第1章 傳感器概述

1、 “ “沒有傳感器就沒有現(xiàn)代科學技術(shù)沒有傳感器就沒有現(xiàn)代科學技術(shù)”的觀點已為全的觀點已為全世界所公認。以傳感器為核心的檢測系統(tǒng)就像神經(jīng)和感官世界所公認。以傳感器為核心的檢測系統(tǒng)就像神經(jīng)和感官一樣，源源不斷地向人類提供宏觀與微觀世界的種種信息，一樣，源源不斷地向人類提供宏觀與微觀世界的種種信息，成為人們認識自然、改造自然的有力工具。成為人們認識自然、改造自然的有力工具。 傳感器技術(shù)作為信息科學的一個重要分支，與計算機傳感器技術(shù)作為信息科學的一個重要分支，與計算機技術(shù)、自動控制技術(shù)和通信技術(shù)等一起構(gòu)成了信息技術(shù)的技術(shù)、自動控制技術(shù)和通信技術(shù)等一起構(gòu)成了信息技術(shù)的完整學科。完整學科。 在人類進入信息

2、時代的今天，人們的一切社會活動都在人類進入信息時代的今天，人們的一切社會活動都是以信息獲取與信息轉(zhuǎn)換為中心，傳感器作為信息獲取與是以信息獲取與信息轉(zhuǎn)換為中心，傳感器作為信息獲取與信息轉(zhuǎn)換的重要手段，是信息科學最前端的一個陣地，是信息轉(zhuǎn)換的重要手段，是信息科學最前端的一個陣地，是實現(xiàn)信息化的基礎(chǔ)技術(shù)之一。實現(xiàn)信息化的基礎(chǔ)技術(shù)之一。一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述 傳感器傳感器 感覺，感知；傳感覺，感知；傳送送 （Sensor、Transducer）人體系統(tǒng)：人體系統(tǒng)： 人類有五大感覺器官，即眼、人類有五大感覺器官，即眼、耳、鼻、舌、皮膚。通過這些感耳、鼻、

3、舌、皮膚。通過這些感覺器官感知外界信息。覺器官感知外界信息。機器系統(tǒng)：機器系統(tǒng)： 機器系統(tǒng)中，傳感器是各種機器系統(tǒng)中，傳感器是各種機械和電子設備的感覺器官。感機械和電子設備的感覺器官。感知光、色、溫度、壓力、聲音、知光、色、溫度、壓力、聲音、濕度、氣味及輻射等。濕度、氣味及輻射等。一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述一、傳感器技術(shù)概述 傳感器是信息采集系統(tǒng)的首要部件，計算機的傳感器是信息采集系統(tǒng)的首要部件，計算機的“五官五官”。 沒有傳感器對原始信息進行精確、可靠的捕獲沒有傳感器對原始信息進行精確、可靠的捕獲和轉(zhuǎn)換，一切測量和控制都是不可能

4、實現(xiàn)的。和轉(zhuǎn)換，一切測量和控制都是不可能實現(xiàn)的。二、傳感器技術(shù)的作用和地位二、傳感器技術(shù)的作用和地位 傳感器與傳感器技術(shù)的發(fā)展水平是衡量一個國家傳感器與傳感器技術(shù)的發(fā)展水平是衡量一個國家綜合實力的重要標志，也是判斷一個國家科學技術(shù)現(xiàn)綜合實力的重要標志，也是判斷一個國家科學技術(shù)現(xiàn)代化程度與生產(chǎn)水平高低的重要依據(jù)。代化程度與生產(chǎn)水平高低的重要依據(jù)。 日本：日本：傳感器技術(shù)列為傳感器技術(shù)列為計算機、通訊、激光、半導體、計算機、通訊、激光、半導體、超導和傳感器超導和傳感器等六大核心技術(shù)之一。在等六大核心技術(shù)之一。在21世紀技術(shù)預測中世紀技術(shù)預測中將傳感器列為首位。將傳感器列為首位。 美國：美國：傳感器

