray aberration僅能反映子午、弧矢面內(nèi)光線造成像的彌散情況,幾何點(diǎn)列圖則能反映任一物點(diǎn)發(fā)出的充滿入瞳的光錐,在像面上的交點(diǎn)彌散情況。(1)定義:)定義:(2)意義:)意義:202021/7/24212021/7/24 使用使用點(diǎn)列圖的評(píng)價(jià)像質(zhì),點(diǎn)列圖的評(píng)價(jià)像質(zhì),除了觀察點(diǎn)列圖形狀外,一除了觀察點(diǎn)列圖形狀外,一般還使用兩個(gè)指標(biāo),即般還使用兩個(gè)指標(biāo),即: : R M

18、S R M S R a d i u sR a d i u s 與與 G E O G E O RadiusRadius,單位一般仍為,單位一般仍為 mm。前者表示點(diǎn)列圖彌散的實(shí)際前者表示點(diǎn)列圖彌散的實(shí)際幾何半徑。有時(shí)如僅有兩根幾何半徑。有時(shí)如僅有兩根光線與像面交點(diǎn)散的厲害,光線與像面交點(diǎn)散的厲害,而其他光線分布比較集中,而其他光線分布比較集中,即即RMS RadiusRMS Radius較小,而較小,而GEO GEO RadiusRadius較大,仍認(rèn)為像質(zhì)比較大,仍認(rèn)為像質(zhì)比RMS RadiusRMS Radius值較大時(shí)好一些。值較大時(shí)好一些。(3)像差分析:)像差分析:222021/7/2

19、4標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)列圖(Standard)、離焦點(diǎn)列圖(Through Focus)(4)種類:)種類:232021/7/24 光學(xué)傳遞函數(shù)光學(xué)傳遞函數(shù)理理論的基本出發(fā)點(diǎn)是將論的基本出發(fā)點(diǎn)是將物面圖形分解成各種物面圖形分解成各種頻率的譜,也就是將頻率的譜,也就是將物的亮度分布函數(shù)展物的亮度分布函數(shù)展開(kāi)為傅立葉級(jí)數(shù)(物開(kāi)為傅立葉級(jí)數(shù)(物函數(shù)為周期函數(shù))或函數(shù)為周期函數(shù))或傅立葉積分(物函數(shù)傅立葉積分(物函數(shù)是非周期函數(shù))研究是非周期函數(shù))研究光學(xué)系統(tǒng)對(duì)各種空間光學(xué)系統(tǒng)對(duì)各種空間頻率的亮度呈余弦分頻率的亮度呈余弦分布目標(biāo)的傳遞能力布目標(biāo)的傳遞能力。 .6 傳遞函數(shù)傳遞函數(shù) (1)光學(xué)傳遞函數(shù)

20、)光學(xué)傳遞函數(shù)概述概述242021/7/24(2 2)光學(xué)傳遞函數(shù)的基本出發(fā)點(diǎn))光學(xué)傳遞函數(shù)的基本出發(fā)點(diǎn) 物體被看作是亮度的一種分布形式,不同物體有不同的亮度分布。物體被看作是亮度的一種分布形式,不同物體有不同的亮度分布。 任何一種亮度分布可以認(rèn)為是所有頻率余弦分布按某種比例的疊加。任何一種亮度分布可以認(rèn)為是所有頻率余弦分布按某種比例的疊加。 光學(xué)系統(tǒng)分別將各種余弦分布的目標(biāo)進(jìn)行成像,光學(xué)系統(tǒng)分別將各種余弦分布的目標(biāo)進(jìn)行成像, 像面上各種余弦分布的像按照相應(yīng)的比例進(jìn)行疊加形成了物體的像。像面上各種余弦分布的像按照相應(yīng)的比例進(jìn)行疊加形成了物體的像。(3 3)光學(xué)傳遞函數(shù)的理論實(shí)質(zhì))光學(xué)傳遞函數(shù)的

