利用晶體生長計算軟件FEMAG進行晶體生長計算仿真的結果圖

1、2021/8/141晶體生長計算軟件FEMAG之仿真結果圖一覽2021/8/142FEMAGFEMAG軟件概況軟件概況 FEMAG軟件是世界上第一款商業(yè)的材料晶體生長數值模擬軟件，由比利時新魯汶大學教授Dr.FranoisDupret于20世紀80年代中期領導開發(fā)。 Dr.FranoisDupret是第二屆晶體生長模型國際研討會主席、EUROTHERM相變熱力學研討會聯合主席、機械工程學位委員會主席，曾擔任國際晶體生長（JournalofCrystalGrowth）期刊主編。 FEMAG軟件擁有國際上最先進、最高效、最全面的晶體生長工藝模擬技術和多物理場耦合仿真功能，可模擬的晶體生長工藝包括提

2、拉法（柴氏法，Cz法）、泡生法（Ky法）、區(qū)熔法（FZ法）、坩堝下降法（垂直布里茲曼法，VB法）、物理氣相傳輸法（PVT法）等，廣泛應用于集成電路、太陽能光伏、半導體、藍寶石等領域。ONSemiconductor（安森美半導體）、美國Kayex、Siltronic（世創(chuàng)電子材料）、AXT（美國晶體技術集團）、韓國Nexolon、LG、韓國漢陽大學、Norut（挪威北方研究所）、日本SUMCO集團、Gritek（有研新材料）、天津環(huán)歐半導體材料、中環(huán)股份、北京有色金屬研究總院、清華大學等企業(yè)和科研機構，均是FEMAG軟件的用戶。2021/8/143FEMAGFEMAG軟件產品軟件產品目前，FEM

3、AG軟件包括以下六款產品：FEMAG/CZFEMAG提拉法晶體生長模擬軟件FEMAGCZ/OXFEMAG提拉/泡生法晶體生長模擬軟件FEMAG/FZFEMAG區(qū)熔法晶體生長模擬軟件FEMAG/DSFEMAG三維定向凝固模擬軟件FEMAG/VBFEMAGVB/VGF法晶體生長模擬軟件FEMAG/PVTFEMAG物理氣相傳輸法晶體生長模擬軟件2021/8/144應用領域應用領域FEMAG軟件已在以下行業(yè)中得到了廣泛的應用：半導體用單晶硅生產與研發(fā)太陽能光伏用單晶硅、多晶硅錠生產與研發(fā)集成電路級單晶硅生產與研發(fā)航空發(fā)動機渦輪葉片單晶高溫合金生產與研發(fā)LED光電技術用氧化物晶體和藍寶石晶體生產與研發(fā)晶

4、體生長熔爐設計與生產2021/8/145FEMAG-CZFEMAG-CZ軟件軟件FEMAG直拉法模擬軟件（FEMAG-CZ）用于模擬直拉法工藝（包括Cz,MCz,VCz,泡生法）。FEMAG-CZ直拉法模擬軟件用于新的熱場設計，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點，比如：大直徑晶錠生長無缺陷硅晶錠生長提高成品率氧含量控制降低碳含量晶錠半徑和沿軸向的電阻率差異減小CCZ工藝仿真磁場設計藍寶石生長工藝設計2021/8/146FEMAG-CZFEMAG-CZ直拉法模擬軟件直拉法模擬軟件2021/8/147FEMAG 3D FEMAG 3D 熔體流動模擬結果熔體流動模擬結果2021/8/148FEMAG

5、FEMAG動態(tài)模擬動態(tài)模擬2021/8/149直拉法晶體生長中的填隙原子和空直拉法晶體生長中的填隙原子和空位的動態(tài)預測位的動態(tài)預測2021/8/1410直拉法晶體硅生長中的直拉法晶體硅生長中的OSFOSF（氧化誘生層錯）預測（氧化誘生層錯）預測2021/8/1411直拉法晶體生長的三維應力分布直拉法晶體生長的三維應力分布2021/8/1412硅晶體直拉法生長氧含量預測硅晶體直拉法生長氧含量預測2021/8/1413直拉法硅晶體生長硼濃度直拉法硅晶體生長硼濃度分布預測分布預測2021/8/1414連續(xù)提拉法（連續(xù)提拉法（CCZCCZ）溫度預測）溫度預測2021/8/1415連續(xù)提拉法（連續(xù)提拉法

6、（CCZCCZ）熔體自由表面上部）熔體自由表面上部的氬氣流場分布的氬氣流場分布2021/8/1416在橫向磁場作用下的三維熔體流動在橫向磁場作用下的三維熔體流動2021/8/1417在橫向磁場作用下的三維等溫線分布在橫向磁場作用下的三維等溫線分布2021/8/1418FEMAG-FZFEMAG-FZ軟件軟件FEMAG區(qū)熔法軟件（區(qū)熔法軟件（FEMAG-FZ）用于模擬區(qū)熔法）用于模擬區(qū)熔法生長工藝生長工藝 （FZ, PFZ）FEMAG區(qū)熔法軟件專注于設計新的熱場，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點，比如：無缺陷晶錠生長提高成品率節(jié)省R&D成本2021/8/1419FEMAG-FZFEMA

7、G-FZ區(qū)熔法模擬軟件區(qū)熔法模擬軟件區(qū)熔法工藝的等溫線預測區(qū)熔法工藝的等溫線預測2021/8/1420FEMAGFEMAG預測區(qū)熔法生長晶體缺陷預測區(qū)熔法生長晶體缺陷2021/8/1421模擬晶體轉速對熔體流動的影響模擬晶體轉速對熔體流動的影響2021/8/1422FEMAG-DSFEMAG-DS軟件軟件FEMAG定向凝固模擬軟件（FEMAG-DS）適用于鑄錠定向凝固過程工藝（DS,HEM,VB,VGF）FEMAG定向凝固模擬軟件用于設計新的熱場，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點，比如：晶體微結構優(yōu)化擴大生產規(guī)模2021/8/1423定向凝固工藝中的三維熔體流動，速定向凝固工藝中的三維熔體流動，速度剖面和界面預測度剖面和界面預測2021/8/1424定向凝固鑄錠爐定向凝固鑄錠爐2021/8/1425定向凝固工藝等溫線和界面形狀的二定向凝固工藝等溫線和界面形狀的二維仿真圖維仿真圖2021/8/1426為晶粒生長研究所進行的定向凝固速為晶粒生長研究所進行的