特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求

1、.特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求工程概況：工程名稱(chēng)：開(kāi)元設(shè)備科技有限公司特殊氣體供應(yīng)和氣體偵測(cè)監(jiān)控管理系統(tǒng)建設(shè)地點(diǎn) 開(kāi)元設(shè)備科技有限公司廠(chǎng)址工程范圍： 特氣供應(yīng)系統(tǒng)及氣體監(jiān)控系統(tǒng)主要工作內(nèi)容如下：l 特氣氣柜供應(yīng)系統(tǒng)： CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2l BSGS 供應(yīng)系統(tǒng): SIH4, NF3,l 大宗氣體分配系統(tǒng): CDA ，AR ，O2 , N2，H2（管路至供氣源接口）l 動(dòng)力系統(tǒng)（外圍獨(dú)立氣體房的排風(fēng)系統(tǒng)）l UPS電源系統(tǒng) l 氣體偵測(cè)器系統(tǒng)l 氣體監(jiān)控系統(tǒng)l PLC 控制和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)l 電腦圖形控制系統(tǒng)l 各個(gè)氣體房和氣體室的氣柜排風(fēng)系統(tǒng)和事故排風(fēng)系統(tǒng)l 廢氣處理裝置的安裝

2、和調(diào)試，管路銜接。l 其他未盡事項(xiàng)詳見(jiàn)圖紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。注：此工程范圍需包含以上但不僅限于以上內(nèi)容，需投標(biāo)方自行考慮所有細(xì)節(jié)。工程界面協(xié)調(diào)配合事項(xiàng)：l 環(huán)氧： 環(huán)氧施工完成并經(jīng)監(jiān)理及旭雙相關(guān)人員驗(yàn)收后，所有地面，天花墻壁作徹底清潔后，本包可入內(nèi)施工。l 地面保護(hù)：氣體房?jī)?nèi)地面保護(hù)在本包范圍內(nèi)。l 電力：電力包提供電源（包括電纜，橋架及接線(xiàn)）到本包各電盤(pán)（380V Emergency 800A+ 380V Normal 800A）的進(jìn)線(xiàn)端。照明由電力包統(tǒng)一規(guī)劃提供。l 接地：各氣體房由電力系統(tǒng)提供接點(diǎn)。l 消防：提供各氣體房之噴淋系統(tǒng)，并預(yù)留DN50閥門(mén)、門(mén)禁系統(tǒng)、廣播和氣體報(bào)警系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。l

3、 MAU：各氣體房空調(diào)。l 其他未盡事項(xiàng)詳見(jiàn)圖紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。第一章特氣供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求1.1 特氣供應(yīng)流程圖1.1.1 特氣供氣簡(jiǎn)易流程：本項(xiàng)目使用氣柜（以下簡(jiǎn)稱(chēng)GC）的氣體分別為0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4，詳情見(jiàn)設(shè)備清單表。1.12本項(xiàng)目使用大宗特氣系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)BSGS）供氣的氣體 SIH4, NF3 第二章特氣設(shè)備技術(shù)要求： 氣瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求：1) 所有系統(tǒng)設(shè)計(jì)都必須遵從SEMI S2（半導(dǎo)體工業(yè)的全球標(biāo)準(zhǔn)）標(biāo)準(zhǔn)。2) 更換鋼瓶或輕微故障時(shí)，不影響氣瓶柜和氣瓶架向VMB或機(jī)臺(tái)供氣。3) 無(wú)論任何一邊鋼瓶先上線(xiàn)，都能夠自動(dòng)切換。4) 更換鋼瓶