5、及信號處理列為對國家安全和經(jīng)濟發(fā)展傳感器及信號處理列為對國家安全和經(jīng)濟發(fā)展有重要影響的關(guān)鍵技術(shù)之一。有重要影響的關(guān)鍵技術(shù)之一。 歐洲：歐洲：傳感器技術(shù)作為優(yōu)先發(fā)展的重點技術(shù)。傳感器技術(shù)作為優(yōu)先發(fā)展的重點技術(shù)。 中國：中國：國家重點科技項目中，傳感器列在重要位置。國家重點科技項目中，傳感器列在重要位置。二、傳感器技術(shù)的作用和地位二、傳感器技術(shù)的作用和地位二、傳感器技術(shù)的作用和地位二、傳感器技術(shù)的作用和地位4D彩超捕捉到難得一見的胎兒出生前微笑（美聯(lián)社圖片）彩超捕捉到難得一見的胎兒出生前微笑（美聯(lián)社圖片）二、傳感器技術(shù)的作用和地位二、傳感器技術(shù)的作用和地位三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用造

6、紙造紙木材烘干木材烘干煙草加工煙草加工芯片生產(chǎn)芯片生產(chǎn)化工化工紡織紡織三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用判斷能力。視覺傳感器、觸覺判斷能力。視覺傳感器、觸覺傳感器。傳感器。三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用埃及金字塔埃及金字塔世界最古老石棺的考古挖掘。世界最古老石棺的考古挖掘?！敖鹱炙握呓鹱炙握摺睓C器人機器人 5 51 11 1，地面探測雷達、超聲波，地面探測雷達、超聲波傳感器（測石頭厚度）。傳感器（測石頭厚度）。三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三

7、、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用三、傳感器技術(shù)的應用1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類11.2 傳感器的一般特性傳感器的一般特性1.3 傳感器的標定傳感器的標定31.4 傳感器的發(fā)展方向傳感器的發(fā)展方向421.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類1.1.1 傳感器的定義傳感器的定義能量轉(zhuǎn)換能量轉(zhuǎn)換輸入量輸入量輸出量輸出量電量（便于傳輸、轉(zhuǎn)換、電量（便于傳輸、轉(zhuǎn)換、處理、顯示）處理、顯示）物理量、化學量、生物量等物理量、化學量、生物量等附附: 傳感器的定義傳感器的定義示意圖示意

8、圖傳感器的定義傳感器的定義示意圖示意圖1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類1.1.2 傳感器的組成傳感器的組成1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類輔助電源輔助電源敏感元件敏感元件轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件基本轉(zhuǎn)換電路基本轉(zhuǎn)換電路被測量被測量電量電量敏感元件敏感元件：直接感受被測量，并輸出與被測量成確定直接感受被測量，并輸出與被測量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。關(guān)系的某一物理量的元件。轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件：敏感元件的輸出就是它的輸入，把輸入轉(zhuǎn)：敏感元件的輸出就是它的輸入，把輸入轉(zhuǎn)換成電路參量。換成電路參量?；巨D(zhuǎn)換電路基本轉(zhuǎn)換電路：上述電路參數(shù)接入基本轉(zhuǎn)換電路（簡：上述電路參數(shù)接入基本轉(zhuǎn)換電路

9、（簡稱轉(zhuǎn)換電路），便可轉(zhuǎn)換成電量輸出。稱轉(zhuǎn)換電路），便可轉(zhuǎn)換成電量輸出。被測量電量敏感元件轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換電路直接感受被測量直接感受被測量轉(zhuǎn)化為電量參數(shù)轉(zhuǎn)化為電量參數(shù)敏感元件的輸出作敏感元件的輸出作為轉(zhuǎn)換元件的輸入為轉(zhuǎn)換元件的輸入附：附：傳感器傳感器組成示意圖組成示意圖傳感器傳感器組成示意圖組成示意圖1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類(1) 敏感元件敏感元件直接感受被測量，并輸出與被測量直接感受被測量，并輸出與被測量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。成確定關(guān)系的某一物理量的元件。彈性敏感元件彈性敏感元件1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類實際上，有些傳感器很簡單，有些則較復雜，大多實