21、理論實(shí)質(zhì)調(diào)制傳遞函數(shù)調(diào)制傳遞函數(shù)MTFMTF:一定空間頻率下像的對(duì)比度與物的對(duì)比度之比。能反:一定空間頻率下像的對(duì)比度與物的對(duì)比度之比。能反映不同空間頻率、不同對(duì)比度的傳遞能力。一般而言,映不同空間頻率、不同對(duì)比度的傳遞能力。一般而言,高頻傳遞函數(shù)反映高頻傳遞函數(shù)反映了物體細(xì)節(jié)傳遞能力,低頻傳遞函數(shù)反映物體輪廓傳遞能力,中頻傳遞函了物體細(xì)節(jié)傳遞能力,低頻傳遞函數(shù)反映物體輪廓傳遞能力,中頻傳遞函數(shù)反映對(duì)物體層次的傳遞能力。數(shù)反映對(duì)物體層次的傳遞能力。 252021/7/24(4)MTF曲線圖曲線圖1)不同)不同色的曲線表示不同視場(chǎng)的復(fù)色光(白光)色的曲線表示不同視場(chǎng)的復(fù)色光(白光)MTF曲線,曲

22、線,2)T和和S分別表示分別表示子午和弧矢子午和弧矢方向方向,3)最)最上方黑色的曲線是衍射極限。上方黑色的曲線是衍射極限。4)橫坐標(biāo))橫坐標(biāo)是空間頻率是空間頻率lp/mm(每毫米線對(duì)),縱坐標(biāo)是對(duì)比度,最大是(每毫米線對(duì)),縱坐標(biāo)是對(duì)比度,最大是1。5)曲線)曲線越高,表明成像質(zhì)量越好越高,表明成像質(zhì)量越好。262021/7/24(5 5)利用)利用MTFMTF評(píng)價(jià)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)成像質(zhì)量. . MTFMTF曲線越高越好曲線越高越好MTFMTF曲線越高說(shuō)明曲線與坐標(biāo)軸所圍面積越大,鏡頭能傳遞的曲線越高說(shuō)明曲線與坐標(biāo)軸所圍面積越大,鏡頭能傳遞的信息量就越多,成像質(zhì)量就越好信息量就越多,成像質(zhì)量就越

23、好 。. . MTFMTF曲線越平直越好曲線越平直越好曲線越平直曲線越平直, ,說(shuō)明邊緣與中間一致性越好。說(shuō)明邊緣與中間一致性越好。. . S S曲線與曲線與T T曲線曲線越重合越好越重合越好. . 低頻低頻(10lp/mm)(30lp/mm)(30lp/mm)代表鏡頭分辨率特性代表鏡頭分辨率特性272021/7/24例:這種評(píng)價(jià)方法的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)試方便,判斷迅速,適用于生產(chǎn)線??蓞⒖迹篽ttp:/ 分辨率分辨率根據(jù)物理光學(xué)中圓孔衍射原理可以求得:根據(jù)物理光學(xué)中圓孔衍射原理可以求得:衍射光斑的中央亮斑集中了全部能量的衍射光斑的中央亮斑集中了全部能量的8080以上以上,其中第一亮環(huán)的最大強(qiáng)度不到中,其中第一亮環(huán)的最大強(qiáng)度不到中央亮斑最大強(qiáng)度的央亮斑最大強(qiáng)度的2 2。由于衍射像有一定的大小,如果兩個(gè)像點(diǎn)由于衍射像有一定的大小,如果兩個(gè)像點(diǎn)之間的距離太短,就無(wú)法分辨出這是兩個(gè)之間的距離太短,就無(wú)法分辨出這是兩個(gè)像點(diǎn)。我們把像點(diǎn)。我們把兩個(gè)衍射像間所能分辨的最兩個(gè)衍射像間所能分辨的最小間隔稱為理想光學(xué)系統(tǒng)的衍射分辨率。小間隔稱為理想光學(xué)系統(tǒng)的衍射分辨率。D22. 1292021/7/24兩個(gè)像點(diǎn)間能夠分辨的最短距離約等于中央兩個(gè)像點(diǎn)間能夠分辨的最短距離約等于中央亮斑的半徑亮斑的半徑R R,如圖所示。從上式得到,如圖所示。從上式得到優(yōu)點(diǎn):優(yōu)點(diǎn):指標(biāo)單一,

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