4、時(shí)氣瓶柜/氣瓶架全自動(dòng)進(jìn)行吹掃、保壓測(cè)試、供應(yīng)服務(wù)。5) 具有緊急切斷功能（EMO）和三色燈蜂鳴報(bào)警功能。6) 彩色觸摸屏控制。 7) 氣瓶柜和氣瓶架設(shè)計(jì)要方便拆卸鋼瓶和固定鋼瓶。8) 氣瓶柜和氣瓶架的控制系統(tǒng)都采用西門(mén)子或者歐姆龍控制系統(tǒng)，且具有以下擴(kuò)展功能² 具有以太網(wǎng)接口用于上位機(jī)通訊以便于實(shí)時(shí)監(jiān)控氣柜工作狀態(tài)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。（如：各氣瓶的重量、壓力、管路壓力、開(kāi)斷狀態(tài)，各自控閥的狀態(tài)，和上位機(jī)的通信狀態(tài)，報(bào)警、運(yùn)行、故障等）。² 遠(yuǎn)程關(guān)閉，氣柜之間互相切換，用于當(dāng)外部故障或氣體泄漏等情況發(fā)生時(shí)，設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行。 ² 詳細(xì)具體功能必須經(jīng)過(guò)甲方業(yè)主同意認(rèn)可。2.1

5、氣瓶柜： 2.11氣瓶柜構(gòu)造：1) 氣瓶柜面板的厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）2) 氣瓶柜全表面都不能有震動(dòng)，不可有鋒利的邊緣。3) 氣瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。4) 氣瓶柜的底面設(shè)計(jì)要便于放置或移走鋼瓶而不必調(diào)整鋼瓶高度。如鋼瓶尺寸有變動(dòng)，設(shè)備廠(chǎng)商無(wú)條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。5) 氣瓶柜要可以容納兩個(gè)供氣鋼瓶。6) 氣瓶柜的門(mén)，管路線(xiàn)路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。7) 氣瓶柜進(jìn)氣口要安裝灰塵過(guò)濾器。8) 所有氣瓶柜標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類(lèi)及其濃度，氣瓶柜

6、內(nèi)部所有的管路及閥件應(yīng)該標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。2.12氣柜門(mén)構(gòu)造：1) 氣柜門(mén)能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 氣柜門(mén)能打開(kāi)90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的氣柜門(mén)及窗子使用同樣的鑰匙。4) 氣柜門(mén)能平穩(wěn)地打開(kāi)及關(guān)閉，并具有防關(guān)閉功能，閉門(mén)器的聯(lián)接桿方便拆卸。2.13操作窗口：1) 操作窗口能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 2.14氣瓶柜的排氣裝置：1) 氣瓶柜排氣管的直徑必須大于等于6” SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料。2) 排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)

7、控信號(hào)要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動(dòng)，以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或報(bào)警選項(xiàng)。3) 排氣管上加裝氣體偵測(cè)器。2.15 氣瓶柜系統(tǒng)設(shè)計(jì)1) 盤(pán)面的排氣管必須保持微量N2微漏通過(guò)，監(jiān)控其背壓來(lái)偵測(cè)排氣管是否堵塞。2) 更換鋼瓶時(shí)，Pigtail必須保持小流量的PN2吹出。3) 盤(pán)面所用的部件必須與所供氣體相適應(yīng)，所有的閥件必須可以開(kāi)關(guān)100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關(guān)證明）4) 管路設(shè)計(jì)的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250。5) 管路構(gòu)造要符合ASTM 標(biāo)準(zhǔn)。6) 調(diào)壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護(hù)的位置。且各種電子傳感器禁止安裝在調(diào)壓閥下端。7) 必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。