10、際上，有些傳感器很簡單，有些則較復雜，大多數(shù)是數(shù)是開環(huán)系統(tǒng)開環(huán)系統(tǒng)，也有些是帶反饋的，也有些是帶反饋的閉環(huán)系統(tǒng)閉環(huán)系統(tǒng)。最簡單的傳感器由一個敏感元件最簡單的傳感器由一個敏感元件( (兼轉(zhuǎn)換元件兼轉(zhuǎn)換元件) )組組成，感受被測量時直接輸出電量，如成，感受被測量時直接輸出電量，如熱電偶熱電偶。(2) 轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件熱電偶熱電偶1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類壓電式加速度傳感器壓電式加速度傳感器有些傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成，沒有轉(zhuǎn)有些傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成，沒有轉(zhuǎn)換電路。例如：壓電式加速度傳感器，質(zhì)量塊是敏感換電路。例如：壓電式加速度傳感器，質(zhì)量塊是敏感元件，壓電片（塊）

11、是轉(zhuǎn)換元件。元件，壓電片（塊）是轉(zhuǎn)換元件。有些傳感器，轉(zhuǎn)換有些傳感器，轉(zhuǎn)換元件不只一個，要經(jīng)過若干次轉(zhuǎn)換。元件不只一個，要經(jīng)過若干次轉(zhuǎn)換。1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類(2) 轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件被測非電量：被測非電量：外界壓力外界壓力敏敏 感感 元元 件：件：彈性體彈性體有用非電量：有用非電量：極板間距變化極板間距變化傳傳 感感 元元 件：件：平行板電容器平行板電容器有有 用用 電電 量：量：電容量電容量C1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類(2) 轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件(3) 轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路是傳感器的主要組成環(huán)節(jié)：轉(zhuǎn)換電路是傳感器的主要組成環(huán)節(jié)：因為不少傳感器要在通過

12、轉(zhuǎn)換電路后才能輸出電信因為不少傳感器要在通過轉(zhuǎn)換電路后才能輸出電信號，從而決定了號，從而決定了轉(zhuǎn)換電路是傳感器的組成環(huán)節(jié)之一轉(zhuǎn)換電路是傳感器的組成環(huán)節(jié)之一。 1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類1.1.3 傳感器的分類傳感器的分類1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類結(jié)構(gòu)型傳感器結(jié)構(gòu)型傳感器利用物理學中利用物理學中場的定律場的定律構(gòu)構(gòu)成的，包括動力場的運動定律，成的，包括動力場的運動定律，電磁場的電磁定律等。物理學電磁場的電磁定律等。物理學中的定律一般是以方程式給出中的定律一般是以方程式給出的。對于傳感器，這些方程式的。對于傳感器，這些方程式就是許多傳感器在工作時的數(shù)就是許多傳感

13、器在工作時的數(shù)學模型。學模型。這類傳感器的特點：這類傳感器的特點：傳感器的工作原理是以傳傳感器的工作原理是以傳感器中元件相對位置變化引起感器中元件相對位置變化引起場的變化為基礎(chǔ)，而不是以材場的變化為基礎(chǔ)，而不是以材料特性變化為基礎(chǔ)料特性變化為基礎(chǔ)。 各種彈性敏感元件傳感器各種彈性敏感元件傳感器1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類物性型傳感器物性型傳感器利用利用物質(zhì)定律物質(zhì)定律構(gòu)成的，如虎克定律、構(gòu)成的，如虎克定律、歐姆定律等。物質(zhì)定律是表示物質(zhì)某歐姆定律等。物質(zhì)定律是表示物質(zhì)某種客觀性質(zhì)的法則。這種法則，大多種客觀性質(zhì)的法則。這種法則，大多數(shù)是以物質(zhì)本身的常數(shù)形式給出。這數(shù)是以物質(zhì)本身

