場發(fā)射環(huán)境掃描電鏡能譜儀電子束背散射衍射儀配置及技術(shù)規(guī)格表

1、場發(fā)射環(huán)境掃描電鏡配置及技術(shù)規(guī)格表附件1 :貨物需求一覽表項目序號設(shè)備名稱數(shù)量交貨地點交貨期1場發(fā)射環(huán)境掃描電鏡1臺河南理工大學(xué) 指定地點按合同要求附件2 :設(shè)備配置及技術(shù)規(guī)格表場發(fā)射環(huán) 境掃描電鏡設(shè)備名稱技術(shù)參數(shù)功能要求儀器設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)1主機1.1分辨率咼真空-0 kV 下不低于 1.0 nm (SE)-30 kV 下不低于 2.5 nm (BSE)*-1 kV 下不低于 3.0 nm (SE)低真空-30 kV 下不低于 1.4 nm (SE)-30 kV 下不低于 2.5 nm (BSE)-3 kV 下不低于 3.0 nm (SE)環(huán)境真空(ESEM) *-30 kV 下不低于 1

2、.4 nm (SE)1)2)3)可觀察和 檢測非均 相有機和 無機材料 樣品的表 面微觀形 貌觀察及 成分分析。它 行 子 析 射1.2放大倍數(shù)-咼真空模式下：14-1,000,000,連續(xù)可調(diào)-放大倍數(shù)誤差：W 3%1.3電子光學(xué)-簡分辨肖特基場發(fā)射電子槍，具有自動對中和啟動電 子槍功能；在顯示器中顯示全部發(fā)射器參數(shù)的狀態(tài)信息； 燈絲壽命優(yōu)于兩年。-加速電壓：200 V - 30 kV，連續(xù)可調(diào)-束流：最大200 nA并連續(xù)可調(diào)-成像模式：二次電子像與背散射電子像，兩者可以任 意比率混合，自動調(diào)節(jié)和手動調(diào)節(jié)亮度、對比度。1.4物鏡光闌-砌鏡光欄能自加熱自清潔；無需拆卸鏡筒即可更換物 鏡光闌；

3、-光闌壽命優(yōu)于兩年。1.5樣品室以進(jìn) 次電 貌分 背散 子襯 像分度成 析。能譜分 析能夠?qū)?現(xiàn)點分析、 面分析、線 掃描 掃描， 射電 射分 以進(jìn) 體取和面 背散 子衍 析可 行晶 向成像、顯微織 構(gòu)、晶界等 分析。7-樣品臺：4軸馬達(dá)驅(qū)動，移動范圍：X > 50mm；Y > 50mm； Z >50mm； T:-5+70° R=360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)-樣品臺移動重復(fù)精度：2um （X/Y方向）-樣品室尺寸：>250mm；兼容性高，預(yù)留EDS、EBSD、 波譜儀以及其他標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)展接口。1.6檢測器-高真空模式，E-T二次電子探頭；-氐真空模式，大視場低真空

4、氣體二次電子探頭 （LFD）-環(huán)境真空下模式，氣體二次電子探頭（GSED）-高靈敏度，低電壓固體背散射電子檢測器-樣品室紅外CCD相機1.7圖像處理器圖像處理：最大4096 X 3536像素-圖像文件格式：TIFF（8位或16位），BMP或JPEG-單窗口或四窗口圖像顯示，四活動窗口，實時或靜態(tài) 按彩色或按灰度等級信號混合。-56幀平均或積分，數(shù)字動畫記錄-基于以太網(wǎng)架構(gòu)的數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)；-十ntel雙核控制和操作計算機系統(tǒng)， Windows 7操作系 統(tǒng)；中央處理器：CPU： Intel酷睿i7 4.0GHz。內(nèi)存：4G; 獨立顯卡，2G顯存；界接口 ：串行、并行、SCSI、USB 3.0 接

5、口、網(wǎng)絡(luò)；硬盤1 TB； DVD刻錄；-瑕件平臺適用于Windows7操作系統(tǒng)-顯示器：24寸LCD顯示器1.8真空系統(tǒng)-渦輪分子泵250l/sec和2個離子泵，兩個無油機械泵；-“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，低真空模式下抽氣區(qū) 域不少于3個；-樣品室真空度：高真空模式下V 6X 10-4Pa,低真空模 式下V 10130Pa,環(huán)境真空模式下v 104000Pa1.9冷卻系統(tǒng)-沼己有循環(huán)水冷卻器1.10其他配件或易損件-沼己置相關(guān)配件或易損件（備用燈絲+光闌3套）。2附件2.1 X射線能譜儀（EDS）1）探測器-探頭類型：電制冷硅漂移（SDD）探測器，采用場效 應(yīng)管（FET）集成設(shè)計的高速SDD

6、芯片，有效探測器面積 > 30mm2-能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優(yōu)于 129eV,輕元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV- 單一處理單元能同時支持兩個及多個探測器-測定元素范圍：4號元素硼B(yǎng)e到95號元素镅Am-峰背比優(yōu)于20000:1，譜峰穩(wěn)定性：1,000cps到 100,000cps Mn Ka峰譜峰漂移小于1eV，48小時內(nèi)峰位漂 移小于1.5eV2）能譜儀及圖像系統(tǒng)-能譜儀處理單元與計算機采用分立式設(shè)計，完整的能 譜定性定量系統(tǒng)，帶圖像系統(tǒng)，能進(jìn)行線面掃描；-電子數(shù)字圖像最大清晰度：8192X 6400；-全譜智能面分布圖清晰度4096*