8、且所有的彎頭、接頭都必須使用標(biāo)準(zhǔn)配件。材料全部選用SUS316LEP材質(zhì)。8) 氣瓶柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測(cè)器。9) 氣瓶柜要裝有作動(dòng)點(diǎn)為68 的噴水頭，還要裝有溫度傳感器并與盤(pán)面控制器聯(lián)動(dòng)。2.16 氣瓶柜功能要求：（包含氣瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求） 系統(tǒng)報(bào)警1) 排風(fēng)風(fēng)壓負(fù)壓報(bào)警功能。2) Z-purge 報(bào)警功能。3) 過(guò)流量報(bào)警聯(lián)動(dòng)功能。4) 氣柜各種壓力報(bào)警聯(lián)動(dòng)閥門(mén)自動(dòng)開(kāi)關(guān)、供氣路線(xiàn)自動(dòng)切換。5) 氣瓶柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測(cè)器報(bào)警功能。6) 所有安全裝置及與控制器的觸摸屏必須有失效互鎖保護(hù)型。7) 信號(hào)燈的警報(bào)信號(hào)根據(jù)不同的顏色分為三種：紅色是警報(bào)，黃色是故障，

9、綠色是正常運(yùn)行。亮度要求為在5米距離范圍內(nèi)能夠看清楚信號(hào)燈光。2.17系統(tǒng)控制器1) 控制屏幕，必須是鑲嵌在現(xiàn)有的面板上的、有顯示特氣系統(tǒng)的吹掃狀態(tài)及 P&ID、彩色的觸摸屏。2) 系統(tǒng)可以設(shè)定自動(dòng)或手動(dòng)操作模式。3) 所有的報(bào)警裝置應(yīng)該安裝在顯而易見(jiàn)的地方并伴有警報(bào)聲，報(bào)警聲經(jīng)確認(rèn)后靜音，屏幕的報(bào)警信息要求報(bào)警完全消除后才能消除，所有的操作記錄必須要保存半年以上。4) 控制器要裝有一個(gè)EMO按鈕用來(lái)關(guān)閉供氣氣動(dòng)閥使系統(tǒng)完全停止供氣。5) 控制器有密碼保護(hù)并且可以在安全連鎖條件下自動(dòng)控制氣動(dòng)。6) 控制器PLC應(yīng)該與GMS系統(tǒng)PLC直接通訊，不可以通過(guò)觸摸屏的CPU和外界通訊。7) 控

10、制器可以與GMS通訊，并且可以遠(yuǎn)程關(guān)閉。8) 設(shè)備廠(chǎng)商要就設(shè)備的自動(dòng)操作及手動(dòng)操作提供詳細(xì)說(shuō)明，共同討論通過(guò)，當(dāng)有不合理的操作的時(shí)候，軟件能夠自鎖并等待確認(rèn)。9) 控制器必須能夠檢測(cè)到組件故障，并時(shí)常完成自動(dòng)檢查和校正。10) 控制器必須能夠設(shè)定和監(jiān)控選定的警報(bào)項(xiàng)目。11) 控制器必須有旁路或自動(dòng)的互鎖程序。12) 控制器必須有自動(dòng)及手動(dòng)操作功能。13) 控制器必須能夠接受外部互鎖信號(hào)。互鎖類(lèi)型必須要通過(guò)和甲方業(yè)主協(xié)商而且控制器必須有4個(gè)干接點(diǎn)供外部操作使用。14) 控制器程序控制器必須具有上傳和下載的功能，以便對(duì)程序作故障分析和更新的動(dòng)作。15) 至少要有兩級(jí)密碼設(shè)置，如操作界面密碼和參數(shù)修

11、改密碼。注： 設(shè)備的供氣盤(pán)面，和控制系統(tǒng)必須提交甲方業(yè)主審核通過(guò)。上述的功能必須全部滿(mǎn)足，甲方保留增加部分功能的權(quán)利。2.2 大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)BSGS） 2.21BSGS構(gòu)造：1) BSGS面板厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）2) BSGS全表面都不能有震動(dòng)，不可有鋒利的邊緣。3) BSGS的設(shè)備廠(chǎng)商根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)鋼瓶實(shí)際情況無(wú)條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。且RFO必須安裝在SiH4鋼瓶的CGA接頭上，尺寸應(yīng)滿(mǎn)應(yīng)該根據(jù)實(shí)際用量來(lái)計(jì)算.4) BSGS的門(mén)，管路線(xiàn)路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。5) BSGS進(jìn)氣口要安裝灰塵過(guò)濾