14、的常數(shù)形式給出。這些常數(shù)的大小，決定了傳感器的主要些常數(shù)的大小，決定了傳感器的主要性能。性能。物性型傳感器的性能隨材料的不同物性型傳感器的性能隨材料的不同而異而異。如光電管，利用了物質(zhì)法則中。如光電管，利用了物質(zhì)法則中的外光電效應，特性與涂覆在電極上的外光電效應，特性與涂覆在電極上的材料有著密切的關(guān)系。又如所有半的材料有著密切的關(guān)系。又如所有半導體傳感器、所有利用各種環(huán)境變化導體傳感器、所有利用各種環(huán)境變化而引起的金屬、半導體、陶瓷、合金而引起的金屬、半導體、陶瓷、合金等性能變化的傳感器，都屬于物性型等性能變化的傳感器，都屬于物性型傳感器。傳感器。 半導體氣體傳感器半導體氣體傳感器1.1 傳感

15、器的組成與分類傳感器的組成與分類能量控制型傳感器能量控制型傳感器在信息變化過程中，傳感器將從在信息變化過程中，傳感器將從被測對象獲取的信息能量用于調(diào)制或被測對象獲取的信息能量用于調(diào)制或控制外部激勵源，使外部激勵源的部控制外部激勵源，使外部激勵源的部分能量載運信息而形成輸出信號。分能量載運信息而形成輸出信號。這類傳感器必須由外部提供激勵這類傳感器必須由外部提供激勵源，如電阻、電感、電容等電路參量源，如電阻、電感、電容等電路參量傳感器都屬于這一類傳感器。傳感器都屬于這一類傳感器?；趹冸娮栊?、磁阻效應、基于應變電阻效應、磁阻效應、熱阻效應、外光電效應、霍爾效應等熱阻效應、外光電效應、霍爾效應等

16、的傳感器也屬于此類傳感器。的傳感器也屬于此類傳感器。 霍爾傳感器霍爾傳感器1.1 傳感器的組成與分類傳感器的組成與分類能量轉(zhuǎn)換型傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器，能量轉(zhuǎn)換型傳感器，又稱又稱有源型或發(fā)生器型有源型或發(fā)生器型傳傳感器。傳感器將從被測對感器。傳感器將從被測對象獲取的信息能量直接轉(zhuǎn)象獲取的信息能量直接轉(zhuǎn)換成輸出信號能量，主要換成輸出信號能量，主要由能量變換元件構(gòu)成，不由能量變換元件構(gòu)成，不需要外電源。如基于需要外電源。如基于壓電壓電效應、熱電效應、內(nèi)光電效應、熱電效應、內(nèi)光電效應效應等的傳感器都屬于此等的傳感器都屬于此類傳感器。類傳感器。 光電傳感器光電傳感器1.1 傳感器的組成

17、與分類傳感器的組成與分類傳感器輸出與輸入關(guān)系可用微分方程來描述。傳感器輸出與輸入關(guān)系可用微分方程來描述。理論上，將微分方程中的一階及以上的微分項取為零時，理論上，將微分方程中的一階及以上的微分項取為零時，即得到靜態(tài)特性。即得到靜態(tài)特性。因此，傳感器的靜態(tài)特性只是動態(tài)特性的一個特例。因此，傳感器的靜態(tài)特性只是動態(tài)特性的一個特例。動態(tài)特性：動態(tài)特性：當輸入量隨時間較快地變化時，輸當輸入量隨時間較快地變化時，輸出與輸入之間關(guān)系稱為動態(tài)特性。出與輸入之間關(guān)系稱為動態(tài)特性。靜態(tài)特性：靜態(tài)特性：當輸入量為常量，或變化極慢時，當輸入量為常量，或變化極慢時，輸出與輸入之間關(guān)系稱為靜態(tài)特性。輸出與輸入之間關(guān)系稱