7、4096,單探測器輸出最 大計數(shù)率大于600,000CPS,可處理最大計數(shù)率大于 1,500,000C PS3）智能化能譜分析平臺- 一體化集成用戶界面，所有應(yīng)用軟件在同一個平臺上 打開，支持用戶自定義模式及賬戶管理，支持中、英文等 多種操作界面。-定性分析：可自動標(biāo)識譜峰，可設(shè)定自動標(biāo)定的元素 范圍，可進(jìn)行譜重構(gòu)，對重疊峰進(jìn)行可視化譜峰剝離。-定量分析：可對拋光表面或粗糙表面定量分析。采用 定量修正技術(shù)，可對傾斜樣品進(jìn)行修正，并增強對輕元素 的修正；具備有標(biāo)樣定量分析及無標(biāo)樣定量分析方法。4）計算機及其附件部分-計算機工作站，EDS與EBSD共用高級工作站系統(tǒng)，In tel Xeon E5-

8、2609 （3.10 GHz, 6 MB cache, 4 cores 處理器， Windows 7 64-bit 操作系統(tǒng)，16 GB 內(nèi)存，1 TB 硬盤，SATA SuperMulti DVD 讀寫光驅(qū)，24” TFT-LCD Monitor ， Microsoft Office 2010辦公軟件（最低配置）； 絡(luò)打印機：最大打印幅面：A4;打印速度：A4 : 達(dá)到14ppm；最高分辨率：600X 600dpi;耗材類型：鼓粉 一體；硒鼓壽命：2000頁；首頁打印時間：小于10秒；月 打印負(fù)荷：達(dá)到5000頁；進(jìn)紙盒容量：150頁手動進(jìn)紙器； 內(nèi)存：2MB。2.2電子束背散射衍射儀（EB

9、SD）系統(tǒng)（可與EDS實現(xiàn) 一體化）1）EBSD探測器-BSD探頭，適用于場發(fā)射電鏡的高速EBSD探測器， 能與EDS硬件同時使用，高端的高靈敏度 CCD相機，加 速電壓大于3 kV，及束流大于500 pA時，可以采集到明顯 的衍射花樣。30&5mm矩形熒光屏；花樣像素分辨率： 640>480X12位；花樣采集速度：920花樣/秒 8X8binning， 630 花樣/秒 4X 4binning；-EBSD與EDS形成一體化系統(tǒng)，使用單一軟件界面， 以便于材料的成分和晶體結(jié)構(gòu)分析；-花樣采集速度930 patterns點/秒（8X8 binning）；-標(biāo)定成功率，任何掃描速度下

10、，用以多晶鎳（Ni ）為 標(biāo)樣，測量99%的標(biāo)定成功率；-諏向精準(zhǔn)度，任何掃描速度下，獲得優(yōu)于 0.3度的取 向精準(zhǔn)度，并可同時給出數(shù)據(jù)可用性的量化指標(biāo)。2）軟件、數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)-數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)：配備足夠?qū)I(yè)的 EBSD數(shù)據(jù)庫，包括 Bruker自有數(shù)據(jù)庫、ICSD數(shù)據(jù)庫（集成），并兼容所有主 要的第三方數(shù)據(jù)庫（ICDD、ICSD、AMCS、NIST等），支 持用戶自定義相數(shù)據(jù)庫等功能；-軟件功能全面，用戶界面直觀易用、操作方便，至少 應(yīng)包含但不限于以下一些功能：無標(biāo)樣自動系統(tǒng)校準(zhǔn)、花 樣質(zhì)量分布圖、極圖和反極圖、取向分布圖、相圖與相鑒 定、數(shù)據(jù)的再處理；-與能譜聯(lián)合使用，具備圖像采集系統(tǒng)：具有SEM

11、成像功能，可支持多種SEM圖像類型，圖片尺寸不低于4096 X 4096；具備EBSD花樣自由采集，無標(biāo)樣自動系統(tǒng)校準(zhǔn) 功能，擁有極圖與反極圖，取向分布，相區(qū)分與鑒定，能 夠分析晶界織構(gòu)，以及EDS和EBSD的同步分析，離線數(shù) 據(jù)再處理等軟件包；標(biāo)書需詳細(xì)提供產(chǎn)品功能的軟件特點。2.3場發(fā)射專用離子濺射儀（英國，用于場發(fā)射掃描電鏡樣 品制備，要求鍍層均勻，鍍層顆粒小，可進(jìn)行鍍金和鍍碳。） 憑大樣品直徑60mm，最大樣品高度 20mm；-鍍金速率：35nm/Min ；-電壓0.4kV，最大濺射電流40mA，工作真空度7Pa； 項空泵抽率135L /Min。2.4 UPS電源（與電鏡配套使用的原裝進(jìn)口美國山特 UPS 電源，保證