12、器。6) 所有BSGS標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類(lèi)及其濃度，氣瓶柜內(nèi)部所有的管路及閥件標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。2.22BSGS門(mén)構(gòu)造：1) BSGS門(mén)能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) BSGS門(mén)能打開(kāi)90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的氣體設(shè)備門(mén)及窗子使用同樣的鑰匙。4) BSGS門(mén)能平穩(wěn)地打開(kāi)及關(guān)閉，并具有防關(guān)閉功能，閉門(mén)器的聯(lián)接桿方便拆卸。2.23操作窗口：1) 操作窗口能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 2.24 BSGS的排氣裝置：1) BSGS柜排氣管的直徑必須

13、大于等于6” SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料2) 排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號(hào)要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動(dòng)，以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或報(bào)警選項(xiàng)。兩個(gè)鋼瓶接口處的閥箱必須裝有抽風(fēng)系統(tǒng)，換氣次數(shù)和風(fēng)壓和設(shè)備本身一樣。3) 排氣管上加裝氣體偵測(cè)器。2.25BSGS系統(tǒng)設(shè)計(jì)1) 盤(pán)面的排氣管必須保持微量N2微漏通過(guò)，監(jiān)控其背壓來(lái)偵測(cè)排氣管是否堵塞。2) 更換鋼瓶時(shí)，Pigtail必須保持小流量的PN2吹出。3) 盤(pán)面所用的部件必須與所供氣體相適應(yīng)，所有的閥件必須可以開(kāi)關(guān)100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關(guān)證明）4) 管路設(shè)計(jì)的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250。5) 管路構(gòu)造

14、要符合ASTM 標(biāo)準(zhǔn)。6) 調(diào)壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護(hù)的位置。且各種電子傳感器禁止安裝在調(diào)壓閥下端。7) 必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。且所有的彎頭、接頭都必須使用標(biāo)準(zhǔn)配件。材料全部選用SUS316LEP材質(zhì)。8) BSGS要裝有氣體、溫度及煙霧偵測(cè)器。環(huán)境中必須加裝火焰和煙霧探測(cè)器。9) BSGS要裝有作動(dòng)點(diǎn)為68 的噴水頭，還要裝有溫度傳感器并與盤(pán)面控制器聯(lián)動(dòng)。10) BSGS的必須使用雙調(diào)壓閥（兩級(jí)調(diào)壓）的方式對(duì)氣體進(jìn)行降壓，閥門(mén)的CV值由廠(chǎng)商按照實(shí)際情況選定。2.26 BSGS功能要求：（包含氣瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求） 系統(tǒng)報(bào)警1) 排風(fēng)風(fēng)壓負(fù)壓報(bào)警功能。2)

15、 Z-purge 報(bào)警功能。3) 過(guò)流量報(bào)警聯(lián)動(dòng)功能。4) 氣柜各種壓力報(bào)警聯(lián)動(dòng)閥門(mén)自動(dòng)開(kāi)關(guān)、供氣路線(xiàn)自動(dòng)切換。5) BSGS要裝有氣體、溫度及煙霧偵測(cè)器報(bào)警功能。6) 所有安全裝置及與控制器的觸摸屏必須有失效互鎖保護(hù)型。7) 信號(hào)燈的警報(bào)信號(hào)根據(jù)不同的顏色分為三種：紅色是警報(bào)，黃色是故障，綠色是正常運(yùn)行。亮度要求為在5米距離范圍內(nèi)能夠看清楚信號(hào)燈光。系統(tǒng)控制器8) 控制屏幕，必須是鑲嵌在現(xiàn)有的面板上的、有顯示特氣系統(tǒng)的吹掃狀態(tài)及 P&ID、彩色的觸摸屏。9) 系統(tǒng)可以設(shè)定自動(dòng)或手動(dòng)操作模式。10) 所有的報(bào)警裝置應(yīng)該安裝在顯而易見(jiàn)的地方并伴有警報(bào)聲，報(bào)警聲經(jīng)確認(rèn)后靜音，屏幕的報(bào)警信息