18、為靜態(tài)特性。1.2 傳感器的一般特性傳感器的一般特性1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性傳感器的輸出輸入關(guān)系或多或少地存在非線性。傳感器的輸出輸入關(guān)系或多或少地存在非線性。在不考慮遲滯、蠕變、不穩(wěn)定性等因素的情況下，在不考慮遲滯、蠕變、不穩(wěn)定性等因素的情況下，靜態(tài)特性數(shù)學模型可用下列多項式代數(shù)方程表示靜態(tài)特性數(shù)學模型可用下列多項式代數(shù)方程表示：式中式中 y輸出量；輸出量； x輸入量；輸入量； a0零點輸出；零點輸出； a1理論靈敏度；理論靈敏度； a2、a3、 、 an非線性項系數(shù)。非線性項系數(shù)。各項系數(shù)不同，決定了特性曲線的具體形式。各項系數(shù)不同，決定了特性曲線的具體形式。y=a0+

19、a1x+a2x2+a3x3+anxn1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性在非線性誤差不太大的情況下，總是在非線性誤差不太大的情況下，總是采采用直線擬合的辦法用直線擬合的辦法來線性化。采用直線擬合來線性化。采用直線擬合線性化時，輸出輸入的校正曲線與其擬合曲線性化時，輸出輸入的校正曲線與其擬合曲線之間的最大偏差，就稱為線之間的最大偏差，就稱為非線性誤差或線非線性誤差或線性度性度。通常用相對誤差表示：。通常用相對誤差表示：100%maxLFSLrY maxLFSYLrFull Scale1.2 傳感器的一般特性傳感器的一般特性 非線性偏差的大小是以

20、一定的擬合直線為基準非線性偏差的大小是以一定的擬合直線為基準直線而得出來的。擬合直線不同，非線性誤差也不直線而得出來的。擬合直線不同，非線性誤差也不同。所以，選擇擬合直線的主要出發(fā)點，應是獲得同。所以，選擇擬合直線的主要出發(fā)點，應是獲得最小的非線性誤差。另外，還應考慮使用是否方便，最小的非線性誤差。另外，還應考慮使用是否方便，計算是否簡便。計算是否簡便。理論擬合；理論擬合；端點連線平移擬合；端點連線平移擬合；端點連端點連線擬合；線擬合； 過零旋轉(zhuǎn)擬合；過零旋轉(zhuǎn)擬合；最小二乘擬合；最小二乘擬合； 最小包容擬合最小包容擬合1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性幾幾種種直直線線擬擬合合方方法法

21、1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性0yyixy=kx+bxI最小二乘擬合法最小二乘擬合法最小二乘法擬合最小二乘法擬合y=kx+b若實際校準測試點有若實際校準測試點有n個，則第個，則第i個校準個校準數(shù)據(jù)與擬合直線上響應值之間的殘差為數(shù)據(jù)與擬合直線上響應值之間的殘差為i=yi-(kxi+b)min2112niiiniibkxy最小二乘法擬合直線的原理就是使最小二乘法擬合直線的原理就是使 為最小值，即為最小值，即 對對k k和和b b一階偏導數(shù)等于零，求出一階偏導數(shù)等于零，求出a a和和k k的表達式。的表達式。2i2i設擬合直線方程：1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性即得到k和