16、要求報(bào)警完全消除后才能消除，所有的操作記錄必須要保存半年以上。11) 控制器要裝有一個(gè)EMO按鈕用來(lái)關(guān)閉供氣氣動(dòng)閥使系統(tǒng)完全停止供氣。12) 控制器有密碼保護(hù)并且可以在安全連鎖條件下自動(dòng)控制氣動(dòng)。13) 控制器PLC應(yīng)該與GMS系統(tǒng)PLC直接通訊，不可以通過(guò)觸摸屏的CPU和外界通訊。14) 控制器可以與GMS通訊，并且可以遠(yuǎn)程關(guān)閉。15) 設(shè)備廠(chǎng)商要就設(shè)備的自動(dòng)操作及手動(dòng)操作提供詳細(xì)說(shuō)明，共同討論通過(guò)，當(dāng)有不合理的操作的時(shí)候，軟件能夠自鎖并等待確認(rèn)。16) 控制器必須能夠檢測(cè)到組件故障，并時(shí)常完成自動(dòng)檢查和校正。17) 控制器必須能夠設(shè)定和監(jiān)控選定的警報(bào)項(xiàng)目。18) 控制器必須有旁路或自動(dòng)的互

17、鎖程序。19) 控制器必須有自動(dòng)及手動(dòng)操作功能。20) 控制器必須能夠接受外部互鎖信號(hào)?；ユi類(lèi)型必須要通過(guò)和甲方業(yè)主協(xié)商而且控制器必須有4個(gè)干接點(diǎn)供外部操作使用。21) 控制器程序控制器必須具有上傳和下載的功能，以便對(duì)程序作故障分析和更新的動(dòng)作。22) 至少要有兩級(jí)密碼設(shè)置，如操作界面密碼和參數(shù)修改密碼。注： 設(shè)備的供氣盤(pán)面，和控制系統(tǒng)必須提交甲方業(yè)主審核通過(guò)。上述的功能必須全部滿(mǎn)足，甲方保留增加部分功能的權(quán)利。2.3 氮?dú)饧埽ǜ邏罕?、吹掃N2）1) 盤(pán)面的排氣管必須裝有單向閥。2) 盤(pán)面所用的部件必須與所供氣體相適應(yīng)，所有的閥件必須可以開(kāi)關(guān)100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關(guān)證明）

18、3) 管路設(shè)計(jì)的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250。4) 管路構(gòu)造要符合ASTM 標(biāo)準(zhǔn)。5) 調(diào)壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護(hù)的位置。方便讀數(shù)和抄表。6) 必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。且所有的彎頭、接頭都必須使用標(biāo)準(zhǔn)配件。材料全部選用SUS316LEP材質(zhì)。2.4 氣體儲(chǔ)藏柜 2.41儲(chǔ)藏柜構(gòu)造1) 氣瓶柜面板厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）2) 氣瓶柜全表面不可有鋒利的邊緣。3) 氣瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。4) 氣瓶柜要容納兩個(gè)或者四個(gè)鋼瓶。5

19、) 氣瓶柜進(jìn)氣口要安裝灰塵過(guò)濾器。6) 所有氣瓶柜標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類(lèi)及其濃度。2.42儲(chǔ)藏柜門(mén)構(gòu)造：1) 氣柜門(mén)能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 氣柜門(mén)能打開(kāi)90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的氣柜門(mén)及窗子使用同樣的鑰匙。4) 氣柜門(mén)能平穩(wěn)地打開(kāi)及關(guān)閉，并具有防關(guān)閉功能，閉門(mén)器的聯(lián)接桿方便拆卸。2.43操作窗口：1) 操作窗口能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 2.44儲(chǔ)藏柜的排氣裝置：1) 氣瓶柜排氣管的直徑必須大于等于6” SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料

20、2) 排氣管上加裝氣體偵測(cè)器。2.5 分閥箱（VMB）2.51VMB構(gòu)造1) VMB面板應(yīng)該是厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）2) VMB全表面都不能有震動(dòng)，不可有鋒利的邊緣。3) VMB設(shè)置一個(gè)進(jìn)口（備用一個(gè)）和四個(gè)出口。4) VMB的門(mén)，管路線(xiàn)路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈以防止泄漏。5) VMB進(jìn)氣口要安裝灰塵過(guò)濾器。6) 所有VMB應(yīng)該標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類(lèi)及其濃度，氣瓶柜內(nèi)部所有的管路及閥件應(yīng)該標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。2.52VMB門(mén)構(gòu)造：1) VMB能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) VMB能打開(kāi)90度角

21、以上，以方便正常操作。3) 所有的VMB門(mén)及窗子使用同樣的鑰匙。4) VMB能平穩(wěn)地打開(kāi)及關(guān)閉，閉門(mén)器的聯(lián)接桿方便拆卸。5) VMB的EMO 和所有的閥門(mén)鍵上應(yīng)該安裝保護(hù)蓋2.53操作窗口：1) 操作窗口能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2) 操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 2.54 VMB的排氣裝置：1) VMB排氣管的直徑必須大于等于4英寸且材質(zhì)防腐蝕涂層的不銹鋼風(fēng)管。2) 排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號(hào)要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動(dòng)，以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或報(bào)警選項(xiàng)。3) 排氣管上加裝氣體偵測(cè)器。2.55 VMB系統(tǒng)設(shè)計(jì)

22、1) 盤(pán)面的排氣管必須保持微量N2微漏通過(guò)，監(jiān)控其背壓來(lái)偵測(cè)排氣管是否堵塞。2) 盤(pán)面所用的部件必須與所供氣體相適應(yīng)，所有的閥件必須可以開(kāi)關(guān)100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關(guān)證明）3) 管路設(shè)計(jì)的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250。4) 管路構(gòu)造要符合ASTM 標(biāo)準(zhǔn)。5) 調(diào)壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護(hù)的位置。且各種電子傳感器禁止安裝在調(diào)壓閥下端。6) 必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。且所有的彎頭、接頭都必須使用標(biāo)準(zhǔn)配件。材料全部選用SUS316LEP材質(zhì)。7) VMB的氣動(dòng)閥采用半自動(dòng)，VMB氣體主管采用電子壓力表顯示氣體壓力，并將數(shù)據(jù)傳回中控室，調(diào)壓閥上加裝壓力表。

23、2.56 VMB功能要求： 系統(tǒng)報(bào)警1) 排風(fēng)風(fēng)壓負(fù)壓報(bào)警功能。2) 信號(hào)燈的警報(bào)信號(hào)根據(jù)不同的顏色分為三種：紅色是警報(bào)，黃色是故障，綠色是正常運(yùn)行。亮度要求為在5米距離范圍內(nèi)能夠看清楚信號(hào)燈光。系統(tǒng)控制器3) 系統(tǒng)為半自動(dòng)操作模式。4) 所有的報(bào)警裝置應(yīng)該安裝在顯而易見(jiàn)的地方并伴有警報(bào)聲，報(bào)警聲經(jīng)確認(rèn)后靜音，控制器要裝有一個(gè)EMO按鈕用來(lái)關(guān)閉供氣氣動(dòng)閥使系統(tǒng)完全停止供氣。5) 控制器PLC應(yīng)該與GMS系統(tǒng)PLC直接通訊，不可以通過(guò)觸摸屏的CPU和外界通訊。6) 控制器可以與GMS通訊，并且可以遠(yuǎn)程關(guān)閉。7) 控制器必須有4個(gè)干接點(diǎn)供外部操作使用。注： 設(shè)備的供氣盤(pán)面，和控制系統(tǒng)必須提交甲方業(yè)