22、b的表達式為022iiiixbkxyk0122bkxybiii22iiiiiixxnyxyxnk222iiiiiiixxnyxxyxb系數(shù)系數(shù)k和和b代入擬合直線方程，即可得到擬合直線，然后求出殘差的代入擬合直線方程，即可得到擬合直線，然后求出殘差的最大值最大值Lmax即為非線性誤差。即為非線性誤差。最小二乘法擬合最小二乘法擬合1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性因此，傳感器輸出曲線的因此，傳感器輸出曲線的斜率斜率就是靈敏度。線就是靈敏度。線性特性的傳感器，特性曲線的斜率處處相同，靈敏性特性的傳感器，特性曲線的斜率處處相同，靈敏度度k是一常數(shù)

23、，與輸入量大小無關(guān)。是一常數(shù)，與輸入量大小無關(guān)。K=y/x傳感器輸出的變化量傳感器輸出的變化量y與引起該變化量的輸入與引起該變化量的輸入變化量變化量x之比即為靜態(tài)靈敏度，表達式為之比即為靜態(tài)靈敏度，表達式為1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性遲滯特性遲滯特性1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性t%100maxmtymax1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性0yxHmaxyFS遲滯特性遲滯特性%100/2/1maxFSHHy 遲滯誤差的另一名稱叫回程誤差?；爻陶`差常用絕對誤遲滯誤差的另一名稱叫回程誤差?；爻陶`差常用絕對誤差表示。檢測回程誤差時，可選擇幾個測試點。對應于每一

24、差表示。檢測回程誤差時，可選擇幾個測試點。對應于每一輸入信號，傳感器正行程及反行程中輸出信號差值的最大者輸入信號，傳感器正行程及反行程中輸出信號差值的最大者即為回程誤差。即為回程誤差。 傳感器在正傳感器在正( (輸入量增大輸入量增大) )反（輸反（輸入量減?。┬谐讨休敵鲚斎肭€不入量減?。┬谐讨休敵鲚斎肭€不重合稱為遲滯重合稱為遲滯。遲滯特性一般是由。遲滯特性一般是由實驗方法測得。遲滯誤差一般以滿實驗方法測得。遲滯誤差一般以滿量程輸出的百分數(shù)表示，即量程輸出的百分數(shù)表示，即式中式中 Hmax正反行程間輸出的最大差值。正反行程間輸出的最大差值。 1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性重復性

25、重復性1.2 傳感器的一般特性傳感器的一般特性Rmax1正行程的最大重復性偏差正行程的最大重復性偏差 Rmax2反行程的最大重復性偏差反行程的最大重復性偏差yx0Rmax2Rmax1檢測時也可選取幾個測試點，檢測時也可選取幾個測試點，對應每一點多次從同一方向趨近。對應每一點多次從同一方向趨近。%100/maxFSRRy重復性是指傳感器在輸入按同一重復性是指傳感器在輸入按同一方向連續(xù)多次變動時所得特性曲線不方向連續(xù)多次變動時所得特性曲線不一致的程度。一致的程度。重復性誤差可用正反行重復性誤差可用正反行程中最大偏差表示程中最大偏差表示：獲得輸出值系列獲得輸出值系列yi1，yi2，yi3，yin ，

26、算出最大值與最小，算出最大值與最小值之差或值之差或3作為重復性偏差作為重復性偏差Ri，在幾個，在幾個Ri中取出最大值中取出最大值Rmax作作為重復性誤差：為重復性誤差：%100/)32(FSRyyFS1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性1.2.2 傳感器的動態(tài)特性傳感器的動態(tài)特性1.2.2 傳感器的動態(tài)特性傳感器的動態(tài)特性動態(tài)測溫動態(tài)測溫1.2.2 傳感器的動態(tài)特性傳感器的動態(tài)特性常系數(shù)線性傳感器微分方程：常系數(shù)線性傳感器微分方程： 1110111101( )( )( )( )nnnnnnmmmmmmd y tdtdy taaaa y tdtdtdtd x tdx tdx tbbbb x tdtdtdt1.2.2 傳感器的動態(tài)特性傳感器的動態(tài)特性n 傳感器常見的動態(tài)輸入：