24、主審核通過(guò)。上述的功能必須全部滿(mǎn)足，甲方保留增加部分功能的權(quán)利。 設(shè)備品牌表設(shè)備名稱(chēng)品牌氣柜、BSGS、VMBATTO（韓國(guó)原裝） 注：如有能滿(mǎn)足以上所有功能和售后保障的品牌設(shè)備，并且通過(guò)旭雙技術(shù)人員認(rèn)證通過(guò)方能參與。氣瓶?jī)?chǔ)藏柜和氮?dú)饧芫褂脟?guó)內(nèi)品牌。2.6 廢氣處理設(shè)備1) 廢氣設(shè)備出口氣體必須但到國(guó)家環(huán)境排放標(biāo)準(zhǔn)。2) 廢氣設(shè)備處理GC、BSGS ，VMBP排放的廢氣 。3) 廢氣處理設(shè)備保證不間斷運(yùn)行，干式廢氣處理設(shè)備必須要做到吸附桶一用一備。4) 具有緊急切斷功能（EMO）和三色燈蜂鳴報(bào)警功能。5) 彩色觸摸屏控制。 6) 廢氣柜的控制系統(tǒng)都采用西門(mén)子或者歐姆龍控制系統(tǒng)，且具有以下擴(kuò)展

25、功能a) 具有以太網(wǎng)接口用于上位機(jī)通訊以便于實(shí)時(shí)監(jiān)控廢氣柜工作狀態(tài)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。（如：壓力、開(kāi)斷狀態(tài)，各自控閥的狀態(tài)，和上位機(jī)的通信狀態(tài)，報(bào)警、運(yùn)行、故障等）。b) 緊急情況的排放裝置。c) 詳細(xì)具體功能必須經(jīng)過(guò)甲方業(yè)主同意認(rèn)可。 設(shè)備品牌表設(shè)備名稱(chēng)品牌廢氣處理柜（干式）NBPT(兆盈)廢氣處理柜（燃燒水洗）NBPT(兆盈) 注：如有能滿(mǎn)足以上所有功能和售后保障的品牌設(shè)備，并且通過(guò)旭雙技術(shù)人員認(rèn)證通過(guò)方能參與。氣瓶?jī)?chǔ)藏柜和氮?dú)饧芫褂脟?guó)內(nèi)品牌。第三章 系統(tǒng)附屬設(shè)施、材料要求3.1. 附屬設(shè)施要求1) 所有特氣供應(yīng)的動(dòng)力應(yīng)符合以下要求：電源采用不間斷電源，重要?jiǎng)恿怏w閥門(mén)處做維護(hù)管路。2) 電源連

26、接終端控制器，電纜連接器上安裝密封管/密封圈。3) GN2用于真空發(fā)生器及氣動(dòng)閥的氣源，在GN2的供氣管路安裝調(diào)壓閥，調(diào)節(jié)到下游閥件正常工作的壓力。 4) GN2 Z-purge必須持續(xù)用于控制器的吹掃，并且要在設(shè)備上設(shè)置報(bào)警節(jié)點(diǎn)。5) SIH4的排放管處必須加裝氣體流量計(jì)。6) 大宗氣體 氮?dú)?、氬氣的閥門(mén)必須有測(cè)試口。7) 氣體房和氣體室設(shè)置氣柜排風(fēng)和事故排風(fēng)，并且氣柜排風(fēng)確保不間斷運(yùn)行。*;本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供開(kāi)元設(shè)備新項(xiàng)目使用，未經(jīng)開(kāi)元設(shè)備科技有限公司書(shū)面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 特氣監(jiān)控系統(tǒng)技術(shù)要求1.1系統(tǒng)功能要求系統(tǒng)要具有查看特氣系統(tǒng)運(yùn)行的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，

27、能夠根據(jù)各種報(bào)警自行判斷并遠(yuǎn)程控制各種設(shè)備，如 門(mén)禁，排風(fēng)，廣播，氣柜，VMB 和各種聲光報(bào)警設(shè)施。設(shè)置手動(dòng)緊急切斷裝置。1.2 氣體偵測(cè)器系統(tǒng)2.1氣體偵測(cè)器 1) 采樣方式：泵吸式（檢測(cè)器的內(nèi)置泵會(huì)抽取氣體進(jìn)行氣體測(cè)量），為了防止內(nèi)部管道老化造成檢測(cè)器工作不穩(wěn)定，檢測(cè)器內(nèi)部氣體管路需為無(wú)管道方式；并且采用每臺(tái)偵測(cè)器為單獨(dú)的泵。2) 信號(hào)輸出：4-20mA模擬信號(hào)；3) 工作溫濕度：040，3070%RH；4) 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置：根據(jù)氣體的TLV值來(lái)進(jìn)行設(shè)定，1級(jí)報(bào)警點(diǎn)為T(mén)LV值，2級(jí)報(bào)警點(diǎn)為2倍TLV值，量程一般在TLV值的3-4倍；5) 報(bào)警顯示：被測(cè)氣體的濃度顯示在數(shù)字LCD上（顯示內(nèi)容有氣

28、體濃度，流量，通訊狀態(tài)，故障代碼，熱分解器狀態(tài)等），儀器本體上具有1，2段報(bào)警及故障報(bào)警顯示，檢測(cè)器有氣體警報(bào)接點(diǎn)和故障警報(bào)接點(diǎn)；6) 自檢功能：儀器可以自行判斷系統(tǒng)錯(cuò)誤，傳感器故障，流量故障，通訊故障等并顯示故障代碼；7) 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：儀器本身可以存儲(chǔ)相關(guān)的歷史記錄，如事件，報(bào)警記錄，校正記錄，報(bào)警趨勢(shì)（報(bào)警前后3分鐘內(nèi)的濃度趨勢(shì)）：8) 產(chǎn)品規(guī)范：產(chǎn)品符合CE和RoHS規(guī)范；9) 傳感器壽命：電化學(xué)傳感器的使用壽命可以達(dá)到3年；10) 標(biāo)定測(cè)試：儀器運(yùn)行后每年都采用實(shí)際氣體進(jìn)行標(biāo)定測(cè)試，以保證儀器正常工作。11) 要求首次上線(xiàn)必須使用標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)試后才能進(jìn)行工作。在設(shè)備的質(zhì)保期內(nèi)定期免費(fèi)用標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行傳感器標(biāo)定。12) 氣體泄露探測(cè)設(shè)備，必須包括以下功能：13) 氣體偵測(cè)器的原理采用電化學(xué)式、采用Riken氣體偵測(cè)器。14) 氣體偵測(cè)器的讀值能在現(xiàn)場(chǎng)可以顯示。15) 氣體偵測(cè)器的讀值能轉(zhuǎn)化為4-20mA電流類(lèi)比信號(hào)輸出。16) 氣體偵測(cè)器有Fault信號(hào)以干接點(diǎn)的數(shù)字方式輸出，包括斷電、流量低、設(shè)備故障等。 17) 氣體偵測(cè)器的取樣方式為泵吸式。18) 氣體偵測(cè)器必須具有防電磁干擾的功能。 偵測(cè)器故障必須兩小時(shí)以?xún)?nèi)有專(zhuān)業(yè)人員趕到現(xiàn)場(chǎng)，并在質(zhì)保期內(nèi)按照甲方要求免費(fèi)進(jìn)行偵測(cè)器標(biāo)定。 設(shè)備品牌表設(shè)備名稱(chēng)品牌氣體偵測(cè)器Riken（ 理研） 注：如有能滿(mǎn)足以上所有功能